KR20010049736A - 제어 특성을 포함하는 액화 가스의 제어 공급용 시스템 및방법 - Google Patents

제어 특성을 포함하는 액화 가스의 제어 공급용 시스템 및방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액화 상태로부터 가스를 공급하는 신규한 시스템을 제공한다. 상기 시스템은 (a) 내부에 배치된 제1 및 제2 패널을 가지는 캐비넷과, (b) 상기 캐비넷 내부에 배치된 패널 각각에 대응하는 적어도 하나의 압축 액화 가스 실린더와, (c) 상기 각 실린더 상에 배치된 온도 및/또는 압력 센서와, (d) 상기 온도 및/또는 압력 센서에 의해 감지된 각 실린더 내부 온도 및/또는 압력에 기초하여 상기 실린더 각각에 입력되는 에너지를 감시하고 조절하는 제어기를 포함한다.

Description

제어 특성을 포함하는 액화 가스의 제어 공급용 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLED DELIVERY OF LIQUEFIED GASES INCLUDING CONTROL ASPECTS}
본 발명은 액화 상태로부터 가스를 공급하는 시스템에 관한 것이며, 또한 제어된 방식으로 높은 유량으로 가스를 공급하는 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 산업에서는, 실린더 내에 저장된 고순도 가스가 다양한 반도체 제조 공정을 수행하기 위한 공정 도구에 공급된다. 이러한 공정의 예에는 확산, 화학 증착법(CVD), 에칭, 스퍼터링 및 이온 주입법이 포함된다. 가스 실린더는 통상 가스 캐비넷 내에 수용된다. 이들 가스 캐비넷은 또한 매니폴드를 통하여 각 공정 가스 도관에 실린더를 안전하게 연결시키기 위한 수단을 포함한다. 공정 가스 도관은 다양한 공정 도구에 진입시키고자 하는 가스를 위한 도관을 제공한다.
반도체 제조 공정에 사용되는 많은 가스 중에서, 다수는 액화 상태로 실린더 내에 저장된다. 이런 식으로 저장된 화학품의 일부 목록 및 이들이 통상적으로 저장되어 있는 압력을 표 1에 나타내었다.
화학 명칭 화학식 20℃에서 가스의 증기압(psia)
암모니아 NH3 129
보론 트리클로라이드 BCl3 19
카본 디옥사이드 CO2 845
디클로로실란 SiH2Cl2 24
하이드로겐 브로마이드 HBr 335
하이드로겐 클로라이드 HCl 628
하이드로겐 플루오라이드 HF 16
니트로스 옥사이드 N2O 760
퍼플루오로프로판 C3F8 115
설퍼 헥사플루오라이드 SF6 335
텅스텐 헥사플루오라이드 WF6 16
가스 캐비넷의 주된 목적은 실린더로부터 공정 도구에 가스를 공급하기 위한 안전한 수송 수단을 제공하는 것이다. 통상적으로 가스 캐비넷은 안전하게 실린더 교환 및/또는 부품 교체를 허용하는 구조로 다양한 유동 제어 장치, 밸브 등을 갖는 가스 패널을 포함한다.
가스 캐비넷에 저장된 상대적으로 작은 용적의 실린더의 압력 변화는 실린더로의 주위 에너지 전달 뿐만 아니라 실린더로부터의 가스 회수율( 및 필수적인 증발열의 제거)에도 의존한다. 이러한 효과는 벌크 저장 시스템에 통상적으로 존재하는 것이 아니다. 벌크 저장 시스템에서는, 저장된 화학품의 열 질량(heat mass)은 충분히 커서 액체 온도 변화가 상대적으로 느리게 발생한다. 벌크 시스템에서 가스압은 액체의 온도에 의해 제어된다. 즉, 콘테이너 내부의 압력은 액체의 온도에서 화학품의 증기압과 일치한다.
실린더에 기초한 가스 공급 시스템에서, 실린더 온도를 제어함으로써 실린더 압력을 제어할 필요는 당업계에 인식되어 있다. 가스 실린더 가열/냉각 재킷이 실린더 온도의 제어를 통해 실린더 압력을 제어하기 위해 제안되어 왔다. 이러한 경우에, 가열/냉각 재킷은 실린더와 밀접하게 접촉하여 위치될 수 있다. 재킷은 온도가 외부 가열기/냉각기 유닛에 의해 제어되는 순환 유체에 의해 일정한 온도로 유지된다. 이러한 재킷은 상업적으로 입수가능하며, 예를 들면 Accurate Gas Control System, Inc로부터 입수가능하다.
가스 공급 시스템에서 재응축을 방지하기 위해서, 낮은 증발압을 갖는 가스에 대하여 미국 특허 제5,761,911호(Jurcik 등)에는 전체 가스 파이프 시스템의 열 조절과 연계된 실린더 온도 제어가 제안되어 있으며, 그 전체 내용을 참고로 하여 본 명세서에 통합시킨다. 파이프 시스템의 열 조절에 대한 필요는 가열/냉각 재킷때문에 실린더의 온도가 주위 온도보다 높기 때문이다. 가스 도관이 열적으로 제어되지 않으면, 그를 통하여 흐르는 가스는 가열된 영역으로부터 저온 영역으로 통과할 때 재응축이 발생할 수 있다. 열 조절과 연계된 가열/냉각 재킷은 (예를 들어 실린더 교체 동안의) 시스템 유지 및 추가 비용에 관련된 복잡성 때문에 선호되지 않는다.
반도체 제조 산업의 요구를 충족하기 위해서 및 관련 분야의 불이익을 극복하기 위해서, 유량의 정확한 제어를 허용하는 액화 상태로부터의 제어된 가스 공급을 위한 신규한 시스템을 제공하는 한편, 동시에 사용된 가스에 대하여 허용할 수 없는 온도에서는 시스템이 중단되도록 하는 안전 특성을 제공하는 것이 본 발명의 목적이다.
본 발명의 다른 목적은, 제어된 방식으로 가변적인 유량으로 가스를 공급하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 하류에서 수행되는 응용 공정에 의해 요구되는 바에 따라 일정 시간 동안 높은 유량으로 가스를 공급하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은, 가스가 회수되는 실린더의 수명을 증가시키면서, 필요시 일관되게 높은 순도로 높은 유량으로 가스를 공급하는 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적 및 특성은 본 명세서, 도면 및 청구범위의 검토로부터 당업자에게 있어서 명백해질 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 캐비넷 시스템의 개략도.
도 2는 염화 수소산이 상기 실린더를 특정 요구 조건 상태로 복귀시키는 압력 회복 시간을 나타내는 그래프.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 캐비넷
110, 120 : 가스 패널
130, 140 : 압축 액체 실린더
150 : 제어기
160, 170 : 밸브
본 발명의 시스템에 따르면, 하나 이상의 캐비넷으로부터 공정으로의 증기 상태 가스 유량은 에너지 입력을 조절함으로써 높은 수준에서 유지될 수 있다는 것이 확인된다. 특히, 적어도 두 개의 패널을 가지는 가스 캐비넷이 제공되는 것이 바람직하다. 작동 중인 하나의 패널과 연계된 실린더는, 에너지가 다른 패널과 연계된 실린더에 열 형태로 공급되는 동안에, 예정된 유량으로 가스를 공급한다. 작동 중인 상기 패널과 연계된 실린더로부터의 압력이 감소함에 따라, 증기의 회수는 실린더가 전압력에 있는 다른 패널로 전환된다. 이어서, 해제된 실린더와 연계된 패널에 열이 공급되어 이들 실린더를 특정 요구 조건 상태로 되게 한다. 그 후에, 작동 중인 패널과 연계된 실린더의 압력 수준이 저하함에 따라, 회수 작동은 실린더가 필요한 압력으로 돌아온 패널에 다시 복귀한다. 따라서, 증기의 회수는 패널들 사이에서 전환되어, 수요자가 하류에서 더욱 긴 지속 시간 동안 높은 유속으로 운전하기 위해 최소 요구되는 압력에서 증기를 제공한다.
본 발명의 일태양에 따르면, 액화 상태로부터 가스를 공급하는 시스템이 제공된다. 이 시스템은,
(a) 제1 패널 및 제2 패널이 내부에 배치된 캐비넷과,
(b) 상기 캐비넷 내에 배치된 각 패널에 대응하는 적어도 하나의 압축 액화 가스 실린더와,
(c) 상기 각 실린더 상에 배치된 온도 및/또는 압력 센서와,
(d) 상기 온도 및/또는 압력 센서에 의해 감지된 각 실린더 내부의 온도 및/또는 압력에 기초하여 각 실린더에 입력되는 에너지를 감시하고 조절하는 제어기
를 포함한다.
본 발명은 가변적이고 증가된 가스 회수를 허용하는 액화 상태로부터의 가스 제어 공급을 제공하며, 동시에 사용된 가스에 대해 허용할 수 없는 온도나 압력에서 상기 시스템을 중지시키는 안전 특성을 제공한다.
캐비넷 내에 배치된 실린더에 입력되는 에너지가 증가하면 실린더로부터 사용 지점까지 가스 유량의 조절이 만족할 만하게 이루어진다는 사실이 확인되었다. 특히, 주위 및 가스 실린더 사이의 열전달은 이들 사이의 온도를 감소시키며, 실린더로부터 회수된 가스는 최소량의 물방울을 내포한다.
실린더 온도 및 압력의 변화율은 실린더로의 열전달률과 균형을 이루며, 에너지 소요는 유량 및 실린더의 열 질량에 의해 지정된다. 주위와 가스 실린더 사이의 열전달률은 (1) 총 열전달 계수와 (2) 열전달에 유용한 표면적과 (3) 주위와 가스 실린더 사이의 온도차에 의해 지배된다. 열전달률 계산 방법은 미국 특허 제5,761,911호 및 미국 특허출원 제08/893,499호에 더욱 설명되어 있으며, 그 전체 내용을 참조로써 본 명세서에 포함시킨다.
실린더에 입력되는 에너지의 증가는 순차적으로 열전달률을 증가시킨다. 따라서, 주위와 실린더 사이의 (그리고 유추하면 저장된 액체와 실린더 사이의) 온도차이가 너무 큰 상태로 실린더로부터 물질을 회수하는 것은 바람직하지 않으며, 이는 실린더로부터 회수된 가스에 액체 물방울이 함유될 가능성이 있기 때문이며, 이는 상이한 비등 현상에 기인한다. 실린더와 액체 사이의 온도차가 증가함에 따라, 증발 과정은 계면 증발 중 하나로부터 거품 발생 형태의 현상으로 변화한다.
유동 가스 내에 액체 상태가 존재하는 것의 원인을 이루는 세 개의 기구의 조합(즉, 실린더로부터 회수된 증기 내에 함유된 물방울을 포함하는 불순물들, 실린더의 하류에 위치하는 제1 부품 내에서 팽창 동안의 형성물 및, 유동의 시작 동안에 존재하는 물방울의 제거)은 개개의 가스 캐비넷 매니폴드에 의해 신뢰할 수 있게 공급될 수 있는 가스의 유량을 상당히 제한한다. 현재, 이들 제한은 연속 조건에서 측정할 때, 분당 수 표준 리터에 이른다. 공정 가스 내 이들 액체 물방울을 제거하고 실린더의 온도 및/또는 압력을 예정된 범위 내에 유지하는 것은 제공되는 유량에 더 큰 연속성을 허용하게 된다는 점이 확인되었다.
도 1의 개략도를 참조하면, 제어된 방식으로 가변적인 속도로 액화 상태로부터 가스를 공급하는 본 발명의 시스템 및 방법의 적합한 실시예가 도시되어 있다. 그러나, 그 구체적인 구조는 비용, 안전 요구 등과 같은 인자에 일반적으로 의존한다.
상기 시스템은 캐비넷(100) 내에 수용되는 적어도 두 개의 가스 패널(110, 120)을 포함한다. 적합한 패널이 당업계에 알려져 있으며, 증기 상태로 공급되는 가스(전기적 특수 가스 또는 ESG)의 유량 및 압력을 제어하기 위해 사용된다. 적어도 하나의 압축 액체 실린더(130, 140)가 각 패널과 연계된다. 액화 가스 실린더 내에 수용되는 특정 물질은 한정되지 않는 것이며 공정에 의존하는 것이다. 일반적인 물질로는 표 1에 특정된 물질이 포함되며, 예를 들어, NH3, BCl3, CO2, SiH2Cl2, HBr, HCl, HF, N2O, C3F8, SF6및 WF6가 있다. 그러나, 각 실린더는 본 발명의 임의의 시스템에 대하여 동일한 ESG를 수용하게 된다.
이들 화학 제품은 적어도 증기 상태와 액체 상태를 갖는다. 증발 제품은 바람직하게는 어느 패널이 작동 중인가에 따라서 실린더(130) 또는 실린더(140) 중 하나의 정상으로부터 또는 정상 근처에서 회수되며, 액화 형태의 가스는 실린더의 바닥에 남는다. 따라서, 실린더 내의 가스는 작업 중에 압축 상태로 유지되며, 그로부터 회수된 증기는 집중도가 낮은 불순물을 가지며 이는 공급된 증기 내에 액체 물방울이 덜 함유되었기 때문이다.
증기가 회수됨에 따라, 각 실린더 내 압력은 감소하며, 이에 의해 증기가 추출될 수 있는 유량을 감소시키게 된다. 내부 압력을 복원하기 위해서, 그리고 결과적으로 실린더로부터 공급되는 증기의 유량을 증가시키기 위해서, 실린더 내부 온도를 예정된 범위 내에서 유지하는 것은 실린더 내 증기압 및 증기가 추출되고 공급되는 유량을 제어한다는 것이 확인되었다.
주위와 가스 실린더 사이 열전달률은 바람직하게는 상승되어 가스 실린더 온도가 주위 온도보다 높은 값으로 상승되지 않도록 한다.
열전달률을 상승시키는 적합한 수단의 예에는, 가스 캐비넷(100) 내 하나 이상의 중실 플레이트 또는 슬릿 배열이 포함되며, 이를 통해서 공기가 실린더를 가로지르도록 강제된다. 공기 송풍기 또는 팬이 상기 중실 플레이트 또는 슬릿을 통하여 공기를 강제하기 위해 사용될 수 있다. 송풍기는 바람직하게는 가변적인 속도로 작동할 수 있다. (송풍기 또는 팬 특성에 의해 결정되는) 소정의 압력 저하에 대한 최대 열전달 계수를 갖는 적합한 중실 플레이트는 Holger Martin으로부터 상업적으로 입수가능하다. 이러한 부품은 가스 캐비넷 크기를 최소한으로 증가시키면서 또는 증가시킴이 없이 가스 캐비넷에 쉽게 통합될 수 있다.
중실 플레이트 또는 슬릿은 선택적으로, 공기 유동을 예를 들어 액체-증기 계면의 근처에서 주로 실린더를 향하도록 인도할 수 있는 핀(fin)을 추가함으로써 변형될 수 있다.
중실 플레이트 또는 슬릿의 온도는 열전달률을 더욱 증가시키기 위해 주위보다 미세하게 높은 값으로 전기적으로 제어될 수도 있다. 그러나, 중실 플레이트의 온도 또는 슬릿을 통한 공기의 유동은, 액체-증기 계면에서만 증발이 일어나도록, 그리고 주위보다 높은 온도로 실린더를 가열하는 것을 피하기 위해서 제한되어야 한다.
실린더 아래에 배치되는 방사 패널 가열기 또는 고온 플레이트형 가열기가 주위와 가스 실린더 사이의 열전달률을 상승시키기 위해 사용될 수도 있다. 물론, 열전달률을 상승시키기 위해 상기 수단을 결합하는 것도 예측된다. 예를 들어, 방사 가열기 또는 고온 플레이트는 앞서 기술한 바와 같이 중실 플레이트 또는 슬릿 뿐만 아니라 송풍기 또는 팬과 결합하여 사용될 수 있다.
제어 수단은 실린더 내 온도 및/또는 압력의 정밀 제어를 허용한다. 적합한 제어 수단이 당업계에 알려져 있으며, 예를 들면, 하나 이상의 프로그램 가능 논리 제어기(PLC) 또는 마이크로프로세서(150)를 포함한다. 사용되는 액화 가스에 따라서 저온점과 고온점을 가지는 허용 가능한 온도 범위가 제어기(150) 내에 프로그램된다.
예시적인 실시예에서, 실린더(130) 또는 패널(110)과 연계된 다른 임의의 실린더 내의 온도는 (도시하지 않은) 온도 센서에 의한 액체 상태의 측정에 기초하여 제어기에 의해 평가된다. 대안적으로는, 실린더(130) 내부 증기 상태의 압력이 변환기 또는 상기 내부 압력을 결정하기에 적합한 임의의 장치에 의해 결정되며, 제어기(150)에 전달된다. 이어서, 온도 판독은 실린더(130) 내부의 측정된 압력으로부터 유도된다. 유도된 온도는 제어기(150) 내에 프로그램된 온도 설정 지점 범위와 비교되며 감시된다. 설정 지점 아래의 온도에 도달하면, 사용되는 특정 가스에 대하여 바라는 바와 같이, 고온 설정 지점에 도달되어 경보기에 의해 지적될 때까지 열 형태의 에너지가 실린더(130)에 전달되며, 이에 의해 패널에의 에너지 입력을 종결시킨다. 제어기(150)로부터 (도시하지 않은) 가열 수단에 신호가 전달되어 실린더(130)에 에너지를 공급하게 한다. 유도된 온도가 (가스 회수를 위해 필요한 수요자의 압력 소요에 기초하여) 저온 설정 경보 아래로 감소하면, 밸브(160)는 폐쇄되며 밸브(170)는 개방된다.
실린더(140)가 패널(120)을 통하여 가스를 공급하는 동안에 에너지는 실린더(130)에 계속하여 공급된다. 실린더(140) 내에서 온도 설정 지점에 도달되면, 제어기(150)에 의해 결정된 바와 같이, 열 형태의 에너지는 패널(120)과 연계된 실린더(140)에 전달된다. 실린더 내에서 저온 경보에 도달하고 경보가 소리를 내면, 가스 회수 및 공급은 패널(110) 및 실린더(130)에 다시 전환되며, 허용 가능한 유량으로 회수하는 것을 유지하게 된다. 공정은 계속되며, 가스의 회수는 특정 유량으로 가스를 제공하기 위해서 필요하다면 교번시켜지며, 한편 특정 요구 조건 상태가 되게 하도록 열 형태의 에너지가 작동 중이 아닌 실린더에 제공될 수 있다. 패널들 사이에서 교번시킴으로써, 높은 유량이 유지될 수 있으며 더 장기간 동안 공정 도구에 공급될 수 있다.
캐비넷(100)으로부터 회수된 사용 가능한 투여량은 각 패널과 연계된 실린더의 갯수의 함수이다. 각 패널과 연계된 실린더의 갯수가 많을수록 사용 가능한 투여량은 많아진다. 여기에서 사용된 바와 같이, "투여량"이라는 용어는 (유량 x 시간)으로 정의된다. 또한, 패널에 연결된 실린더는 제어기(150)에 의해서 감시되고 조절된다. 패널의 갯수를 증가시키거나 각 실린더의 온도를 조절하는 것과 같은 추가적인 변형은 각각 발명자에 의해 예측되는 것이며, 본 발명의 범주 내에 속한다.
도 2는 본 발명의 시스템의 실린더의 향상된 압력 회복을 예시적으로 보여준다. 실린더 내에 다소간의 압력 감소가 발생하고 그리고/또는 수요자에 의한 증기 제품에 대한 요구가 없는 경우에, 주위 열에 추가하여 열원이 가스 증기의 압력을 상승시켜서 최대 투여량 능력을 위한 실린더 전압력을 회복하게 된다. 예를 들어, 효과적으로 염화 수소산(HCl)을 공급하기 위해서, 본 발명의 적합한 일실시예에서 필요한 압력은 650 psig이다. 약 120 분이 지나면, 실린더는 회복되며, 본 발명의 시스템에 의해 제공되는 에너지 입력 없이는 500 분보다 상당히 긴 시간이 소요된다.
캐비넷 내에서 불안전한 높은 압력 및 온도는 감시되며, 시스템에 통합된 안전 특성에 의해 제어된다. 제어기(150) 내에서 고온 경보가 소리를 내고 가열 수단이 꺼짐 상태로 전환되지 않을 때, 에너지원을 차단시키기 위해 예를 들어 트립 스위치(trip switch)가 제공될 수도 있다. 당업계에 공지된 다른 추가적인 특성이 모니터에 통합되어 시스템 내에서 검출되는 불안전한 높은 압력 및 온도를 방지할 수도 있다.
본 발명은 특정 실시예를 참조하여 상세하게 설명되었지만, 다양한 변화 및 변형이 이루어질 수 있으며 본 발명의 청구범위의 범주로부터 벗어남이 없이 등가물이 사용될 수 있다는 것은 당업자에게 있어서 명백하다.
본 발명에 따르면, 유량의 정확한 제어를 허용하는 액화 상태로부터의 제어된 가스 공급을 위한 신규한 시스템을 제공할 수 있는 한편, 동시에 사용된 가스에 대하여 허용할 수 없는 온도에서 시스템이 중지되도록 하는 안전 특성을 얻을 수 있다는 효과가 있다.

Claims (13)

  1. 내부에 배치된 제1 패널 및 제2 패널을 가지는 캐비넷과,
    상기 캐비넷 내부에 배치된 상기 각 패널에 대응하는 적어도 하나의 압축 액화 가스 실린더와,
    상기 각 실린더 상에 배치된 온도 및/또는 압력 센서와,
    상기 온도 및/또는 압력 센서에 의해 감지된 상기 각 실린더 내부의 온도 및/또는 압력에 기초하여 상기 각 실린더 내로 입력되는 에너지를 감시하고 조절하는 제어기
    를 포함하는 액화 상태로부터 가스를 공급하는 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제어기는,
    상기 각 패널 상에 배치된 상기 압축 액화 가스 실린더의 저온 및 고온 설정 온도 지점을 프로그램하는 수단과,
    상기 적어도 하나의 압축 액화 가스 실린더 내부의 저온 설정 지점 또는 고온 설정 지점 중 하나에 도달하면, 상기 제1 패널 및 상기 제2 패널 사이에서 전환시키는 수단
    을 더 포함하는 것인 가스 공급 시스템.
  3. 내부에 배치된 제1 패널 및 제2 패널을 가지는 캐비넷을 제공하는 단계와,
    상기 제1 패널 또는 제2 패널 중 하나와 연계된 적어도 하나의 가스 실린더로부터 압축 액화 가스를 공급하는 단계와,
    상기 제1 패널 또는 제2 패널 중 하나와 연계된 상기 적어도 하나의 가스 실린더에 제어된 양의 에너지를 공급하고, 이에 의해 상기 실린더로부터 회수된 가스의 유량을 증가시키는 단계
    를 포함하는, 제어된 방식으로 연속적인 유동으로 가스 캐비넷으로부터 액화 상태로부터 가스를 공급하는 방법.
  4. 제3항에 있어서, 사용되는 가스에 기초하여 상기 가스 실린더에 대하여 허용 가능한 고온 및 저온 지점을 설정하는 단계를 더 포함하는, 제어된 방식으로 연속적인 유동으로 가스를 공급하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 저온 설정 지점에 도달하면 상기 제1 패널 또는 제2 패널 중 하나와 연계된 상기 가스 실린더에 에너지를 공급하는 단계를 더 포함하는, 제어된 방식으로 연속적인 유동으로 가스를 공급하는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1 패널 및 제2 패널 사이에서 상기 에너지 공급을 교번시키는 단계를 더 포함하며,
    상기 공급되는 에너지는 상기 실린더 내부 온도의 함수인 것인, 제어된 방식으로 연속적인 유동으로 가스를 공급하는 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 저온 설정 지점 경보가 작동될 때 제1 패널 또는 제2 패널과 연계된 상기 실린더에 에너지를 공급하는 단계를 더 포함하는, 제어된 방식으로 연속적인 유동으로 가스를 공급하는 방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 고온 설정 지점 경보가 작동될 때 제1 패널 또는 제2 패널과 연계된 상기 실린더에 에너지 공급을 종결하는 단계를 더 포함하는, 제어된 방식으로 연속적인 유동으로 가스를 공급하는 방법.
  9. 제3항에 있어서, 상기 가스 온도는 상기 실린더 압력으로부터 유도되는 것인, 제어된 방식으로 연속적인 유동으로 가스를 공급하는 방법.
  10. 제3항에 있어서, 상기 압축 액화 가스 실린더의 갯수 X의 인자에 의해서 상기 가스의 가해지는 투여량을 증가시키는 것인, 제어된 방식으로 연속적인 유동으로 가스를 공급하는 방법.
  11. 제3항에 있어서, 상기 가스는 NH3, BCl3, CO2, SiH2Cl2, HBr, HCl, HF, N2O, C3F8, SF6및 WF6로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 것인, 제어된 방식으로 연속적인 유동으로 가스를 공급하는 방법.
  12. 제3항에 있어서, 상기 실린더 압력의 회복 시간을 감소시키는 단계를 더 포함하는, 제어된 방식으로 연속적인 유동으로 가스를 공급하는 방법.
  13. 제1항에 있어서, 상기 각 실린더는 사용되는 임의의 시스템에 대하여 동일한 전기적 특수 가스를 포함하는 것인, 제어된 방식으로 연속적인 유동으로 가스를 공급하는 방법.
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