KR20010049197A - 진공 인라인 방식의 평판 표시소자 제작을 위한 실링용페이스트의 제조 방법 및 상기 실링용 페이스트를 이용한실링 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평판 표시소자를 제조하기 위한 공정중 봉착(sealing), 배기(pumping) 및 봉입(seal-off)을 동일 진공 챔버내에서 인-라인 방식으로 수행하기 위해 사용되는 실링용 페이스트의 제조 방법 및 상기 실링용 페이스트를 사용한 실링 방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 실링용 페이스트의 제조 방법은 PbO, ZnO, B2O3를 주성분으로 하는 결정형 실장재 분말과, PbO, B2O3, SiO2를 주성분으로 하는 유리형 실장재 분말을 소정 비율로 균일하게 혼합하는 단계와, 상기 혼합된 실장재 분말이 소정의 점도 및 인쇄특성을 갖도록 바인더 및 계면 활성제등으로 이루어진 소정의 첨가제를 혼합한후 소정의 분산 수단에 의해 균일하게 혼합 및 분산시키는 단계로 이루어진다.
또한 본 발명에 의한 상기 실링용 페이스트를 사용한 실링 방법은 평판 표시 소자를 이루는 두 개의 유리기판중 적어도 하나의 기판상에 상기 실링용 페이스트를 소정 부위에 형성한후 열처리하는 단계와, 상기 열처리된 기판과 나머지 기판을 서로 일정 간격을 갖도록 진공 챔버내에 장착하는 단계와, 상기 진공 챔버내의 진공도를 고진공으로 유지하는 단계와, 별도의 위치조절 수단에 의해 상기 두 기판을 서로 결합시키는 단계와, 상기 진공 챔버의 내부를 불활성 개스로 채우는 단계와, 별도의 가열수단에 의해 상기 실링용 페이스트가 형성된 기판을 가열하여 상기 실링용 페이스트를 용융시켜 두 기판을 봉착하는 단계로 이루어진다.
Description
본 발명은 평판 표시소자를 제조하기 위한 공정중 봉착(sealing), 배기(pumping) 및 봉입(seal-off)을 동일 진공 챔버내에서 인-라인 방식으로 수행하기 위해 사용되는 실링용 페이스트의 제조 방법 및 상기 실링용 페이스트를 사용한 실링 방법에 관한 것이다.
평판 표시소자 내부의 진공도를 향상시키기 위한 방법으로서 대기중에서 실링용 페이스트를 평판 표시소자의 전면판 혹은 배면판의 가장자리에 형성한후 가소 열처리 공정을 거치고, 상기 전면판과 배면판을 진공 챔버내의 가열식 지지판 상에 장착시켜 상기 실링용 페이스트를 용융 시킴으로서 봉착공정을 수행하는 진공 인라인 방식이 연구되고 있다.
상기 진공 인라인 방식에 의한 봉지 및 봉착방법은 열처리시 발생되는 불순물 개스로 인해 표시소자 내부의 진공도 저하 및 소자 특성 저하를 수반하는 종래의 방법에 비해 그 효과가 탁월하다.
일반적으로 상기 진공 인라인 방식으로 봉착 또는 봉지하기 위해 사용되는 실링용 페이스트로의 주 성분인 실장재는 유리형(Vitreous type)과 결정형(Crystalline type)의 두가지 타입이 있다.
상기 유리형 실장재는 용융(firing) 단계에서 물질의 유동(flow)이 발생하며 동일한 온도에서도 여러번 용융상태가 일어나는 Pb 가 함유된 유리형태의 실장재이며, 상기 결정형 실장재는 용융시 경화(hardness)가 발생하며 재차 용융시 처음보다 높은 용융온도를 갖는 Pb를 함유한 유리형태의 실장재이다.
그러나 상기 두 가지 실장재는 진공중에서 용융이 생기는 경우 다음과 같은 문제점을 가지고 있다. 즉, 상기 유리형 실장재는 대기중에서 가소 열처리 공정을 거친후 진공중에서 다시 용융(소성) 시킬 때 증기압이 높아져 실장재의 구성성분중 일부가 증발하여 기공(bubble)이 발생하고, 상기 기공에 의해 표시소자 내부의 진공도를 유지하는 것이 어렵게 된다.
또한 상기 결정형 실장재는 대기중에서 가소 열처리 공정을 거친후 진공중에서 다시 용융(소성)되어 냉각되는 경우, 결정화가 이루어지면서 균열(crack)이나 핀-홀(pin-hole)등이 발생되어 표시소자 내부의 진공도를 유지하는 것이 어렵게 된다.
도 1 은 종래의 진공 인라인 방식의 봉착 및 배기, 그리고 봉지 장치의 일 실시예이다.
도 2 는 종래 기술의 문제점인 기공 상태를 보여주는 표시소자의 부분 확대도이며, 도 3 은 종래 기술의 문제점인 부분적으로 실링되지 않은 상태를 보여주는 부분 확대도이며, 도 4 는 종래 기술의 문제점인 핀-홀 상태를 보여주는 부분 확대도이며, 도 5 는 상기 핀-홀을 가진 표시 소자의 시간 및 압력에 따른 개스 누출 상태를 보여주는 그래프이며, 도 6 은 종래 기술의 문제점인 부분적으로 갈라진 상태를 보여주는 부분 확대도이다.
또한 도 7 은 종래 기술의 실링용 페이스트에 대한 열처리 온도 및 압력에 대한 개스 방출 상태를 보여주는 그래프이다.
또한 도 9 는 본 발명에 의한 저온 소성온도(280oC)의 온도 분포도 및 그에 따른 진공도 변화이며, 도 10 은 그에 따라 만들어진 표시패널의 리크 시험(leak test)에 대한 결과 그래프 이다.
도 11 은 본 발명에 의한 저온 소성온도(290oC)의 온도 분포도 및 그에 따른 진공도 변화이며, 도 12 는 그에 따라 만들어진 표시패널의 리크 시험(leak test)에 대한 결과 그래프 이다.
본 발명은 상기 종래기술의 문제점인 기공 및 핀-홀이 발생하지 않는, 진공 인라인 방식에 적용 가능한 봉지 및 봉착용 실장재 및 상기 실장재를 기본으로한 실링용 페이스트를 제조하는 방법과 상기 실링용 페이스트를 이용한 평판 표시소자의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적과 장점은 하기된 발명의 상세한 설명을 읽고 첨부된 도면을 참조하면 보다 명백해질 것이다.
도 1 은 종래의 진공 인라인 방식의 봉착 및 배기, 그리고 봉지 장치의 일 실시예.
도 2 는 종래 기술의 문제점인 버블링을 보여주는 표시소자의 부분 확대도.
도 3 은 종래 기술의 문제점인 부분적으로 실링되지 않은 상태를 보여주는 부분 확대도.
도 4 는 종래 기술의 문제점인 핀-홀 상태를 보여주는 부분 확대도.
도 5 는 상기 도 4 에 의한 핀-홀을 가진 표시 소자의 시간 및 압력에 따른 개스 누출 상태를 보여주는 그래프.
도 6 은 종래 기술의 문제점인 부분적으로 갈라진 상태를 보여주는 부분 확대도.
도 7 은 종래 기술의 실링용 페이스트에 대한 열처리 온도 및 압력에 대한 개스 방출 상태를 보여주는 그래프.
도 8 은 본 발명에 의한 실링용 페이스트를 사용하여 진공 인라인 방식으로 봉착한 상태의 부분 확대도.
도 9 는 본 발명에 의한 저온 소성온도(280oC)의 온도 분포도 및 그에 따른 진공도 변화.
도 10 은 본 발명에 의한 저온 소성온도(280oC) 하에서 만들어진 표시패널의 리크 시험(leak test)에 대한 결과 그래프.
도 11 은 본 발명에 의한 저온 소성온도(290oC)의 온도 분포도 및 그에 따른 진공도 변화.
도 12 는 본 발명에 의한 저온 소성온도(290oC) 하에서 만들어진 표시패널의 리크 시험(leak test)에 대한 결과 그래프이다.
〈 도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명 〉
1 전면판 2 배면판
6 진공 챔버
7 진공 유지수단 8 제 1 개스 공급수단
9 제 1 지지 수단 10 가열 수단
11 제 1 위치 조정수단 12 개스 주입부
13 구멍 14 가열 수단
15 제 2 지지 수단 16 배기 및 개스 주입 수단
17 오-링 18 제 2 위치 조절 수단
19 실린더부 20 봉입재
21 가열 수단 22 제 3 위치 조절 수단
23 냉각 수단 24 공간
25 펌프 시스템 26 제 2 개스 공급 수단
27 돌출 턱 28 게터 장착부
29 게터 30 봉입재
31 게터 가열 수단 32 지지 수단
33 제 4 위치 조절 수단 34 지지대
본 발명에 의한 진공 인라인 방식에 적용 가능한 실링용 페이스트의 제조 방법은, PbO 와 ZnO 및 B2O3를 주성분으로 하는 결정형 실장재 분말과, PbO 와 B2O3 및 SiO2를 주성분으로 하는 유리형 실장재 분말을 소정 비율로 균일하게 혼합하는 단계와;
상기 혼합된 실장재 분말이 소정의 점도 및 인쇄특성을 갖도록 바인더 및 계면 활성제등으로 이루어진 소정의 첨가제를 혼합한후 소정의 분산 수단에 의해 균일하게 혼합 및 분산시키는 단계로 이루어진다.
상기 결정형 실장재 분말은 약 70 중량 퍼센트의 PbO와, 약 15 중량 퍼센트의 ZnO와, 약 10 중량 퍼센트의 B2O3와, 약 2 중량 퍼센트의 SiO2와, 소량의 BaO 및 SnO2 로 이루어지며, 상기 유리형 실장재 분말은 약 90 중량 퍼센트의 PbO와, 약 10 중량 퍼센트의 B2O3와, 약 1.5 중량 퍼센트의 SiO2와, 소량의 ZnO, BaO, Fe2O3, SnO2 로 이루어진다.
바람직 하게는 상기 결정형 실장제 분말과 유리형 실장재 분말의 혼합 분말은 약 80 중량 퍼센트의 PbO와, 약 9.5 중량 퍼센트의 B2O3와, 약 7.5 중량 퍼센트의 ZnO와, 약 2 중량 퍼센트의 SiO2와, 약 0.5 중량 퍼센트의 SnO2와, 약 0.1 중량 퍼센트의 Fe2O3와, 약 0.05 중량 퍼센트의 BaO로 이루어진다.
또한 본 발명에 의한 평판 표시소자의 실링 방법은, PbO 와 ZnO 및 B2O3를 주성분으로 하는 결정형 실장재 분말과, PbO 와 B2O3 및 SiO2를 주성분으로 하는 유리형 실장재 분말이 혼합되어 이루어진 실링용 페이스트를 사용하여 진공하에서 평판 표시소자의 실링 방법에 있어서,
평판 표시소자를 이루는 두 개의 유리기판중 적어도 하나의 기판상에 상기 실링용 페이스트를 소정 부위에 형성한후 열처리하는 단계와;
상기 열처리된 기판과 나머지 기판을 서로 일정 간격을 갖도록 진공 챔버내에 장착하는 단계;
상기 진공 챔버내의 진공도를 고진공으로 유지하는 단계;
별도의 위치조절 수단에 의해 상기 두 기판을 서로 결합시키는 단계;
상기 진공 챔버의 내부를 불활성 개스로 채우는 단계;
별도의 가열수단에 의해 상기 실링용 페이스트가 형성된 기판을 가열하여 상기 실링용 페이스트를 용융시켜 두 기판을 봉착하는 단계로 이루어진다.
상기 가열수단 으로는 히터에 의한 가열하는 방법과, 레이저를 주사하여 가열하는 방법과, 가열 및 전압을 가하여 결합시키는 아노딕 본딩법에 의한 가열이 바람직하다.
또한 상기 결정형 실장재 분말은 약 70 중량 퍼센트의 PbO와, 약 15 중량 퍼센트의 ZnO와, 약 10 중량 퍼센트의 B2O3와, 약 2 중량 퍼센트의 SiO2와, 소량의 BaO 및 SnO2 로 이루어지며, 상기 유리형 실장재 분말은 약 90 중량 퍼센트의 PbO와, 약 10 중량 퍼센트의 B2O3와, 약 1.5 중량 퍼센트의 SiO2와, 소량의 ZnO, BaO, Fe2O3, SnO2 로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한 상기 결정형 실장재 분말과 유리형 실장재 분말의 혼합 분말은 약 80 중량 퍼센트의 PbO와, 약 9.5 중량 퍼센트의 B2O3와, 약 7.5 중량 퍼센트의 ZnO와, 약 2 중량 퍼센트의 SiO2와, 약 0.5 중량 퍼센트의 SnO2와, 약 0.1 중량 퍼센트의 Fe2O3와, 약 0.05 중량 퍼센트의 BaO로 이루어지는 것이 바람직하다.
도 8 에 본 발명에 의한 실링용 페이스트를 사용하여 진공 인라인 방식으로 봉착한 상태의 부분 확대도를 나타내었다. 종래기술의 문제점으로 나타났던 기공과 균열등이 발견되지 않았다.
좀 더 구체적으로 언급하면, 프릿트 분말을 적정 비율(50:50 혹은 60:40)로 섞어 바인더 및 용제와 혼합하여 페이스트를 만든다음, 진공 인-라인 실장재로 적용함으로써 버블(bubbles)과 균열(crack)이 발생하지 않게하며, 진공 챔버 내에서 소성 공정함으로써 실장 온도를 280-300oC 범위의 저온에서 가능하게 할 수 있는 공정기술에 관한 것이다.
본 발명에 따른 일 실시예를 들면 다음과 같다.
1. 프릿트 페이스트의 제조
1-1) 파우더 혼합 : 결정형 실장재 분말(wt%: PbO=72.26, ZnO=15.06, SiO2=1.90, B2O3=9.83, BaO=0.08, SnO2=0.87)과 유리형 실장재 분말(wt%: PbO=89.15, ZnO=0.04, SiO2=1.40, B2O3=9.16, BaO=0.01, Fe2O3=0.19, SnO2=0.04)을 40:60에서 60:40 범위로 섞는다.
이때, 섞여진 프릿트 페이스트용 분말의 조성비는 대략 PbO=78-84, ZnO=5.0-10.0, SiO2=1.50-1.80, B2O3=9.0-10.0, BaO=0.03-0.06, Fe2O3=0.07-0.12, SnO2=0.30-0.60 wt%의 범위를 갖도록 한다.
1-2) 페이스트 제조 : 프릿트 분말과 비클(vehicle)을 (니트로 셀룰로우즈(NC)와 부틸 칼비톨 아세테이트(BCA)가 혼합된 용제)를 6:1에서 12:1 정도의 중량비로 혼합하여 볼-밀(ball miller)로 수시간 이상 밀링(milling)시켜 고르게 혼합한다.
2. 디스펜싱(Dispensing)
혼합된 프릿트 페이스트를 디스펜서 (dispenser)를 이용해 유리판의 가장자리를 따라 도포시킨다.
3. 가소(pre-baking) 공정
페이스트에 함유되어 있는 솔벤트류를 태워 없애기 위해 도포된 유리기판을 전기로 속에서 열처리 한다. 이때의 온도는 400oC 이상에서 수 십분간 진행한다.
4. 전면 유리판과 배면 유리판을 진공 챔버 속으로 장착 시킨다.
이전 챔버에서 인라인(in-line) 방식으로 이송되어 장착될 수도 있다.
5. 진공도를 10-6torr 이상 확보하기 위한 배기공정을 수행한다.
6. 소성(Post-baking)공정
유리판을 가열하기 위한 가열수단의 온도를 상승시킨다.
이때 승온속도는 3-5oC/min 정도, 최종 도달 온도는 280oC에서 300oC 정도로 한다. 소성 온도에서 진공도가 10-6torr 범위로 다시 회복될 때까지 기다린다. 전면판 혹은 배면판을 수직으로 이동시켜 두장의 유리판을 실장 시킨다. 충분한 실장을 위해 약간의 압력(press)을 가한다. 그런 다음 온도를 승하 시킨다. 승하속도는 -3oC에서 -5oC 범위로 한다.
7. 봉입공정
PDP의 경우, 개스 주입구를 통해 개스를 채운 다음, 주입구 주변에 형성된 프릿을 위와 같은 온도 조건으로 소성시켜 봉입공정을 수행한다.
종래기술에 의한 소성 공정에서는 통상적으로 유리관를 통해 배기시키기 때문에 배기 전도도(conductivity)의 제한을 받게되며 따라서 패널 내부의 진공도가 챔버 내부의 진공도보다 100배 이상 낮게되는 문제점이 있다.
또한 420-450oC 의 온도 범위를 갖는 고온소성을 거침으로서 통상 기판으로 사용되는 소다 유리를 상기 고온으로 소성하는 동안 열변형 및 점성변화가 발생하는 심각한 문제점이 있었다.
그러나 본 발명에서는 소성 공정을 280-300oC 범위의 저온에서 수행할 수 있으므로 패널의 특성 향상은 물론 제조공정상의 대폭적인 수율 향상을 가져왔다.
도 9 내지 도 12 에 본 발명에 의한 저온 소성공정의 실험결과 그래프를 나타내었다.
도 9 는 본 발명에 의한 저온 소성온도(280oC)의 온도 분포도 및 그에 따른 진공도 변화이며,
도 10 은 본 발명에 의한 저온 소성온도(280oC) 하에서 만들어진 표시패널의 리크 시험(leak test)에 대한 결과 그래프이며,
도 11 은 본 발명에 의한 저온 소성온도(280oC)의 온도 분포도 및 그에 따른 진공도 변화이며,
도 12 는 본 발명에 의한 저온 소성온도(280oC) 하에서 만들어진 표시패널의 리크 시험(leak test)에 대한 결과 그래프이다.
특히 본 발명에 의한 저온 소성공정에서는 가열시 최종 도달 온도가 280oC에서 300oC 사이의 범위가 되도록 조절하는 것을 특징으로 하며, 상기 최종 도달 온도까지 가열하는 승온 속도를 3-5oC/min 가 되도록 조절하였고, 상기 최종 도달 온도로부터 냉각시키는 감온 속도를 3-5oC/min 가 되도록 조절하였다.
본 발명은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있으며 상기 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상기 발명의 상세한 설명에서 언급된 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
평판 표시소자의 대량생산에 큰 걸림돌이 되었던 봉착 및 봉지기술에 대해 진공 인-라인 방식으로 작업을 수행하는 경우 제조 단가 저하 및 공정 단축을 통해 대량생산이 가능하여 평판 표시소자의 대중화에 더욱 근접할 수 있다는 기본 인식은 있었지만 진공상태의 공정하에서 특성이 우수한 실링용 페이스트를 개발하지 못하여 사실상 실현 불가능한 상태였다.
그러나 본 발명에서 제시한 실링용 페이스트를 사용하면 종래기술의 문제점인 기공이나 균열등의 문제점이 없는 깨끗한 실링 상태를 가지며, 따라서 진공 인라인 방식에 의한 봉지 및 봉착공정을 완전히 현실화 함으로서 평판표시소자의 대량생산에 획기적 전기를 가져오게 되었다.
Claims (8)
- 평판 표시소자 제작을 위해 진공 인라인 방법으로 봉지 및 봉착을 하기 위한 실링용 페이스트의 제조 방법에 있어서,PbO, ZnO, B2O3를 주성분으로 하는 결정형 실장재 분말과, PbO 와 B2O3 및 SiO2를 주성분으로 하는 유리형 실장재 분말을 소정 비율로 균일하게 혼합하는 단계와; 및상기 혼합된 실장재 분말이 소정의 점도 및 인쇄특성을 갖도록 바인더 및 계면 활성제등으로 이루어진 소정의 첨가제를 혼합한후 소정의 분산 수단에 의해 균일하게 혼합 및 분산시키는 단계를 포함하여 이루어지는, 실링용 페이스트의 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 결정형 실장재 분말은 약 70 중량 퍼센트의 PbO와, 약 15 중량 퍼센트의 ZnO와, 약 10 중량 퍼센트의 B2O3와, 약 2 중량 퍼센트의 SiO2와, 소량의 BaO 및 SnO2 로 이루어지며, 상기 유리형 실장재 분말은 약 90 중량 퍼센트의 PbO와, 약 10 중량 퍼센트의 B2O3와, 약 1.5 중량 퍼센트의 SiO2와, 소량의 ZnO, BaO, Fe2O3, SnO2 로 이루어진 것을 특징으로 하는, 실링용 페이스트의 제조 방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 결정형 실장재 분말과 유리형 실장재 분말의 혼합 분말은 약 80 중량 퍼센트의 PbO와, 약 9.5 중량 퍼센트의 B2O3와, 약 7.5 중량 퍼센트의 ZnO와, 약 2 중량 퍼센트의 SiO2와, 약 0.5 중량 퍼센트의 SnO2와, 약 0.1 중량 퍼센트의 Fe2O3와, 약 0.05 중량 퍼센트의 BaO로 이루어진 것을 특징으로 하는, 실링용 페이스트의 제조 방법.
- PbO 와 ZnO 및 B2O3를 주성분으로 하는 결정형 실장재 분말과, PbO 와 B2O3 및 SiO2를 주성분으로 하는 유리형 실장재 분말이 소정의 인쇄용 첨가제와 혼합되어 이루어진 실링용 페이스트를 사용하여 진공하에서 행하여지는 평판 표시소자의 봉착을 위한 실링 방법에 있어서,평판 표시소자를 이루는 두 개의 유리기판중 적어도 하나의 기판상에 상기 실링용 페이스트를 소정 부위에 형성한후 열처리하는 단계와;상기 열처리된 기판과 나머지 기판을 서로 일정 간격을 갖도록 진공 챔버내에 장착하는 단계;상기 진공 챔버내의 진공도를 고진공으로 유지하는 단계;별도의 위치조절 수단에 의해 상기 두 기판을 서로 결합시키는 단계;상기 진공 챔버의 내부를 불활성 개스로 채우는 단계; 및별도의 가열수단에 의해 상기 실링용 페이스트가 형성된 기판을 가열하여 상기 실링용 페이스트를 용융시켜 두 기판을 봉착하는 단계를 포함하여 이루어진, 평판 표시소자의 실링 방법.
- 제 4 항에 있어서, 상기 결정형 실장재 분말은 약 70 중량 퍼센트의 PbO와, 약 15 중량 퍼센트의 ZnO와, 약 10 중량 퍼센트의 B2O3와, 약 2 중량 퍼센트의 SiO2와, 소량의 BaO 및 SnO2 로 이루어지며, 상기 유리형 실장재 분말은 약 90 중량 퍼센트의 PbO와, 약 10 중량 퍼센트의 B2O3와, 약 1.5 중량 퍼센트의 SiO2와, 소량의 ZnO, BaO, Fe2O3, SnO2 로 이루어진 것을 특징으로 하는, 평판 표시소자의 실링 방법.
- 제 5 항에 있어서, 상기 결정형 실장재 분말과 유리형 실장재 분말의 혼합 분말은 약 80 중량 퍼센트의 PbO와, 약 9.5 중량 퍼센트의 B2O3와, 약 7.5 중량 퍼센트의 ZnO와, 약 2 중량 퍼센트의 SiO2와, 약 0.5 중량 퍼센트의 SnO2와, 약 0.1 중량 퍼센트의 Fe2O3와, 약 0.05 중량 퍼센트의 BaO로 이루어진 것을 특징으로 하는, 평판 표시소자의 실링 방법.
- 제 6 항에 있어서, 상기 실링용 페이스트가 형성된 기판을 가열하여 상기 두 기판을 봉착하는 단계는, 가열시 최종 도달 온도가 280oC에서 300oC 사이의 범위가 되도록 조절하는 것을 특징으로 하는, 평판 표시소자의 실링 방법.
- 제 7 항에 있어서, 상기 실링용 페이스트가 형성된 기판을 가열하여 상기 두 기판을 봉착하는 단계는,상기 최종 도달 온도까지 가열하는 승온 속도를 3-5oC/min 로 하는 단계; 및상기 최종 도달 온도로부터 냉각시키는 감온 속도를 3-5oC/min 로 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 평판 표시소자의 실링 방법.
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