KR100429771B1 - 보조열선을 이용한 평판표시소자의 저온 진공 인-라인프릿 실장방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 전면판과 배면판으로 구성되는 평판표시소자를 제작하는 방법에 있어서,전면판과 배면판 각각의 일면상에 소정 패턴의 전극군을 형성하는 단계와,전면판과 배면판중 적어도 하나의 상기 전극군이 형성된 면상의 가장자리에 페이스트 상태의 봉착용 제1 프릿트(frit)를 인쇄법 또는 디스펜싱법으로 형성하는 단계,상기 제1 프릿트를 가열하여 가소시키는 단계,전기전도성(혹은 저항성) 페이스트 또는 방사열 흡수성 페이스트(이하 "보조열선" 이라함)를 인쇄법 또는 디스펜싱법으로 상기 제1 프릿트상에 형성하되 제1 프릿트의 폭보다 좁거나 같은 폭을 갖도록 형성하는 단계,상기 보조열선을 가열하여 가소시키는 단계,상기 보조열선상에 상기 제1 프릿트보다 가소온도가 낮은 페이스트 상태의 봉착용 제2 프릿트를 인쇄법 또는 디스펜싱법으로 형성하되 상기 보조열선의 폭보다 크게하거나 같게하여 보조열선을 모두 덮거나 보조열선과 동일하게 형성하는 단계,상기 제2 프릿트를 가열하여 가소시키는 단계,상기 전면판과 배면판을 진공챔버내에 장착하되 전극군이 형성된 면이 서로 마주보며 소정거리 이격되도록 장착한후 소정의 진공도를 유지하기 위해 펌핑하는 단계,상기 진공챔버내에 상기 전면판과 배면판의 둘레에 장착된 열 발생장치를 통해 상기 전면판 및 배면판에 형성된 제1 및 제2 프릿트, 보조열선을 가열하여 소성하는 단계,상기 열 발생장치에 의한 소성단계와 동시에 상기 보조열선에 전기를 가하여 주울열에 의해 제1 및 제2 프릿트, 보조열선을 추가로 가열하는 단계,상기 소성단계 및 추가가열 단계시 발생하는 불순물 개스에 의해 낮아진 진공도를 상기 소정의 진공도로 향상시키기 위해 펌핑하는 단계,상기 소정의 진공도가 달성된후 상기 열 발생장치 및 추가가열에 의한 열이 공급되는 상태에서 전면판과 배면판을 얼라인하여 접합시키는 단계,전면판과 배면판이 접합된후 상기 열 발생장치에 의한 가열정도와 추가 가열정도를 조절하여 서서히 온도를 내리는 단계를 포함하는, 평판표시소자 제작방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제1 프릿트는 결정질 프릿트이며, 상기 제2 프릿트는 유리질 프릿트인 것을 특징으로 하는, 평판표시소자 제작방법.
- 제 2 항에 있어서, 상기 결정질 프릿트는 PbO, ZnO, B2O3를 주 성분으로 하고 SiO2, BaO, SnO2를 추가로 포함하며, 상기 유리질 프릿트는 PbO, B2O3, SiO2를 주 성분으로 하고 ZnO, BaO, SnO2, Fe2O3를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는, 평판표시소자 제작방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제1 프릿트 및 제2 프릿트, 보조열선은 균일한 온도형성을 위해 모서리 부분을 라운드지게 형성하는 것을 특징으로 하는, 평판표시소자 제작방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 보조열선은 효율적인 열 발생 및 접착강도를 강화하기 위해 상기 제1 프릿트상에 지그재그 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는, 평판표시소자 제작방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제1 프릿트는 10내지 100 마이크로미터의 두께와 2내지 10 밀리미터의 폭을 가지며, 상기 보조열선은 10내지 100 마이크로미터의 두께와 2내지 8 밀리미터의 폭을 가지며, 상기 제2 프릿트는 100내지 500 마이크로미터의 두께와 2내지 10 밀리미터의 폭을 가지는 것을 특징으로 하는, 평판표시소자 제작방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 보조열선은 'Ag, Pt, Ni, W, Cu, Mo 등의 금속성분의 파우더 혹은 RuO2가 금속원소(Ag 등)와 혼합된 저항성 파우더'를 'frit를 주성분으로 하여 바인더(binder 혹은 additives)가 함유된 용제'에 섞어서 만든 점성이 있는 페이스트 형태인 것을 특징으로 하는, 평판표시소자 제작방법.
- 제 1 항에 있어서, 상기 열 발생장치를 통한 가열시 승온속도는 분당 3내지5℃ 로 하여 최종 도달온도를 200내지 300℃로 하며, 진공챔버내에서 전면판과 배면판을 접합시킨후 온도를 내리는 속도를 분당 3내지 5℃ 로 낮추는 것을 특징으로 하는, 평판표시소자 제작방법.
- 전면판과 배면판으로 구성되는 평판표시소자를 제작하는 방법에 있어서,전면판과 배면판 각각의 일면상에 소정 패턴의 전극군을 형성하는 단계와,전면판과 배면판중 적어도 하나의 상기 전극군이 형성된 면상의 가장자리에 PbO, ZnO, B2O3를 주 성분으로 하고 SiO2, BaO, SnO2를 추가로 포함하는 페이스트 상태의 봉착용 결정질 제1 프릿트(frit)를 인쇄법 또는 디스펜싱법으로 형성하되 모서리 부분을 라운드지게 형성하는 단계,상기 제1 프릿트를 가열하여 가소시키는 단계,'Ag, Pt, Ni, Cu, Mo, W 등의 전기전도성(또는 방사열 흡수성) 금속 파우더 나 RuO2와 금속원소(Ag 등)를 혼합하여 만든 저항성 파우더'를 'frit, vehicle 및 additives'와 섞어서 만든 페이스트(이하 "보조열선" 이라함)를 인쇄법 또는 디스펜싱법으로 상기 제1 프릿트상에 형성하되 제1 프릿트의 폭보다 좁거나 같은 폭을 가지며, 지그재그 형태로 모서리 부분을 라운드지게 형성하는 단계,상기 보조열선을 가열하여 가소시키는 단계,상기 보조열선상에 상기 제1 프릿트보다 가소온도가 낮은 PbO, B2O3, SiO2를 주 성분으로 하고 ZnO, BaO, SnO2, Fe2O3를 추가로 포함하는 페이스트 상태의 봉착용 유리질 제2 프릿트를 인쇄법 또는 디스펜싱법으로 형성하되 상기 보조열선의 폭보다 크게하거나 같게하여 보조열선을 모두 덮거나 보조열선과 동일하게 하고, 모서리 부분을 라운드지게 형성하는 단계,상기 제2 프릿트를 가열하여 가소시키는 단계,상기 전면판과 배면판을 진공챔버내에 장착하되 전극군이 형성된 면이 서로 마주보며 소정거리 이격되도록 장착한후 소정의 진공도를 유지하기 위해 펌핑하는 단계,상기 진공챔버내에 상기 전면판과 배면판의 둘레에 장착된 열 발생장치를 통해 상기 전면판 및 배면판에 형성된 제1 및 제2 프릿트, 보조열선을 가열하되 승온속도는 분당 3내지 5℃ 로 하여 최종 도달온도를 200내지 300℃로 가열하여 소성하는 단계,상기 열 발생장치에 의한 소성단계와 동시에 상기 보조열선에 전기를 가하여 주울열에 의해 제1 및 제2 프릿트, 보조열선을 추가로 가열하는 단계,상기 소성단계 및 추가가열 단계시 발생하는 불순물 개스에 의해 낮아진 진공도를 상기 소정의 진공도로 향상시키기 위해 펌핑하는 단계,상기 소정의 진공도가 달성된후 상기 열 발생장치 및 추가가열에 의한 열이 공급되는 상태에서 전면판과 배면판을 얼라인하여 접합시키는 단계,전면판과 배면판이 접합된후 상기 열 발생장치에 의한 가열정도와 추가 가열정도를 조절하여 분당 3내지 5℃ 의 속도로 온도를 내리는 단계를 포함하는, 평판표시소자 제작방법.
- 제 1 항 또는 제 9 항중 어느 한 항에 있어서, 전면판 또는 배면판상에 상기 제1 및 제2 프릿트와 보조열선을 형성시 전면판 또는 배면판의 적어도 일부분에 관통되어 형성된 봉지용 구멍의 둘레에도 제1 및 제2 프릿트와 보조열선을 동일한 방법 및 형태로 형성하는 단계를 추가로 포함하는, 평판표시소자 제작방법.
- 제 10 항에 있어서, 상기 가소단계 및 소성단계에 대한 열처리시 봉지용 구멍의 둘레에 형성된 제1 및 제2 프릿트와 보조열선에 대해서도 동일한 방법으로 열처리하는 것을 특징으로 하는, 평판표시소자 제작방법.
- 제 11항에 있어서, 상기 봉지용 구멍의 하단부 진공챔버내에 설치된 지지부에 의해 지지되는 밀봉재를 상기 봉지용 구멍 둘레에 형성된 제1 및 제2 프릿트와 보조열선에 접착시켜 봉지하는 것을 특징으로 하는, 평판표시소자 제작방법.
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