KR20010039214A - 마이크로미러 가동장치 - Google Patents

마이크로미러 가동장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20010039214A
KR20010039214A KR1019990047514A KR19990047514A KR20010039214A KR 20010039214 A KR20010039214 A KR 20010039214A KR 1019990047514 A KR1019990047514 A KR 1019990047514A KR 19990047514 A KR19990047514 A KR 19990047514A KR 20010039214 A KR20010039214 A KR 20010039214A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
micromirror
electrode
address
substrate
auxiliary
Prior art date
Application number
KR1019990047514A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100311032B1 (ko
Inventor
진대제
신형재
이상훈
Original Assignee
윤종용
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자 주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1019990047514A priority Critical patent/KR100311032B1/ko
Priority to DE60006631T priority patent/DE60006631T2/de
Priority to EP00309201A priority patent/EP1096289B1/en
Priority to JP2000321235A priority patent/JP3772081B2/ja
Priority to US09/698,138 priority patent/US6404534B1/en
Publication of KR20010039214A publication Critical patent/KR20010039214A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100311032B1 publication Critical patent/KR100311032B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S359/00—Optical: systems and elements
    • Y10S359/904—Micromirror

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Transforming Electric Information Into Light Information (AREA)

Abstract

기판과; 기판 상에 형성된 어드레스전극과; 기판에 대해 소정 간격 이격된 채로 마주하도록 배치된 마이크로미러;를 포함하여, 어드레스전극과 마이크로미러 사이의 정전인력에 의해 마이크로미러의 기울기를 조절할 수 있도록 된 마이크로미러 가동장치가 개시되어 있다.
이 개시된 마이크로미러 가동장치는, 기판 상에 돌출 형성되며, 상부가 마이크로미러의 주변에 위치되는 보조전극을 포함하여, 마이크로미러가 정전인력에 의해 일 방향으로 기울어진 경우에도 마이크로미러와 보조전극 사이의 간격이 좁게 유지되어, 복원시 보조전극의 정전력에 의해 복원될 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.

Description

마이크로미러 가동장치{Micro-mirror device for displaying image}
본 발명은 정전인력에 의해 마이크로미러를 왕복 회전시킴에 의해 입사광의 반사경로를 변환시킬 수 있도록 된 마이크로미러 가동장치에 관한 것으로서, 상세하게는 정전인력에 의해 기울어진 마이크로미러의 복원 구조를 개선한 마이크로미러 가동장치에 관한 것이다.
일반적인 마이크로미러 가동장치는 정전인력에 의해 회동 가능하도록 설치된 복수의 마이크로미러 각각의 회동각도 또는 회동방향에 따라 반사각을 달리하여 입사광을 반사시키는 장치이다. 이 마이크로미러 가동장치는 프로젝션 텔레비전의 화상표시장치 및, 스캐너, 복사기, 팩시밀리 등의 광주사장치에 널리 적용된다. 특히, 화상표시장치에 채용시, 도 1에 도시된 바와 같이, 마이크로미러 가동장치는 마이크로미러(1)가 소망하는 화소 수에 대응되는 수량만큼 이차원적으로 배열된다. 이와 같이, 각 화소에 대응되게 배열된 마이크로미러(1)를 영상신호에 따라 독립적으로 회동시켜 입사광의 반사각도를 결정함으로써 화상을 생성한다.
이와 같은, 마이크로미러 가동장치는 대한민국 특허공개 제98-6400호[공개일 : 1998년 3월 30일, 발명의 명칭 : 가동미러장치 및 그 제조방법, 출원인 : 삼성전자주식회사], 대한민국 특허출원 제98-12865호[출원일 1998년 4월 10일, 발명의 명칭 : 화상표시장치용 마이크로미러 디바이스, 출원인 : 삼성전자주식회사], 미합중국 특허 제5,331,454[특허일 : 1994년 7월 19일, 발명의 명칭 : LOW RESET VOLTAGE PROCESS FOR DMD, 출원인 : 텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드], 미합중국 특허 제5,535,047호[특허일 : 1996년 7월 9일, 발명의 명칭 : ACTIVE YOKE HIDDEN HINGE DIGITAL MICROMIRROR DEVICE, 출원인 : 텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드] 등에 개시된 바 있다.
이 개시된 마이크로미러 가동장치들을 개략적으로 살펴보면, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(11)과, 상기 기판(11) 상에 형성된 제1 및 제2어드레스전극(13)(14)과, 이 제1 및 제2어드레스전극(13)(14)에 대해 소정 간격 이격된 채로 마주하도록 배치된 마이크로미러(15)를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 마이크로미러(15)는 탄성 변형 가능한 힌지 또는 포스트에 의해 회동 가능하게 상기 기판 상에 설치되는 것으로, 탄성복원력에 의해 상기 마이크로미러(15)가 수평 상태를 유지하도록 한다. 이와 같은 힌지 또는 포스트의 구성은 앞서 설명된 발명에 잘 나타나 있으므로, 자세한 설명을 생략한다.
이와 같이, 구성된 마이크로미러 가동장치는 제1 및 제2어드레스전극 (13)(14) 각각과 상기 마이크로미러(15)에 전압을 인가시, 제1어드레스전극(13)과 마이크로미러(15) 사이의 전위차 및 제2어드레스전극(14)과 마이크로미러(15) 사이의 전위차에 의해 작용된 정전인력에 의해 상기 마이크로미러(15)가 힌지 및 포스트에 의한 수평상태를 유지하려는 강성을 이기고, 전위차가 큰 쪽으로 기울어지게 된다.
즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2어드레스전극(13)(14) 각각에 인가되는 전압 V1, V2와 마이크로미러(15)에 인가되는 전압 V3각각이 영(0)인 경우에는 마이크로미러(15)가 수평상태를 유지한다. 따라서, 제1 및 제2어드레스전극 (13)(14) 각각과 마이크로미러(15) 사이의 간격 r1및 r2는 서로 같다.
한편, 제1 및 제2어드레스전극(13)(14)과 마이크로미러(15) 각각에 인가되는 전압 V1, V2, V3각각의 크기가 V1＜ V2＜ V3순서를 갖는 경우는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제1어드레스전극(13)과 마이크로미러(15) 사이에 작용하는 정전력 F1이 상기 제2어드레스전극(14)과 마이크로미러(15) 사이에 작용하는 정전력 F2보다 커지게 된다. 이에 따라, 상기 마이크로미러(15)가 제1어드레스전극(13)이 위치된 기판 (11)쪽으로 회전하게 되어, 정전력 F1이 정전력 F2와 힌지(또는 포스트)의 복원력과의 합력과 평형을 이루는 위치(r1＜ r2를 만족하는 위치)까지 기울어지게 된다.
이어서, 마이크로미러 가동장치의 가동상태를 도 4에 나타낸 바와 같은 상태에서, 도 3에 나타낸 바와 같은 상태 또는 마이크로미러가 반대방향으로 경사진 상태로 변환하고자 하는 경우를 살펴보면 다음과 같다.
우선, 제1 및 제2어드레스전극(13)(14)과 상기 마이크로미러(15) 각각에 인가되는 전압 V1, V2및 V3값이 영(0)이 되도록 하는 경우는 수평을 유지하려는 복원력에 의해 마이크로미러(15)가 도 3에 도시된 바와 같은 상태로 바뀌게 된다. 이 경우, 힌지 또는 포스트의 크기가 수 마이크로미터(㎛) 오더(order)를 가지므로, 그 뒤틀림에 의한 강성이 매우 작아 복원력이 매우 약하다. 따라서, 마이크로미러(15)의 상태가 바뀌는데 소요되는 시간이 소망하는 마이크로미러 가동장치의 구동시간 보다 길어, 고속 구동이 불가능하다는 문제점이 있다.
다음으로, 제1 및 제2어드레스전극(13)(14)과 상기 마이크로미러(15) 각각에 인가되는 전압 V1, V2및 V3값이 V2＜ V1＜ V3순서가 되도록 하여 역방향 구동을 하는 경우는, 복원력 및 역방향으로 걸리는 정전력에 의해 마이크로미러(15)의 상태가 바뀌게 된다. 이 경우, 역방향으로 걸리는 정전력 F1과 F2를 비교하여 볼 때, V1과 V3사이의 전위차보다 V2와 V3사이의 전위차가 크다는 것만으로 정전력 F2가 정전력 F1보다 크다고 볼 수 없다. 이는 정전력 F1과 F2는 제1 및 제2어드레스전극(13)(14)과 마이크로미러(15) 사이의 간격 r1, r2의 제곱에 반비례하기 때문이다. 따라서, 복원력에 의해 간격 r1과 r2가 비슷해질 때까지는, 역 전압 인가에 의해 마이크로미러(15)의 상태를 바꾸는데 걸리는 소요시간을 줄이는 효과가 미약하다.
그러므로, 상기한 바와 같은 구성을 갖는 마이크로미러 가동장치는 정전인력에 의한 마이크로미러의 상태를 바꾸는데 많은 시간이 소요되어, 마이크로미러의 구동 속도를 올리는데 장애가 된다.
따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 전극 구조를 개선하여 마이크로미러의 상태 변화 즉, 최초 상태로의 복원이나 반대방향으로 기울어지도록 하는데 걸리는 소요시간을 단축시킬 수 있도록 마이크로미러 가동장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 화상표시장치용 마이크로미러 가동장치를 보인 개략적인 평면도.
도 2는 종래의 마이크로미러 가동장치를 보인 개략적인 사시도.
도 3 및 도 4 각각은 종래 마이크로미러 가동장치의 동작을 설명하기 위해 나타낸 개략적인 측면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 화상표시장치용 마이크로미러 가동장치의 개략적인 사시도.
도 6 및 도 7은 도 5에 도시된 마이크로미러 가동장치의 동작을 설명하기 위해 나타낸 개략적인 측면도.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 화상표시장치용 마이크로미러 가동장치를 보인 도면.
＜ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ＞
21, 121...기판 30, 130...어드레스전극
31, 131...제1어드레스전극 35, 135...제2어드레스전극
40, 140...보조전극 41, 141...제1보조전극
45, 145...제2보조전극 51, 151...마이크로미러
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판과; 상기 기판 상에 형성된 어드레스전극과; 상기 기판에 대해 소정 간격 이격된 채로 마주하도록 배치된 마이크로미러;를 포함하여, 상기 어드레스전극과 상기 마이크로미러 사이의 정전인력에 의해 상기 마이크로미러의 기울기를 조절할 수 있도록 된 마이크로미러 가동장치에 있어서, 상기 기판 상에 돌출 형성되며, 상부가 상기 마이크로미러의 주변에 위치되도록 된 보조전극을 구비하여, 상기 마이크로미러의 복원시 상기 보조전극의 정전력에 의해 복원력과 복원속도를 높일 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여, 본 발명에 다른 마이크로미러 가동장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로미러 가동장치는, 기판(21)과, 이 기판(21) 상에 형성된 전극과, 상기 기판(21)에 대해 소정 간격 이격된 채로 마주하도록 배치된 마이크로미러(51)를 포함하여 구성된다. 상기 마이크로미러(51)는 상기 전극과의 상호 정전인력에 의해 상기 기판(21) 상에서 회동 가능하게 설치된다. 상기 마이크로미러(51)는 힌지(미도시) 또는 포스트(미도시)에 의해 회동 가능하게 지지된다.
상기 전극은 상기 마이크로미러(51)에 마주하게 상기 기판(21) 상에 배치된 복수의 어드레스전극(30)과, 상기 어드레스전극(30) 주변의 기판(21) 상에 상기 마이크로미러(51) 쪽으로 돌출 형성되도록 배치된 보조전극(40)을 포함하여 구성된다.
상기 어드레스전극(30)은 상호 소정 간격 이격되게 상기 기판(21) 상에 형성되며, 독립적으로 전원이 인가되는 제1 및 제2어드레스전극(31)(35)을 포함한다.
상기 보조전극(40)은 상기 제1 및 제2어드레스전극(31)(35) 각각의 주변에 마련되는 것으로, 그 단부가 상기 마이크로미러(51)의 외측으로 돌출 형성되며 독립적으로 전원이 인가되는 제1 및 제2보조전극(41)(45)을 포함한다. 여기서, 상기 제1어드레스전극(31)과 상기 제1보조전극(41)에는 각각 독립적으로 전원이 인가되거나 동시에 전원이 인가될 수 있다. 또한, 상기 제2어드레스전극(35)과 상기 제2보조전극(45)에도 마찬가지이다. 또한, 상기 제1 및 제2보조전극(41)(45) 각각은 상기 제1 및 제2어드레스전극(31)(35) 각각의 외측에 수직방향으로 형성된 판 형상의 구조를 가진다. 이 경우, 상기 제1 및 제2보조전극(41)(45) 각각과 상기 마이크로미러(51) 사이의 간격이 좁고, 마주하는 부분이 넓어, 제1 및 제2보조전극(41)(45)과 마이크로미러(51) 사이의 정전인력을 크게 할 수 있다.
상기한 바와 같이 상기 제1 및 제2보조전극(41)(45)을 상기 마이크로미러(51) 외측으로 돌출 형성한 것은 상기 마이크로미러(51)가 일 방향 예컨대 제1보조전극(41) 쪽으로 기울어진 경우에도 복원하고자 하는 방향의 보조전극 즉, 제2보조전극(45)과 마이크로미러(51) 사이의 간격을 좁게 유지하도록 하기 위함이다. 따라서, 복원하고자 하는 경우 복원력뿐만 아니라 제2보조전극(45)과 마이크로미러(51) 사이의 정전인력에 의해 복원 속도가 향상되도록 한다. 이 경우, 상기 제2어드레스전극(45)에도 전원을 인가함으로써, 제2어드레스전극(45)과 마이크로미러(51) 사이의 정전인력에 의해 복원 속도를 더욱 향상시킬 수 있다.
도 6 및 도 7을 참조하여, 상기한 바와 같이 구성된 마이크로미러 가동장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
도 6은 마이크로미러(51)가 수평상태를 유지하는 경우를 나타낸 것으로, 제1 및 제2어드레스전극(31)(35) 각각에 인가되는 전압 V11, V21과, 제1 및 제2보조전극(41)(45) 각각에 인가되는 전압 V12, V22및, 마이크로미러(51)에 인가되는 전압 V4각각이 영(0)으로, 힌지 또는 포스트의 강성에 의해 마이크로미러(51)가 수평상태를 유지한다. 따라서, 제1 및 제2어드레스전극(31)(35) 각각과 마이크로미러(51) 사이의 간격 r11및 r21은 서로 같다. 그리고, 상기 제1 및 제2보조전극(41)(45) 각각과 마이크로미러(51) 사이의 간격 r12및 r22는 서로 같다. 여기서, 상기한 간격 r12및 r22는 간격 r11및 r21에 비하여 매우 작은 값으로, 상기 마이크로미러(51)가 기울어지는 경우에도, 평형상태에서의 간격 r11및 r21에 비하여 짧은 간격을 유지한다.
한편, 제1 및 제2어드레스전극(31)(35)과 마이크로미러(51) 각각에 인가되는 전압 V11, V21, V4각각의 크기가 V11＜ V21＜ V4순서를 갖는 경우는 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제1어드레스전극(31)과 마이크로미러(51) 사이에 작용하는 정전력 F11이 상기 제2어드레스전극(35)과 마이크로미러(51) 사이에 작용하는 정전력 F21보다 커지게 된다. 이에 따라, 상기 마이크로미러(51)가 제1어드레스전극(31)이 위치된 기판 (21)쪽으로 회전하게 되어, 정전력 F11이 정전력 F21과 복원력과의 합력과 평형을 이루는 위치(r11＜ r21을 만족하는 위치)까지 기울어지게 된다. 여기서, 상기 제1 및 제2보조전극(41)(45) 각각에 인가되는 전압 V12, V22의 크기 및 마이크로미러(51)에 인가되는 전압 V4의 크기가 V12＜ V22＜ V4의 순서를 갖도록 전압을 인가할 수도 있다. 이와 같이, 전압 V12과 V22를 인가하는 경우에 있어서, 상기 전압 V12과 V22각각은 상기 제1 및 제2어드레스전극(31)(35) 각각과 동일한 전압을 인가할 수 있다. 이 경우, 상기 제1어드레스전극(31)과 상기 제1보조전극(41) 그리고, 상기 제2어드레스전극(35)과 상기 제2보조전극(45)는 일체로 구성할 수 있다.
또한, 제1 및 제2어드레스전극(31)(35)과 마이크로미러(51) 각각에 인가되는 전압 V11, V21, V4각각의 크기가 V11＞ V21＞ V4순서를 갖도록 하는 경우에도 도 7에 도시된 바와 같은 결과를 얻을 수 있다.
이어서, 마이크로미러 가동장치의 가동상태를 도 7에 나타낸 바와 같은 상태에서, 도 6에 나타낸 바와 같은 상태 또는 마이크로미러(51)가 반대방향으로 경사진 상태로 변환하고자 하는 경우를 살펴보면 다음과 같다.
제1 및 제2보조전극(41)(45)과 상기 마이크로미러(51) 각각에 인가되는 전압 V12, V22및 V4값이 V22＜ V12＜ V4순서가 되도록 하여 역방향 구동을 한다. 이 경우, 마이크로미러(51)를 지지하는 힌지 또는 포스트의 복원력 및 역방향으로 걸리는 정전력에 의해 마이크로미러(51)의 상태가 바뀌게 된다. 이 경우, 제1 및 제2보조전극(41)(45)과 마이크로미러(51) 사이의 간격 r12, r22가 매우 짧고, V12와 V4사이의 전위차보다 V22와 V4사이의 전위차가 크므로, 정전력 F22가 정전력 F12보다 크다. 이와 같은 제1 및 제2보조전극(41)(45)과 마이크로미러(51) 사이의 정전인력에 의하여 마이크로미러(51)의 상태를 바꾸는데 걸리는 소요시간을 줄일 수 있다.
또한, 마이크로미러(51)의 기울기를 바꾸고자하는 경우에 있어서, 상기 제1 및 제2어드레스전극(31)(35) 각각에 소망하는 전원 즉, 제1 및 제2어드레스전극(31)(35) 각각에 인가되는 전압 V11, V21값이 V21＜ V11＜ V4순서가 되도록 하여 역방향 구동을 한다. 이 경우, 제1 및 제2보조전극(41)(45)과 마이크로미러(51) 사이의 정전인력에 상기 제1 및 제2어드레스전극(31)(35)와 마이크로미러(51) 사이의 정전인력에 가세함으로써 마이크로미러(51)의 상태를 바꾸는데 소요되는 시간을 더욱 단축 할 수 있다. 여기서, 상기 제1어드레스전극(31)과 상기 제1보조전극(41) 각각에 인가되는 전원이 같도록 하고, 상기 제2어드레스전극(35)과 상기 제2보조전극(45) 각각에 인가되는 전원이 같도록 할 수 있다.
또한, 상기 마이크로미러(51)의 구동 및 복원시, 제1 및 제2보조전극(41)(45) 및 상기 제1 및 제2어드레스전극(31)(35)에 전압이 순차적으로 인가되도록 하는 것도 가능하다.
도 8를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마이크로미러 가동장치는 기판(121), 이 기판(121) 상에 형성된 형성된 전극, 상기 기판(121) 상에 소정 높이 이격된 채로 위치되도록 힌지 또는 포스트에 의해 지지되는 마이크로미러(151)를 포함하여 구성된다. 상기 전극은 상기 기판(121) 상에 상호 소정 간격 이격되게 배치된 어드레스전극(130)과, 상기 어드레스전극(130) 주변에 상기 마이크로미러(151) 쪽으로 돌출 되도록 배치된 보조전극(140)을 포함한다. 여기서, 상기 어드레스전극(130)은 상호 독립적으로 구동되며, 상호 소정 간격 이격되게 배치된 제1 및 제2어드레스전극(131)(135)을 포함한다. 또한, 상기 보조전극(140)은 상기 제1 및 제2어드레스전극(131)(135) 각각의 주변에 배치되어, 기울어진 마이크로미러(151)를 정전인력에 의해 복원 속도를 향상시키는 제1 및 제2보조전극(131)(135)을 포함한다. 여기서, 기판(121), 제1 및 제2어드레스전극(131)(135) 및, 마이크로미러(151)는 도 5 내지 도 7을 참조하여 설명된 동일 부재명의 부재들과 실질적으로 동일 내지 유사하므로 그 자세한 설명을 생략한다.
한편, 본 실시예는 상기 제1 및 제2보조전극(141)(145)이 도시된 바와 같은 원기둥 형상 또는 다각기둥형상을 가지는 점에 있어서, 앞서 설명된 일 실시예에 따른 마이크로미러 가동장치와 구별된다. 이와 같이, 제1 및 제2보조전극(141)(145)을 형성하는 경우, 상기 제1 및 제2보조전극(141)(145)이 차지하는 면적이 적어 입사광의 대부분이 마이크로미러(151)를 향하므로, 광이용 효율을 크게 저감시킴 없이, 정전인력을 보강할 수 있다.
상기한 바와 같이, 구성된 마이크로미러 가동장치는 어드레스전극 주변에 마이크로미러 쪽으로 돌출된 보조전극을 구비함으로써, 기울어진 마이크로미러의 복원시 보조전극과 마이크로미러 사이의 정전인력에 의해 복원 속도를 향상시킬 수 있어서, 고속응답속도를 요구하는 화상표시장치에 널리 이용될 수 있다.

Claims (7)

  1. 기판과; 상기 기판 상에 형성된 어드레스전극과; 상기 기판에 대해 소정 간격 이격된 채로 마주하도록 배치된 마이크로미러;를 포함하여, 상기 어드레스전극과 상기 마이크로미러 사이의 정전인력에 의해 상기 마이크로미러의 기울기를 조절할 수 있도록 된 마이크로미러 가동장치에 있어서,
    상기 기판 상에 돌출 형성되며, 상부가 상기 마이크로미러의 주변에 위치되도록 된 보조전극을 구비하여, 상기 마이크로미러의 복원시 상기 보조전극의 정전력에 의해 복원력과 복원속도를 높일 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 마이크로미러 가동장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 어드레스전극은, 상호 소정 간격 이격되게 상기 기판 상에 형성된 제1 및 제2어드레스전극을 포함하고,
    상기 보조전극은, 상기 제1 및 제2어드레스전극 각각의 주변에 마련되며, 상기 마이크로미러의 외측으로 돌출 형성된 제1 및 제2보조전극을 포함하여,
    상기 제1어드레스전극과 상기 마이크로미러 사이의 정전인력에 의해 상기 마이크로미러가 기울어진 후, 복원하고자 하는 경우 상기 제2보조전극과 상기 마이크로미러 사이의 정전인력에 의해 복원속도를 높일 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 마이크로미러 가동장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 및 제2보조전극 각각은,
    수직으로 세워진 판 형상, 원기둥 형상 및 다각 기둥형상 중에서 선택된 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 가동장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 마이크로미러의 상태를 바꾸고자 하는 경우,
    상기 제1어드레스전극과 상기 제1보조전극에 동일 전압이 인가되도록 된 것을 특징으로 하는 마이크로미러 가동장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1어드레스전극과 상기 제1보조전극은 일체로 된 것을 특징으로 하는 마이크로미러 가동장치.
  6. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마이크로미러의 상태를 바꾸고자 하는 경우,
    상기 제2어드레스전극과 상기 제2보조전극에 동일 전압이 인가되도록 된 것을 특징으로 하는 마이크로미러 가동장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제2어드레스전극과 상기 제2보조전극은 일체로 된 것을 특징으로 하는 마이크로미러 가동장치.
KR1019990047514A 1999-10-29 1999-10-29 마이크로미러 가동장치 KR100311032B1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990047514A KR100311032B1 (ko) 1999-10-29 1999-10-29 마이크로미러 가동장치
DE60006631T DE60006631T2 (de) 1999-10-29 2000-10-19 Mikrospiegelvorrichtung
EP00309201A EP1096289B1 (en) 1999-10-29 2000-10-19 Micro-mirror device
JP2000321235A JP3772081B2 (ja) 1999-10-29 2000-10-20 マイクロミラー装置
US09/698,138 US6404534B1 (en) 1999-10-29 2000-10-30 Micro-mirror device and driving method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019990047514A KR100311032B1 (ko) 1999-10-29 1999-10-29 마이크로미러 가동장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010039214A true KR20010039214A (ko) 2001-05-15
KR100311032B1 KR100311032B1 (ko) 2001-11-02

Family

ID=19617649

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990047514A KR100311032B1 (ko) 1999-10-29 1999-10-29 마이크로미러 가동장치

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6404534B1 (ko)
EP (1) EP1096289B1 (ko)
JP (1) JP3772081B2 (ko)
KR (1) KR100311032B1 (ko)
DE (1) DE60006631T2 (ko)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6969635B2 (en) * 2000-12-07 2005-11-29 Reflectivity, Inc. Methods for depositing, releasing and packaging micro-electromechanical devices on wafer substrates
KR100708077B1 (ko) * 2000-05-01 2007-04-16 삼성전자주식회사 화상표시장치용 마이크로미러 디바이스
US6605796B2 (en) * 2000-05-25 2003-08-12 Westar Photonics Laser beam shaping device and apparatus for material machining
US7018052B2 (en) * 2000-08-30 2006-03-28 Reflectivity, Inc Projection TV with improved micromirror array
US6633426B2 (en) * 2001-05-10 2003-10-14 Analog Devices, Inc. Optical-electrical MEMS devices and method
US7023606B2 (en) * 2001-08-03 2006-04-04 Reflectivity, Inc Micromirror array for projection TV
JP4036643B2 (ja) * 2001-12-21 2008-01-23 オリンパス株式会社 光偏向器及び光偏向器アレイ
SE0200787D0 (sv) * 2002-03-15 2002-03-15 Micronic Laser Systems Ab Improved addressing method
US20030202264A1 (en) * 2002-04-30 2003-10-30 Weber Timothy L. Micro-mirror device
US6972882B2 (en) * 2002-04-30 2005-12-06 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Micro-mirror device with light angle amplification
US6954297B2 (en) * 2002-04-30 2005-10-11 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Micro-mirror device including dielectrophoretic liquid
US7023603B2 (en) * 2002-04-30 2006-04-04 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Micro-mirror device including dielectrophoretic microemulsion
US7042622B2 (en) * 2003-10-30 2006-05-09 Reflectivity, Inc Micromirror and post arrangements on substrates
US6844953B2 (en) * 2003-03-12 2005-01-18 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Micro-mirror device including dielectrophoretic liquid
US7095545B2 (en) * 2004-04-02 2006-08-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Microelectromechanical device with reset electrode
JP4492952B2 (ja) * 2004-12-03 2010-06-30 株式会社リコー 光偏向装置、光偏向アレー、光学システム、画像投影表示装置および画像形成装置
JP4534952B2 (ja) * 2005-10-25 2010-09-01 パナソニック電工株式会社 チルトミラー素子

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4248504A (en) * 1978-12-08 1981-02-03 Itek Corporation Piezoelectric wavefront modulator
US4280756A (en) * 1979-01-02 1981-07-28 Itek Corporation Piezoelectric bi-morph mirror actuator
US5096279A (en) * 1984-08-31 1992-03-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
DE4224600A1 (de) * 1992-07-23 1994-01-27 Somatel Sondermaschinenbau Tel Elektrostatische Positionierungseinrichtung
US5444566A (en) * 1994-03-07 1995-08-22 Texas Instruments Incorporated Optimized electronic operation of digital micromirror devices
US5757536A (en) * 1995-08-30 1998-05-26 Sandia Corporation Electrically-programmable diffraction grating
DE69626923T2 (de) * 1995-10-18 2003-12-04 Texas Instruments Inc Verbesserung für räumliche Lichtmodulatoren
US5903383A (en) * 1997-05-19 1999-05-11 The Charles Stark Draper Laboratory Inc. Electrostatic memory micromirror display system
US6123985A (en) * 1998-10-28 2000-09-26 Solus Micro Technologies, Inc. Method of fabricating a membrane-actuated charge controlled mirror (CCM)

Also Published As

Publication number Publication date
DE60006631D1 (de) 2003-12-24
JP2001174722A (ja) 2001-06-29
JP3772081B2 (ja) 2006-05-10
EP1096289A3 (en) 2001-11-14
EP1096289B1 (en) 2003-11-19
EP1096289A2 (en) 2001-05-02
US6404534B1 (en) 2002-06-11
KR100311032B1 (ko) 2001-11-02
DE60006631T2 (de) 2004-09-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100311032B1 (ko) 마이크로미러 가동장치
US5739941A (en) Non-linear hinge for micro-mechanical device
JP3130297B2 (ja) 画像表示装置用マイクロミラーデバイス
US5629794A (en) Spatial light modulator having an analog beam for steering light
US5661591A (en) Optical switch having an analog beam for steering light
US4662746A (en) Spatial light modulator and method
KR0140756B1 (ko) 공간 광 변조기 및 변조 방법
EP0665458B1 (en) DMD architecture to improve horizontal resolution
US7391551B2 (en) Method for driving light deflector, light deflector, light deflection array, image forming device, and image projection display apparatus
EP0695959A1 (en) Direct view display based on a micromechanical modulator
EP0877272A1 (en) Improvements in or relating to spatial light modulators
US20070285757A1 (en) Yokeless Hidden Hinge Digital Micromirror Device
GB2372832A (en) Micromirror device and projector
US20020005979A1 (en) Micromirror structures for orthogonal illumination
KR100263891B1 (ko) 가동미러장치
JP2007279741A (ja) 高解像度スキャニングディスプレイシステム
WO2008137111A1 (en) Mirror device with an anti-stiction layer
EP1706774B1 (en) Micro-mirrors with flexure springs
US7375873B2 (en) Method of repairing micromirrors in spatial light modulators
US7751114B2 (en) System and apparatus for repairing micromirrors in spatial light modulators
US6804038B1 (en) Bipolar operation of light-modulating array
KR100708086B1 (ko) 마이크로미러 디바이스
KR100223191B1 (ko) 미세거울표시소자 및 그 제조방법
KR20050023335A (ko) 광-변조 어레이의 양극성 동작

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20100830

Year of fee payment: 10

LAPS Lapse due to unpaid annual fee