KR20010035798A - 가스의 이온화에 의한 배출로 진공화하는 방법 - Google Patents
가스의 이온화에 의한 배출로 진공화하는 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20010035798A KR20010035798A KR1019990042538A KR19990042538A KR20010035798A KR 20010035798 A KR20010035798 A KR 20010035798A KR 1019990042538 A KR1019990042538 A KR 1019990042538A KR 19990042538 A KR19990042538 A KR 19990042538A KR 20010035798 A KR20010035798 A KR 20010035798A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- gas
- chamber
- momentum
- vacuum pump
- discharging
- Prior art date
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
- F04D17/08—Centrifugal pumps
- F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
- F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Abstract
Description
Claims (3)
- 가스를 진공챔버 밖으로 배출시키는 방법에 있어서, 전극판으로 방전시켜 전기장 또는 페닝방전을 위한 자기장이 부여된 전자기장에서 이온화된 가스에 운동량을 전달하여 챔버의 가스배출구 방향으로 가스를 배출시키는 것을 특징으로 한 가스의 이온화에 의한 배출로 진공화하는 방법.
- 제 1항에 있어서, 이온화된 가스에 운동량을 전달하여 챔버(12)의 가스배출구(14)방향으로 배출시킬 수 있도록 전극판(13A, 13B)을 경사지게 설치하는 것을 특징으로 하는 가스의 이온화에 의한 배출로 진공화하는 방법.
- 제 1항에 있어서, 이온화된 가스에 운동량을 전달하여 챔버(22)의 가스배출구(24)방향으로 배출시킬 수 있도록 챔버내에 그리드(27)를 설치하여 전기장을 인가함으로써 가속전압을 부여하는 것을 특징으로 하는 가스의 이온화에 의한 배출로 진공화하는 방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019990042538A KR100318898B1 (ko) | 1999-10-02 | 1999-10-02 | 가스의 이온화에 의한 배출로 진공화하는 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019990042538A KR100318898B1 (ko) | 1999-10-02 | 1999-10-02 | 가스의 이온화에 의한 배출로 진공화하는 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20010035798A true KR20010035798A (ko) | 2001-05-07 |
KR100318898B1 KR100318898B1 (ko) | 2001-12-29 |
Family
ID=19613800
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019990042538A KR100318898B1 (ko) | 1999-10-02 | 1999-10-02 | 가스의 이온화에 의한 배출로 진공화하는 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100318898B1 (ko) |
-
1999
- 1999-10-02 KR KR1019990042538A patent/KR100318898B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100318898B1 (ko) | 2001-12-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1191741C (zh) | 等离子体源及使用该等离子体源的离子注入装置 | |
KR890004880B1 (ko) | 스퍼터링 방법 및 장치 | |
CN105655217B (zh) | 一种射频偏压供电的磁控溅射金属铝离子源 | |
CN1606517A (zh) | 等离子加速器装置 | |
US6184625B1 (en) | Ion beam processing apparatus for processing work piece with ion beam being neutralized uniformly | |
KR100904313B1 (ko) | 이온 빔에 대한 오염 입자 제거 시스템 및 방법 | |
KR100216478B1 (ko) | 이온드래그 진공펌프 | |
JPS63184333A (ja) | プラズマ処理方法および装置 | |
EP1099235A1 (en) | Ion source | |
JP2004508668A5 (ko) | ||
RU2010127452A (ru) | Способ генерации тормозного излучения с поимпульсным переключением энергии и источник излучения для его осуществления | |
KR100318898B1 (ko) | 가스의 이온화에 의한 배출로 진공화하는 방법 | |
US3400882A (en) | Ion pump | |
JP2011003425A (ja) | イオンポンプ | |
JPH06310297A (ja) | 低エネルギー中性粒子線発生方法及び装置 | |
JP2020053125A (ja) | 真空排気装置 | |
CN219861543U (zh) | 一种磁控溅射系统 | |
CN220079174U (zh) | 一种磁控溅射系统 | |
JPH0492353A (ja) | 高真空装置及び該高真空装置を用いた真空ポンプ装置 | |
US5240381A (en) | Exhaust apparatus and vacuum pumping unit including the exhaust apparatus | |
SU1271134A1 (ru) | Источник ионов дл обработки подложек в вакууме | |
JP2738326B2 (ja) | イオン源及びイオン生成方法 | |
CN117364045A (zh) | Pvd设备中的磁性模组 | |
JP2004362936A (ja) | 管内ガスの放電防止構造及びその構造を備えるガスイオン源 | |
JP2005290442A (ja) | Ecrスパッタリング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121212 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131015 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140924 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151125 Year of fee payment: 15 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161201 Year of fee payment: 16 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171121 Year of fee payment: 17 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181128 Year of fee payment: 18 |