KR20010022446A - 저중량 디스크 드라이브 서스펜션 - Google Patents

저중량 디스크 드라이브 서스펜션 Download PDF

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KR20010022446A
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Abstract

서스펜션(22, 102, 190)은 디스크 드라이브(10)에서 슬라이더 어셈블리(20, 204)를 지지한다. 서스펜션(22, 102, 190)은 길이방향 축(48, 114, 210), 경질의 트랙 액세스 아암(24, 204)에 설치하기 위한 인접 설치 섹션(40, 106), 슬라이더 어셈블리(20, 204)를 지지하기 위한 말단 설치 섹션(42, 108), 및 인접 설치 섹션(40, 106)으로부터 말단 설치 섹션(42, 108)으로 연장하는 측면으로 간격진 제 1 및 제 2 서스펜션 빔(44, 46, 110, 112, 206, 208)을 포함한다. 제 1 및 제 2 서스펜션 빔(44, 46, 110, 112, 206, 208)은 길이방향 축(48, 114, 210)에 관련하여 내측 및 외측 에지(66, 68, 124, 126)를 가지며 내측 에지(66, 124)로부터 외측 에지(68, 126)로 편평하다. 제 1 프리로드 벤드(80, 113, 114)는 길이방향 축(48, 114, 210)에 대해 횡단하는 제 1 및 제 2 서스펜션 빔(44, 46, 110, 112, 206, 208)에 형성된다.

Description

저중량 디스크 드라이브 서스펜션 {LOW MASS DISC DRIVE SUSPENSION}
디스크 드라이브 데이타 저장 장치는 다수의 원형 동심원 데이타 트랙에 디지탈 정보를 저장하기 위한 자화 매체가 코팅된 단단한 디스크를 사용한다. 상기 디스크는 디스크가 회전되게 하고 디스크의 표면이 각각의 유체 역학적(예를들어, 공기) 베어링 디스크 헤드 슬라이더 아래로 통과하도록 하는 스핀들 모터상에 설치된다. 슬라이더는 디스크 표면에 정보를 기록하고 상기 표면으로부터 정보를 판독하는 트랜스듀서를 가진다. 각각의 슬라이더는 트랙 액세스 아암 및 서스펜션에 의해 지지된다. 트랙 액세스 아암은 전자 회로의 제어하에 디스크의 표면을 가로질러 트랙으로부터 트랙으로 슬라이더를 이동시킨다.
서스펜션은 트랙 액세스 아암을 슬라이더에 접속시킨다. 서스펜션은 슬라이더가 디스크 표면쪽으로 가해지도록 하는 0.5 gmf 내지 4.0 gmf 범위내의 프리로드(preload) 힘을 제공한다. 프리로드 힘은 트랙 액세스 아암, 서스펜션 및 슬라이더가 디스크 드라이브에 로딩될때 탄성적으로 변형되는 서스펜션의 프리로드 벤드(bend)를 형성함으로써 생성된다. 프리로드 벤드는 트랙 액세스 아암에 인접한 서스펜션의 인접 단부 근처에 배치된다. 서스펜션은 슬라이더에 대해 탄성적으로 변형되는 프리로드 벤드로부터 프리로드 힘을 전달하는 비교적 경질의 부분을 가진다. 상기 경질의 부분은 일반적으로 서스펜션의 길이 방향 에지를 따라 경질의 웨브(web) 또는 플랜지를 형성함으로써 만들어진다. 선택적으로, 경질의 부분은 서스펜션 재료상에 회로층을 증착함으로써 형성될수있다. 서스펜션의 경질 부분은 통상적으로 "로드 빔"이라 불린다.
부가적으로, 서스펜션은 슬라이더가 디스크 토포그래피를 따르도록 슬라이더 피치 및 롤(roll) 방향으로 가요적이다. 이런 피치 및 롤 가요성은 짐벌(gimbal) 구조로부터 얻어지고, 상기 짐벌 구조는 통상적으로 서스펜션의 로드 빔 부분에 용접된 분리된 부분이다. 분리된 짐벌은 일반적으로 피치 및 롤 컴플라이언스(compliance)를 증가시키기 위하여 로드 빔보다 얇은 재료로 형성된다. 선택적으로, 짐벌은 부분적으로 에칭된 재료로 형성되거나 로드 빔 재료 그 자체로 형성된다. 부분적으로 에칭된 짐벌은 에칭된 두께가 통상적인 범위 이상으로 가변될때 피치 및 롤 스티프니스의 폭넓은 변화에 영향을 받는다. 로드 빔 재료로 형성된 짐벌은 단지 작은 프리로드 힘을 지원할수있는 얇은 원료로 만들어질 서스펜션을 제한한다.
슬라이더는 디스크 표면과 면하는 공기 베어링 표면을 포함한다. 디스크가 회전할때, 공기 베어링 표면은 평형 위치로 조절되고 회전되고, 베어링 압력 중심은 공기 베어링 표면상에 형성된다. 압력 중심의 바람직한 위치는 공기 베어링 로드 지점으로서 형성된다. 짐벌에 의해 제공된 피치 및 롤 모멘트의 변화는 압력 중심 위치의 변화가 목표된 공기 베어링 로드 지점으로부터 멀어지게 한다.
서스펜션이 슬라이더에 프리로드 힘을 인가하는 지점은 일반적으로 공기 베어링 로드 지점 바로 위쪽이다. 프리로드 힘은 일반적으로 슬라이더의 후면상에 있는 딤플(dimple) 또는 로드를 통하여 슬라이더에 제공된다. 선택적으로, 프리로드 힘은 짐벌 구조를 통하여 인가된다. 이런 프리로드 제공 지점은 서스펜션 로드 지점으로서 정의된다.
마이크로작동기는 현재 오프 트랙 방향으로 슬라이더 및 트랜스듀서의 위치를 조절하기 위하여 개발중이다. 프리로드 힘을 슬라이더에 인가하는 상기 방법중 하나는 서스펜션 로드 지점에서 슬라이더의 오프 트랙 움직임을 제한하는 것이다. 프리로드 힘이 딤플을 통하여 슬라이더에 인가될때, 마이크로작동기는 오프 트랙 방향으로 슬라이더를 이동시키기 위하여 딤플 및 슬라이더 표면 사이의 마찰력을 극복하여야 한다. 프리로드 힘이 짐벌을 통하여 슬라이더에 인가될때, 마이크로작동기는 오프 트랙 방향으로 슬라이더를 이동시키기 위하여 짐벌의 오프트랙 스티프니스를 극복하여야 한다.
마이크로작용에 제공된 개선된 서스펜션 구조는 바람직하다.
본 발명은 디스크 드라이브 데이타 저장 장치, 특히 한쌍의 측면으로 간격진 서스펜션(suspension) 빔에 의해 형성된 저중량 서스펜션에 관한 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 디스크 드라이브 데이타 저장 장치의 평면도.
도 2a는 도 1에 도시된 디스크 드라이브의 작동기 어셈블리 평면도.
도 2b는 작동기 어셈블리의 측면 평면도.
도 2c는 도 2a의 라인 2c-2c를 따라 취해진 단면도.
도 3a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 작동기 어셈블리의 평면도.
도 3b는 도 3a에 도시된 작동기 어셈블리의 측평면도.
도 4는 슬라이더 어셈블리의 전방 단부에 부착된 서스펜션을 가지는 작동기 어셈블리의 평면도.
도 5a 및 도 5b 도는 도 3a에 도시된 작동기 어셈블리에서 서스펜션의 제한된 엘리먼트 모델의 등가도.
도 6은 공기 베어링 로드 지점 대 프리로드 벤드 위치에서 네트 피치 토션(net pitch tortion)을 도시한 도.
도 7a는 제거된 프리로드 벤드를 가지는 도 2a에서 서스펜션의 제한된 엘리먼트 모델의 등가도.
도 7b는 도 7a에 도시된 모델의 "오프 트랙 보드(bode) 도".
도 8a는 서스펜션 빔 길이의 50%에 배치된 프리로드 벤드를 가지는 도 5a에 도시된 모델의 측평면도.
도 8b는 도 8a에 도시된 모델에 대한 오프 트랙 보드 도.
도 9a는 서스펜션 빔 길이의 35%에 배치된 프리로드 벤드를 가지는 도 5a에 도시된 모델의 측평면도.
도 9b는 도 9a에 도시된 모델의 오프 트랙 보드 도.
도 10a는 서스펜션 프리로드 벤드상에 압전기 스트립을 가지는 작동기 어셈블리의 평면도.
도 10b는 도 10a에 도시된 작동기 어셈블리의 측평면도.
본 발명의 서스펜션은 길이방향 축, 경질의 트랙 액세싱 아암에 설치하기 위한 인접 설치 섹션, 슬라이더 어셈블리를 지지하기 위한 말단의 설치 섹션, 및 인접 설치 섹션으로부터 말단의 설치 섹션으로 연장하는 측면으로 간격진 제 1 및 제 2 서스펜션 빔(beam)을 포함한다. 제 1 및 제 2 서스펜션 빔은 길이방향 축과 관련하여 내측 및 외측 에지를 가지며 내측 에지로부터 외측 에지로 편평하다. 제 1 프리로드 벤드는 길이방향 축에 대해 횡단하는 제 1 및 제 2 서스펜션 빔으로 형성된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 디스크 드라이브(10)의 평면도이다. 디스크 드라이브(10)는 베이스(12) 및 상부 커버(14)(상부 커버 14의 단면은 간략화를 위하여 제거된 상태이다)를 가지는 하우징을 포함한다. 디스크 드라이브(10)는 디스크 클램프(18)에 의해 스핀들 모터(도시되지 않음)상에 설치된 디스크 팩(16)을 더 포함한다. 디스크 팩(16)은 중심축에 대하여 동시에 회전하기 위하여 설치된 다수의 개별 디스크를 포함한다. 각각의 디스크 표면은 디스크 표면과 통신하기 위하여 디스크 드라이브(10)에 설치된 관련 디스크 헤드 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)를 가진다. 각각의 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)는 차례로 작동기 어셈블리(26)의 경질의 트랙 액세스 아암(24)에 의해 지지되는 서스펜션에 의해 지지된다.
도 1에 도시된 작동기 어셈블리는 회전 이동 코일 작동기로서 공지된 형태이고 28로 도시된 음성 코일 모터(VCM)을 포함한다. 음성 코일 모터(28)는 전자 회로(33)의 제어하에 목표된 데이타 트랙상에 슬라이더(20)를 배치하기 위하여 피봇 샤프트(30)에 대하여 부착된 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리를 가지는 작동기 어셈블리(26)를 회전시킨다. 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)는 디스크 내부 직경(ID)(38) 및 디스크 외부 직경(OD)(39) 사이 아치형 경로(32)를 따라 이동한다.
서스펜션(22)은 도 2a 및 도 2b에 상세히 도시된다. 도 2a는 작동기 어셈블리(26)의 말단 단부의 평면도이다. 도 2b는 작동기 어셈블리(26)의 말단 단부의 측평면도이다. 서스펜션(22)은 인접하여 설치 섹션(40)(점선으로 도시됨), 말단 설치 섹션(42), 한쌍의 측면으로 간격진 서스펜션 빔(44 및 46) 및 길이방향 축(48)을 가진다. 인접 설치 섹션(40)은 트랙 액세스 아암(24)에 의해 지지된다. 다수의 설치 기술은 트랙 액세스 아암(24)에 인접 설치 섹션(40)을 부착하기 위하여 사용될수있다.
서스펜션 빔(44 및 46)은 길이방향 축(48)을 따라 인접 설치 섹션(40)으로부터 말단의 설치 섹션(42)으로 연장한다. 서스펜션 빔(44 및 46)은 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)를 지지하기 위하여 각각 말단 설치 섹션(42)내 한쌍의 슬라이더 설치 패드(40)에서 끝난다. 광학 브릿지 구조(54)는 슬라이더 설치 패드(50 및 52) 사이를 연장하고 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)의 상부 표면에 관련하여 브릿지 구조(54)를 상승시킨 미리형성된 벤드(54a 및 54b)를 포함한다.
슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)를 나타내는 간단한 블록은 마이크로작동기 구조(58)와 비교하여 슬라이더 몸체(56)만을 또는 슬라이더 몸체(56)를 포함할 수 있다. 도 2a 및 도 2b에 도시된 실시예에서, 슬라이더 설치 패드(50 및 52)는 브릿지 구조(54) 아래 슬라이더 몸체(56)를 부유시키고 브릿지 구조(56)와 물리적으로 접촉하지 않는 마이크로작동기 구조(58)에 본딩된다. 이것은 서스펜션(22)으로부터 마찰 또는 다른 구조적 간섭없이 길이방향 축(48)에 대해 횡단하는 슬라이더 몸체(56)가 오프 트랙 방향(59)으로 자유롭게 이동하게 한다.
슬라이더 몸체(56)는 후면(56a), 베어링 표면(56b), 전방 표면(56c), 후방 표면(56d) 및 측면 표면(56e 및 56f)을 가진다. 다수의 마이크로작동기는 슬라이더 몸체(56)의 상부상 전자기 장치 처럼 본 발명에 사용될수있다. 본 발명의 서스펜션에 대하여 잘 적용된 다른 마이크로작동기 장치는 슬라이더(56)의 전방 표면(56a)상에 배치된 압전기 장치이다. 마이크로작동기 구조(48)는 측표면(56e 및 56f)를 따라 슬라이더 몸체(56)를 교번적으로 지지할 수 있다. 예를들어, 마이크로작동기 구조(58)는 측표면(56e 및 56f)를 따라 한 지점에 부착된 한쌍의 빔(60a 및 60b) 사이에 슬라이더 몸체(56)를 부유시킬수있다. 스라이더 지지 패드(50 및 52)는 각각 빔(60a 및 60b)의 상부 표면에 본딩된다. 빔(60a) 및 슬라이더 측표면(56e) 사이오ㅘ, 빔(60b) 및 슬라이더 측표면(56f) 사이에 배치된 좁은 빔 스프링은 슬라이더가 자유롭게 이동하도록 슬라이더를 지지한다.
슬라이더 몸체로부터 먼 한 지점에 서스펜션을 마이크로작동기에 부착하는 것은 슬라이더 몸체가 매우 작은 작동 힘을 사용하여 오프 트랙 방향으로 자유롭게 이동할수있게 한다. 도 2c는 보다 상세히 브릿지 구조(54) 및 슬라이더 몸체(56) 사이의 간격을 도시한 도 2a의 라인 2c-2c를 따라 취해진 도면이다. 다른 실시예에서, 마이크로작동기 구조가 없고, 슬라이더는 슬라이더 몸체(56)의 후면 표면(56a)에 직접 본딩된다.
도 2a 및 도 2b에 도시된 실시예에서, 빔(44 및 46)은 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)의 측면을 따라 연장하고, 슬라이더 설치 패드(50 및 52)에서 빔 부착부의 평균 길이방향 위치는 슬라이더 몸체(56)(도 2b에 도시됨)의 공기 베어링 로드 지점(61)에 대응한다. 디스크가 공기 베어링 표면(56b) 아래에서 회전할때, 슬라이더 몸체는 이동되고 평형 위치에 대해 회전하고 여기서 중앙 베어링 압력은 공기 베어링 표면상에서 형성된다. 압력 중심의 목표된 위치는 공기 베어링 로드 지점(61)으로서 형성된다. 슬라이더 설치 패드(50 및 52)은 공기 베어링 로드 지점(61)이 서스펜션 빔 부착 지점 사이에 직접 놓이도록 마이크로작동기 구조(58)에 부착된다. 그러나, 이런 실시예는 내부 직경 근처의 서스펜션 빔이 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20) 및 디스크 스핀들 허브(hub) 사이에 설치되어야 하기 때문에 다수의 잠재적인 기록 트랙이 내부 직경 근처에 액세스될수없는 단점을 가진다. 예를들어 만약 디스크상에서 인치당 10,000 트랙이 있고 서스펜션 빔(44 및 46)이 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)의 측면으로부터 약 0.010 인치 연장한다면, 대략 100 트랙이 디스크의 내부 반경 영역으로부터 손실된다.
서스펜션(22)은 프리로드 벤드, 로드 빔 및 짐벌 영역쪽으로 뚜렷하게 분리되지 않는다. 프리로딩 및 짐벌 굴곡 기능은 서스펜션 빔(44 및 46)으로부터 얻어진다. 서스펜션 빔(44 및 46)은 종래 기술의 통상적인 짐벌 받침대보다 길고, 이것은 유사한 피치 스티프니스(stiffness)를 유발한다. 서스펜션 빔(44 및 46)의 롤 스티프니스는 통상적인 짐벌 받침대보다 높다. 왜냐하면 상기 빔은 통상적인 짐벌 받침대보다 보다 멀리 배치되기 때문이다. 그러나 높은 롤 스티프니스는 슬라이더 몸체(56)의 후방 표면(56d)의 중심에 설치된 단일 기록 헤드를 가지는 공기 베어링 슬라이더와 호환될수있다. 기록 헤드가 후방 표면(56d)의 중심에 설치되면, 기록 헤드의 비행 높이는 롤 스티프니스에 비교적 둔감하다.
서스펜션(22)은 0.5 내지 2.0 밀의 두께를 가지는 스테인레스 스틸 또는 유사한 재료의 편평한 적층부로 만들어진다. 편평한 적층부 재료는 서스펜션 빔(44 및 46)을 형성하기 위하여 길이 방향으로 패턴화되고 화학적으로 에칭된다. 서스펜션(22)은 상부 표면(62) 및 하부 표면(64)을 가지며, 서스펜션 빔(44 및 46)은 길이방향 축(48)에 관련하여 내부 에지(66) 및 외부 에지(68)를 가진다. 서스펜션(22)은 빔(44 및 46)의 길이를 따라 견고한 웨브 또는 플랜지를 가지지 않는다. 오히려, 서스펜션 빔(44 및 46)은 실질적으로 내부 에지(66)로부터 외부 에지(68)로 실질적으로 편형하다.
서스펜션 빔(44 및 46)은 길이방향 축(48)을 따라 탭퍼되는 폭(W)을 가지며, 빔의 넓은 단부는 트랙 액세스 아암(24) 및 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)의 빔의 좁은 단부에 의해 지지된다. 폭(W)은 트랙 액세스 아암(24)에서의 최대 폭으로부터 슬라이더 어셈블리(20)에서의 최소 폭으로 바람직하게 선형적으로 좁아진다. 다른 실시예에서, 빔(44 및 46)은 트랙 액세스 아암(24)으로부터 슬라이더 어셈블리(20)으로 일정한 폭을 가진다.
프리로드 벤드(80)(도 2b에 도시된)는 길이방향 축(48)에 횡단하는 방향으로 서스펜션 빔(44 및 46)에 형성된다. 프리로드 벤드(80)는 트랙 액세스 아암(24), 서스펜션(22) 및 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)가 디스크 드라이브에 로딩될때 탄성적으로 변형된다(도 2b에 도시됨).
노치(82 및 84)는 길이방향 축(48)을 따라 프리로드 벤드(80)를 일정 위치에 있게 하는 빔의 약한 부분을 형성하기 위한 빔(44 및 46)의 내부 에지(66)를 따라 형성된다. 노치(82 및 84)는 내부 에지(66)에만, 외부 에지(68)에만 또는 양쪽 내부 에지(66) 및 외부 에지(68)를 따라 배치될수있다. 선택적으로 사용된 노치가 없을수있다. 종래 기술에서, 프리로드 벤드 위치는 통상적으로 벤드를 형성하기 위하여 사용된 도구에 의해 통상적으로 설정된다. 도구 장치의 변화는 예를들어, 약 +/- 0.06 mm의 프리로드 벤드 위치 변화를 유발한다. 노치(82 및 84)는 큰 플라스틱 변형이 목표된 벤드 위치 근처에서 발생할수있도록 프리로드 벤드 형성 공정 동안 인접 재료에 스트레스 레벨을 증가시킨다. 따라서, 프리로드 벤드를 형성하는 대부분의 플라스틱 스트레인은 도구의 변형에도 불구하고 한 장소에 집중된다. 이런 방식으로, 프리로드 벤드(80)의 배치가 종래 기술보다 정확하게 제어된다. 선택적으로, 도구 정확성은 유사한 레벨의 벤드 배치 정확성으로 줄일수있다.
도 2에 도시된 탭퍼된 서스펜션 빔을 사용하여, 빔은 비교적 단단한 구성요소에 서스펜션이 접속하는 경우 서스펜션의 단부 효과를 제외하고, 프리로드 벤드(80)의 탄성 변형에 응답하여 길이를 따라 거의 균일한 벤딩 스트레스 레벨을 가진다. 비교하여, 일정한 폭을 가지는 서스펜션 빔은 빔의 슬라이더 단부에서 작은 스트레스로 감소하는 빔의 트랙 액세스 아암 단부에서의 프리로드 벤드(80)의 탄성 변형력으로 인해 최대 스트레스를 가진다. 이런 최대 스트레스는 리소그래피 마스킹 및 화학 에칭 처리에 의해 설정된 빔 폭에 의해 결정된다. 탭퍼된 빔은 주어진 최대 벤딩 스트레스 레벨을 위하여 보다 작은 중량을 가지며 따라서 일정한 폭 빔과 비교된 바와같이 충격 로딩하에서 디스크 표면으로부터 잘 분리되지 않는다. 만약 서스펜션 빔이 공기 베어링 로드 지점에서의 한 지점으로 탭퍼되면, 빔은 주어진 벤딩 스트레스 레벨을 위하여 최소 중량을 가질것이다. 실질적으로 모든 서스펜션 재료는 특정화된 벤딩 스트레스 레벨에 놓여서, 추가의 중량 감소는 특정 레벨 이상의 벤딩 스트레스 레벨을 증가시키지 않고 이루어질수있다. 이것은 가능한 가장 작은 주파수 충격 저항을 유발한다.
서스펜션 빔(44 및 46)은 트랙 액세싱 아암(24) 및 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20) 사이에서 서로 실질적으로 접속되지 않는다. 그러나, 서스펜션(22)은 어셈블리동안 트랙 액세스 아암(24), 서스펜션(22) 및 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)의 정렬을 돕기 위한 구멍, 슬롯 또는 다른 지형을 제공하기 위하여 서스펜션 빔 사이로 연장하는 지형(72 및 74)(점선으로 도시됨) 같은 최소의 도구 세공 지형을 더 포함한다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 다른 실시예에 따라 어셈블리의 측면에 대향하는 바와같이, 서스펜션 빔이 슬라이더/마이크로작동기 구조(20)의 전방 단부에 부착되는 작동기 어셈블리(100)를 도시한다. 도 3a는 작동기 어셈블리(100)의 말단 단부의 평면도이고, 도 3b는 작동기 어셈블리(100)의 측면도이다. 동일 참조 번호는 도 1-2에 사용된 바와같은 동일 또는 유사한 엘리먼트에 사용된다. 작동기 어셈블리(100)는 트랙 액세스 아암(24), 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20) 및 서스펜션(102)를 포함한다.
서스펜션(102)은 인접 설치 섹션(106), 말단 설치 섹션(108), 측면으로 간격진 서스펜션 빔(110 및 112) 및 길이방향 축(114)을 포함한다. 서스펜션 빔(110 및 112)은 길이방향 축(114)에 횡단하여 형성된 프리로드 벤드(113)를 가진다. 말단 설치 섹션(108)은 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)의 상부 표면상에서 거리(115)에 걸쳐 연장하고 마이크로작동기 구조(58) 또는 슬라이더 몸체(56)에 본딩된다. 일실시예에서, 말단 설치 섹션(108)은 마이크로작동기 구조(58)의 메인 몸체(58a) 상부 표면에 본딩된다. 메인 몸체(58a)는 다수의 전기 단자(119)(점선으로 도시됨)를 가지며, 그 단자중 몇몇은 서스펜션(102)이 마이크로작동기에 대한 접지 평면으로서 작동하도록 서스펜션(102)에 전기적으로 결합될수있다. 나머지 단자들은 공지된 방식으로 전기 제어 와이어에 접속된다. 메인 몸체(58a)는 60a 및 56e 사이 및 60b 및 56f 사이 빔(60a 및 60b) 및 좁은 스프링을 통하여 슬라이더 몸체(56)를 지지한다.
서스펜션 빔(110 및 112)은 트랙 액세스 아암(24)의 말단 단부로부터 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)의 전방 단부로 측정된 효과적인 자유 길이(LF)를 가진다. 서스펜션(102)은 서스펜션 로드 지점(116)에서 탄성적으로 변형된 프리로드 벤드(113)로부터 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)으로 프리로드 힘을 전달한다. 서스펜션 로드 지점(116)은 서스펜션(102)이 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)(이 경우 어셈블리 20의 전방 단부)에 우선 접속된 길이방향 축(114)을 따른 지점으로서 형성된다.
공기 베어링 로드 지점(61)의 전방에 서스펜션 로드 지점(116)을 배치함으로써, 서스펜션 빔(110 및 112)은 서스펜션(102)의 롤 견고함을 감소시키고 디스크의 내부 반경 영역에 사용할수있는 데이타 트랙의 수를 증가시키도록 서로 밀접하게 배치될수있다. 이것은 결합된 프리로드 힘 및 서스펜션 로드 지점(116)에서 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)에 제공된 피치 모멘트를 유발한다. 피치 모멘트는 서스펜션 로드 지점(116) 및 공기 베어링 로드 지점(61) 사이 길이방향 거리(118) 곱하기 프리로드 힘으로서 정의된다. 서스펜션 로드 지점(116)에서 올바른 피치 모멘트는 바람직하게 공기 베어링 로드 지점(61)에서 실질적으로 영인 피치 모멘트를 유발한다.
올바른 피치 모멘트를 얻는 한가지 방법은 서스펜션 빔(110 및 112)의 길이를 따라 적당한 위치에 프리로드 벤드(113)을 배치하는 것이다. 노치(122)는 길이(120)를 따라 프리로드 벤드(113)의 위치를 정확하게 형성하기 위하여 서스펜션 빔(110 및 112)의 내부 에지(124) 및 외부 에지(126)를 따라 형성된다. 길이(120)를 따라 일정한 폭을 가지는 한세트의 서스펜션 빔에 대하여, 이런 위치는 트랙 액세스 아암(24) 및 서스펜션 로드 지점(116) 사이 거리에 바람직하게 약 1/3 에서 발견된다. 상기된 바와같이 거의 일정한 벤딩 스트레스를 가지는 한세트의 탭퍼된 서스펜션 빔에 대하여, 이런 위치는 트랙 액세스 아암(24) 및 서스펜션 로드 지점(116) 사이의 1/2 거리이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 작동기 어셈블리(140)의 측평면도이다. 작동기 어셈블리(140)는 트랙 액세스 아암(24), 서스펜션(142) 및 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(144)를 포함한다. 서스펜션(142)은 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(144)의 전방 표면에 본딩된다. 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리는 슬라이버 몸체(146)만 또는, 보다 바람직하게 마이크로작동기 구조(148)과 결합하여 슬라이더 몸체(146)를 포함할 수 있다. 마이크로작동기 구조(148)는 헤드 웨이퍼 제조동안 전방 슬라이더 표면(150)에 본딩된다. 마이크로작동기 구조(148)는 두꺼운 필름 방법에 의해 제조되고 적소에서 불에 영향을 받는다. 웨이퍼를 개별의 슬라이더 몸체로 다이싱한후, 전기 접속부는 마이크로작동기 전기 단자에 만들어진다. 그 다음 서스펜션(142)은 절연 에폭시 또는 유사한 부착물을 사용하여 서스펜션(142) 및 마이크로작동기 구조(148) 사이에 끼워진 전기 접속부를 가진 마이크로작동기 구조(148)의 전방 표면(152)에 부착된다.
전기 단자에 제공된 전기 신호는 마이크로작동기 구조(148)가 오프 트랙 방향으로 슬라이더 몸체(144)를 작동시키기 위하여 전방 슬라이더 표면(150)의 두개의 단부 및 서스펜션(142) 사이의 사대적 거리를 선택적으로 확장 및 수축시키도록 한다. 이것은 판독 및 기록 동작 동안 슬라이더 몸체(144)에 의해 수행된 판독 또는 기록 트랜스듀서의 미세 위치 조정을 허용한다. 마이크로작동기 구조(148)는 예를들어 리드 지르코네이트 티타네이트(PZT) 재료를 포함하는 압전기 재료로 형성될수있다. 그러나, 다른 형태의 마이크로작동기는 전자기, 정전기, 용량성, 유체, 및 열 마이크로작동기가 본 발명에 사용될수있다.
상기된 바와같이, 이전 도면에 도시된 서스펜션은 견고한 로드 빔 섹션을 가지지 않는다. 견고한 로드 빔 섹션은 프리로드하에서 서스펜션의 외부 평면으로의 편향을 제한함으로써 슬라이더/서스펜션 어셈블리의 동적 응답을 안정하기 위해 종래 기술의 서스펜션에 사용했었다. 견고한 로드 빔은 트랙 액세스 아암과 유사한 작은 길이로 프리로딩의 탄성 스트레인을 제한함으로써 실질적으로 평면의 서스펜션을 유지하기 위하여 사용된다. 본 발명의 서스펜션이 견고한 로드 빔 섹션을 가지지 않기 때문에, 서스펜션 빔은 트랙 액세스 아암으로부터 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리로 빔의 길이를 통한 프리로딩으로 인해 탄성 스트레인을 가진다. 그러므로 부가적인 공진 제어 측정은 바람직하다.
공기 베어링 로드 지점의 길이방향 위치에 배니싱 폭을 가지는 탭퍼된 빔을 구비한 서스펜션은 일정한 벤딩 스트레스 조건에 매우 밀접하게 접근한다. 이런 생각은 서스펜션이 비교적 단단한 구성요소에 부착되는 경우 서스펜션의 단부에 벤딩 스트레스 라이저(riser)로 인해 접근될수있다. 이것은 탄성 로딩하에서 빔의 전체 자유 길이를 따라 거의 일정한 곡률을 제공한다. 만약 서스펜션 빔이 큰 곡률 반경을 가진 프리로드 벤드를 가지면, 상기 프리로드 벤드는 프리로드된 서스펜션이 디스크를 가진 평행한 평면에서 거의 편평하도록 프로코딩하에서 리버스될 것이다. 이것은 서스펜션의 가장 좋은 오프 트랙 주파수 응답을 위한 이상적인 조건이다.
전체 서스펜션 빔이 균일하게 곡선을 형성하도록 프리로드 벤드를 형성하는 것이 어렵기 때문에, 도 2b, 3b 및 4에 도시된 바와같이 프리로드하에서 탄성적으로 스트레인된 재료의 "험프(hump)"를 형성하는 비교적 날카로운 벤드를 가지는 것이 보다 일반적이다. 이런 험프의 위치는 이상적인 평면에서 벗어난 스프링 재료의 평균적인 편차가 최소화되도록 벤드 형성 도구에 따라 변화될수있다.
도 5-9는 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 유사한 서스펜션에 대한 목표된 프리로드 벤드 위치를 결정하기 위하여 사용된 제한된 엘리먼트 모델링 결과를 도시한다. 슬라이더는 56 밀의 길이, 42 밀의 폭 및 2.0 mg의 중량으로 몰딩되고, 이것은 산업 표준 직경의 약 35 퍼센트이다. 서스펜션 빔(110 및 112)은 1.2 밀의 두께를 가지는 스테인레스 스틸 편평한 적층 재료로부터 에칭될때 모델링된다. 트랙 액세스 아암의 말단 단부로부터 공기 베어링 로드 지점으로 서스펜션 길이는 0.300 인치이다. 슬라이더의 전방 단부에서 서스펜션 로드 지점(116)으로부터 베어링 압력의 중심에서 공기 베어링 로드 지점(61)으로의 거리는 0.033 인치이다. 서스펜션 빔(110 및 112)은 공기 베어링 로드 지점(61)에서 영의 폭을 가지는 지점에 탭퍼링하는 것으로 모델링된다. 서스펜션의 중량은 매우 작아서, 슬라이더 및 디스크 사이의 분리가 발생하기전 651 중력의 저주파수 충격 가속도 임계값을 유발한다. 이것은 2.0 mg 슬라이더 및 2.0 gmf 프리로드를 가지는 중량없는 서스펜션에 대한 1000 중량의 이상적인 값으로 접근한다. 비교하여, 종래 기술의 통상적인 서스펜션을 사용하는 유사한 어셈블리는 단지 340 중량의 충격 가속도 임계를 가진다.
도 5a는 서스펜션(102)의 미세 엘리먼트 모델의 등가도이다. 서스펜션 빔(110 및 112)은 각가의 빔에서 프리로드 벤드(113)으로 모델링된다. 각각의 플리로드 벤드(113)는 0.050 인치의 벤드 반경 및 35.8℃의 벤드 각(160)을 가진다. 따라서, 단지 빔 길이의 일부만이 벤드에 형성된다. 프리로드 벤드(113)는 빔의 효과적인 자유 길이를 따라 중간에서 중심이 형성되고, 트랙 액세스 아암으로부터 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)의 전방 단부로 측정된다. 벤드 위치에 도움을 주는데 사용되는 노치는 없다.
도 5b는 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)의 공기 베어링 표면에 인가된 공기 베어링 리프팅 힘(162)을 부가한후 도 5a에 도시된 미세 엘리먼트 모델의 등가도이다. 서스펜션 빔(110 및 112)을 따라 결과적인 벤딩 스트레스는 단부 효과로부터 먼 재료 위치에서 40,000 psi의 균일한 레벨이다. 트랙 액세스 아암(24) 및 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)에서 클램핑하는 것은 상기 위치에서 벤딩 스트레스를 약 63,000 psi로 증가시킨다. 이런 실시예에서 완전히 경화된 스테인레스 스틸의 형성된 스트레스는 180,000 psi로 지정되고, 서스펜셔 빔(110 및 112)은 프리로딩에 의해 과도하게 스트레스를 받지 않는다.
도 6은 서스펜션 빔(110 및 112)의 효과적인 자유 길이를 따라 공기 베어링 로드 지점(61)에서의 네트 피치 토션 대 프리로드 벤드 위치를 도시한 도이다. 상기된 바와같이, 공기 베어링상에 거의 영의 피치 토션을 가지는 것이 바람직하다. 서스펜션 및 신호 와이어의 스티프니스 변화는 영의 피치 토션 값에서 보다 영이 아닌 피치 토션 값에서 보다 큰 변화를 유발한다. 도 6의 도면은 효과적인 빔 길이이 거의 반쯤에서 단일 프리로드 길이가 공기 베어링상에 거의 영인 피치 토션을 유발하는 것을 도시한다.
도 7a는 제거된 플리로드 벤드를 가지는 서스펜션(102)의 미세 엘리먼트 모델의 등가도이다. 따라서 서스펜션(102)은 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)에 영의 프리로드 힘을 제공한다. 도 7a에 도시된 모델을 사용하여, 서스펜션 재료는 서스펜션 및 슬라이더가 디스크 드라이에 로딩될때 디스크 표면과 평행한 평면에 놓인다.
도 7b는 액세스 아암 입력 운동량상에 기록 헤드 오프 트랙 변위의 주파수 응답 크기 비율을 도시한다. 도 7에 모델링된 서스펜션은 12.6 KHz에서 벗어나는 슬라이더의 단일 공진 모드를 가진다. 도 7에서 모델링된 탭퍼된 빔은 팁 로드하에서 일정한 곡률로 편향한다. 따라서, 서스펜션의 전체 길이를 따라 일정한 곡률로 형성된 프리로드 벤드는 서스펜션이 디스크 드라이버에 로딩될때 도 7a에서 처럼 실질적으로 편평한 구조로 편향한다. 그러나, 상기 벤드는 벤드 형성 공정중에 스프링 백 효과로 인해 실제적으로 얻기 어렵다.
도 8a는 언로드된 위치(164)(점선으로 도시됨) 및 로딩된 위치(166)의 도 5a에 도시된 서스펜션 모델의 측평면도이고, 프리로드 벤드(113)는 트랙 액세스 아암 및 슬라이더/마이크로자동기 어셈블리(20)의 전방 단부 사이의 거리의 50 퍼센트에 배치된다. 도 8b는 도 5a-5b에 도시된 서스펜션 모델에 대한 대응하는 오프 트랙 보드 도이다. 몇몇 부가적인 공진 피크는 서스펜션내의 진동 토션 모드로 인해 나타난다. 이들 부가적인 공진 피크의 가장 낮은 주파수는 3.0 KHz이다.
도 9a는 트랙 액세스 아암 및 슬라이더/마이크로작동기 어셈블리(20)의 전방 단부 사이 거리의 35 퍼센트에 배치된 프리로드 벤드(113)을 가지는 도 5a에 도시된 서스펜션 모델의 측평면도이다. 도 9b는 도 9a에 도시된 모델의 대응하는 오프 트랙 보드도이다. 단지 두개의 공진 피크가 4.0 KHz에서 토션 모드 공진 피크에 남고 슬라이더는 14.5 KHz에서 모드 공진 피크에서 벗어난다.
따라서, 도 9b에 도시된 결과는 프리로드 벤드(113)이 최소 공진 피크를 가지는 오프 트랙 보드도를 얻기 위하여 서스펜션 빔 길이의 35 퍼센트에 배치되는 것을 제안하고, 도 6에 도시된 결과는 프리로드 벤드(113)가 공기 베어링 로드 지점에서 영의 피치 토션을 얻기 위하여 서스펜션 빔 길이의 50 퍼센트에 배치되는 것을 나타낸다. 그러므로 최소 중량을 가지는 서스펜션 및 작은 곡률 반경의 단일 프리로드 벤드는 공기 베어링 로드 지점에서 영의 피치 토션 및 최소 공진 피크를 가지는 오프 트랙 도면의 바람직한 결합을 제공할수없다.
이런 딜레마에 대한 몇몇 해결책은 본 발명의 서스펜션에 따라 해결 가능하다. 첫째, 서스펜션은 최소 중량 구조와 다른 형태의 평면을 가질수있다(이것은 도 3a에 도시된다). 이런 해결책은 슬라이더 디스크 분리가 발생하는 충격 임계값을 바람직하지 않게 줄인다. 둘째, 부가적인 벤드는 서스펜션 로드 지점(114) 근처 서스펜션 빔(110 및 112)에 형성될수있다. 부가적인 벤드는 공기 베어링 로드 지점(61)에 실질적으로 영인 피치 토션이 있도록 혀엉된다. 이런 해결책은 부가적인 벤드로 인해 제조 비용을 증가시킨다. 셋째, 트랙 액세스 아암의 적층 높이가 증가될수있다. 적층 높이는 디스크의 표면으로부터 트랙 액세스 아암의 하부 표면와 같다. 적층 높이를 증가시키는 것은 슬라이더 어셈블리(20)상에 아래로 기울어진 피치 토션을 감소시킨다.
도 10a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 작동기 어셈블리(190)의 평면도이다. 작동기 어셈블리(190)는 서스펜션(200), 트랙 액세스 아암(202) 및 슬라이더(204)를 포함한다. 이전 실시예 처럼, 서스펜션(200)은 트랙 액세스 아암(202) 및 슬라이더(204) 사이에 길이방향 축(210)을 따라 측면으로 간격진 서스펜션 빔(206 및 208)을 포함한다. 그러나, 이런 실시예에서, 서스펜션 빔(206 및 208)은 슬라이더(204)의 후면에 직접적으로 부착된다.
도 10b는 작동기 어셈블리(190)의 측평면도이다. 탄성적으로 변형된 프리로드 벤드(214)는 길이방향 축에 대해 횡단하는 방향으로 서스펜션 빔(206 및 208)에 형성된다. 압전기 스트립(216 및 218)은 서스펜션 빔(206 및 208)의 길이를 따라 서스펜션(200)에 부착된다. 압전기 스트립(216 및 218)은 폴리비닐라디덴 플루오라이드(PVDF) CH2-CH2같은 중합체로 형성될수있다.
압전기 스트립(216 및 218)은 서스펜션(200)이 각 스트립에 대한 접지 평면으로서 작용하도록 전도성 부착제로 서스펜션 빔(206 및 208)에 부착된다. 각각의 스트립은 그 상부 표면에 증착된 얇은 전극층을 가지며, 상기 전극층에 제어 와이어 또는 가요 회로 트레이스(도시되지 않음)가 본딩될수있다. 압전기 스트립(216 및 218)은 양의 전압이 상부 전극 및 접지 평면 사이에 인가될때 길이방향 축(212)을 따라 스트립(216 및 218)의 길이가 확장하고 음의 전압이 상부 전극 및 접지 평면 사이에 인가될때 수축하도록 방향이 형성된 극을 가진다.
스트립(216 및 218)은 자체 포함 트랙 탐색 마이크로작동기 및 프리로드 제어 장치로서 작동한다. 스트립(216 및 208)은 서스펜션 빔(206 및 208)상 험프에 본딩되고, 제 1 빔상의 험프는 제 2 빔상의 험프가 그 스트립을 확장시킴으로써 확대되는 동안 그 스트립을 수축시킴으로써 평탄화된다. 하나의 서스펜션 빔상에서 수축 및 다른 서스펜션 빔상에 확장의 결합은 각각의 서스펜션 빔에 의해 인가된 프리로드를 변화시킨다. 다음 테이블은 트랙 탐색 및 프리로드 제어를 위한 4개의 마이크로작동 모드를 도시한다.
빔 206 전압 빔 208 전압 프리로드 변화 트랙킹 변화
- - 감소됨 없음
+ - 없음 빔 208측에 대한 탐색
- + 없음 빔 206측에 대한 탐색
+ + 증가됨 없음
마이크로작동의 이들 모드는 트랙 탐색동안 목표된 비행 안정성을 유지하기 위하여 결합하여 사용될수있다. 프리로드 제어 모드는 디스크 드라이브가 공전할때 작은 프리로드 힘으로 비교적 높은 비행 높이를 허용하거나, 디스크 드라이브가 데이타에 액세스할때 높은 프리로드 힘으로 낮은 비행 높이를 허용하기 위하여 혼자 사용된다. 트랙 탐색 마이크로작동 모드는 목표된 데이타 트랙상에 기록 헤드의 중심을 잡거나 디스크 표면으로부터 슬라이더 도약동안 슬라이더/디스크 고착력 해결 조깅 운동을 생성하기 위하여 종래 방식으로 사용될수있다. 프리로드 제어 모드는 시작 및 정지동아 디스크로부터 슬라이더(204)를 로드 및 언로드하고, 또한 비행 높이를 제어하기 위하여 사용될수있다.
비록 본 발명이 바람직한 실시예를 참조하여 기술되었지만, 당업자는 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 여러 형태로 변형될수있다는 것을 이해할 것이다.

Claims (23)

  1. 디스크 드라이브에 있어서,
    데이타 저장 디스크; 및
    상기 데이타 저장 디스크의 정보를 판독하고 상기 디스크에 정보를 기록하기 위하여 사용된 트랜스듀서를 지지하기 위한 작동기 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스크 드라이브.
  2. 디스크 드라이브에서 슬라이더 어셈블리를 지지하기 위한 서스펜션에 있어서,
    길이방향 축;
    경질의 트랙 액세스 아암에 설치하기 위한 인접 설치 섹션;
    상기 슬라이더 어셈블리를 지지하기 위한 말단 설치 섹션;
    상기 인접 설치 섹션으로부터 말단 설치 섹션으로 연장하는 측면으로 간격진 제 1 및 제 2 서스펜션 빔을 포함하는데, 상기 제 1 및 제 2 서스펜션 빔은 길이방향 축에 관련하여 내측 및 외측 에지를 가지며 내측 에지로부터 외측 에지로 편평하고; 및
    상기 길이방향 축에 대해 횡단하는 제 1 및 제 2 서스펜션 빔에 형성된 제 1 프리로드 벤드를 포함하는 것을 특징으로 하는 서스펜션.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 서스펜션은 단일 재료의 부분으로 형성되는 것을 특징으로 하는 서스펜션.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 밍 제 2 서스펜션 빔은 인접 설치 섹션으로부터 말단 설치 섹션으로 측정된 효과적인 자유 길이를 가지며,
    제 1 프리로드 벤드는 효과적인 자유 길이의 약 30 퍼센트 및 약 50 퍼센트 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 서스펜션.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 서스펜션 빔은 인접 설치 섹션으로부터 말단 설치 섹션으로 실질적으로 일정한 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 서스펜션.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 제 1 프리로드 벤드는 약 50 퍼센트의 효과적인 자유 길이에 배치되는 것을 특징으로 하는 서스펜션.
  7. 제 4 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 서스펜션 빔은 인접 설치 섹션 및 말단 설치 섹션 사이에 선형적으로 감소하는 폭을 각각 가지는 것을 특징으로 하는 서스펜션.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 프리로드 벤드는 약 35 퍼센트의 효과적인 자유 길이에 배치되는 것을 특징으로 하는 서스펜션.
  9. 제 8 항에 있어서, 제 1 프리로드 벤드 및 말단 설치 섹션 사이, 제 1 및 제 2 서스펜션 빔에 형성된 제 2 프리로드 벤드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 서스펜션.
  10. 제 2 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 빔은 제 1 및 제 2 서스펜션 빔에 인가된 특정 벤딩 힘이 제 1 및 제 2 서스펜션 빔을 따라 실질적으로 균일한 제 1 및 제 2 서스펜션 빔의 특정 벤딩 스트레스 레벨을 유발하도록 선택된 기하학 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 서스펜션.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 서스펜션 빔은 재료가 특정 벤딩 스트레스 레벨 이상으로 제 1 및 제 2 빔의 벤딩 스트레스를 증가시키지 않고 제 1 및 제 2 서스펜션 빔으로부터 제거될수없도록 최소 중량을 가지는 것을 특징으로 하는 서스펜션.
  12. 제 2 항에 있어서, 상기 말단 설치 섹션은 제 1 서스펜션 빔의 말단에 형성된 제 1 설치 패드, 제 2 서스펜션 빔의 말단에 형성된 제 2 설치 패드 및 제 1 및 제 2 설치 패드 사이로 연장하는 브릿지를 포함하는 것을 특징으로 하는 서스펜션.
  13. 제 2 항에 있어서, 제 1 서스펜션 빔의 내부 및 외부 에지중 하나를 따라 배치되고 길이방향 축을 따라 제 1 서스펜션 빔에 제 1 프리로드 벤드의 위치를 형성하는 제 1 노치; 및
    제 2 서스펜션 빔의 내부 및 외부 에지중 하나를 따라 배치되고 길이방향 축을 따라 제 2 서스펜션 빔에 제 1 프리로드 벤드의 위치를 형성하는 제 2 노치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 서스펜션.
  14. 제 1 항에 있어서,
    제 1 프리로드 벤드를 따라 제 1 서스펜션 빔에 인가된 제 1 압전기 마이크로작동기 스트립; 및
    상기 제 1 프리로드 벤드를 따라 제 2 서스펜션 빔에 인가된 제 2 압전기 마이크로작동기 스트립을 더 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 압전기 스트립은 압전기 스트립에 인가된 전압의 함수로서 길이방향 축을 따르는 길이를 각각 가지는 것을 특징으로 하는 서스펜션.
  15. 작동기 어셈블리에 있어서,
    경질의 트랙 액세스 아암;
    슬라이더 어셈블리; 및
    서스펜션을 포함하고, 상기 서스펜션은,
    길이방향 축,
    경질의 트랙 액세스 아암에 의해 지지된 인접 설치 섹션,
    슬라이더 어셈블리를 지지하는 말단 설치 섹션,
    상기 인접 설치 섹션으로부터 말단 설치 섹션으로 연장하는 측면으로 간격진 제 1 및 제 2 서스펜션 빔을 포함하는데, 상기 제 1 및 제 2 서스펜션 빔은 길이방향 축에 대해 내측 및 외측 에지를 가지며 내측 에지로부터 외측에지로 편평하고,
    상기 길이방향 축에 대해 횡단하는 제 1 및 제 2 서스펜션 빔에 형성된 제 1 프리로드 벤드를 포함하는 것을 특징으로 하는 작동기 어셈블리.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 빔은 트랙 액세스 아암 및 슬라이더 어셈블리 사이에서 서로 접속되지 않는 것을 특징으로 하는 작동기 어셈블리.
  17. 제 16 항에 있어서, 상기 서스펜션은 상기 트랙 액세스 아암 및 슬라이더 어셈블리 사이의 위치에서 제 1 및 제 2 서스펜션 빔 사이로 연장하는 고정물 정렬 지형을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 작동기 어셈블리.
  18. 제 15 항에 있어서, 상기 말단 설치 섹션은 제 1 서스펜션 빔의 말단부에 형성되고 슬라이더 어셈블리에 본딩된 제 1 설치 패드, 제 2 서스펜션 빔의 말단부에 형성되고 슬라이더 어셈블리에 본딩된 제 2 설치 패드, 및 상기 제 1 및 제 2 설치 패드 사이로 연장하는 브릿지를 포함하는 것을 특징으로 하는 작동기 어셈블리.
  19. 제 18 항에 있어서, 상기 슬라이더 어셈블리는 베어링 표면 및 후면을 가지는 슬라이더 몸체를 포함하고 제 1 및 제 2 설치 패드는 슬라이더 몸체의 후면에 본딩되는 것을 특징으로 하는 작동기 어셈블리.
  20. 제 18 항에 있어서, 상기 슬라이더 어셈블리는 슬라이더 몸체 및 마이크로작동기 구조를 포함하고 제 1 및 제 2 설치 패드는 서스펜션으로부터 마이크로작동기 구조로 및 마이크로작동기 구조로부터 슬라이더 몸체로 프리로드 힘 전송 경로를 형성하기 위하여 슬라이더 몸체 본딩된 마이크로작동기 구조에 본딩되는 것을 특징으로 하는 작동기 어셈블리.
  21. 제 20 항에 있어서, 상기 슬라이더 몸체는 제 1 및 제 2 측면 표면 및 후면을 가지며,
    상기 마이크로작동기 구조는 제 1 및 제 2 측면 구조에서 슬라이더 몸체에 본딩되고,
    상기 제 1 및 제 2 설치 패드는 제 1 및 제 2 측면 구조에 인접한 마이크로작동기 구조에 부착되고,
    상기 브릿지는 슬라이더 몸체의 후면상으로 연장하고 상기 브릿지가 후면으로부터 분리되도록 제 1 및 제 2 설치 패드와 다른 평면에 형성되는 것을 특징으로 하는 작동기 어셈블리.
  22. 제 21 항에 있어서, 상기 슬라이더 몸체는 길이방향 축을 따르는 길이 및 벵링 표면을 가지며, 상기 베어링 표면은 상기 길이를 따라 베어링 로드 지점을 형성하고,
    상기 제 1 및 제 2 설치 패드는 베어링 로드 지점에 대응하는 길이를 따라 평균 길이방향 본드 위치를 각각 가지는 것을 특징으로 하는 작동기 어셈블리.
  23. 제 20 항에 있어서, 상기 슬라이더 몸체는 전방 단부를 가지며 후방 단부는 서스펜션의 길이방향 축과 평행하고,
    마이크로작동기 구조는 길이방향 축을 따라 슬라이더 몸체의 전방 단부의 앞에 배치된 서스펜션 서리 표면을 가지는 메인 몸체를 포함하고, 메인 몸체로부터 연장하고 슬라이더 몸체에 부착된 적어도 하나의 빔 스프링을 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 설치 패드는 서스펜션 설치 표면에 부착되는 것을 특징으로 하는 작동기 어셈블리.
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