JP2002150730A

JP2002150730A - 磁気ヘッド装置

Info

Publication number: JP2002150730A
Application number: JP2000344039A
Authority: JP
Inventors: Hideji Sato; 秀治佐藤; Toru Nakazawa; 徹中澤
Original assignee: Alps Electric Co Ltd
Current assignee: Alps Alpine Co Ltd
Priority date: 2000-11-10
Filing date: 2000-11-10
Publication date: 2002-05-24
Anticipated expiration: 2020-11-10
Also published as: JP3663122B2

Abstract

(57)【要約】【課題】微動アクチュエータである圧電素子の駆動効
率を低下させることなく、圧電体からの発塵や脱粒を防
止できる磁気ヘッド装置の提供。【解決手段】記録媒体に記録された磁気信号を磁気抵
抗効果により検出する再生素子及び上記録媒体に磁気信
号を記録する記録素子が設けられたスライダ１２１と、
スライダ１２１を支持するロードビーム（弾性支持部
材）１１１と、ロードビーム１１１上に搭載され、ロー
ドビーム１１１に歪みを与えてスライダ１２１の位置を
変化させる圧電素子１１２，１１３とが備えられ、圧電
素子１１２，１１３はチタン酸ジルコン酸鉛を主体とす
る圧電層を有する磁気ヘッド装置において、圧電素子１
１２，１１３は少なくとも圧電層の露出面がエラストマ
ーからなる被膜１１５により被覆された磁気ヘッド装置
１１０。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＭＲヘッド（再生
用ヘッド）を有する再生素子を搭載し、前記ＭＲヘッド
を支持する支持部材にチタン酸ジルコン酸鉛等を主体と
する圧電体を有する圧電素子が搭載された磁気ヘッド装
置に係り、特に前記圧電体からの発塵や脱粒を防止でき
るようにした磁気ヘッド装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５は、ハードディスク装置の例を示す
平面図である。このハードディスク装置は、円盤状の磁
気ディスク１と、スピンドルモータ２と、キャリッジ３
と、ロードビーム４と、スライダ５と、ボイスコイルモ
ータ６が備えられている。磁気ヘッド装置は、ロードビ
ーム４とスライダ５から概略構成されている。円盤状の
磁気ディスク１は、スピンドルモータ２によって回転駆
動されるようになっている。また、剛性を有するキャリ
ッジ３の先端部３ａに支持部材であるロードビーム４が
連結されており、ロードビーム４の先端４ａにて、フレ
キシャ（図示せず）を介して取付けられたスライダ５を
有している。ロードビーム４は、板ばね材料により形成
されている。ロードビーム４は、その基端部４ｂがキャ
リッジ３上に固定される固定部であり、ロードビーム４
の先端部４ａが、スライダ５を支持している。

【０００３】スライダ５には、磁気ディスク１に記録さ
れた磁気信号を磁気抵抗効果により検出する再生素子及
び磁気ディスク１に磁気信号を記録する記録素子が設け
られている。磁気ディスク１が回転したときに生じる空
気流を受けて、スライダ５が磁気ディスク１上で浮上
し、浮上状態で記録及び再生を行う。キャリッジ３の基
端部３ｂにはボイスコイルモータ６が取りつけられてい
る。ボイスコイルモータ６によって、キャリッジ３及び
ロードビーム４が、磁気ディスク１の半径方向に駆動さ
れ、スライダ５に搭載された再生素子及び記録素子を任
意の記録トラック上に移動させるシーク動作、並びに前
記再生素子及び記録素子を記録トラックの中心線上に保
たせるトラッキング動作を行う。

【０００４】磁気ディスク１の記録密度が向上していく
につれて、トラッキング動作の精度も向上させる必要が
ある。従来は、ボイスコイルモータ６によってキャリッ
ジ３を駆動させることのみで、前記シーク動作及びトラ
ッキング動作を行っていた。

【０００５】トラッキング動作の精度を向上させるため
には、ボイスコイルモータ６を含むサーボ系のサーボ帯
域を高くする必要がある。しかし、前記サーボ帯域は、
キャリッジ３とキャリッジ３を回転自在に支持するベア
リング（図示せず）の機械的共振点によって制限され
る。キャリッジ３の機械的共振点は、キャリッジ３のサ
イズによって決まるが、キャリッジ３のサイズは、規格
によって決められた磁気ディスク１の直径によって決め
られる。例えば、磁気ディスク１の直径が３．５インチ
のときキャリッジ３と前記ベアリングの共振点は、約
３．５ｋＨｚとなる。キャリッジ３と前記ベアリングの
共振点が約３．５ｋＨｚであるとき、ボイスコイルモー
タ６によってキャリッジ３を駆動させることのみでトラ
ッキング動作を行わせるサーボ系のサーボ帯域は、７０
０Ｈｚ程度がほぼ上限である。

【０００６】そこで、近年ロードビーム上に微動アクチ
ュエータを搭載して、ロードビームの先端部のみを動か
して、トラッキング動作を行わせる方法が提案されてい
る。

【０００７】図６は微動アクチュエータである圧電素子
を搭載したロードビームの斜視図である。このロードビ
ーム１１は、ステンレスの板ばね材によって形成されて
おり、キャリッジによって保持される固定基端部１１ａ
と固定基端部１１ａに対して水平方向に揺動可能な揺動
部１１ｂとを有している。固定基端部１１ａの前端部両
脇には、固定基端部１１ａの長手方向に延びる腕部１１
ｃ，１１ｃが形成されている。また、揺動部１１ｂは弾
性支持部１１ｄ，１１ｄを介して、腕部１１ｃ，１１ｃ
に連結されている。さらに、揺動部１１ｂと固定基端部
１１ａ上に、圧電素子１２及び１３が空隙部１１ｅ上に
架け渡されて設置されている。圧電素子１２及び１３
は、圧電材料からなるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）
からなる圧電層（圧電体）１２ｂ及び１３ｂと、これら
圧電層１２ｂと１３ｂの上下層にそれぞれ成膜された電
極層１２ａ１及び１２ａ２並びに１３ａ１及び１３ａ２
とからなるものである。圧電素子１２及び１３は、電極
層１２ａ１及び１２ａ２並びに１３ａ１及び１３ａ２に
電圧が加えられると、歪みを発生させる素子である。ま
た、逆に圧電素子１２及び１３に応力が加えられて、圧
電素子１２及び１３が歪むと電極層１２ａ１及び１２ａ
２間、並びに１３ａ１及び１３ａ２間に電圧が発生す
る。なお、図６中、符号２１は、揺動部１１ｂの先端
に、フレキシャ（図示せず）を介して取付けられたスラ
イダ２１である。

【０００８】図６のロードビーム１１はアースに接続さ
れている。圧電素子１２及び１３の電極層１２ａ１及び
１３ａ１は、ロードビーム１１に電気的に接続されるこ
とによりアースと接続される。圧電素子１２及び１３の
圧電層１２ｂ及び１３ｂは、謨厚方向に分極するが、そ
の分極方向は圧電素子１２及び１３とで逆方向となって
いる。従って、電極層１２ａ２及び１３ａ２に同じ電位
をかけたときに、一方の圧電素子は長手方向に伸長し、
他方の圧電素子は長手方向に収縮するという性能があ
る。

【０００９】その結果、弾性支持部１１ｄ，１１ｄが歪
み、揺動部１１ｂの先端部に取りつけられたスライダ２
１の位置が変化する。すなわち、揺動部１１ｂの先端部
に取りつけられるスライダをトラック幅方向に動かし
て、トラッキング動作を行わせることが可能となる。従
って圧電素子を搭載したロードビームを用いてサーボ系
を構成すると、サーボ帯域を２ｋＨｚ以上にすることが
できる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで上記のような
従来の磁気ヘッド装置においては、圧電素子１２及び１
３に備えられた圧電層１２ｂ及び１３ｂがＰＺＴから構
成されているために、圧電素子１２及び１３が伸縮を繰
り返すと、圧電層１２ｂ及び１３ｂから構成材料のＰＺ
Ｔの脱粒や発塵が生じることがあり、磁気ヘッド（スラ
イダ）と磁気ディスクとの間隔は数十から数百ｎｍであ
り、この隙間に上記のような脱粒等の塵が入り込むと、
磁気ヘッド装置の特性が低下したり、磁気ヘッドのクラ
ッシュ等の問題を引き起こしてしまう。

【００１１】そこで、このような問題を解決する手段と
して、圧電素子１２及び１３の表面のほぼ全面にエポキ
シ樹脂塗料のような一般的に用いられるコーティング剤
をコーティングする方法が考えられるが、従来の一般的
なコーティング剤は弾力性が乏しいために、圧電素子１
２及び１３の表面全面に塗布すると、電極層１２ａ１及
び１２ａ２並びに１３ａ１及び１３ａ２に印加した電圧
量に応じた歪みが圧電素子１２及び１３に生じなくなっ
たり、あるいは圧電素子１２及び１３に加えられた応力
に応じた歪が圧電素子１２及び１３に生じなくなり、電
極層１２ａ１及び１２ａ２間、並びに１３ａ１及び１３
ａ２間に上記応力に応じた電圧が生じなくなり、圧電素
子の動きが制約されてしまい、圧電素子の駆動効率が低
下してしまう。また、圧電素子の駆動効率を低下させな
いようにするためには、１μｍ以下の薄膜になるように
エポキシ樹脂塗料をコーティングしなければならず、こ
のように薄膜にすると圧電層１２ｂ及び１３ｂから構成
材料の脱粒や発塵の防止効果が不十分になってしまう。

【００１２】本発明は、上記従来の課題を解決するため
のものであり、再生素子及び記録素子が備えられたスラ
イダを支持する支持部材に圧電体を有する圧電素子が搭
載された磁気ヘッド装置において、微動アクチュエータ
である圧電素子の駆動効率を低下させることなく、上記
圧電体からの発塵や脱粒を防止できる磁気ヘッド装置を
提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、記録媒体に記
録された磁気信号を検出する再生素子及び上記記録媒体
に磁気信号を記録する記録素子が設けられたスライダ
と、上記スライダを支持する弾性支持部材と、上記弾性
支持部材上に搭載され、該弾性支持部材に歪みを与えて
上記スライダの位置を変化させて上記再生素子あるいは
記録素子の位置を変化させる圧電素子とが備えられ、上
記圧電素子は圧電体を有する磁気ヘッド装置において、
上記圧電素子は少なくとも圧電体の露出面がエラストマ
ーからなる被膜により被覆されたことを特徴とするもの
である。

【００１４】かかる構成の磁気ヘッド装置によれば、圧
電体を有する圧電素子の少なくとも圧電体の露出面がエ
ラストマーからなる被膜により被覆されているので、上
記圧電素子が伸縮を繰り返しても、上記圧電体の構成材
料のＰＺＴの脱粒や発塵を防止できる。また、上記被膜
はエポキシ樹脂塗料のような従来の一般的なコーティン
グ剤を用いた塗膜に比べて弾力性が大きいために、圧電
素子の表面の略全面（電極取り出し用リードとの接続部
は除く）に形成されていても、圧電素子の動きが制約さ
れることがなく、圧電素子の駆動効率を良好に保つこと
ができる。また、上記エラストマーからなる被膜は、上
記圧電素子の厚みと同じ程度の厚みであっても弾力性を
有しているので、圧電素子の動きが制約されることがな
く、圧電素子の駆動効率が低下することがない。上記の
ような本発明の効果は、上記圧電体がチタン酸ジルコン
酸鉛（ジルコン酸チタン酸鉛）等のセラミック系材料を
主体とするものであるときに特に効果的である。

【００１５】上記構成の本発明の磁気ヘッド装置におい
ては、上記再生素子には、記録媒体に記録された磁気信
号を磁気抵抗効果により検出する磁気抵抗効果素子が備
えられていることが好ましい。磁気記録媒体（磁気ディ
スク）においては、磁気記録密度の向上が望まれてお
り、磁気記録密度をあげるために、磁気記録トラクック
幅を小さくしており、このようにすると記録媒体の半径
方向にかけるトラックの数が単位面積あたり増加するの
で、磁気記録密度を増大できる。磁気記録密度が増大す
ると、磁気ヘッド装置の感度を向上させる必要があるた
め、上記再生素子に上記磁気抵抗効果素子が備えられて
いる磁気ヘッド装置の感度を向上できる。また、上記の
いずれかの構成の本発明の磁気ヘッド装置においては、
上記圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛（ジルコン酸チタ
ン酸鉛）等のセラミック系材料を主体とするものであっ
てもよい。上記のように磁気記録密度の増大に伴ってト
ラック幅が小さくなっても、磁気ヘッド（再生素子と記
録素子が備えられたスライダ）の動き（トラッキング動
作）の制御が精度良くできないと、狭くしたトラック幅
に対応できなくなり、磁気ヘッドがサイドリーディング
を起こす場合があるため、チタン酸ジルコン酸鉛（ジル
コン酸チタン酸鉛）を主体とする圧電体を有する圧電素
子を用いることにより、この圧電素子によりスライダを
支持する弾性支持部材に歪みを与えてスライダの位置を
微調整でき、従って磁気ヘッドの動作の精度を向上でき
る。

【００１６】本発明で用いられるエラストマーとして
は、ポリエステル系、ポリフルオロカーボン系（フッ素
系）、ポリアミド系等の熱可塑性エラストマーや、アク
リル系、ニトリル系等のゴムなどが挙げられる。

【００１７】本発明で用いられるエラストマーからなる
被膜は、ヤング率が１００ＭＰａ以下が好ましく、より
好ましくは５０ＭＰａである。上記エラストマーからな
る被膜のヤング率が１００ＭＰａを越えると、弾力性が
低下し、圧電素子の動きを制約してしまう。

【００１８】本発明で用いられるエラストマーからなる
被膜の厚みは、上記圧電素子の厚みと同じ厚み以下であ
ることが好ましく、より好ましくは１μｍ以上で圧電素
子と同じ厚み以下とされる。上記エラストマーからなる
被膜の厚みが上記圧電素子の厚みより厚いと、圧電素子
の動きを制約してしまう。本発明での圧電素子の厚みと
は、エラストマーからなる被膜の厚みを含まない厚みで
ある。例えば、ＰＺＴからなる圧電体とこの圧電体の両
面に形成した電極からなる積層体の表面に（電極取り出
し用リードとの接続部を除いて）エラストマーからなる
被膜を形成した場合、エラストマーからなる被膜の厚み
は上記圧電体とこの圧電体の両面に形成した電極からな
る積層体の厚みと同じ厚み以下が好ましい。また、ＰＺ
Ｔからなる圧電体とこの圧電体の両面に形成した電極か
らなる積層体の圧電体の側面にエラストマーからなる被
膜を形成した場合、エラストマーからなる被膜の厚みは
上記圧電体とこの圧電体の両面に形成した電極からなる
積層体の厚みと同じ厚み以下が好ましい。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の磁気ヘッド装置の
一実施形態を図面に基づき詳しく説明する。図１は、本
発明の実施形態の磁気ヘッド装置が備えられたハードデ
ィスク装置の例を示す平面図である。図２は、本実施の
形態の磁気ヘッド装置を記録媒体との対向面側と反対側
から見た示す平面図である。図３（ａ）は、図２の圧電
素子の平面図、（ｂ）は図２の圧電素子のIII−III線断
面図である。図４は、本実施形態の磁気ヘッド装置を記
録媒体との対向面側から見た平面図である。

【００２０】図１のハードディスク装置は、円盤状の磁
気ディスク１０１と、スピンドルモータ１０２と、キャ
リッジ１０３と、ロードビーム１１１と、スライダ１２
１と、ボイスコイルモータ１０６が備えられている。円
盤状の磁気ディスク１０１は、スピンドルモータ１０２
によって回転駆動されるようになっている。本実施形態
の磁気ヘッド装置１１０は、ロードビーム１１１とスラ
イダ１２１と後述の配線部材１３１から概略構成されて
いる。なお、図２では、配線部材１３１の図示を省略し
ている。

【００２１】この磁気ヘッド装置１１０は、図４に示す
ように、ロードビーム１１１の記録媒体との対向面側
に、再生用導電パターンＲ１，Ｒ２及び記録用導電パタ
ーンＷ１，Ｗ２を有する配線部材１３１が設けられたも
のである。配線部材１３１は、ステンレスなどの薄い板
ばね上にポリイミドなどの絶縁性材料からなる絶縁層を
介して、Ｃｕ等の導電性材料からなる再生用導電パター
ンＲ１，Ｒ２及び記録用導電パターンＷ１，Ｗ２が形成
されたものである。配線部材１３１の先端部１３１Ａに
は、記録媒体に記録された磁気信号を磁気抵抗効果によ
り検出する再生素子及び上記記録媒体に磁気信号を記録
する記録素子が設けられたスライダ１２１が設けられて
いる。また、配線部材１３１の先端部１３１Ａは、フレ
キシャとしての機能も有している。

【００２２】スライダ１２１及び配線部材１３１を支持
する弾性支持部材であるロードビーム１１１は、図２に
示すように圧電素子１１２、１１３を搭載したものであ
る。このロードビーム１１１は、ステンレスの板ばね材
によって形成されており、キャリッジ１０３によって保
持される固定基端部１１１ａと該固定基端部１１１ａに
対して水平方向に揺動可能な揺動部１１１ｂとを有して
いる。固定基端部１１１ａの前端部両脇には、固定基端
部１１１ａの長手方向に延びる腕部１１１ｃ，１１１ｃ
が形成されている。また、揺動部１１１ｂは弾性支持部
１１１ｄ，１１１ｄを介して、腕部１１１ｃ，１１１ｃ
に連結されている。

【００２３】さらに、揺動部１１１ｂと固定基端部１１
１ａ上に、圧電素子１１２及び１１３が空隙部１１１ｅ
上に架け渡されて設置されている。圧電素子１１２及び
１１３は、図２及び図３に示すように、チタン酸ジルコ
ン酸鉛（ジルコン酸チタン酸鉛）等の圧電材料を主体と
する圧電層（圧電体）１１２ｂ及び１１３ｂの上下層に
それぞれ成膜された電極層１１２ａ１及び１１２ａ２並
びに１１３ａ１及び１１３ａ２とからなるものである。
このような圧電素子１１２及び１１３は、後述の導電性
ペーストあるいは金属ワイヤ（電極取り出し用リード）
との接続部を除く表面が、エラストマーからなる被膜１
１５により被覆されている。

【００２４】被膜１１５を構成するエラストマーとして
は、ポリエステル系、ポリフルオロカーボン系（フッ素
系）、ポリアミド系等の熱可塑性エラストマーや、アク
リル系、ニトリル系等のゴムなどが挙げられる。

【００２５】上記エラストマーからなる被膜１１５は、
ヤング率が１００ＭＰａ以下が好ましく、より好ましく
は５０ＭＰａである。上記被膜１１５のヤング率が１０
０ＭＰａを越えると、弾力性が低下し、圧電素子の動き
を制約してしまう。

【００２６】上記被膜１１５の厚みｔ２は、圧電素子１
１２あるいは１１３の厚みｔ１と同じ厚み以下であるこ
とが好ましく、より好ましくは１μｍ以上で圧電素子と
同じ厚み以下とされる。上記エラストマーからなる被膜
１１５の厚みｔ２が上記圧電素子１１２あるいは１１３
の厚みより厚いと、圧電素子の動きを制約してしまう。
本実施形態での圧電素子の厚みｔ１とは、エラストマー
からなる被膜１１５の厚みｔ２を含まない厚みであり、
本実施形態のように圧電層１１２ｂ（１１３ｂ）とこの
圧電層１１２ｂ（１１３ｂ）の両面に形成した電極層１
１２ａ１，１１２ａ２（１１３ａ１，１１３ａ２）から
なる積層体の表面にエラストマーからなる被膜１１５を
形成したものである場合、被膜１１５の厚みは上記圧電
層１１２ｂ（１１３ｂ）とこの圧電層１１２ｂ（１１３
ｂ）の両面に形成した電極層１１２ａ１，１１２ａ２
（１１３ａ１，１１３ａ２）からなる積層体の厚みと同
じ厚み以下が好ましい。

【００２７】図２のロードビーム１１１はアースに接続
されている。圧電素子１１２及び１１３の電極層１１２
ａ１及び１１３ａ１は、ロードビーム１１１に電気的に
接続されることによりアースと接続される。また、電極
層１１２ａ２及び１１３ａ２には、金線ワイヤ１１４が
接続されており、金線ワイヤ（電極取り出し用リード）
１１４は端子１１４ａにおいて図４に示される配線部材
１３１に設けられている制御用導電パターンＰに接続さ
れている。また、電極層１１２ａ１及び１１３ａ１に
は、図示しないＡｇ等の導電性ペーストあるいは金属ワ
イヤ（電極取り出し用リード）が接続されている。

【００２８】上記のようなエラストマーからなる被膜１
１５が略全面に被覆された圧電素子１１２，１１３の作
製方法としては、例えば、ＰＺＴからなる圧電層の両面
に電極層を成膜した積層体を作製し、ついでこの積層体
を所望幅にダイシングした後、電極取り出し用リードと
の接続部をマスクしたのち、圧電素子の表面にディップ
式、スプレー式、スピンコート式等の湿式法、あるいは
ＣＶＤ等による乾式法により上記被膜１１５を成膜する
ことにより得られる。

【００２９】圧電素子１１２及び１１３は、電極層１１
２ａ１及び１１２ａ２並びに１１３ａ１及び１１３ａ２
に電圧が加えられると、歪みを発生させる素子である。
また、逆に圧電素子１１２及び１１３に応力が加えられ
て、圧電素子１１２及び１１３が歪むと電極層１１２ａ
１及び１１２ａ２間、並びに１１３ａ１及び１１３ａ２
間に電圧が発生する。圧電素子１１２及び１１３の圧電
層１１２ｂ及び１１３ｂは、膜厚方向に分極するが、そ
の分極方向は圧電素子１１２及び１１３とで逆方向とな
っている。従って、電極層１１２ａ２及び１１３ａ２
に、金線ワイヤ１１４を介して同じ電位をかけたとき
に、一方の圧電素子は長手方向に伸長し、他方の圧電素
子は長手方向に収縮する。

【００３０】その結果、弾性支持部１１１ｄ，１１１ｄ
が歪み、揺動部１１１ｂの先端部に取りつけられたスラ
イダ１２１の位置が変化する。すなわち、揺動部１１１
ｂの先端部に取りつけられたスライダ１２１をトラック
幅方向に動かして、トラッキング動作を行わせることが
可能となる。上記のような圧電素子１１２，１１３を搭
載したロードビーム１１１を用いてサーボ系を構成する
と、サーボ帯域を２ｋＨｚ以上にすることができる。

【００３１】なお、このロードビーム１１１は、例えば
図１に示されるようなハードディスク装置において、剛
性支持部材であるキャリッジ１０３の先端部１０３ａに
連結されて、支持されている。キャリッジ１０３の基端
部１０３ｂにはボイスコイルモータ１０６が取りつけら
れている。

【００３２】スライダ１２１は、セラミック材料により
形成されており、スライダ１２１のトレーリング側Ｔ端
面には、図２に示されるごとく薄膜素子１２１ａが設け
られている。また、スライダ１２１の記録媒体との対向
面側には、ＡＢＳ面（浮上面）が形成されている。

【００３３】また、薄膜素子１２１ａは、記録媒体に記
録された磁気記録信号を再生する再生素子（ＭＲヘッ
ド）と、記録媒体に磁気信号を記録する記録素子（イン
ダクティブヘッド）との双方を含む、いわゆる複合型薄
膜素子である。上記再生素子は、例えばスピンバルブ膜
に代表される磁気抵抗効果を利用した磁気抵抗効果素子
と、磁性材料のシールド層とを有して構成され、また記
録素子は、磁性材料のコアと、コイルとがパターン形成
された構成となっている。

【００３４】また、配線部材１３１に設けられている再
生用導電パターンＲ１，Ｒ２及び記録用導電パターンＷ
１，Ｗ２は、先端部１３１Ａ側でそれぞれ上記再生素子
及び上記記録素子に接続され、基端部１３１Ｂ側でパッ
ドＴ_R1，Ｔ_R2及びＴ_W1，Ｔ_W2に接続されている。また、
圧電素子１１２，１１３に制御用信号を供給する制御用
導電パターンＰは、端子１１４ａにおいて圧電素子１１
２，１１３に接続され、基端部１３１Ｂ側でパッドＴ_P
に接続されている。

【００３５】本実施の形態では、圧電素子１１２，１１
３に接続されて制御用信号を供給する制御用導電パター
ンＰと再生用導電パダーンＲ１，Ｒ２とが、記録用導電
パターンＷ１，Ｗ２を間に挟んで、配線部材１３１上で
反対側に位置するように配線されている。また、配線部
材１３１の基端部１３１Ｂ側では、制御用導電パターン
Ｐと再生用導電パターンＲ₁，Ｒ₂とが、パッドＴ_R1、Ｔ
_R2、Ｔ_W1，Ｔ_W2、及びＴ_Pを間に挟んで、配線部材１３
１上で反対側に位置するように配線されている。

【００３６】このように制御用導電パターンＰと再生用
導電パターンＲ１，Ｒ２との間に、記録用導電パターン
Ｗ１，Ｗ２が形成されていると、制御用導電パターンＰ
と再生用導電がターンＲ１，Ｒ２間の結合容量を低下さ
せることができる。従って、サージ電流が流れた制御用
導電パターンＰと再生用導電パターンＲ１，Ｒ２との容
量性の結合度が低下し、再生用導電パターンＲ１，Ｒ２
に電流が流れることを抑えることができ、電流耐性の低
い再生素子の損傷を低減することができる。

【００３７】本実施形態の磁気ヘッド装置によれば、チ
タン酸ジルコン酸鉛（ジルコン酸チタン酸鉛）等のセラ
ミック系圧電材料を主体とする圧電体を有する圧電素子
１１２，１１３の電極取り出し用リードとの接続部を除
く表面が、エラストマーからなる被膜１１５により被覆
されているので、チタン酸ジルコン酸鉛（ジルコン酸チ
タン酸鉛）等を主体とする圧電体が露出しておらず、圧
電素子１１２，１１３が伸縮を繰り返しても、上記圧電
体の構成材料の脱粒や発塵を防止できる。また、上記被
膜１１５はエポキシ樹脂塗料のような従来の一般的なコ
ーティング剤を用いた塗膜に比べて弾力性が大きいため
に、圧電素子１１２，１１３の表面の略全面（電極取り
出し用リードとの接続部は除く）に形成されていても、
圧電素子１１２，１１３の動きが制約されることがな
く、圧電素子１１２，１１３の駆動効率を良好に保つこ
とができる。また、上記エラストマーからなる被膜１１
５の厚みｔ２は、上記圧電素子１１２，１１３の厚みｔ
１と同じ程度の厚みであっても弾力性を有しているの
で、圧電素子１１２，１１３の動きが制約されることが
なく、圧電素子１１２，１１３の駆動効率が低下するこ
とがない。

【００３８】なお、上記実施形態においては、圧電素子
１１２，１１３の略全面がエラストマーからなる被膜１
１５で覆われている場合について説明したが、圧電素子
は少なくとも圧電体の露出面が上記エラストマーからな
る被膜により被覆されていればよく（圧電素子の圧電体
が露出していなければよく）、例えば、圧電層１１２
ｂ，１１３ｂの側面あるいは圧電素子１１２，１１３の
側面が上記エラストマーからなる被膜１１５により被覆
されていればよい。このように圧電素子１１２，１１３
の側面が上記エラストマーからなる被膜１１５により被
覆された圧電素子の作製方法としては、例えば、ＰＺＴ
からなる圧電層の両面に電極層を成膜した積層体を作製
し、ついでこの積層体の両面にシート状のマスクを接
着、積層した後、この積層物を所望幅にダイシングした
後、マスクされていない積層物の側面や溝内にディップ
式、スプレー式、スピンコート式等の湿式法、あるいは
ＣＶＤ等による乾式法により上記エラストマーからなる
被膜を成膜することにより得ることができる。

【００３９】

【実施例】以下、本発明を実施例、比較例を挙げて具体
的に説明する。（実験例）圧電素子を被覆する被膜の材料およびヤング
率を下記表１に示す範囲で変更したときの圧電素子（圧
電素子単体）の駆動効率について調べた。その結果を表
１にあわせて示す。ここでの駆動効率は、厚さ０．１５
ｍｍのＰＺＴ圧電層の両面にそれぞれ厚さ１μｍのＡｕ
電極層を形成した圧電素子単体（サンプルＮｏ.１）の
変位量（ＵＹ）を基準とし、この圧電素子の表面に電気
取り出し用リードとの接続部を除いて種々の被膜を形成
した被膜付圧電素子（サンプルＮｏ.２〜１１）の変位
量（ＵＹ）の劣化率を測定した。ここでの変位量（Ｕ
Ｙ）は、−３０Ｖ〜＋３０Ｖの電圧を印加えたときの圧
電素子の長さＬ’から電圧をかける前の圧電素子の長さ
Ｌを引いた長さである（ＵＹ＝Ｌ’−Ｌ）。圧電素子の
変位量（ＵＹ）の劣化率の絶対値が小さいものほど圧電
素子の動きが制約されにくく、圧電素子の駆動効率がよ
い。磁気ヘッドとして、ハードディスク装置に備えた場
合は、圧電素子単体の変位量の劣化がそのまま磁気ヘッ
ドの変位量としてあらわれてしまう。なお、上記圧電素
子単体の幅Ｗは１．０ｍｍ、長さＬは２．８ｍｍ、厚み
ｔ１は０．１５ｍｍとした。また、圧電素子単体に被覆
する被膜のコーティング厚ｔ２は、０．１ｍｍとした。

【００４０】

【表１】

【００４１】表１中、被膜の材質の欄のＥＰＯＸＹはエ
ポキシ樹脂塗料であり、ゴムはポリエステル系あるいは
フッ素系エラストマーである。

【００４２】表１に示した結果から圧電素子の表面に形
成する被膜の材質として、弾力性が小さいエポキシ樹脂
塗料を用い、かつ、被膜のヤング率が１０００ＭＰａ以
上のサンプルＮｏ.２〜６の被膜付圧電素子が備えられ
た磁気ヘッド装置（比較例１〜５）のものは、圧電素子
の変位量（ＵＹ）の劣化率が２．４％以上であり圧電素
子の動きが制約され易く、圧電素子の駆動効率が悪いこ
とがわかる。これに対して圧電素子の表面に形成する被
膜の材質として、弾力性を有するポリエステル系あるい
はフッ素系エラストマーを用い、かつ、被膜のヤング率
が２０ＭＰａ以下のサンプルＮｏ.７〜１１の被膜付圧
電素子が備えられた磁気ヘッド装置（実施例１〜５）の
ものは、圧電素子の変位量（ＵＹ）の劣化率が０％であ
り圧電素子の動きが制約されにくく、圧電素子の駆動効
率がよいことがわかる。

【００４３】

【発明の効果】以上詳細に説明した本発明の磁気ヘッド
装置によれば、圧電体を有する圧電素子の少なくとも圧
電体の露出面がエラストマーからなる被膜により被覆さ
れているので、上記圧電素子が伸縮を繰り返しても、上
記圧電体の構成材料の脱粒や発塵を防止できる。従っ
て、本発明の磁気ヘッド装置では、磁気ヘッド（スライ
ダ）と記録媒体との隙間に圧電体の構成材料が塵となっ
て入ることがなく、上記隙間に上記塵が入ることに起因
する磁気ヘッド装置の特性の低下や磁気ヘッドのクラッ
シュが起こることを改善できる。また、上記被膜はエポ
キシ樹脂塗料のような従来の一般的なコーティング剤を
用いた塗膜に比べて弾力性が大きいために、圧電素子の
表面の略全面（電極取り出し用リードとの接続部は除
く）に形成されていても、圧電素子の動きが制約される
ことがなく、圧電素子の駆動効率を良好に保つことがで
きる。また、上記エラストマーからなる被膜は、上記圧
電素子の厚みと同じ程度の厚みであっても弾力性を有し
ているので、圧電素子の動きが制約されることがなく、
圧電素子の駆動効率が低下することがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態の磁気ヘッド装置が備えら
れたハードディスク装置の例を示す平面図。

【図２】本実施の形態の磁気ヘッド装置を記録媒体と
の対向面側と反対側から見た示す平面図。

【図３】図２の磁気ヘッド装置に備えられた圧電素子
の説明図であり、（ａ）は、この圧電素子の平面図、
（ｂ）は図２の圧電素子のIII−III線断面図。

【図４】本実施形態の磁気ヘッド装置を記録媒体との
対向面側から見た平面図。

【図５】従来の磁気ヘッド装置が備えられたハードデ
ィスク装置を示す平面図。

【図６】従来の磁気ヘッド装置を示す斜視図。

【符号の説明】

１１１ロードビーム（弾性支持部材）１１１ａ固定基端部１１１ｂ揺動部１１１ｃ腕部１１１ｄ弾性支持部１１１ｅ空隙部１１２，１１３圧電素子１１２ａ１，１１２ａ２，１１３ａ１，１１３ａ２電
極層１１２ｂ，１１３ｂ圧電層（圧電体）１１５エラストマーからなる被膜１２１スライダｔ１圧電素子の厚みｔ２被膜の厚みＬ圧電素子長さ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 5D042 LA01 MA15 5D059 AA01 BA01 CA25 CA26 DA19 DA26 DA33 EA08 5D096 NN03 NN07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】記録媒体に記録された磁気信号を検出す
る再生素子及び前記記録媒体に磁気信号を記録する記録
素子が設けられたスライダと、前記スライダを支持する
弾性支持部材と、前記弾性支持部材上に搭載され、該弾
性支持部材に歪みを与えて前記スライダの位置を変化さ
せて前記再生素子あるいは記録素子の位置を変化させる
圧電素子とが備えられ、前記圧電素子は圧電体を有する
磁気ヘッド装置において、前記圧電素子は少なくとも圧電体の露出面がエラストマ
ーからなる被膜により被覆されたことを特徴とする磁気
ヘッド装置。
【請求項２】前記再生素子には、記録媒体に記録され
た磁気信号を磁気抵抗効果により検出する磁気抵抗効果
素子が備えられたことを特徴とする請求項１記載の磁気
ヘッド装置。
【請求項３】前記圧電体は、チタン酸ジルコン酸鉛を
主体とするものであることを特徴とする請求項１又は２
記載の磁気ヘッド装置。
【請求項４】前記エラストマーからなる被膜のヤング
率が１００ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１
乃至３のいずれか一項に記載の磁気ヘッド装置。
【請求項５】前記エラストマーからなる被膜の厚み
は、前記圧電素子の厚みと同じ厚み以下であることを特
徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の磁気ヘ
ッド装置。