KR20010011726A - Safty device of silicone wafer container - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A wafer container is to prevent a silicon wafer from being exposed outwards or failed by providing a safe mechanism which fastens a pod door and a cover again although their fastening is incomplete or poor. CONSTITUTION: A silicon wafer container comprises a pod door(11), a cover(12) and a fastening unit for maintaining inside of the container at a clean room environment and inserting many silicon wafers into a semiconductor manufacturing apparatus or discharging therefrom. The container comprises: a slide recess(20) formed through at one end of an outer surface of the cover contacted with the pod door; an inserting recess(21) formed at one end of the pod cover to be in registry with the slide recess; and a lock(22) for locking the pod door and the cover by being slided along the slide recess and inserted into the inserting recess. The slide recess is formed in parallel with the outer surface of the cover over a certain distance and then bent vertically to the outer surface to pass through the cover. The lock is made of a flexible resin material to be smoothly slidable along the bent slide recess.

Description

실리콘 웨이퍼 용기의 안전장치{SAFTY DEVICE OF SILICONE WAFER CONTAINER}SAFTY DEVICE OF SILICONE WAFER CONTAINER

본 발명은 실리콘 웨이퍼를 이송하기 위한 용기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 작업자가 실리콘 웨이퍼 용기를 SMIF 시스템으로부터 분리하거나 다음 공정을 위해 직접 이동하는 경우에 대비하여 파드 도어와 커버를 잠궈주는 안전장치를 구비한 실리콘 웨이퍼 용기에 관한 것이다.The present invention relates to a container for transferring a silicon wafer, and more particularly, to a safety device for locking the pod door and the cover in case the worker separates the silicon wafer container from the SMIF system or moves directly for the next process. It relates to a silicon wafer container provided.

반도체 웨이퍼 장비는 매우 깨끗한 환경을 요구한다. 반도체 웨이퍼를 이송하거나 저장할 때 내부에 작은 입자, 기체 혹은 정전하가 포함되는 경우 반도체 웨이퍼 장비 또는 반도체 웨이퍼가 손상을 받게 된다. 그러므로 최근들어 입자가 없는 환경에서 반도체 웨이퍼를 이송하거나 저장하기 위한 기술들이 이용되고 있다.Semiconductor wafer equipment requires a very clean environment. When the semiconductor wafer is transported or stored, the semiconductor wafer equipment or the semiconductor wafer may be damaged if small particles, gases, or electrostatic charges are included therein. Therefore, in recent years, techniques for transporting or storing semiconductor wafers in particle-free environments have been used.

이와 같은 기술개발의 일환으로 SMIF 시스템이 개발되었다.As part of this technology development, the SMIF system was developed.

SMIF 시스템은 반도체 웨이퍼 제조공정을 수행하는 반도체 장비의 주변장치로서 SMIF란 Standard Mechanical Interface의 약자이며, 좁은 공간의 청정실 등에서의 대기 콘트롤 및 프로세스 처리시 인위적인 실수 등을 방지하기 위한 것으로, 실리콘 웨이퍼가 저장된 캐리어를 반도체 장비에 투입하거나 배출하는데 이용되는 시스템이다.SMIF system is a peripheral device for semiconductor equipment that performs semiconductor wafer manufacturing process. SMIF is an abbreviation of Standard Mechanical Interface, and is used to prevent artificial mistakes during atmospheric control and process processing in a clean room, etc. A system used to feed or discharge carriers to semiconductor equipment.

SMIF 시스템은 웨이퍼와 복수의 웨이퍼를 적층시킬 수 있는 캐리어를 수납하기 위한 SMIF 파드, SMIF 파드를 저장하거나 인출하기 위한 SMIF 포트, SMIF 파드로부터 캐리어를 인출하여 반도체 장비 내부로 이송하는 SMIF 아암 등을 포함한다.The SMIF system includes a SMIF pod for accommodating a wafer and a carrier capable of stacking a plurality of wafers, an SMIF port for storing or withdrawing the SMIF pod, an SMIF arm for fetching a carrier from the SMIF pod and transferring it into a semiconductor device, and the like. do.

도 1은 종래의 SMIF 파드를 도시한 사시도로서, SMIF 파드(10)는 하부에 마련된 파드 도어(pod door, 11), 파드 도어(11)의 상부에 놓여지는 캐리어(C), 파드 도어(11)와 기밀을 유지한 채 캐리어(C)를 덮고 있는 커버(12)를 포함한다. 캐리어(C) 내부에는 복수의 실리콘 웨이퍼(W)가 적층된다. 파드 도어(11)의 외측면 둘레에는 다수의 후크(13)가 마련되고, 이에 상응하는 위치의 커버(12) 내측면에는 다수의 후크홈(14)이 마련되어 파드 도어(11)와 커버(12)를 체결하거나 개방한다. 한편, 도면상 미도시되어 있으나, 파드 도어(11)의 하면에는 후크(13)와 연동하는 회전판이 마련되어 있으며, 여기에 한 쌍의 걸림홈이 형성되어 SMIF 포트의 래치핀과 체결되는 것에 의해 후크를 작동시킨다.1 is a perspective view showing a conventional SMIF pod, the SMIF pod 10 is a pod door 11 provided at the bottom, a carrier C placed on the top of the pod door 11, the pod door 11 ) And a cover 12 covering the carrier C while maintaining airtightness. In the carrier C, a plurality of silicon wafers W are stacked. A plurality of hooks 13 are provided around the outer surface of the pod door 11, and a plurality of hook grooves 14 are provided on the inner surface of the cover 12 corresponding to the pod door 11 and the cover 12. ) Tighten or open. On the other hand, although not shown in the drawings, the lower surface of the pod door 11 is provided with a rotating plate interlocking with the hook 13, a pair of engaging grooves are formed therein hook by being engaged with the latch pin of the SMIF port Activate

이와 같이 SMIF 파드(10)는 내부를 클린룸과 같은 환경으로 유지하면서 다수의 실리콘 웨이퍼를 반도체 장비에 투입하거나 배출할 수 있다. 한편 작업자는 현 반도체 장비에서의 공정이 완료되면, SMIF 파드(10)를 SMIF 시스템으로부터 분리하여 직접 들고 다음 공정을 수행하기 위한 반도체 장비의 SMIF 시스템으로 옮겨간다.As described above, the SMIF pod 10 may inject or discharge a plurality of silicon wafers into semiconductor equipment while maintaining the inside in a clean room-like environment. On the other hand, when the process is completed in the present semiconductor equipment, the operator lifts the SMIF pod 10 directly from the SMIF system and moves to the SMIF system of the semiconductor equipment for carrying out the next process.

그런데 종래의 SMIF 파드(10)는 SMIF 시스템에 의해 체결되는 파드 도어(11)와 커버(12)의 체결상태가 기계적인 작동상의 불완전함으로 불량하게 되거나 불완전하게 되는 경우가 종종 발생한다. 한편, 작업자가 이를 인지하지 못한채 SMIF 파드(10)를 들어 올리면 파드 도어(11)와 커버(12)가 분리되면서 실리콘 웨이퍼(W)의 클린 환경이 유지되지 못해 오염되거나, 이동중에 파드 도어(11)가 분리되어 캐리어(C) 및 실리콘 웨이퍼(W)가 밖으로 떨어져 파괴될 우려가 있었다.However, in the conventional SMIF pod 10, the fastening state of the pod door 11 and the cover 12, which are fastened by the SMIF system, often becomes poor or incomplete due to mechanical operation incompleteness. On the other hand, when the operator lifts the SMIF pod 10 without knowing this, the pod door 11 and the cover 12 are separated and the clean environment of the silicon wafer W is not maintained, and the pod door 11 is being moved. ) May be separated and the carrier C and the silicon wafer W may fall out and be destroyed.

따라서, 본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, SMIF 시스템에 의한 파드 도어와 커버의 체결이 불완전하거나 불량하게 되더라도 파드 도어와 커버를 다시한번 체결하여 실리콘 웨이퍼가 외부에 노출되거나 파손되는 것을 예방할 수 있는 안전장치를 구비한 실리콘 웨이퍼 용기를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention is to solve such a conventional problem, and even if the fastening of the pod door and the cover by the SMIF system is incomplete or poor, by fastening the pod door and the cover once again, the silicon wafer is exposed to the outside or broken. It is an object of the present invention to provide a silicon wafer container with a safety device that can prevent the damage.

이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은 용기 내부를 클린룸 환경으로 유지하면서 다수의 실리콘 웨이퍼를 반도체 장비에 투입하거나 배출할 수 있도록 파드 도어, 커버 및 이들을 체결하기 위한 체결수단을 구비한 실리콘 웨이퍼 용기에 있어서, 상기 파드 도어에 면 접촉되는 상기 커버의 일단에 외부에서 내부로 관통하는 슬라이드 홈을 형성하고, 상기 슬라이드 홈과 일치하도록 상기 파드 커버의 일단에 삽입홈을 형성하고, 상기 슬라이드 홈을 따라 슬라이드되면서 그 일부가 상기 삽입홈을 관통하여 상기 파드 도어와 상기 커버를 잠궈주는 잠금쇠가 마련된 안전장치를 구비한 실리콘 웨이퍼 용기를 제공한다.The present invention for achieving the above object is a silicon wafer container having a pod door, a cover and a fastening means for fastening the plurality of silicon wafers into or out of semiconductor equipment while maintaining the inside of the container in a clean room environment. And a slide groove penetrating from outside to inside at one end of the cover which is in surface contact with the pod door, an insertion groove is formed at one end of the pod cover to coincide with the slide groove, and along the slide groove. Provided is a silicon wafer container having a safety device provided with a clasp that slides a portion thereof through the insertion groove to lock the pod door and the cover.

본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 다음에 설명하는 발명의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above objects and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.

도 1은 종래의 SMIF 파드를 도시한 사시도,1 is a perspective view showing a conventional SMIF pod,

도 2는 본 발명에 따른 SMIF 파드를 도시한 사시도 및 요부 확대도,Figure 2 is a perspective view and an enlarged view showing the SMIF pod according to the present invention,

도 3은 도 2의 A-A'선 단면도,3 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 2;

도 4는 본 발명에 따른 2차 안전장치의 작동상태를 도시한 사시도.Figure 4 is a perspective view showing the operating state of the secondary safety device according to the present invention.

〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

10 ; SMIF 파드 11 ; 파드 도어10; SMIF Pod 11; Pod door

12 ; 커버 13 ; 후크12; Cover 13; hook

14 ; 후크홈 20 ; 슬라이드홈14; Hook groove 20; Slide groove

21 ; 삽입홈 22 ; 잠금쇠21; Insertion groove 22; Catch

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 예시하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings illustrating a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 SMIF 파드를 도시한 사시도이며, 도 3은 도 2의 A-A'선단면도이다.Figure 2 is a perspective view showing a SMIF pod according to the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view taken along the line AA 'of FIG.

도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 SMIF 파드(10)는 하부에 마련된 파드 도어(pod door, 11), 파드 도어(11)와 기밀을 유지한 채 파드 도어(11)를 덮고 있는 커버(12)로 구성되며, SMIF 파드(10) 내부에는 다수의 웨이퍼(W)를 적층시킬 수 있는 캐리어(C)가 놓여진다. 또한, 파드 도어(11)의 외측면 둘레에는 다수의 후크(13)가 마련되고, 이에 상응하는 위치의 커버(12) 내측면에는 다수의 후크홈(14)이 마련되어 파드 도어(11)와 커버(16)를 체결하거나 개방한다. 이 후크(13)는 SMIF 시스템에 의해 개폐되는 것으로서, 도면상 미도시되어 있으나, 파드 도어(11)의 하면에는 후크(13)와 연동하는 회전판이 마련되어 있으며, 여기에 한 쌍의 걸림홈이 형성되어 SMIF 포트의 래치핀과 체결되는 것에 의해 후크(13)를 작동시킨다.As shown, the SMIF pod 10 according to the embodiment of the present invention covers the pod door 11 while maintaining airtight with the pod door 11 and the pod door 11 provided at the bottom. Carrier C, which is composed of a cover 12 and which can stack a plurality of wafers W, is placed inside the SMIF pod 10. In addition, a plurality of hooks 13 are provided around the outer surface of the pod door 11, and a plurality of hook grooves 14 are provided on the inner surface of the cover 12 corresponding to the pod door 11 and the cover. (16) Tighten or open. The hook 13 is opened and closed by the SMIF system, but is not shown in the drawing, but the lower surface of the pod door 11 is provided with a rotating plate interlocking with the hook 13, and a pair of locking grooves are formed therein. The hook 13 is operated by engaging with the latch pin of the SMIF port.

특히, 본 발명의 특징적 요소에 따르면, 파드 도어(11)에 면 접촉되는 커버(12)의 외측면 일단에 외부에서 내부로 관통하는 슬라이드 홈(20)이 형성된다. 이 슬라이드 홈(20)은 커버(12)의 외측면을 따라 일정 구간 평행하게 형성되다가 완만한 곡률 반경으로 커버(12)의 외측면에 대해 수직방향으로 꺾어지면서 커버(12)를 관통하도록 형성된다.In particular, according to the characteristic elements of the present invention, a slide groove 20 penetrating from outside to inside is formed at one end of the outer surface of the cover 12 which is in surface contact with the pod door 11. The slide groove 20 is formed to pass through the cover 12 while being parallel to the outer surface of the cover 12 at regular intervals along the outer surface of the cover 12 and bent in a direction perpendicular to the outer surface of the cover 12 with a gentle radius of curvature. .

한편, 이 슬라이드 홈(20)과 대응하는 파드 도어(11)의 일단에 삽입홈(21)이 형성된다. 이 삽입홈(21)은 커버(12)를 관통하는 슬라이드 홈(20)의 진행방향과 일치하도록 형성된다.On the other hand, an insertion groove 21 is formed in one end of the pod door 11 corresponding to the slide groove 20. The insertion groove 21 is formed to coincide with the traveling direction of the slide groove 20 passing through the cover 12.

전술한 슬라이드 홈(20)에는 슬라이드 홈(20)을 따라 슬라이드되는 잠금쇠(22)가 결합된다. 이 잠금쇠(22)는 슬라이드 홈(20)을 따라 슬라이드 되면서 잠금쇠(22)의 몸체가 커버(12)에 형성된 슬라이드 홈(20)에 위치하여 잠금쇠(22)가 해제된 상태를 유지거나, 몸체가 슬라이드 홈(20)과 삽입홈(21)의 중간에 걸쳐져 잠금작용을 하게 된다. 이와 같은 잠금쇠(22)는 굴곡된 슬라이드 홈(20)을 따라 원활하게 슬라이드 이동할 수 있도록 플랙시블한 수지재질로 이루어지는 것이 바람직하다.The above-mentioned slide groove 20 is coupled to the stopper 22 that slides along the slide groove 20. The clamp 22 slides along the slide groove 20 while the body of the clamp 22 is located in the slide groove 20 formed in the cover 12 so that the clamp 22 is released or the body is released. The locking groove 20 is interposed between the slide groove 20 and the insertion groove 21. Such a fastener 22 is preferably made of a flexible resin material to be able to slide smoothly along the curved slide groove (20).

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 안전장치를 구비한 SMIF 파드의 작용을 도 4를 참조하면 다음과 같다.Referring to Figure 4 the operation of the SMIF pod with a safety device according to the present invention configured as described above are as follows.

앞서 언급한 바와 같이, SMIF 파드(10)는 반도체 장비에 설치된 SMIF 시스템에 장착되어 SMIF 파드(10) 내부에 저장된 웨이퍼(W)를 반도체 장비에 투입하거나 공정을 마친 반도체 장비로부터 웨이퍼(W)를 배출받아 다른 공정으로 이송한다.As mentioned above, the SMIF pod 10 is mounted in the SMIF system installed in the semiconductor equipment to inject the wafer W stored in the SMIF pod 10 into the semiconductor equipment or to remove the wafer W from the finished semiconductor equipment. Take it out and transfer it to another process.

한편, SMIF 파드(10)는 SMIF 시스템에 의해 작동하는 래칫핀에 의해 파드 도어(11) 측면의 후크(13)가 커버(12)의 후크홈(14)에 체결되어 SMIF 파드(10)를 SMIF 시스템으로부터 분리하더라도 기밀상태를 유지하게 된다. 그런데, 이와 같은 체결수단의 작동이 알 수 없는 이유로 인해 불완전하게 이루어져 체결상태가 불량한 경우가 발생된다.On the other hand, the SMIF pod 10 is connected to the hook groove 14 of the cover 12 by the ratchet pin operated by the SMIF system, so that the SMIF pod 10 is SMIF. It will remain confidential even if disconnected from the system. By the way, the operation of the fastening means is incomplete due to unknown reasons, the case where the fastening state is poor.

본 발명에서는 이와 같은 경우에 대비해 SMIF 시스템으로부터 SMIF 파드(10)를 분리하기 이전에 작업자가 안전장치를 이용해 파드 도어(11)와 커버(12)를 다시한번 잠궈준다. 즉, 잠금쇠(22)를 슬라이드이동시켜 잠금쇠(22)의 일단이 삽입홈(21)에 삽입되도록하여 잠금쇠(22)가 파드 도어(11)와 커버(12)에 걸쳐지도록 함으로써 비록 후크(13)와 후크홈(14)의 체결상태가 불량하더라도 파드 도어(11)로부터 커버(12)가 분리되는 일이 발생되지 않도록 한다.In the present invention, the operator locks the pod door 11 and the cover 12 once again using a safety device before removing the SMIF pod 10 from the SMIF system in case of such a case. That is, by sliding the catch 22 so that one end of the catch 22 is inserted into the insertion groove 21 so that the catch 22 can span the pod door 11 and the cover 12 even though the hook 13 is removed. Even if the fastening state of the hook groove 14 and the poor so that the cover 12 is not separated from the pod door (11).

또한, 작업자가 SMIF 파드를 분리하기 전에 안전장치를 작동시켜 봄으로써 후크결합이 정상적으로 이루어졌는지를 확인할 수 있어 만약 불완전하게 이루어진 경우 완전하게 이루어지도록 조치를 취한 후 SMIF 파드(10)를 들게 되므로 기존의 경우처럼 이를 인지하지 못한채 SMIF 파드(10)를 들어 올려 파드 도어(11)와 커버(12)가 분리되면서 실리콘 웨이퍼(W)의 클린 환경이 유지되지 못해 오염되거나 이동중에 파드 도어(11)가 분리되어 캐리어(C) 및 실리콘 웨이퍼(W)가 밖으로 떨어져 파괴되는 일을 미연에 방지할 수 있다.In addition, the operator can check whether the hook is properly made by operating the safety device before removing the SMIF pod. If it is incomplete, the operator lifts the SMIF pod 10 after taking measures to make it complete. In this case, the SMOD pod 10 is lifted without being recognized, and the pod door 11 and the cover 12 are separated, so that the clean environment of the silicon wafer W is not maintained and the pod door 11 is detached while being contaminated or moved. This prevents the carrier C and the silicon wafer W from falling out and being destroyed.

이상, 내용은 본 발명의 바람직한 일실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명이 속하는 분야의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있다.The foregoing is merely illustrative of a preferred embodiment of the present invention and those skilled in the art to which the present invention pertains may make modifications and changes to the present invention without changing the subject matter of the present invention.

따라서, 본 발명에 따르면, SMIF 시스템에 의한 파드 도어와 커버의 체결이 불완전하거나 불량하게 되더라도 파드 도어와 커버를 다시한번 체결하여 실리콘 웨이퍼가 외부에 노출되거나 파손되는 것을 예방할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.Therefore, according to the present invention, even if the fastening of the pod door and the cover by the SMIF system is incomplete or poor, the pod door and the cover can be fastened once again to prevent the silicon wafer from being exposed or damaged to the outside. .

Claims (3)

용기 내부를 클린룸 환경으로 유지하면서 다수의 실리콘 웨이퍼(W)를 반도체 장비에 투입하거나 배출할 수 있도록 파드 도어(11), 커버(12) 및 이들을 체결하기 위한 체결수단을 구비한 실리콘 웨이퍼(W) 용기에 있어서,Silicon wafer (W) having a pod door (11), a cover (12), and a fastening means for fastening the plurality of silicon wafers (W) into or out of semiconductor equipment while maintaining the inside of the container in a clean room environment. ) In the container, 상기 파드 도어(11)에 면 접촉되는 상기 커버(12)의 외측면 일단에 관통하여 형성되는 슬라이드 홈(20)과,A slide groove (20) formed through one end of an outer surface of the cover (12) which is in surface contact with the pod door (11); 상기 슬라이드 홈(20)과 일치하도록 상기 파드 커버(12)의 일단에 형성되는 삽입홈(21)과,An insertion groove 21 formed at one end of the pod cover 12 to coincide with the slide groove 20; 상기 슬라이드 홈(20)을 따라 슬라이드되면서 그 일부가 상기 삽입홈(21)에 삽입되어 상기 파드 도어(11)와 상기 커버(12)를 잠궈주는 잠금쇠(22)가 마련된 안전장치를 구비한 실리콘 웨이퍼 용기.A silicon wafer having a safety device provided with a locking device 22 which slides along the slide groove 20 and a part thereof is inserted into the insertion groove 21 to lock the pod door 11 and the cover 12. Vessel. 제 1 항에 있어서, 상기 슬라이드 홈(21)은 상기 커버(12)의 외측면을 따라 일정 구간 평행하게 형성되다가 완만한 곡률 반경으로 상기 커버(12)의 외측면에 대해 수직방향으로 꺾어지면서 상기 커버(12)를 관통하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 안전장치를 구비한 실리콘 웨이퍼 용기.The method of claim 1, wherein the slide groove 21 is formed parallel to the outer surface of the cover 12 for a predetermined interval and is bent in a direction perpendicular to the outer surface of the cover 12 with a gentle radius of curvature Silicon wafer container with a safety device, characterized in that formed through the cover (12). 제 1 항에 있어서, 상기 잠금쇠(22)는 굴곡된 슬라이드 홈(20)을 따라 원활하게 슬라이드 이동할 수 있도록 플랙시블한 수지재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 안정장치를 구비한 실리콘 웨이퍼 용기.2. The silicon wafer container according to claim 1, wherein the clamp (22) is made of a flexible resin material so as to smoothly slide along the curved slide groove (20).
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