KR200155617Y1 - Semiconductor wafer carrier - Google Patents
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Abstract
캐리어 운반용 박스와 캐리어를 겸용하는 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier for automatic transport of semiconductor wafers, which simultaneously serves as a carrier transport box and a carrier.
본 고안은, 반도체 웨이퍼를 내부에 수용하도록 상면이 개방된 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어에 있어서, 상기 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어 상부에 뚜껑을 설치함을 특징으로 한다.The present invention is characterized in that in the carrier for the automatic transport of semiconductor wafers whose top surface is opened to accommodate the semiconductor wafers therein, a lid is provided on the carrier for the automatic transport of the semiconductor wafers.
따라서, 웨이퍼를 적재한 캐리어 상부에 뚜껑이 구성되어 있으므로 작업자의 수작업시 파티클에 의해서 웨이퍼의 오염이 발생하거나 혹은 작업자의 부주의로 캐리어를 떨어뜨릴 경우에 발생하는 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있다.Therefore, since the lid is formed on the carrier on which the wafer is loaded, it is possible to prevent the wafer from being damaged when the wafer is polluted by the particles during the manual operation of the operator or when the carrier is inadvertently dropped.
그리고 운반용 박스와 캐리어가 일원화 되어서 공정실 내부의 공간을 확보할 수 있고, 운반용 박스를 구매하지 않아도 되므로 경제적인 이점을 가질 수 있다.In addition, since the transport box and the carrier are united to secure a space inside the process chamber, there is no need to purchase a transport box, thereby having an economical advantage.
Description
제1도는 종래의 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어와 박스를 나타내는 개략적인 사시도이다.1 is a schematic perspective view showing a conventional carrier and box for semiconductor wafer automatic transfer.
제2도는 본 고안에 따른 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어의 일 실시예를 나타내는 사시도이다.2 is a perspective view showing an embodiment of a carrier for automatic semiconductor wafer transfer according to the present invention.
제3도는 제2도의 본 고안에 따른 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어를 Ⅱ-Ⅱ방향으로 절단한 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along the II-II direction of the carrier for automatic transfer of a semiconductor wafer according to the present invention of FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10,20 : 캐리어 12 : 박스10,20: carrier 12: box
14,22 : 본체 16,24 : 뚜껑14,22: body 16,24: lid
18 : 걸림돌기 26 : 가이드돌기18: jamming projections 26: guide projections
28 : 가이드홈 30 : 손잡이28: guide groove 30: handle
본 고안은 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어(Carrier)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐리어 운반용 박스와 캐리어를 겸용하는 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier for semiconductor wafer automatic transport, and more particularly, to a carrier for semiconductor wafer automatic transport that combines a carrier transport box and a carrier.
일반적으로 웨이퍼로부터 하나의 반도체 칩을 완성하기 까지는 많은 공정을 거쳐서 완성된다. 따라서 웨이퍼를 특정 공정설비에서 다른 공정설비로 운반하게 된다. 웨이퍼의 운반과정은 다수의 웨이퍼를 캐리어에 적재하고 캐리어를 운반용 박스에 담아서 자동반송시스템으로 운반하게 된다.In general, it is completed through many processes to complete one semiconductor chip from a wafer. Thus, wafers are transferred from one process facility to another. In the wafer transport process, a plurality of wafers are loaded into a carrier, and the carrier is placed in a transport box and transported to an automatic transport system.
제1도는 종래의 반도체 자동반송용 캐리어와 박스를 나타내는 개략적인 사시도이다.1 is a schematic perspective view showing a conventional carrier and box for semiconductor automatic transfer.
제1도에서 캐리어(10)와 박스(12)가 도시되어 있다. 캐리어(10)는 웨이퍼가 적재될 수 있는 특정한 공간을 가지며, 내부에는 웨이퍼가 고정되는 슬롯을 구비하고 있다.The carrier 10 and the box 12 are shown in FIG. 1. The carrier 10 has a specific space in which a wafer can be loaded, and has a slot in which the wafer is fixed.
박스(12)는 캐리어(10)를 내부에 수용할 수 있는 공간이 형성된 본체(14)와 본체(14)를 덮을 수 있는 뚜껑(16)이 구성되어 힌지결합되어 있다.The box 12 is hinged by a main body 14 having a space for accommodating the carrier 10 and a lid 16 that can cover the main body 14.
그리고 상기 뚜껑(16)에는 본체(14)를 덮을 경우 열림을 방지하기 위하여 걸림돌기(18)가 형성되어 있고 상기 본체(14)에는 걸림돌기(18)가 고정되는 요홈이 형성되어 있다.And the lid 16 is formed with a locking projection 18 to prevent the opening when the main body 14 is covered, and the main body 14 is formed with a recess to which the locking projection 18 is fixed.
따라서, 특정한 공정설비에서 공정을 마친 웨이퍼를 후속되는 다음 공정설비로 이동시킬때에는 웨이퍼를 캐리어(10)에 적재시키고 웨이퍼가 적재된 캐리어(10)는 작업자의 수작업으로 박스(12)의 본체(14) 내부에 담겨진다. 그리고 작업자가 박스(2)의 뚜껑(16)을 닫게되면, 뚜껑(16)은 걸림돌기(18)에 의해서 본체(14)의 요홈에 고정되어진다. 이 상태에서 컨베이어장치의 구동에 의해서 박스(12)는 다음 공정설비로 이동되어진다.Therefore, when the wafer, which has been processed at a specific process facility, is moved to the next process facility, the wafer is loaded on the carrier 10, and the carrier 10 on which the wafer is loaded is manually operated by the operator. ) Is contained inside. When the operator closes the lid 16 of the box 2, the lid 16 is fixed to the groove of the main body 14 by the locking protrusion 18. In this state, the box 12 is moved to the next process facility by the drive of the conveyor apparatus.
그러나, 작업자가 박스 내에 캐리어를 넣을 때 캐리어의 상면이 개방된 상태이므로 캐리어 내부에 적재되어 있는 웨이퍼에 파티클이 침입하여 웨이퍼의 오염이 발생되고 이에 따라서 수율이 감소되는 문제점이 발생하였다.However, when the operator puts the carrier in the box, the upper surface of the carrier is in an open state, so that particles enter the wafer loaded inside the carrier, causing contamination of the wafer, and thus yielding a problem.
그리고 작업자가 상면이 개방되어 있는 캐리어를 박스에 담을경우에 부주의로 캐리어에 적재되어 있는 웨이퍼를 떨어뜨려 웨이퍼가 손상되는 문제점이 발생하였다.In addition, when an operator packs a carrier having an open top surface into a box, a problem arises in that the wafer is inadvertently dropped and the wafer is loaded on the carrier.
또한, 웨이퍼의 운반과정이 캐리어와 박스로 이원화됨으로써 공정실 내부공간 확보의 어려운 점이 있었다.In addition, since the wafer transport process is dualized into a carrier and a box, it is difficult to secure space inside the process chamber.
본 고안의 목적은, 상면이 개방된 캐리어에 뚜껑을 제작하여 웨이퍼가 적재된 캐리어를 박스에 담을 때 발생하는 웨이퍼의 오염 및 손상을 방지할 수 있는 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a carrier for semiconductor wafer automatic transfer that can prevent the contamination and damage of the wafer generated when the lid is made in a carrier having an open top surface to contain the carrier loaded with the wafer in a box.
본 고안의 다른 목적은, 웨이퍼를 적재한 캐리어와 캐리어를 수용하는 박스를 단일화하여 공정실 내부공간확보와 경제적인 이점을 가지는 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a carrier for semiconductor wafer automatic transfer, which has an economic advantage and secures an internal space of a process chamber by unifying a carrier containing a wafer and a box containing the carrier.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어는, 반도체 웨이퍼를 내부에 수용하도록 상면이 개방된 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어에 있어서, 상기 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어 상부에 뚜껑을 설치함을 특징으로 한다.In the carrier for automatically transporting a semiconductor wafer according to the present invention for achieving the above object, a carrier for automatic transport of a semiconductor wafer having an upper surface opened to receive a semiconductor wafer therein, wherein a lid is provided on the carrier for automatic transport of the semiconductor wafer. It is characterized by.
상기 캐리어의 양상단 변부에는 가이드돌기가 형성되고 상기 뚜껑에는 가이드돌기에 안내되는 가이드홈이 형성되어 슬라이드됨이 바람직하다. 그리고 상기 뚜껑은 사각 형상의 조각이 결합되어 구성됨이 또한 바람직하다.A guide protrusion is formed at the side end side of the carrier, and the guide groove is formed to slide in the lid guide guide is formed. And it is also preferable that the lid is configured by combining square pieces.
이하, 본 고안에 따른 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of a carrier for automatic semiconductor wafer transfer according to the present invention will be described in detail.
제2도는 본 고안에 따른 반도체 웨이퍼 자동반송용 캐리어의 일 실시예를 나타내는 사시도이고, 제3도는 제2도의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도이다.2 is a perspective view showing an embodiment of a carrier for automatic semiconductor wafer transfer according to the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG.
제2도 및 제3도를 참조하면, 본 고안에 따른 캐리어(20)는 웨이퍼가 적재될 수 있는 공간이 형성된 본체(22)와 본체(22)를 덮을 수 있는 뚜껑(24)으로 구성되어 있다.2 and 3, the carrier 20 according to the present invention is composed of a main body 22 having a space in which a wafer can be loaded and a lid 24 that can cover the main body 22. .
본체(22)는, 상면이 개방된 직육면체 형상에서 일측이 곡면을 이루고 있는 형상으로 개방된 상면의 양 단변의 단부에서 일측 곡면의 특정부분의 단부까지는 외향으로 돌출된 가이드돌기(26)가 형성되어 있다. 그리고 본체(22)의 내부에는 웨이퍼가 적재될 수 있도록 슬롯이 형성되어 있다.The main body 22 has a guide protrusion 26 protruding outward from an end portion of both short sides of the upper surface opened in a shape in which one side is curved in a shape of a rectangular parallelepiped with an open upper surface. have. In addition, a slot is formed inside the main body 22 so that a wafer can be loaded.
그리고 뚜껑(24)은 폭이 좁은 단위 직사각 형상의 조각들이 절곡가능하도록 연결결합되어 캐리어 상면이 곡면을 이루며 본체(22)를 덮도록 구성되어 있다. 뚜껑(24)의 단부는 가이드돌기(26)와 맞물리는 가이드홈(28)이 형성되어 있다.And the lid 24 is configured to be coupled to the narrow narrow unit rectangular pieces are bent so that the upper surface of the carrier to form a curved surface to cover the body (22). The end portion of the lid 24 is formed with a guide groove 28 to be engaged with the guide projection 26.
그리고 뚜껑(24)의 상부에는 손잡이(28)가 구성되어 작업자가 손잡이(28)를 잡고 뚜껑(24)을 열고 닫을 수 있도록 구성되어 있다.And the upper portion of the lid 24, the handle 28 is configured so that the operator can hold the handle 28 to open and close the lid 24.
따라서, 웨이퍼를 특정 공정설비에서 후속되는 다음 공정설비로 이송시키기 위하여 웨이퍼를 캐리어(20) 내부의 본체(22)에 적재한다. 그러면 작업자는 뚜껑(24)에 형성되어 있는 손잡이(28)를 잡고서 뚜껑(24)을 닫는다. 즉 뚜껑(24)은 가이드홈(28)과 가이드돌기(26)의 결합에 의해서 본체(22)에 고정되어 가이드 돌기(26)를 레일로 이용하여 슬라이드되며 본체(22)의 개방된 상면을 덮는다.Accordingly, the wafer is loaded into the main body 22 inside the carrier 20 to transfer the wafer from the specific processing equipment to the next processing equipment. The worker then closes the lid 24 by holding the handle 28 formed on the lid 24. That is, the lid 24 is fixed to the main body 22 by the coupling of the guide groove 28 and the guide protrusion 26, and slides using the guide protrusion 26 as a rail, and covers the open upper surface of the main body 22. .
그래서 웨이퍼를 적재한 캐리어(20)는 컨베이어 시스템에 의해서 후속되는 다음 공정설비로 이동한다.Thus, the carrier 20 on which the wafer is loaded is moved to the next process facility following by the conveyor system.
따라서, 웨이퍼를 적재한 캐리어 상부에 뚜껑이 구성되어 있으므로 작업자의 수작업시 파티클에 의해서 웨이퍼의 오염이 발생하거나 혹은 작업자의 부주의로 캐리어를 떨어드릴 경우에 발생하는 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있다.Therefore, since the lid is formed on the carrier on which the wafer is loaded, it is possible to prevent the wafer from being damaged by contamination of the wafer by the particles during the manual operation of the operator or by dropping the carrier inadvertently by the operator.
그리고 운반용 박스와 캐리어가 일원화 되어서 공정실 내부의 공간을 확보할 수 있고, 운반용 박스를 구매하지 않아도 되므로 경제적인 이점을 가질 수 있다.In addition, since the transport box and the carrier are united to secure a space inside the process chamber, there is no need to purchase a transport box, thereby having an economical advantage.
이상에서 본 고안은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 고안의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 실용신안등록청구의 범위에 속함은 당연하다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the embodiments described, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical spirit of the present invention, and such modifications and modifications fall within the scope of the appended utility model registration claims. Of course.
Claims (3)
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| KR2019960004325U KR200155617Y1 (en) | 1996-03-08 | 1996-03-08 | Semiconductor wafer carrier |
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| KR970056082U KR970056082U (en) | 1997-10-13 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100552282B1 (en) * | 1997-12-31 | 2006-05-11 | 삼성전자주식회사 | Automatic feeding device of glass substrate and method of using the same |
| KR100745969B1 (en) * | 2001-05-18 | 2007-08-02 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | Container of Carrier for Receiving Semiconductor Wafer |
-
1996
- 1996-03-08 KR KR2019960004325U patent/KR200155617Y1/en not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100552282B1 (en) * | 1997-12-31 | 2006-05-11 | 삼성전자주식회사 | Automatic feeding device of glass substrate and method of using the same |
| KR100745969B1 (en) * | 2001-05-18 | 2007-08-02 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | Container of Carrier for Receiving Semiconductor Wafer |
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|---|---|
| KR970056082U (en) | 1997-10-13 |
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