JP4073206B2

JP4073206B2 - Storage container lid

Info

Publication number: JP4073206B2
Application number: JP2001371634A
Authority: JP
Inventors: 博三村; 崇別役; 幹雄古川
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2001-12-05
Filing date: 2001-12-05
Publication date: 2008-04-09
Anticipated expiration: 2021-12-05
Also published as: JP2003174081A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやマスクガラス等の精密基板の収納、輸送、保管、あるいは精密基板の加工に用いられる標準的な機械的インターフェイスを有する加工装置に接続可能な収納容器の蓋体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体ウェーハ等からなる精密基板の加工装置に接続して使用される収納容器は、図示しないが、複数枚の精密基板を整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体と、この容器本体の開口正面をシール状態に嵌合閉鎖する蓋体とから構成される。
容器本体は、レールやハンドルが装着され、これらレールやハンドルが自動搬送機構に支持又は保持されて工程内を搬送される。また、蓋体は、容器本体の開口正面に嵌合される中空プレートと、この中空プレートに締結具を介して内蔵され、外部からの外部操作に基づいて容器本体の開口正面に嵌合された嵌合プレートを施錠又は解錠する複数の係止機構とから構成される。
【０００３】
各係止機構は、例えば特表平４‐５０５２３４号や特開平８‐３４００４３号公報等に開示されているように、嵌合プレートに軸支される回転可能な回転プレートと、嵌合プレートに支持され、回転プレートの回転によりカムやリンク機構を介し直線的にスライドし、容器本体の開口正面内周の凹み穴に係止爪を嵌合係止する複数枚の係止プレートとから構成される。また、特開２０００‐５８６３３号公報の場合には、蓋体の表面から操作孔を介してアクセス可能な回転プレートと、この回転プレートに連結されて直線的にスライドする複数枚の連結プレートと、各連結プレートの先端部に連結されて連動する揺動可能な複数のクランプとから構成される。
このような収納容器は、自動搬送機構により搬送されて精密基板の加工装置に搭載され、加工装置の蓋体開閉装置により容器本体から蓋体が自動的に取り外される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、収納容器は、一つのタイプに止まらず、半導体の生産工場で精密基板の受け入れや出荷時に輸送容器に移し替えるためだけに使用されるタイプ、半導体の部品製造の後工程内で精密基板を搬送したり、保管するためだけに使用されるタイプとに分類される。これらのタイプの収納容器は、蓋体開閉の自動処理が可能で、しかも、安価であることが望まれている。また昨今、精密基板の大口径化に伴い、ハンドリングが困難なバックグラインドされた極薄肉厚(０．３ｍｍ以下)の精密基板を搬送せず、後工程でバックグラインドする傾向にあるので、後工程の受け入れ工程でも前工程で使用される収納容器と互換性を有する蓋体付きの収納容器が望まれている。
【０００５】
さらに、精密基板の輸送に使用される輸送容器は、係止機構や基板押さえが安全な輸送を主眼に構成されているので、工程内で使用される収納容器と異なり、蓋体の自動開閉処理が困難化したり、加工装置に接続使用することができない。したがって、蓋体の開閉や精密基板の移し替えに際しては別の装置が必要になる。
【０００６】
また、従来の収納容器は、複数の部品が螺着されることにより、蓋体が中空構造に構成されるので、洗浄時に締結具に洗浄液が付着して乾燥に時間がかかるという問題がある。また、蓋体は、自動的に開閉されるのが主であるが、時として手動で開閉操作しなければならない場合がある。この場合、専用の治具が必要になるが、係る専用の治具が手元に存在しないときには、開閉操作することができない。さらに、係止機構は、部品点数が多く、しかも、複雑な構造に構成されるので、高価にならざるを得ないという特徴がある。このような係止機構は、大量に使用される収納容器に採用すると、コスト削減の要請に背くので、到底採用することができない。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みなされたもので、蓋体開閉の自動処理が可能で、例え後工程の受け入れ工程でも前工程で使用される収納容器と互換性を有する蓋体付きの収納容器を得ることができ、しかも、蓋体の開閉や基板の移し替えに際しても専用装置を特に必要としない安価な収納容器の蓋体を提供することを目的としている。
また、洗浄の容易化や洗浄液を迅速に乾燥させることができ、専用の治具がなくても開閉操作することができ、さらには係止機構の簡素化を図ることのできる収納容器の蓋体を提供することを他の目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明においては上記課題を解決するため、容器本体の開口部を蓋体で着脱自在に覆うものであって、
上記蓋体を、上記容器本体の開口部に嵌め入れられる嵌合プレートと、この嵌合プレートに取り付けられ、外部操作に基づいて上記容器本体の開口部に嵌め入れられた嵌合プレートを施錠又は解錠する係止機構と、該嵌合プレートの表面に取り付けられて該係止機構を覆うカバー体とから構成し、
上記蓋体の嵌合プレートの表面中央に膨出台座を形成してその両側壁上部にはつばを張り出し形成し、上記蓋体の係止機構を、上記嵌合プレートに支持される回転可能な回転プレートと、該嵌合プレートに支持され、上記回転プレートの回転によりスライドして上記容器本体の開口部内周の凹み穴に係わり合う複数の係止プレートとから構成し、上記蓋体のカバー体の中央部を上記係止機構の回転プレートに対応して丸く形成するとともに、このカバー体の中央部から上下に伸びる上下部を該係止機構の係止プレートに対応するようそれぞれ略長方形に形成し、カバー体には、該係止機構用の貫通操作孔を設けたことを特徴としている。
なお、上記容器本体を、底部に中空を有する容器と、この容器の底部中空を覆う底板プレートと、この底板プレートに設けられて該容器の開口部に嵌め入れられる蓋体嵌合枠とから構成することができる。
また、上記係止機構の回転プレートに手動操作レバーを設けるとともに、回転プレートの中心部には外部操作用の操作穴を設けることができる。
また、上記蓋体の嵌合プレートと上記カバー体のいずれか一方に係止部を、他方には該係止部と着脱自在に係わり合う被係止部をそれぞれ設け、上記カバー体の中央部には、上記回転プレートの操作穴に略対向する貫通操作孔を設けることもできる。
【０００９】
また、本発明においては上記課題を解決するため、容器本体の開口部を蓋体で着脱自在に覆うものであって、
上記蓋体を、上記容器本体の開口部に嵌め入れられる嵌合プレートと、この嵌合プレートに取り付けられ、外部操作に基づいて上記容器本体の開口部に嵌め入れられた嵌合プレートを施錠又は解錠する係止機構と、該嵌合プレートの表面に取り付けられて該係止機構を覆うカバー体とから構成し、
上記蓋体の嵌合プレートの表面中央に膨出台座を形成してその両側壁上部にはつばを張り出し形成し、上記蓋体の係止機構を、回転可能な回転プレートと、この回転プレートの回転によりカム面に案内されながらスライドし、上記容器本体の開口部内周の凹み穴に係わり合う複数の係止プレートとから構成し、上記蓋体のカバー体の中央部を上記係止機構の回転プレートに対応して丸く形成するとともに、このカバー体の中央部から上下に伸びる上下部を該係止機構の係止プレートに対応するようそれぞれ略長方形に形成し、カバー体の中央部には、該係止機構用の貫通操作孔を設けたことを特徴としている。
なお、上記容器本体を、底部に中空を有する容器と、この容器の底部中空を覆う底板プレートと、この底板プレートに設けられて該容器の開口部に嵌め入れられる蓋体嵌合枠とから構成することが可能である。
【００１０】
ここで、特許請求の範囲における容器本体は、半導体ウェーハやマスクガラス等からなる単数複数の精密基板を主に収納するが、機械・電気・電子部品や雑貨等、他の物品を収納するものでも良い。この容器本体は、正面が開口部であるのが主であるが、例えば上面が開口していても良い。また、係止機構は単数複数いずれでも良い。係止部と被係止部としては、相互に係わり合って固定機能を発揮する単数複数の凹部、凸部、係止穴、係止片、溝等を使用することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における収納容器の蓋体は、図１ないし図１０に示すように、複数枚の精密基板Ｗを整列収納する容器本体１の開口正面を蓋体９で着脱自在に嵌合閉鎖するもので、蓋体９を、容器本体１の開口正面にシール可能に嵌合する断面略Ｕ字形の嵌合プレート１０と、この嵌合プレート１０内に配設され、外部操作に基づいて容器本体１の開口正面に嵌合された嵌合プレート１０を施錠又は解錠する一対の係止機構３０と、嵌合プレート１０の表面に装着されて各係止機構３０を被覆する着脱自在のカバー体４０とから構成するようにしている。
【００１２】
複数枚の精密基板Ｗとしては、複数枚の半導体ウェーハが使用される。より詳しくは、３００ｍｍの複数枚(例えば、２５枚や２６枚等)のシリコンウェーハが使用される。
【００１３】
容器本体１は、図１ないし図４に示すように、透明のポリカーボネートや環状オレフィン樹脂等を使用して正面が開口したフロントオープンボックスタイプに成形される。この容器本体１の相対向する内部両側には、断面略Ｖ字形あるいはＵ字形の整列溝を並べ備えた棚体２がそれぞれ設けられ、この一対の棚体２が上下に並んだ複数枚の精密基板Ｗを所定の一定ピッチで水平に支持する。容器本体１の底部には、図２に示すように、前部両側と後部とに、断面略Ｖ字形を呈した加工装置用の位置決め部材８が複数形成されるとともに、収納容器の種類を検知して区別するための複数の貫通孔を有するプレート８Ａが取り付けられる。
【００１４】
容器本体１の底部両側にはレール３がそれぞれ着脱自在に装着され、このレール３がＡＧＶ(オートメーデッドガイディドバイスクル)やＲＧＶ(レールガイディドバイスクル)と呼ばれる自動搬送機構に支持されて工程内を搬送される。容器本体１の天井にはハンドル４が着脱自在に装着され、このハンドル４がＯＨＴ(オーバーヘッドホイストトランスファー)と呼ばれる自動搬送機構に保持されて工程内を搬送される。容器本体１の開口正面は、蓋体嵌合用のリム部５が幅広に一体形成され、このリム部５の内周上下両側には、蓋体施錠用の凹み穴６がそれぞれ穿孔されており、容器本体１の外部両側には、把持用の搬送ハンドル７がそれぞれ着脱自在に装着される。
【００１５】
なお、容器本体１を構成する一対の棚体２、ボトムプレート、３個の位置決め部材、一対のレール３、ハンドル４、一対の搬送ハンドル７は、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、環状オレフィン樹脂等の熱可塑性樹脂を使用して成形される。また、熱可塑性樹脂に導電性の付与された材料を使用して成形することもできる。
【００１６】
嵌合プレート１０は、図１、図２、図４ないし図１０に示すように、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、環状オレフィン樹脂等の熱可塑性樹脂を使用して断面略Ｕ字形、略コ字形の略長方形に成形される。この嵌合プレート１０は、周壁にエンドレスのシールガスケット１１が嵌着され、この弾性のシールガスケット１１が蓋体９の嵌合時にリム部５内に変形して密嵌し、精密基板Ｗを整列収納した収納容器の密封を確保する。
【００１７】
嵌合プレート１０の周壁内面の上下両側には、蓋体９の嵌合時に凹み穴６に対向する矩形の出没孔１２が所定の間隔をおいてそれぞれ穿孔され、嵌合プレート１０の周壁の左右両側には、カバー体用の複数の係止穴１３が所定の間隔をおいてそれぞれ穿孔される。また、嵌合プレート１０の裏面中央には、断面略Ｖ字形あるいはＵ字形の整列溝を並べ備えた基板押さえ１４が着脱自在に装着され、この基板押さえ１４が上下に並んだ複数枚の精密基板Ｗの前端部を所定の一定ピッチで水平に支持し、前後方向に対する動きを規制する。
【００１８】
嵌合プレート１０の表面中央には図１、図２、図５、図６等に示すように、自動又は手動による開閉把持用の膨出台座１５が正面略分銅紋(日本の家紋の一つ)、略Ｈ字形、あるいは略鼓形に突出形成され、この膨出台座１５が嵌合プレート１０の左右両側の周壁との間に、係止機構用の設置スペース１６をそれぞれ凹んだ状態に区画形成する。この膨出台座１５の両側壁の上部には、把持用のつばが張り出し成形され、膨出台座１５の壁には、カバー体用の複数の係止穴１３が所定の間隔をおいて穿孔される。
【００１９】
膨出台座１５の下部一側と上部他側には、蓋体開閉装置による蓋体位置決め時に使用される位置決め穴１７がそれぞれ穿孔され、この一対の位置決め穴１７が蓋体９の中心点を挟んで対角線上に配列される。この一対の位置決め穴１７と中心線に対して線対称の位置は、蓋体吸着用の平坦面とされる。
なお、複数の係止穴１３は、膨出台座１５の壁に止まらず、嵌合プレート１０の設置スペース１６やその近傍部等にも設けることができる。
【００２０】
各設置スペース１６には図５、図６等に示すように、各設置スペース１６の中央部に位置する係止機構設置用の円筒リブ１８、各円筒リブ１８の近傍上下に位置する一対のストッパ１９、各円筒リブ１８の上下に位置する複数のカム２０がそれぞれ配設される。各円筒リブ１８は周方向に分割形成される。また、各カム２０は、間隔をおいて平行に相対向する一対のカムレール２１を備え、この一対のカムレール２１の表面には、凹凸からなるカム面２２が形成される。
【００２１】
各係止機構３０は、図７ないし図１０に示すように、嵌合プレート１０の円筒リブ１８にボスリブを介して支持される回転可能な一対の回転プレート３１と、嵌合プレート１０のカム２０に支持され、各回転プレート３１の回転により直線的にスライドして容器本体１のリム部５の凹み穴６に嵌合係止する複数枚の係止プレート３５とから構成される。各回転プレート３１は、円形に形成され、裏面の外周に設置スペース１６のストッパ１９と摩擦係合する突起が突出形成される。
【００２２】
各回転プレート３１の表面の略円柱形を呈した中心部には、蓋体開閉装置による外部操作用の操作穴３２が略長方形に穿孔され、外周部には、係止プレート用の一対の案内溝３３が所定の角度で半円弧形に湾曲形成される。また、回転プレートの中心部周面には、手動操作レバー３４が半径外方向に向けて突出形成される。この手動操作レバー３４は、一対の回転プレート３１それぞれに蓋体９の中心線に対して線対称となるよう配設される。
【００２３】
このように構成された回転プレート３１は、操作穴３２に蓋体開閉装置の回転可能なＴ字形のアタッチメントが挿入されることにより、９０°正逆に回転する。
なお、蓋体開閉装置の接続位置や寸法は、ＳＥＭＩ規格で容器のサイズ毎に定められている。例えば、３００ｍｍウェーハ用の工程容器の蓋体寸法は、ＳＥＭＩ規格のＥ６２で標準化された蓋体開閉装置に対応可能に定められている。
【００２４】
各係止プレート３５は、一対のカムレール２１の幅に対応する略長方形の板体からなり、長手方向の中心線が回転プレート３１の中心と一致するようカム２０のカムレール２１に配置される。この係止プレート３５は、一端部が出没孔１２を貫通して凹み穴６に嵌合係止する係止爪３６に形成され、他端部にピン３７が形成されており、このピン３７が回転プレート３１の案内溝３３に下方から直接又は回転ローラ等を介し嵌入される。各係止プレート３５の両側部には、複数の円柱突起３８が所定の間隔をおいて形成され、各円柱突起３８がカムレール２１のカム面２２に直接又は回転ローラ等を介し係合接触する。
【００２５】
なお、係止機構３０の回転プレート３１や係止プレート３５等は、ポリカーボネート、フッ含有ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアセタール等の熱可塑性樹脂を使用して適宜成形される。
【００２６】
各カバー体４０は、例えばポリカーボネート、フッ含有ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアセタール等の熱可塑性樹脂を使用して屈曲成形される。このカバー体４０は、図１、図２、図５に示すように、中央部が回転プレート３１に対応して丸く、この中央部から上下に伸びる上下部が係止プレート３５に対応するようそれぞれ略長方形に成形されており、両側部には係止穴１３に嵌合する複数の係止片４１がそれぞれ突出形成されるとともに、他側部には操作用の取り外し片４２が突出形成される。
【００２７】
カバー体４０の中央部には、回転プレート３１の操作穴３２に略対向する貫通操作孔４３が矩形に穿孔され、この貫通操作孔４３が蓋体開閉装置のアタッチメントに貫通される。カバー体４０の中央部の内側周壁には切り欠きが周方向に形成され、この切り欠きから手動操作レバー３４が突出して操作可能な状態となる。
【００２８】
上記構成において、精密基板Ｗを整列収納した容器本体１を密封状態に封止する場合には、蓋体開閉装置が容器本体１に図９の状態の蓋体を押圧嵌合し、係止機構３０の回転プレート３１を９０°回転させる。すると、回転プレート３１の回転に伴い係止プレート３５がカム２０のカム面２２に案内されつつ直線的にスライドし、係止プレート３５の係止爪３６が嵌合プレート１０の出没孔１２を貫通して容器本体１の凹み穴６に嵌合係止する(図１０参照)。この嵌合係止により、容器本体１が密封状態に封止される。
【００２９】
なお、回転プレート３１は、９０°回転すると、一のストッパ１９に接触し、必要以上の回転が規制され、操作穴３２が任意の位置に位置決めされる。また、図９、図１０においては、係止機構３０の状態を説明するため、カバー体４０を取り外した状態を示しているが、実際の使用に当たっては、カバー体４０の装着された蓋体９が使用される。
【００３０】
逆に、容器本体１から蓋体９を取り外す場合、蓋体開閉装置が係止機構３０の回転プレート３１を逆方向に９０°回転させる。すると、回転プレート３１の逆回転に伴い係止プレート３５がカム２０のカム面２２に案内されつつ直線的にスライドし、容器本体１の凹み穴６に嵌合係止していた係止プレート３５の係止爪３６(図１０参照)が嵌合プレート１０の出没孔１２を介して嵌合プレート１０内に後退する(図９参照)。この後退により、容器本体１から蓋体９が取り外し可能な状態となる。
なお、回転プレート３１は、逆方向に９０°回転すると、他のストッパ１９に接触し、必要以上の回転が規制され、操作穴３２が任意の位置に位置決めされる。
【００３１】
上記構成によれば、係止機構３０を確保しつつ、蓋体９を高価な中空構造から簡易なカバー体４０付きの構造に変更するので、蓋体開閉の自動処理が可能であり、しかも、きわめて安価に製造することができる。また、係止機構３０の機能そのものにはなんら変更はないので、後工程の受け入れ工程でも前工程で使用される収納容器と互換性を有する蓋体付きの収納容器を提供することができる。また、係る蓋体９を輸送容器に使用すれば、蓋体９の自動開閉処理が可能になり、加工装置に接続使用することもできる。したがって、蓋体９の開閉や精密基板Ｗの移し替えに際しては別の装置を特に必要としない。
【００３２】
また、カバー体４０を螺子締結ではなく、摩擦により装着し、しかも、このカバー体４０を取り外して嵌合プレート１０とカバー体４０とを別々に洗浄するようにすれば、洗浄液の流通空間を広く確保できるので、洗浄時に締結具等に洗浄液が付着して乾燥に長時間を必要としたり、洗浄の大幅な遅延を招くことがなく、これを通じて洗浄や乾燥の著しい円滑化、効率化、迅速化、容易化等を図ることが可能になる。また、例え専用の治具が手元に存在しなくても、手動操作レバー３４を揺動操作するだけで、係止機構３０を施錠・解錠することができる。つまり、何時でも蓋体９を手動で開閉操作することができるので、開閉操作の便宜を大いに図ることができる。
【００３３】
また、係止機構３０は、螺子等がなく、部品点数が少ない簡素な構造なので、きわめて安価に製造することが可能になる。したがって、大量に使用される収納容器に採用しても、全体的なコストを削減することができる。さらに、膨出台座１５が実に掴み易い正面略分銅紋、略Ｈ字形、あるいは略鼓形に形成されるので、手動による開閉把持操作がきわめて容易となる。さらにまた、回転プレート３１の案内溝３３と係止プレート３５のピン３７、カムレール２１のカム面２２と係止プレート３５の円柱突起３８との間に回転ローラやカムフロア等を介在させれば、摩擦抵抗に伴う樹脂粉の発生を有効に防止することができる。
【００３４】
次に、図１１ないじ図１４は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、容器本体１を、底部の大部分に矩形の中空を有する容器５０と、この容器５０の底部に装着されて中空を覆う略半小判形のボトムプレート５１と、このボトムプレート５１の前端部に超音波溶着や熱溶着等により立設されて容器５０の開口正面に嵌入されるリム部５を含む蓋体嵌合枠５２とから構成するようにしている。
【００３５】
容器５０、ボトムプレート５１、蓋体嵌合枠５２は、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、環状オレフィン樹脂等の熱可塑性樹脂を使用して成形される。容器５０は、ボトムプレート５１と超音波溶着や熱溶着等により一体化されたり、あるいは着脱自在に組み立てられる。ボトムプレート５１の左右両側部には、断面略Ｖ字形あるいはＵ字形の整列溝を並べ備えた棚体２がそれぞれ立設される。また、カバー体４０は、例えばポリカーボネート、フッ含有ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリアセタール等の熱可塑性樹脂の他、アクリル、スチレン等の透明シートやフィルム等を使用して成形される。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
【００３６】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、簡易な構成とコスト削減が期待できるのは明らかである。
【００３７】
なお、上記実施形態では回転プレート３１に案内溝３３を、係止プレート３５にピン３７をそれぞれ配設したが、なんらこれに限定されるものではなく、逆でも良い。さらに、容器５０の底部にボトムプレート５１を装着したが、他のプレートでも良い。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、蓋体開閉の自動処理が可能で、例え後工程の受け入れ工程でも前工程で使用される収納容器と互換性を有する蓋体付きの収納容器を得ることができ、しかも、専用装置を特に使用しなくても、蓋体の開閉や基板の移し替えを行うことができるという効果がある。また、蓋体洗浄の容易化を実現し、洗浄液を比較的短時間で乾燥させることができるとともに、専用の治具がなくても蓋体を開閉操作することができ、係止機構の構成の簡素化を図ることもできる。さらに、膨出台座が掴み易い正面略分銅紋、略Ｈ字形、あるいは略鼓形に形成されるので、手動による開閉把持操作が容易になるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る収納容器の蓋体の実施形態を示す斜視図である。
【図２】本発明に係る収納容器の蓋体の実施形態における蓋体とカバー体とを示す概略要部説明図である。
【図３】本発明に係る収納容器の蓋体の実施形態における開口した容器本体を示す正面図である。
【図４】本発明に係る収納容器の蓋体の実施形態における蓋体を示す裏面図である。
【図５】本発明に係る収納容器の蓋体の実施形態における蓋体を示す正面図である。
【図６】本発明に係る収納容器の蓋体の実施形態における係止機構とカバー体なしの蓋体を示す正面図である。
【図７】本発明に係る収納容器の蓋体の実施形態における蓋体と係止機構を示す断面説明図である。
【図８】図７の組立状態を示す断面説明図である。
【図９】本発明に係る収納容器の蓋体の実施形態における係止機構の施錠状態を示す概略正面図である。
【図１０】本発明に係る収納容器の蓋体の実施形態における係止機構の解錠状態を示す概略正面図である。
【図１１】本発明に係る収納容器の蓋体の第２の実施形態を示す分解斜視説明図である。
【図１２】本発明に係る収納容器の蓋体の第２の実施形態を示す正面説明図である。
【図１３】本発明に係る収納容器の蓋体の第２の実施形態を示す一部側面図である。
【図１４】本発明に係る収納容器の蓋体の第２の実施形態を示す底面図である。
【符号の説明】
１容器本体
５リム部
６凹み穴
９蓋体
１０嵌合プレート
１１シールガスケット
１２出没孔
１３係止穴(被係止部)
１５膨出台座
１６設置スペース
２０カム
３０係止機構
３１回転プレート
３２操作穴
３４手動操作レバー
３５係止プレート
３６係止爪
４０カバー体
４１係止片(係止部)
４３貫通操作孔
５０容器
５１ボトムプレート(底板プレート)
５２蓋体嵌合枠
Ｗ精密基板[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a lid of a storage container that can be connected to a processing apparatus having a standard mechanical interface used for storing, transporting, storing, or processing a precision substrate such as a semiconductor wafer or mask glass. is there.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a storage container used by connecting to a precision substrate processing apparatus made of a semiconductor wafer or the like is not shown, but a front open box type container body that stores and arranges a plurality of precision substrates, and an opening of the container body. And a lid that fits and closes the front face in a sealed state.
The container main body is provided with rails and handles, and these rails and handles are supported or held by an automatic conveyance mechanism and conveyed in the process. Further, the lid body is built into the hollow plate that is fitted to the front face of the opening of the container body, and is fitted into the hollow plate via a fastener, and is fitted to the front face of the opening of the container body based on an external operation from the outside. And a plurality of locking mechanisms for locking or unlocking the fitting plate.
[0003]
Each locking mechanism includes, for example, a rotatable rotating plate that is pivotally supported by a fitting plate, and a fitting plate as disclosed in JP-T-4-505234 and JP-A-8-340043. It consists of a plurality of locking plates that are supported and slide linearly through the cam or link mechanism by the rotation of the rotating plate, and the locking claws are fitted and locked in the recessed holes on the inner periphery of the opening front of the container body. The Further, in the case of JP 2000-58633 A, a rotating plate accessible from the surface of the lid through the operation hole, a plurality of connecting plates that are connected to the rotating plate and slide linearly, It comprises a plurality of swingable clamps that are connected to and interlocked with the front ends of the connection plates.
Such a storage container is transported by an automatic transport mechanism and mounted on a precision substrate processing apparatus, and the lid body is automatically removed from the container body by the lid opening / closing device of the processing apparatus.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, the storage container is not limited to a single type. It is a type that is used only for receiving precision substrates at semiconductor production plants and transferring them to transport containers at the time of shipment. It is classified as a type that is used only for transportation and storage. These types of storage containers are desired to be able to automatically open and close the lid and to be inexpensive. In addition, with the recent increase in size of precision substrates, back-grinded ultra-thin (0.3 mm or less) precision substrates that are difficult to handle are not transported and tend to be back-grinded in the post-process. There is a demand for a storage container with a lid that is compatible with the storage container used in the preceding process in the receiving process.
[0005]
Furthermore, the transport container used for transporting precision substrates is mainly designed for safe transport, with a locking mechanism and substrate presser, so unlike the storage container used in the process, the lid automatically opens and closes. Cannot be used or connected to a processing apparatus. Therefore, another device is required for opening and closing the lid and transferring the precision substrate.
[0006]
In addition, the conventional storage container has a problem that since the lid body is formed in a hollow structure by screwing a plurality of parts, the cleaning liquid adheres to the fastener during cleaning and it takes time to dry. In addition, the lid is mainly opened and closed automatically, but sometimes the lid needs to be manually opened and closed. In this case, a dedicated jig is required, but when such a dedicated jig does not exist at hand, the opening / closing operation cannot be performed. Furthermore, the locking mechanism has a number of parts and has a complicated structure, and thus has a feature that it must be expensive. If such a locking mechanism is adopted in a storage container that is used in large quantities, it is against the demand for cost reduction, and therefore cannot be adopted at all.
[0007]
The present invention has been made in view of the above, and obtains a storage container with a cover that can automatically open and close the cover, and is compatible with the storage container used in the previous process even in the receiving process of the subsequent process. In addition, it is an object of the present invention to provide an inexpensive storage container lid that does not particularly require a dedicated device for opening and closing the lid and transferring the substrate.
In addition, the lid of the storage container can be easily cleaned, the cleaning liquid can be dried quickly, can be opened and closed without a dedicated jig, and the locking mechanism can be simplified. The other purpose is to provide.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, in order to solve the above problems, the opening of the container body is detachably covered with a lid,
A fitting plate that fits the lid body into the opening of the container body, and a fitting plate that is attached to the fitting plate and fitted into the opening of the container body based on an external operation, A locking mechanism for unlocking, and a cover body that is attached to the surface of the fitting plate and covers the locking mechanism;
A bulging pedestal is formed in the center of the surface of the fitting plate of the lid body, and ribs are formed on the upper portions of both side walls, and the locking mechanism of the lid body is rotatable and supported by the fitting plate. A cover plate for the lid body, comprising: a rotation plate; and a plurality of locking plates supported by the fitting plate and slidable by rotation of the rotation plate to engage with the recessed holes on the inner periphery of the opening of the container body. The central part of the cover body is formed in a round shape corresponding to the rotating plate of the locking mechanism, and the upper and lower parts extending vertically from the central part of the cover body are formed in a substantially rectangular shape so as to correspond to the locking plate of the locking mechanism. The cover body is provided with a through operation hole for the locking mechanism .
The container body includes a container having a hollow at the bottom, a bottom plate that covers the hollow at the bottom of the container, and a lid fitting frame that is provided on the bottom plate and is fitted into the opening of the container. can do.
In addition, a manual operation lever can be provided on the rotation plate of the locking mechanism, and an operation hole for external operation can be provided at the center of the rotation plate.
In addition, a locking portion is provided on one of the fitting plate of the lid and the cover body, and a locked portion that is detachably engaged with the locking portion is provided on the other side. Can be provided with a through operation hole substantially opposite to the operation hole of the rotating plate.
[0009]
Further, in the present invention, in order to solve the above problems, the opening of the container body is detachably covered with a lid,
A fitting plate that fits the lid body into the opening of the container body, and a fitting plate that is attached to the fitting plate and fitted into the opening of the container body based on an external operation, A locking mechanism for unlocking, and a cover body that is attached to the surface of the fitting plate and covers the locking mechanism;
A bulging pedestal is formed at the center of the surface of the fitting plate of the lid body, and ribs are formed on the upper portions of both side walls, and a locking mechanism for the lid body is provided with a rotatable rotating plate and a rotating plate. It is composed of a plurality of locking plates that slide while being guided to the cam surface by rotation and engage with the recess holes in the inner periphery of the opening of the container body, and the center portion of the cover body of the lid is rotated by the locking mechanism The upper and lower parts extending up and down from the center part of the cover body are formed in a substantially rectangular shape so as to correspond to the locking plate of the locking mechanism. A through-operation hole for the locking mechanism is provided.
The container body includes a container having a hollow at the bottom, a bottom plate that covers the hollow at the bottom of the container, and a lid fitting frame that is provided on the bottom plate and is fitted into the opening of the container. Is possible.
[0010]
Here, the container body in the claims mainly stores a plurality of precision substrates made of semiconductor wafers, mask glass, etc., but may also store other articles such as mechanical, electrical, electronic parts, and miscellaneous goods. good. The main body of the container body is mainly open at the front, but the upper surface may be open, for example. Further, the locking mechanism may be a single or a plurality. As the locking portion and the locked portion, it is possible to use a plurality of concave portions, convex portions, locking holes, locking pieces, grooves, etc. that are engaged with each other and exhibit a fixing function.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. A lid body of a storage container in this embodiment is a container main body for aligning and storing a plurality of precision substrates W as shown in FIGS. The front surface of the opening 1 is detachably fitted and closed by the lid body 9, and the fitting body 10 having a substantially U-shaped cross section for fitting the lid body 9 to the opening front surface of the container body 1 in a sealable manner, and this fitting A pair of locking mechanisms 30 disposed in the joint plate 10 and locked or unlocked on the front face of the opening of the container body 1 based on an external operation, and a surface of the fitting plate 10 A removable cover body 40 that is attached and covers each locking mechanism 30 is configured.
[0012]
As a plurality of precision substrates W, a plurality of semiconductor wafers are used. More specifically, a plurality of 300 mm (for example, 25 or 26) silicon wafers are used.
[0013]
As shown in FIGS. 1 to 4, the container body 1 is formed into a front open box type having a front surface opened using transparent polycarbonate, cyclic olefin resin, or the like. Shelf bodies 2 each provided with alignment grooves having a substantially V-shaped or U-shaped cross section are provided on opposite sides of the container body 1, respectively, and a plurality of precision sheets in which the pair of shelf bodies 2 are arranged vertically. The substrate W is supported horizontally at a predetermined constant pitch. As shown in FIG. 2, a plurality of positioning members 8 having a substantially V-shaped cross section are formed on the bottom of the container body 1 on both sides of the front part and the rear part, and the type of the storage container is detected. A plate 8 </ b> A having a plurality of through-holes for distinction is attached.
[0014]
Rails 3 are detachably mounted on both sides of the bottom of the container body 1, and the rails 3 are supported by an automatic transport mechanism called AGV (Automated Guided Bicycle) or RGV (Rail Guided Bicycle). Be transported. A handle 4 is detachably attached to the ceiling of the container body 1, and the handle 4 is held in an automatic transfer mechanism called OHT (overhead hoist transfer) and is transferred in the process. On the front of the opening of the container body 1, a rim portion 5 for fitting the lid body is integrally formed with a wide width. Recess holes 6 for locking the lid body are formed on both the upper and lower sides of the inner periphery of the rim portion 5, On both outer sides of the container body 1, gripping conveyance handles 7 are detachably mounted.
[0015]
The pair of shelves 2, the bottom plate, the three positioning members, the pair of rails 3, the handle 4, and the pair of transport handles 7 constituting the container body 1 are polycarbonate, polyetherimide, polyetheretherketone, annular It is molded using a thermoplastic resin such as an olefin resin. Moreover, it can also shape | mold using the material to which electroconductivity was provided to the thermoplastic resin.
[0016]
1, 2, 4 to 10, the fitting plate 10 has a substantially U-shaped cross section using a thermoplastic resin such as polycarbonate, polyetherimide, polyether ether ketone, and cyclic olefin resin. It is formed into a substantially rectangular shape that is substantially U-shaped. The fitting plate 10 has an endless seal gasket 11 fitted on the peripheral wall, and the elastic seal gasket 11 is deformed and tightly fitted into the rim portion 5 when the lid body 9 is fitted to align the precision substrate W. Ensuring the sealed storage container.
[0017]
On both the upper and lower sides of the inner surface of the peripheral wall of the fitting plate 10, rectangular intrusion holes 12 that face the recessed holes 6 when the lid 9 is fitted are respectively perforated at predetermined intervals. On both sides, a plurality of locking holes 13 for the cover body are drilled at predetermined intervals. In addition, a substrate holder 14 having a substantially V-shaped or U-shaped alignment groove arranged side by side is detachably mounted at the center of the rear surface of the fitting plate 10, and a plurality of precision substrates in which the substrate holder 14 is arranged vertically. The front end portion of W is horizontally supported at a predetermined constant pitch, and the movement in the front-rear direction is restricted.
[0018]
In the center of the surface of the fitting plate 10, as shown in FIG. 1, FIG. 2, FIG. 5, FIG. ), Protruding substantially in the shape of an H or a drum, and the bulging pedestal 15 is partitioned in a state where the installation space 16 for the locking mechanism is recessed between the left and right peripheral walls of the fitting plate 10. Form. On the upper part of both side walls of the bulging pedestal 15, gripping flanges are formed in a protruding manner, and a plurality of locking holes 13 for the cover body are drilled at predetermined intervals on the wall of the bulging pedestal 15. The
[0019]
Positioning holes 17 used for positioning the lid by the lid opening / closing device are respectively drilled in the lower one side and the upper other side of the bulging base 15, and the pair of positioning holes 17 sandwich the center point of the lid 9. Are arranged diagonally. A position symmetrical with respect to the pair of positioning holes 17 and the center line is a flat surface for attracting the lid.
The plurality of locking holes 13 can be provided not only on the wall of the bulging pedestal 15 but also in the installation space 16 of the fitting plate 10 or the vicinity thereof.
[0020]
As shown in FIGS. 5, 6, etc., each installation space 16 has a cylindrical rib 18 for installing a locking mechanism located at the center of each installation space 16, and a pair of stoppers located above and below each cylindrical rib 18. 19. A plurality of cams 20 positioned above and below each cylindrical rib 18 are provided. Each cylindrical rib 18 is divided and formed in the circumferential direction. In addition, each cam 20 includes a pair of cam rails 21 that face each other in parallel at an interval, and a cam surface 22 made of unevenness is formed on the surface of the pair of cam rails 21.
[0021]
As shown in FIGS. 7 to 10, each locking mechanism 30 includes a pair of rotatable rotating plates 31 supported by cylindrical ribs 18 of the fitting plate 10 via boss ribs, and a cam 20 of the fitting plate 10. And a plurality of locking plates 35 that are linearly slid by the rotation of the rotating plates 31 and are fitted and locked in the recessed holes 6 of the rim portion 5 of the container body 1. Each rotating plate 31 is formed in a circular shape, and a protrusion that frictionally engages with the stopper 19 of the installation space 16 is formed on the outer periphery of the back surface.
[0022]
An operation hole 32 for external operation by the lid opening / closing device is formed in a substantially rectangular shape at the center of the surface of each rotating plate 31 in a substantially cylindrical shape, and a pair of guides for a locking plate is provided on the outer periphery. The groove 33 is curved and formed in a semicircular arc shape at a predetermined angle. Further, a manual operation lever 34 is formed on the peripheral surface of the central portion of the rotating plate so as to protrude outward in the radial direction. The manual operation lever 34 is disposed on each of the pair of rotating plates 31 so as to be line symmetric with respect to the center line of the lid body 9.
[0023]
The rotation plate 31 configured as described above rotates 90 ° forward and backward by inserting a rotatable T-shaped attachment of the lid opening / closing device into the operation hole 32.
The connection position and dimensions of the lid opening / closing device are determined for each container size in the SEMI standard. For example, the lid dimensions of a process container for a 300 mm wafer are determined so as to be compatible with a lid opening / closing device standardized by SEMI standard E62.
[0024]
Each locking plate 35 is formed of a substantially rectangular plate corresponding to the width of the pair of cam rails 21 and is disposed on the cam rail 21 of the cam 20 so that the longitudinal center line coincides with the center of the rotating plate 31. One end portion of the locking plate 35 is formed on a locking claw 36 that fits and locks into the recess hole 6 through the protrusion / recess hole 12, and a pin 37 is formed on the other end portion. It is inserted into the guide groove 33 of the rotating plate 31 directly from below or via a rotating roller or the like. A plurality of cylindrical projections 38 are formed on both sides of each locking plate 35 at a predetermined interval, and each cylindrical projection 38 is brought into contact with the cam surface 22 of the cam rail 21 directly or via a rotating roller.
[0025]
The rotating plate 31 and the locking plate 35 of the locking mechanism 30 are appropriately formed using a thermoplastic resin such as polycarbonate, fluorine-containing polycarbonate, polybutylene terephthalate, polyether ether ketone, polyether imide, or polyacetal. The
[0026]
Each cover body 40 is bent using, for example, a thermoplastic resin such as polycarbonate, fluorine-containing polycarbonate, polybutylene terephthalate, polyether ether ketone, polyether imide, or polyacetal. As shown in FIGS. 1, 2, and 5, the cover body 40 is round so that the center portion corresponds to the rotating plate 31 and the upper and lower portions extending vertically from the center portion correspond to the locking plate 35. It is formed in a substantially rectangular shape, and a plurality of locking pieces 41 that fit into the locking holes 13 are respectively formed on both side portions, and an operation removal piece 42 is formed on the other side portion. .
[0027]
In the center of the cover body 40, a penetrating operation hole 43 that is substantially opposed to the operation hole 32 of the rotary plate 31 is formed in a rectangular shape, and the penetrating operation hole 43 is penetrated through the attachment of the lid opening / closing device. A cutout is formed in the circumferential direction on the inner peripheral wall of the central portion of the cover body 40, and the manual operation lever 34 protrudes from the cutout to be operable.
[0028]
In the above configuration, when the container body 1 in which the precision substrates W are aligned and stored is sealed in a sealed state, the lid opening / closing device press-fits the lid body in the state shown in FIG. The 30 rotation plates 31 are rotated by 90 °. Then, with the rotation of the rotating plate 31, the locking plate 35 slides linearly while being guided by the cam surface 22 of the cam 20, and the locking claw 36 of the locking plate 35 penetrates the fitting hole 10. Then, the container body 1 is fitted and locked in the recessed hole 6 (see FIG. 10). By this fitting engagement, the container body 1 is sealed in a sealed state.
[0029]
When the rotating plate 31 is rotated by 90 °, the rotating plate 31 comes into contact with one stopper 19, the rotation more than necessary is restricted, and the operation hole 32 is positioned at an arbitrary position. 9 and 10 show a state in which the cover body 40 is removed in order to explain the state of the locking mechanism 30, but in actual use, the lid body 9 to which the cover body 40 is attached is shown. Is used.
[0030]
Conversely, when removing the lid 9 from the container body 1, the lid opening / closing device rotates the rotating plate 31 of the locking mechanism 30 by 90 ° in the reverse direction. Then, with the reverse rotation of the rotating plate 31, the locking plate 35 slides linearly while being guided by the cam surface 22 of the cam 20, and the locking plate 35 that has been fitted and locked in the recessed hole 6 of the container body 1. The locking claws 36 (see FIG. 10) are retracted into the fitting plate 10 through the intrusion hole 12 of the fitting plate 10 (see FIG. 9). By this retreat, the lid 9 can be removed from the container body 1.
When the rotating plate 31 is rotated 90 ° in the reverse direction, the rotating plate 31 comes into contact with the other stopper 19, the rotation more than necessary is restricted, and the operation hole 32 is positioned at an arbitrary position.
[0031]
According to the above configuration, the lid body 9 is changed from an expensive hollow structure to a structure with a simple cover body 40 while securing the locking mechanism 30, so that the lid body can be automatically opened and closed, It can be manufactured at a very low cost. Further, since the function itself of the locking mechanism 30 is not changed at all, it is possible to provide a storage container with a lid that is compatible with the storage container used in the preceding process even in the receiving process in the subsequent process. Moreover, if the cover body 9 is used for a transport container, the lid body 9 can be automatically opened and closed, and can be connected to a processing apparatus. Therefore, no separate device is required for opening / closing the lid 9 or transferring the precision substrate W.
[0032]
Further, if the cover body 40 is attached by friction instead of screw fastening, and the cover body 40 is removed and the fitting plate 10 and the cover body 40 are separately cleaned, the cleaning liquid circulation space is widened. As a result, the cleaning solution adheres to the fasteners during cleaning and does not require a long time for drying or causes a significant delay in cleaning. Through this, cleaning and drying are significantly smoothed, made more efficient and quicker. It becomes possible to facilitate the process. Even if a dedicated jig is not present at hand, the locking mechanism 30 can be locked / unlocked only by swinging the manual operation lever 34. That is, since the lid 9 can be manually opened and closed at any time, the convenience of the opening and closing operation can be greatly improved.
[0033]
Further, the locking mechanism 30 has no screws or the like and has a simple structure with a small number of parts, so that it can be manufactured at a very low cost. Therefore, even if it is adopted for a storage container used in large quantities, the overall cost can be reduced. Further, since the bulging pedestal 15 is formed into a front substantially weight pattern, a substantially H shape, or a substantially hourglass shape that is actually easy to grasp, manual opening / closing grasping operation becomes extremely easy. Furthermore, if a rotating roller, a cam floor, or the like is interposed between the guide groove 33 of the rotating plate 31 and the pin 37 of the locking plate 35, the cam surface 22 of the cam rail 21 and the cylindrical protrusion 38 of the locking plate 35, friction will occur. Generation | occurrence | production of the resin powder accompanying resistance can be prevented effectively.
[0034]
Next, FIG. 11 and FIG. 14 show a second embodiment of the present invention. In this case, the container body 1 is composed of a container 50 having a rectangular hollow at the most part of the bottom, and the container 50. A semi-oval bottom plate 51 that is mounted on the bottom of the container and covers the hollow, and a rim portion that is erected on the front end of the bottom plate 51 by ultrasonic welding, heat welding, or the like and is fitted into the front of the opening of the container 50 5 is configured to include a lid fitting frame 52 including 5.
[0035]
The container 50, the bottom plate 51, and the lid fitting frame 52 are molded using a thermoplastic resin such as polycarbonate, polyetherimide, polyetheretherketone, or cyclic olefin resin. The container 50 is integrated with the bottom plate 51 by ultrasonic welding, heat welding, or the like, or is detachably assembled. On the left and right side portions of the bottom plate 51, shelf bodies 2 each provided with an alignment groove having a substantially V-shaped or U-shaped cross section are erected. The cover body 40 is made of, for example, a transparent sheet or film such as acrylic or styrene, in addition to a thermoplastic resin such as polycarbonate, fluorine-containing polycarbonate, polybutylene terephthalate, polyether ether ketone, polyether imide, or polyacetal. Molded. The other parts are substantially the same as those in the above embodiment, and thus description thereof is omitted.
[0036]
In the present embodiment, it is obvious that the same effect as the above embodiment can be expected, and that a simple configuration and cost reduction can be expected.
[0037]
In the above embodiment, the guide groove 33 and the pin 37 are disposed on the rotating plate 31 and the locking plate 35, respectively, but the present invention is not limited to this, and the reverse may be possible. Furthermore, although the bottom plate 51 is attached to the bottom of the container 50, other plates may be used.
[0038]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to automatically open and close the lid, and to obtain a storage container with a lid that is compatible with the storage container used in the previous process even in the receiving process of the subsequent process. In addition, there is an effect that the lid can be opened and closed and the substrate can be transferred without using a dedicated device. In addition, the lid can be easily cleaned, the cleaning liquid can be dried in a relatively short time, and the lid can be opened and closed without a dedicated jig . Simplification can also be achieved. Further, since the bulging base is formed in a frontal approximate weight pattern, an approximately H-shape, or an approximately hourglass shape that is easy to grip, there is an effect that a manual opening and closing operation is facilitated.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a lid of a storage container according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic explanatory view of a main part showing a lid body and a cover body in the embodiment of the lid body of the storage container according to the present invention.
FIG. 3 is a front view showing an open container body in the embodiment of the lid of the storage container according to the present invention.
FIG. 4 is a back view showing the lid in the embodiment of the lid of the storage container according to the present invention.
FIG. 5 is a front view showing a lid in the embodiment of the lid of the storage container according to the present invention.
FIG. 6 is a front view showing a locking mechanism and a lid body without a cover body in the embodiment of the lid body of the storage container according to the present invention.
FIG. 7 is a cross-sectional explanatory view showing a lid body and a locking mechanism in the embodiment of the lid body of the storage container according to the present invention.
8 is a cross-sectional explanatory view showing the assembled state of FIG. 7;
FIG. 9 is a schematic front view showing a locking state of the locking mechanism in the embodiment of the lid of the storage container according to the present invention.
FIG. 10 is a schematic front view showing an unlocked state of the locking mechanism in the embodiment of the lid of the storage container according to the present invention.
FIG. 11 is an exploded perspective view showing a second embodiment of the lid of the storage container according to the present invention.
FIG. 12 is a front explanatory view showing a second embodiment of the lid of the storage container according to the present invention.
FIG. 13 is a partial side view showing a second embodiment of the lid of the storage container according to the present invention.
FIG. 14 is a bottom view showing a second embodiment of the lid of the storage container according to the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Container body 5 Rim part 6 Recessed hole 9 Lid body 10 Fitting plate 11 Seal gasket 12 Recessed hole 13 Locking hole (locked part)
15 Expansion base 16 Installation space 20 Cam 30 Locking mechanism 31 Rotating plate 32 Operation hole 34 Manual operation lever 35 Locking plate 36 Locking claw 40 Cover body 41 Locking piece (locking part)
43 Through-operation hole 50 Container 51 Bottom plate (bottom plate)
52 Lid fitting frame W Precision substrate

Claims

A storage container lid that detachably covers the opening of the container body with a lid,
A fitting plate that fits the lid body into the opening of the container body, and a fitting plate that is attached to the fitting plate and fitted into the opening of the container body based on an external operation, A locking mechanism for unlocking, and a cover body that is attached to the surface of the fitting plate and covers the locking mechanism;
A bulging pedestal is formed in the center of the surface of the fitting plate of the lid body, and ribs are formed on the upper portions of both side walls, and the locking mechanism of the lid body is rotatable and supported by the fitting plate. A cover plate for the lid body, comprising: a rotation plate; and a plurality of locking plates supported by the fitting plate and slidable by rotation of the rotation plate to engage with the recessed holes on the inner periphery of the opening of the container body. The central part of the cover body is formed in a round shape corresponding to the rotating plate of the locking mechanism, and the upper and lower parts extending vertically from the central part of the cover body are formed in a substantially rectangular shape so as to correspond to the locking plate of the locking mechanism. And the cover body is provided with a through operation hole for the locking mechanism .

The container body comprises a container having a hollow at the bottom, a bottom plate that covers the hollow at the bottom of the container, and a lid fitting frame that is provided on the bottom plate and is fitted into the opening of the container. Item 14. A storage container lid according to Item 1.

The lid of the storage container according to claim 1, wherein a manual operation lever is provided on the rotating plate of the locking mechanism, and an operation hole for external operation is provided at the center of the rotating plate.

A locking portion is provided on one of the fitting plate of the lid body and the cover body, and a locked portion that is detachably engaged with the locking portion is provided on the other side. 4. The storage container lid according to claim 3, further comprising a through operation hole substantially opposite to the operation hole of the rotating plate.

A storage container lid that detachably covers the opening of the container body with a lid,
A fitting plate that fits the lid body into the opening of the container body, and a fitting plate that is attached to the fitting plate and fitted into the opening of the container body based on an external operation, A locking mechanism for unlocking, and a cover body that is attached to the surface of the fitting plate and covers the locking mechanism;
A bulging pedestal is formed at the center of the surface of the fitting plate of the lid body, and ribs are formed on the upper portions of both side walls, and a locking mechanism for the lid body is provided with a rotatable rotating plate and a rotating plate. It is composed of a plurality of locking plates that slide while being guided to the cam surface by rotation and engage with the recess holes in the inner periphery of the opening of the container body, and the center portion of the cover body of the lid is rotated by the locking mechanism The upper and lower parts extending up and down from the center part of the cover body are formed in a substantially rectangular shape so as to correspond to the locking plate of the locking mechanism. A lid of a storage container provided with a through operation hole for the locking mechanism.

The container body comprises a container having a hollow at the bottom, a bottom plate that covers the hollow at the bottom of the container, and a lid fitting frame that is provided on the bottom plate and is fitted into the opening of the container. Item 6. A storage container lid according to Item 5.