KR20000056635A - 샘플링 용기 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 제조 공정에 사용되는 초순수(UPW:Ultrapure Water)의 수질 분석을 위한 샘플 액을 담아 분석기로 공급하기 위해 사용되는 샘플링 용기에 관한 것으로, 성분 분석을 위한 샘플 용액을 보관하는 그리고 그 용액을 분석기로 공급하기 위한 샘플링 용기는 샘플 용액을 담아두기 위한 내부 공간을 갖는 몸통과, 몸통의 입구를 덮는 마개와, 마개에 설치되는 그리고 샘플링 용액이 내부 공간으로 주입되는 제 1 주입관과, 마개에 설치되는 그리고 퍼지가스가 내부 공간으로 주입되는 제 2 주입관 및 마개에 설치되는 그리고 용기 내부에 담겨진 샘플 용액을 분석기로 공급하기 위해 분석기의 주입관에 연결되는 배출관으로 이루어진다.
Description
본 발명은 샘플링 용기에 관한 것으로,좀 더 구체적으로는 반도체 제조 공정에 사용되는 초순수(UPW:Ultrapure Water)의 수질 분석을 위한 샘플 액을 담아 분석기로 공급하기 위해 사용되는 샘플링 용기에 관한 것이다.
반도체 제조공정 특히, 세정공정에 사용되는 초순수의 수질은 디바이스의 고집적화에 따라 함유 오염원에 대한 허용치도 초극미량으로 제어되고 있다.
이같은 초순수 수질 평가 항복중 이온의 분석 수준은 현재 50ppt에 이륵 있다 하지만 256M 또는 300mm 대응 초순수 수질 요구 조건을 평가하기 위해서는 10ppt 이하의 분석 한계가 요구된다. 그러나 기존의 초순수 샘플링시에는 용기의 두껑을 분리한 후 3~4회 헹군 다음 용기에 샘플링 포인트에서 초순수를 담았다. 그렇기 때문에, 샘플링 중 외부 공기의 유입 영향을 배제할 수 없었다. 결국, 종래 용기는 샘플을 담을 때 외부 공기가 용기 내에 잔존하게 되고, 그 외부 공기중에 포함된 오염원이 상기 샘플을 오염시키게 되는 문제점이 있다. 그리고 이러한 용기에 담긴 오염된 샘플로는 정확한 수질 분석을 하지 못하므로 신뢰성이 떨어진다. 이와 같은 초극미량의 이온 분석을 성공적으로 수행하기 위해서는 무엇보다도 평가대상 샘플(즉,초순수)을 분석기(HPIC)로 외부 오염 없이 안전하게 이동시키는 기술이 요구된다.
따라서, 본 발명의 목적은 샘플 채취 과정에서의 외부 오염을 차단 할 수 있는 그리고 준비된 샘플을 분석기에 외부 오염 없이 공급할 수 있는 새로운 형태의 샘플링 용기를 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 샘플링 용기를 보여주는 사시도;
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 샘플링 용기의 사용상태도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
12 : 몸통 14 : 마개
16 : 제 1 주입관 18 : 제 2 주입관
20 : 배출관 30 : 분석기
32 : 주입구 40 : 샘플링 포인트
42 : 튜브 50 : 질소가스 공급 라인
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 샘플링 용기는 성분 분석을 위한 샘플 용액을 보관하는 그리고 그 용액을 분석기로 공급하기 위한 샘플링 용기에 있어서: 샘플 용액을 담아두기 위한 내부 공간을 갖는 몸통과; 상기 몸통의 입구를 덮는 마개와; 상기 마개에 설치되는 그리고 샘플링 용액이 상기 내부공간으로 주입되는 제 1 주입관과; 상기 마개에 설치되는 그리고 퍼지가스가 상기 내부공간으로 주입되는 제 2 주입관 및; 상기 마개에 설치되는 그리고 상기 용기 내부에 담겨진 샘플 용액을 분석기로 공급하기 위해 상기 분석기의 주입관에 연결되는 배출관을 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 샘플링 용기는 자체의 오염 용출이 적고 화학용액을 이용한 용기 세정에도 오염을 용출시키지 않는 불소 수지의 재질로 이루어질 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 및 도 2를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호가 병기되어 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 샘플링 용기를 보여주는 사시도이다. 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 샘플링 용기의 사용상태도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 샘플링 용기(10)는 몸통(12), 마개(14), 제 1 주입관(16), 제 2 주입관(18) 그리고 배출관(20)으로 이루어진다. 상기 몸통(12)은 샘플 초순수를 담아둘 수 있는 내부 공간을 갖는다. 상기 마개(14)는 상기 몸통(12)의 입구를 덮어 외부 공기의 유입을 차단한다. 상기 마개(14)에는 제 1 주입관(16), 제 2 주입관(18) 그리고 배출관(20)이 설치된다. 상기 제 1 및 제 2 주입관(16,18)의 하단은 상기 몸통(12)의 내부공간 하단에 위치되며 상단은 외부로 노출된다. 상기 제 1 주입관(16)은 샘플링 포인트(40)에서 초순수를 받기 위한 관으로, 제 1 주입관(16)과 샘플링 포인트(40)는 튜브(42)에 의해 연결된다. 상기 제 2 주입관(18)은 상기 몸통(12) 내부 공간을 퍼지하기 위한 그리고 상기 몸통(12)의 내부 공간을 가압하기 위한 질소 가스가 유입되는 관으로, 상기 제 2 주입관(18)의 상단에는 질소가스 공급 라인(50)이 연결된다. 상기 배출관(20)은 상기 용기 내부에 담겨진 샘플 초순수를 분석기(30)로 보내기 위한 관으로, 샘플 채취 후에 샘플 초순수를 분석기(30)로 공급하는 단계에 상기 배출관(20)에는 상기 분석기(30)의 주입관(32)에 연결된다.
이와 같이 본 발명의 구조적인 특징은 샘플 포인트에서의 샘플 채취 과정 및 샘플링 후 준비된 샘플 초순수를 분석기로 공급하는 과정에서 외부 공기의 유입을 차단할 수 있다는데 있다.
이와 같은 본 발명에 따른 샘플링 용기를 사용한 샘플 채취 과정을 설명하면, 상기 제 1 주입관(16)에 상기 샘플링 포인트(40)에 연결된 샘플링 튜브(42)를 연결한다. 그리고 상기 제 2 주입관(18)에 질소가스 공급 라인(50)을 연결한다. 샘플 채취를 하기 전에, 상기 질소가스를 사용하여 상기 몸통(12) 내부공간을 퍼지한다. 상기 몸통(12) 내부 공간을 퍼지한 질소가스는 상기 배출관(20)을 통해 외부로 배출된다. 상기 샘플 포인트(40)에 설치된 밸브를 열어 상기 몸통(12) 내부공간으로 샘플 초순수를 받는다. 이와 같은 방법으로 샘플 초순수를 채취하므로서, 샘플 채취 과정에서의 외부 공기 유입을 배제할 수 있다. 이렇게 샘플링한 샘플링 용기(10)에서 상기 분석기(30)로 샘플 초순수를 보내기 위해서는 먼저, 샘플링 용기(10)의 배출관(20)에 분석기(30)의 주입구(32)를 연결한다. 그리고 몸통(12)의 내부 공간에 질소가스를 가압하여, 그 질소가스의 가압으로 상기 샘플 초순수를 상기 분석기로 공급하게 한다. 이와 같이 샘플 초순수의 로딩 과정에서도 외부 공기의 유입이 배제된다.
상기 샘플링 용기는 자체의 오염 용출이 적고 화학용액을 이용한 용기 세정시에도 오염을 용출시키지 않는 불소 수지의 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
이와 같은 본 발명을 적용하면, 초순수 평가를 위한 샘플 포인트에서의 샘플 채취과정 및 준비된 샘플링 용기에서 분석기로 샘플 초순수를 보내는 과정에서 외부 공기 유입이 차단되기 때문에 외부 공기로 인한 샘플 초순수의 오염을 예방할 수 있다. 그 결과 샘플 초순수에 대한 정확한 분석을 수행할 수 있는 이점이 있다.
Claims (2)
- 성분 분석을 위한 샘플 용액을 보관하는 그리고 그 용액을 분석기로 공급하기 위한 샘플링 용기에 있어서:샘플 용액을 담아두기 위한 내부 공간을 갖는 몸통과;상기 몸통의 입구를 덮는 마개와;상기 마개에 설치되는 그리고 샘플링 용액이 상기 내부공간으로 주입되는 제 1 주입관과;상기 마개에 설치되는 그리고 퍼지가스가 상기 내부공간으로 주입되는 제 2 주입관 및;상기 마개에 설치되는 그리고 상기 용기 내부에 담겨진 샘플 용액을 분석기로 공급하기 위해 상기 분석기의 주입관에 연결되는 배출관을 포함하여,샘플 포인트에서의 샘플 채취 과정 및 샘플링 후 준비된 샘플 용액을 분석기로 공급하는 과정에서 외부 공기의 유입을 차단할 수 있는 것을 특징으로 하는 샘플링 용기.
- 제 1 항에 있어서,상기 샘플링 용기는 자체의 오염 용출이 적고 화학용액을 이용한 용기 세정에도 오염을 용출시키지 않는 불소 수지의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 샘플링 용기.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019990006119A KR20000056635A (ko) | 1999-02-24 | 1999-02-24 | 샘플링 용기 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100447334B1 (ko) * | 2001-07-14 | 2004-09-07 | 삼성엔지니어링 주식회사 | 생물여과장치내 충진입자 채취 기구 및 이를 이용한휘발성 고형분 측정방법 |
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-
1999
- 1999-02-24 KR KR1019990006119A patent/KR20000056635A/ko not_active Application Discontinuation
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