KR20000051802A - 핀을 가진 램프를 위한 소켓 - Google Patents

Abstract

본 발명은 핀을 가진 램프를 위한 소켓에 관한 것이다. 본 발명의 소켓장치는 외부전원과 램프를 연결하기 위한 바디와 상기 핀의 일면을 프레싱하는 부재로 구성된다. 상기 바디에는 단자가 내장되어 상기 램프의 상기 핀과 접속한다. 상기 부재는 슬라이딩부와 접촉부로 구성되며, 제 1 위치와 제 2 위치를 갖는다. 상기 제 1 위치는 상기 바디와 결합되었을 때 상기 핀의 일면에 압력을 가하는 위치이고, 상기 제 2 위치는 상기 바디에서 슬라이딩되었을 때 상기 핀으로부터 떨어지는 위치이다. 이와 같은 구성을 갖는 소켓에 의하면, 상기 램프를 상기 소켓에서 결합 또는 분리할 때는 상기 부재를 상기 제 2 위치로 이동시켜서 상기 램프를 상기 소켓으로부터 용이하게 결합, 분리시킬 수 있다. 또한, 상기 접촉부가 탄성력으로 상기 핀을 프레싱하고 있기 때문에 상기 램프와 상기 소켓의 접촉불량을 피할 수 있다.

Description

핀을 가진 램프를 위한 소켓{SOCKET FOR A LAMP WITH PINS}

본 발명은 핀을 가진 램프를 위한 소켓에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 반도체 제조공정중에 사용되는 현미경의 조명장치에서의 소켓에 관한 것이다.

반도체 제조공정에서 시료와 디바이스등을 검사하고 분석하는 중요한 장치인 현미경(microscope)은 사람의 눈으로 판별하지 못하는 미세한 부분을 확대시켜 관찰할 수 있도록 만든 광학 장비이다. 상기 현미경은 사용하는 빛의 파장이 짧고 물체가 있는 공간의 굴절율이 클수록 분해능력이 커진다. 일반적으로 반도체공정에서 사용되는 현미경은 금속현미경으로 불투명물체에 빛을 비추어 그 빛의 반사에 의해 물체를 판독하는 장치이다. 상기 금속현미경은 자연광원을 사용하기가 힘드므로 조명장치를 이용한 인공광원을 사용하며, 대체로 할로겐(halogen)과 수은(mercury)램프를 이용한다.

도 1은 현미경의 기본구성을 나타낸 측면도이다.

특별히 도 1은 니콘(Nikon)사의 현미경의 예를 든 것이다.

현미경은 크게 4부분으로 나눌수 있는데, 접안렌즈장치(head assembly)(10), 대물렌즈장치(nose piece)(12), 스테이지(stage)(14) 그리고 조명기(illuminator)(16)로 구성된다. 상기 접안렌즈장치(10)는 작업자가 대상물을 직접 눈으로 검사하는 부분이며, 전하 결합소자 카메라(CCD camera)가 설치되어 모니터(monitor)상에서도 판독이 가능하며 이를 사진으로 남길수도 있다. 상기 전하 결합소자 카메라(CCD camera: charge coupled device camera)는 종래의 트랜지스터(transistor)소자와는 달리 신호를 기억하고 전송하는 2가지 기능을 동시에 갖춘 새로운 반도체 소자인 전하 결합소자를 이용하므로 사람의 눈과 동일한 역할을 할 수 있다. 상기 대물렌즈장치(12)는 렌즈를 선택하여 배율을 조정하는 부분이며, 상기 스테이지(14)는 판독하고자 하는 대상물을 올려놓는 부분이다. 또한, 생성된 빛을 보내고 그 빛을 확대 혹은 축소시켜 원하는 부분을 볼 수 있게 하는 것이 상기 조명기(16)의 역할이다.

상기 조명기(16)에는 빛을 생성하는 부분인 램프하우징(lamp housing)(18)이 설치되어 있는데, 상기 램프하우징(18)은 램프에서 발생되는 빛을 저장하는 하우징(housing), 빛을 생성하는 할로겐 및 수은램프(halogen and mercury lamp; 이하 램프로 함.) 그리고 램프에 전원을 공급하는 소켓으로 구성된다. 도 2를 이용하여 상세히 설명하면, 상기 램프(20)는 상기 소켓(22)에 결합되어 전원을 공급받는데, 상기 소켓(22)의 내부에는 전원을 공급할 수 있는 단자(도시되지 않음)가 형성되어 있다. 상기 단자에 접속하기 위해서 상기 램프(20)은 핀(24)을 구비한다. 상기 핀(24)은 상기 소켓(22)의 전면에 형성되어 있는 홀(26)을 통해서 상기 단자에 접속할 수 있다.

하지만, 종래의 소켓에서는, 상기 램프(20)를 상기 소켓(22)에 결합 또는 분리할 경우에 상기 소켓(22)의 상기 홀(26)에 상기 램프(20)의 상기 핀(24)을 강제로 끼우는 방식을 사용하므로 상기 램프(20)의 결합과 분리시 문제가 발생한다.

램프와 소켓의 결합방식이 억지끼움방식을 사용하므로, 무리한 힘을 가하여 램프를 소켓에 결합하는 경우에는 램프 자체에 손상이 발생하며 램프의 핀이 휘는 현상도 발생한다. 또한, 무리한 힘을 가하여 램프를 소켓에 끼우는 경우에, 소켓의 홀의 반경이 커지게 된다. 이런 경우에는 소켓 홀의 넓어진 반경 때문에 핀이 단자에 제대로 접촉되지 못해서 접촉불량이 생긴다. 현미경을 이용하여 대상물을 판독하는 중에 접촉불량에 의해서 램프의 필라멘트단락이 발생하여 광원이 없어지므로 전체 공정진행을 방해한다. 이와 같은 이유로 현미경의 장치중에서 가장 고장이 잦은 부분이 램프와 소켓이지만, 종래의 소켓구조에서는 물리적인 힘에 의해 램프와 소켓을 강제로 분리하는 방식을 취하므로 교체도 역시 용이하지 않는 단점이 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 램프를 소켓에서 쉽게 결합 또는 분리할 수 있고, 램프의 핀이 소켓의 단자에 견고하게 접속되도록 하기 위한 새로운 형태의 소켓을 제공하는데 있다.

도 1은 현미경의 기본구성을 나타낸 측면도;

도 2는 종래의 소켓에서 램프가 결합되는 상태를 설명하기 위한 사시도;

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 소켓의 구조를 설명하기 위한 분해사시도;

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 소켓의 결합도;

도 5는 도 3의 단면 5-5를 따라 취해진 단면도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

40 : 램프42 : 핀

44 : 홀46 : 소켓

47 : 핀고정부48 : 슬라이딩부

49 : 접촉부50 : 스프링

54 : 홈56 : 돌출부

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 핀을 가진 램프를 위한 소켓은 바디와 수단으로 구성된다. 상기 바디는 내부에 상기 램프의 핀과 접속되는 단자를 내장한다. 상기 단자는 외부전원과 상기 램프를 연결하는 역할을 한다. 상기 수단은 상기 바디에 결합되며 슬라이딩부와 접촉부를 구비한다. 상기 접촉부는 상기 슬라이딩부의 상면에 위치하고 상기 핀에 대응하는 구면을 가진다. 상기 접촉부의 상기 구면은 상기 핀에 대응되어 상기 핀의 일면을 지지한다.

이와 같은 소켓은 상기 수단이 상기 바디에 슬라이딩가능하도록 결합되는 것을 특징으로 한다. 즉, 상기 슬라이딩부의 일면에 탄성부재가 연결되도록하여 상기 바디에 슬라이딩가능한 구조를 갖는다. 또한, 상기 수단은 상기 바디와 결합되었을 때 상기 핀의 일면에 압력을 가하는 제 1 위치를 가지며, 상기 바디에서 슬라이딩되었을 때 상기 핀으로부터 떨어지는 제 2 위치를 갖는다. 상기 탄성부재에서 일단은 상기 바디에 고정되어 있고 타단은 상기 슬라이딩부의 일면에 연결되어 있다. 상기 슬라이딩부의 상면에는 구면의 형상을 갖는 접촉부가 있다. 상기 슬라이딩부는 탄성부재의 힘에 의해서 위로 상승하게 된다. 상기 슬라이딩부의 상면에 위치한 상기 접촉부의 구면은, 상기 바디의 단자에 결합되는 상기 램프의 상기 핀에 대응되어 상기 핀을 고정하는 역할을 한다. 상기 핀과 상기 소켓의 결합구조는, 종래와는 달리 상기 슬라이딩부가 상하로 운동하면서 상기 핀을 체결하거나 혹은 풀어주는 단순체결(locking)방식을 취한다. 즉 상기 램프가 상기 바디에 결합할 때, 상기 슬라이딩부가 하부방향으로 이동하여 즉 제 2 위치로 이동하여, 상기 바디에 형성된 홀에 오프닝을 형성시켜서 상기 핀을 결합한다. 또한 상기 램프를 상기 바디에서 분리할 때는 상기 슬라이딩부를 하부방향으로 이동하여 상기 핀과 상기 접촉부의 체결을 풀리게 한다. 상기 결합방식이 상기 단순체결방식으로 변함에 따라, 상기 램프와 상기 소켓의 결합과 분리는 상기 슬라이딩부를 이동시키는 것만으로 가능하다. 또한 상기 탄성부재가 항상 상방향으로 접촉부에 탄성력을 가하고 있으므로 상기 단자와 결합하고 있는 상기 핀의 접촉도 한층 견고해진다.

이와 같은 구성을 갖는 소켓에 의하면, 램프와 소켓의 결합구조가 억지끼움방식에서 단순체결(locking)방식으로 변화하기 때문에 램프를 소켓에서 결합 또는 분리할 때 램프의 교체가 용이하게 이루어진다. 또한, 본 발명에 의하면 접촉부가 탄성력으로 핀을 프레싱하기 때문에 램프의 접촉불량을 피할 수 있는 효과도 있다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면 도 3 내지 도 5에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기한다.

도 3 내지 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 소켓을 분해사시도와 결합도로 나타낸 도면이다.

특별히 도 3 내지 도 5는 니콘(Nikon)사의 현미경에서 사용되는 소켓을 개조한 것이다.

램프(40)와 소켓(46)은 현미경의 조명장치에 사용되는 부재로, 상기 램프(40)는 상기 소켓(46)을 통해서 외부전원을 전달받는다. 상기 소켓(46)은 전원을 공급하기 위한 장치로 내부에 단자(52)(도 5참조)를 내장하고 있다. 상기 램프(40)가 상기 소켓(46)에 내장된 단자와 접속하기 위해서 상기 소켓(46)의 상면에는 홀(44)이 있다. 상기 램프(40)는 핀(42)을 구비하여 상기 홀(44)을 통해 상기 단자와 접속한다. 상기 핀(42)은 상기 소켓(46)에 형성된 상기 홀(44)에 끼워진다. 상기 홀(44)에 끼워진 상기 핀(42)의 끝면은 상기 소켓(46)의 내장된 상기 단자에 접속되어 전원을 공급받는다. 종래에는 상기 핀(42)이 상기 홀(44)에 결합되는 방식이 억지끼움방식으로 상기 홀에 상기 핀을 물리적인 힘을 가하면서 끼우는 방식을 사용했다. 본 발명의 특징은 상기 소켓(46)과 분리되는 상기 핀고정부(47)를 가지는 것이다. 상기 핀고정부(47)는 슬라이딩부(48)와 접촉부(49) 그리고 돌출부(56)를 구비한다. 상기 핀고정부(47)는 상기 소켓(46)에 형성된 홈(54)에 결합된다. 상기 핀고정부(47)가 상기 홈(54)에 결합될 때, 상기 슬라이딩부(48)의 하면과 스프링(50)이 결합된다.(도 5참조) 상기 핀고정부(47)는 상기 스프링(50)에 의해서 탄성력을 가지고 화살표방향으로 슬라이딩이 가능하도록 된다. 상기 슬라이딩부(48)의 상면에는 상기 접촉부(49)가 형성되며 하면에는 상기 돌출부(56)가 형성된다. 상기 슬라이딩부(48)의 화살표방향으로의 운동에 의해 상기 접촉부(49)는 상기 홀(44)에 끼워지는 상기 핀(42)를 체결하거나 풀어준다. 상기 접촉부(49)는 상기 핀(42)과 대응되는 구면을 가지고 있기 때문에 상기 핀(42)에 정확히 밀착해서 체결된다. 상기 돌출부(56)는 상기 소켓(46)의 상면에 돌출되어 상기 슬라이딩부의 운동을 조절하는 손잡이의 역할을 한다. 상기 소켓(46)에서 상기 램프(40)를 분리 또는 결합할 때에 상기 돌출부(56)를 화살표방향으로 슬라이딩하는 것만으로 체결 또는 분리가 이루어진다. 상기 돌출부(56)를 상기 스프링(50)이 압축되는 방향으로 슬라이딩하는 경우에는 상기 접촉부(49)가 상기 핀(42)의 체결을 풀게 되므로 상기 램프(40)를 쉽게 분리할 수 있다. 도 4는 상기 소켓(46)에 상기 핀고정부(47)와 상기 램프(40)를 조립한 결합도이다.

도 5는 도 3의 5-5라인을 따라 절단한 소켓장치의 단면도를 나타낸 도면이다.

돌출부(56)를 화살표방향처럼 상하로 조절함에 따라 홀(44)을 오프닝시키는 것이 가능하므로 램프(40)을 결합하고자 할 때는 상기 돌출부(56)을 하부방향으로 운동시켜 상기 홀(44)에 오프닝을 형성시켜서 상기 램프(40)를 결합한다. 반대로 상기 램프(40)를 분리하고자 할 경우에도 역시 상기 돌출부(56)를 하부방향으로 운동시켜서 핀(42)과 접촉부(49)의 체결을 풀어서 상기 램프를 분리한다.

이와 같은 본 발명을 적용하면, 램프를 결합 또는 분리할 때는 핀고정부를 상기 제 2 위치로 이동시켜서 램프를 소켓으로부터 용이하게 결합, 분리시킬 수 있다. 또한 접촉부가 탄성력으로 핀을 프레싱하고 있기 때문에 램프와 소켓의 접촉불량을 피할 수 있다.

Claims (3)

1. 핀을 가진 램프를 위한 소켓에 있어서,

   상기 램프의 핀과 접속되는 단자를 내장하고, 외부전원과 상기 램프를 연결하기 위한 바디 및;

   상기 바디에서 슬라이딩가능하고, 상기 바디와 결합되었을 때 상기 핀의 일면에 압력을 가하는 제 1 위치를 가지며, 상기 바디에서 슬라이딩되었을 때 상기 핀으로부터 떨어지는 제 2 위치를 갖는 수단을 포함하여, 상기 램프를 결합 또는 분리할 때는 상기 수단을 상기 제 2 위치로 이동시켜서 상기 램프를 상기 단자로부터 용이하게 결합, 분리시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 소켓.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 수단은 슬라이딩부 및;

   접촉부를 구비하되 상기 접촉부는 상기 슬라이딩부의 상면에 위치하며 상기 핀에 대응하는 구면을 갖는 것을 특징으로 하는 소켓.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 수단은 상기 슬라이딩부에 접속되는 탄성부재를 더 포함하여 상기 접촉부가 상기 핀을 탄성력에 의해 지지하는 것을 특징으로 하는 소켓.