KR20000047951A - Anti-reflection film and display device - Google Patents

Anti-reflection film and display device Download PDF

Info

Publication number
KR20000047951A
KR20000047951A KR1019990055368A KR19990055368A KR20000047951A KR 20000047951 A KR20000047951 A KR 20000047951A KR 1019990055368 A KR1019990055368 A KR 1019990055368A KR 19990055368 A KR19990055368 A KR 19990055368A KR 20000047951 A KR20000047951 A KR 20000047951A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
film
metal
light
display device
light absorbing
Prior art date
Application number
KR1019990055368A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100636773B1 (en
Inventor
하나오까히데아끼
히사마쯔후미아끼
야마시따마사따까
고바야시마사히로
Original Assignee
이데이 노부유끼
소니 가부시끼 가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이데이 노부유끼, 소니 가부시끼 가이샤 filed Critical 이데이 노부유끼
Publication of KR20000047951A publication Critical patent/KR20000047951A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100636773B1 publication Critical patent/KR100636773B1/en

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/361Coatings of the type glass/metal/inorganic compound/metal/inorganic compound/other
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3417Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3429Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
    • C03C17/3435Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3615Coatings of the type glass/metal/other inorganic layers, at least one layer being non-metallic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3618Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3642Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating containing a metal layer
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11Anti-reflection coatings
    • G02B1/113Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
    • G02B1/115Multilayers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/70Properties of coatings
    • C03C2217/73Anti-reflective coatings with specific characteristics

Abstract

PURPOSE: An anti-reflection film and display device is provided which can adjust a light transmissivity at the wide range and has an intended view quality. CONSTITUTION: An anti-reflection film has multi-layered structure which plural films are piled on base thereof. The anti-reflection film comprises a first light absorption film consisted of at least one kind chosen among a metal film, a metal nitride film and a metal oxide film; a second light absorption film consisted of at least one kind chosen from a group consisted of a metal film, a metal nitride film and a metal oxide film; an induced film having a refractive index within the range of about 1.4 to 1.9. The induced film is located between the first light absorption film and the second absorption film.

Description

반사 방지막 및 표시 장치{ANTI-REFLECTION FILM AND DISPLAY DEVICE}Anti-reflection film and display device {ANTI-REFLECTION FILM AND DISPLAY DEVICE}

본 발명은 반사 방지막 및 표시 장치에 관한 것으로, 특히 외부 광의 반사를 방지하기 위한 반사 방지막과 이 반사 방지막이 화상을 표시하기 위한 패널 부재의 표면 상에 형성된 표시 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an antireflection film and a display device, and more particularly to an antireflection film for preventing reflection of external light and a display device formed on the surface of a panel member for displaying an image.

안경 렌즈와 같은 투명 재료를 통해 사물을 볼 때, 반사된 광의 강도가 강하게 되는 경우, 명확하게 나타나는 반사된 화상인 고스트(ghost) 또는 플래어(flare)라고 불리는 현상이 발생한다.When viewing an object through a transparent material such as a spectacle lens, when the intensity of the reflected light becomes strong, a phenomenon called ghost or flare occurs, which is a clearly reflected reflected image.

한편, 일반 윈도우 글래스 또는 삽윈도우 글래스는 주변 광, 예를 들면 태양광 또는 조명광이 윈도우 글래스로부터 경면 반사에 의해 발생하는 인-글래스 화상 현상을 유발시킨다. 그러한 인-글래스 화상 현상은 윈도우 글래스의 투명도를 저하시킬 수도 있다. 이것을 방지하기 위하여, 베이스 상에, 진공 증착법등에 의해 베이스와 굴절율의 차가 있는 반사 방지막을 형성하려는 시도가 이루어져 왔다. 이 경우, 공지된 바와 같이, 반사 방지 효과를 극대화하기 위하여, 베이스 상에 형성된 코팅의 두께를 적절하게 선택하는 것이 중요하다. 예를 들면, 단일층 코팅용으로, 최소 반사율, 즉 코팅의 최대 투과율은 베이스 재료의 굴절율보다 낮은 코팅 재료의 광학적 막 두께를, 대상으로 하는 파장의 1/4(또는 홀수배)에서 선택함으로써 구해질 수 있다. 코팅 재료의 광학적 막 두께는 코팅 재료의 굴절율과 코팅 재료의 막 두께의 곱만큼 주어진다는 것에 유의하여야 한다. 반사 방지막은 베이스 상에 복수개의 층들을 적층함으로써 구성될 수 있다. 다층 구조를 갖는 반사 방지막에 관련하여, 각 층의 두께의 선택에 관련된 다양한 기술들이 예를 들면, "Optical Technique Contact", Vol. 9, No. 8, page 17, 1971에 제안되어 있다. 반사 방지막을 구성하는 코팅은 주로 무기 산화물 또는 무기 할로겐화물로 이루어지고, 가시광 영역에서 낮은 반사율과 높은 투과율을 갖는다.On the other hand, ordinary window glass or shovel window glass causes an in-glass image phenomenon in which ambient light, for example, sunlight or illumination light, is caused by specular reflection from the window glass. Such in-glass image development may lower the transparency of the window glass. In order to prevent this, attempts have been made on the base to form an antireflection film having a difference in refractive index from the base by a vacuum deposition method or the like. In this case, as is well known, in order to maximize the antireflection effect, it is important to properly select the thickness of the coating formed on the base. For example, for monolayer coatings, the minimum reflectance, i.e. the maximum transmittance of the coating, is determined by selecting the optical film thickness of the coating material, which is lower than the refractive index of the base material, at 1/4 (or odd multiples) of the target wavelength. Can be done. It should be noted that the optical film thickness of the coating material is given by the product of the refractive index of the coating material and the film thickness of the coating material. The anti-reflection film can be constructed by laminating a plurality of layers on the base. Regarding the antireflection film having a multilayer structure, various techniques related to the selection of the thickness of each layer are described, for example, in "Optical Technique Contact", Vol. 9, No. 8, page 17, 1971. The coating constituting the antireflection film mainly consists of an inorganic oxide or an inorganic halide, and has a low reflectance and a high transmittance in the visible light region.

브라운 튜브와 같은 표시 장치 또는 액정 표시 장치에서 조차도, 스크린에 외부 광 또는 조사광의 반사로 인해 화상이 불투명해지는 현상이 발생할 수 있고, 대부분의 경우, 그러한 표면 반사를 방지하기 위한 반사 방지막은 화상을 표시하기 위한 패널 베이스의 표면 상에 형성된다. 한편, 표시 장치에서, 그 구조 또는 애플리케이션에 따라, 패널 베이스의 광 투과율은 콘트라스트를 향상시키기 위하여 20∼92%의 범위 이내에서 조절되어야 한다. 예를 들면, 브라운 튜브용 패널 글래스 또는 아크릴 수지와 같은 패널 베이스가 투과형 프로젝터(리어 프로젝터(rear projector))의 표면에 형성될 시, 광 투과율은 패널 베이스 자체의 광투과율을 변화시킴으로써 조절된다.Even in a display device such as a brown tube or a liquid crystal display device, an image may be opaque due to reflection of external or irradiated light on the screen, and in most cases, an anti-reflection film for preventing such surface reflection may display an image. It is formed on the surface of the panel base for. On the other hand, in the display device, depending on its structure or application, the light transmittance of the panel base should be adjusted within the range of 20 to 92% in order to improve the contrast. For example, when a panel base such as a panel glass for brown tubes or an acrylic resin is formed on the surface of a transmissive projector (rear projector), the light transmittance is adjusted by changing the light transmittance of the panel base itself.

그러나, 화상 표시용 패널 베이스는 표시 장치의 기계적 강도를 유지하는 역할을 한다. 부연하자면, 표시 장치가 확장되는 경우, 패널 베이스는 두꺼워져야 한다. 그러한 두께로 형성된 패널 베이스의 광 투과율을 변화시키기 위하여, 염료의 등급 또는 안료의 농도를 변화시킴으로써 투과율이 변화된 다양한 패널 베이스의 종류를 준비해야 한다.However, the image display panel base serves to maintain the mechanical strength of the display device. In other words, when the display device is expanded, the panel base should be thick. In order to change the light transmittance of the panel base formed to such a thickness, it is necessary to prepare various kinds of panel bases whose transmittances are changed by changing the grade of the dye or the concentration of the pigment.

더욱이, 브라운 튜브용 패널 베이스로서의 패널 글래스에 관련하여, 충분한 기계 강도를 보장하기 위하여 중앙부는 얇고 말단부는 두껍다. 그 결과, 패널 글래스 자체의 광 투과율을 변화시켜서 패널 글래스의 광 투과율을 조절하는 경우에, 중앙부의 광 투과율이 말단부의 광 투과율과 상이하게 되는 문제점이 발생하였다. 특히, 화상 표시용 디스플레이 스크린이 거의 평탄한 면을 갖는 최근 브라운 튜브에 관련하여, 기계적 강도를 증가시키기 위하여 중앙부를 더 얇게 하고 말단부를 더 두껍게 하기 때문에, 중앙부와 말단부 간의 광 투과율의 차는 더 커지게 된다.Moreover, with regard to the panel glass as the panel base for the brown tube, the center part is thin and the end part is thick to ensure sufficient mechanical strength. As a result, when adjusting the light transmittance of the panel glass by changing the light transmittance of the panel glass itself, there arises a problem that the light transmittance at the center portion is different from the light transmittance at the end portion. In particular, with respect to recent brown tubes with an image display screen having a nearly flat surface, the difference in light transmittance between the center and the end becomes larger because the center is made thinner and the end is thicker to increase the mechanical strength. .

광학적 박막을 이용하는 열선 차단 필름 성분 중 한가지 타입은 광 흡수막이 광 투과율을 조절하기 위한 금속 박막으로 형성되도록 구성된다. 광 흡수막을 형성하기 위한 재료의 특정예로는 Au, Pt, Ni-Cr, Al, In2O3-SnO2, CuI 및 CuS를 포함할 수도 있다. 그러한 열선 차단막은 바람직하기로는 60 내지 90%의 범위 이내인 가시광 투과율을 가진다. 반사 방지막과 같은 광 흡수막을 이용한 특정예로는 다크 미러, 선택 흡수 미러 또는 증강 흡수 미러를 포함할 수 있다. 가시광 영역에 있는 반사 방지막으로서, "다크 미러(dark mirror)"라고 명명되는 구성이 이용될 수 있다. 예를 들면, 광 흡수막이 유전막과 결합된 더블층 다크 미러는 "Optical Thin Film User Handbook", 페이지 160(日刊工業新聞社刊)에 기술되어 있다. 일본 특허 공개 공보 평9-9-156964호는 TiN, ZrN 또는 HfN으로 이루어진 금속 질화막이 광 흡수막으로서 사용되어 넓은 가시광 영역에서 낮은 반사율을 획득할 수 있는 기술을 개시하고 있다. 미국 특허 제5,091,244에는 금속 또는 금속 질화막을 광 흡수막으로서 사용하여 광 투과율을 조절할 수 있는 반면에 가시광 영역에서 반사율을 낮게 유지할 수 있는 4층 내지 6층 구조를 갖는 반사 방지막이 개시되어 있다.One type of heat shield film component utilizing an optical thin film is configured such that the light absorbing film is formed of a metal thin film for controlling light transmittance. Specific examples of the material for forming the light absorbing film may include Au, Pt, Ni-Cr, Al, In 2 O 3 -SnO 2 , CuI, and CuS. Such hot ray shielding films preferably have a visible light transmittance in the range of 60 to 90%. Specific examples using the light absorbing film such as the antireflection film may include a dark mirror, a selective absorbing mirror or an augmented absorbing mirror. As the antireflection film in the visible light region, a configuration called "dark mirror" can be used. For example, a double layer dark mirror in which a light absorbing film is combined with a dielectric film is described in "Optical Thin Film User Handbook", page 160. Japanese Patent Laid-Open No. 9-9-156964 discloses a technique in which a metal nitride film made of TiN, ZrN or HfN can be used as a light absorbing film to obtain a low reflectance in a wide visible light region. U. S. Patent No. 5,091, 244 discloses an antireflection film having a four to six layer structure in which a light transmittance can be controlled using a metal or metal nitride film as a light absorbing film while keeping the reflectance low in the visible light region.

그러나, 전술된 광 흡수막을 형성하는데 적합한 재료를 반사 방지막의 일부로서 이용하는 경우에, 문제가 발생한다. 예를 들면, 일본 특허 공개 공보 평9-156964호에 개시된 기술에서, 패널 베이스의 표면으로부터의 광 반사율은 충분히 낮지만 패널 베이스의 내부 표면으로부터의 광 반사율은 5 내지 10%만큼 높다. 표시 장치에서, 패널 베이스의 내부 표면으로부터의 광 반사율은 캐릭터 또는 화상의 더블 비젼(또는 고스트)을 유발하거나 캐릭터 또는 화상의 칸투어(contour)를 어둡게 하여 현저하게 화질을 저하시킨다. 미국 특허 제5,091,244호에 개시된 반사 방지막에서, 광 투과율을 제어하면서 표면으로부터의 광의 반사를 감소시키는 방법을 개시하고 있지만, 전술된 바와 같은 표시 장치의 중요한 문제인 패널 베이스의 내부 표면으로부터의 광 반사를 감소시키는 것을 조사하지 않았고, 그 결과 패널 베이스의 내부면으로부터의 광 반사율이 8 내지 20%만큼 높게 된다.However, a problem arises when a material suitable for forming the aforementioned light absorbing film is used as part of the antireflection film. For example, in the technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 9-156964, the light reflectance from the surface of the panel base is sufficiently low, but the light reflectance from the inner surface of the panel base is as high as 5 to 10%. In the display device, the light reflectance from the inner surface of the panel base causes a double vision (or ghost) of the character or image or darkens the contour of the character or image, thereby significantly reducing the image quality. In the antireflection film disclosed in US Pat. No. 5,091,244, there is disclosed a method of reducing the reflection of light from the surface while controlling the light transmittance, but reducing the light reflection from the inner surface of the panel base, which is an important problem of the display device as described above. No irradiation was made, and as a result, the light reflectance from the inner surface of the panel base is as high as 8 to 20%.

브라운 튜브용 패널 베이스의 광 투과율이 35 내지 60%만큼 낮은 경우, 패널 베이스의 내부 표면으로부터의 광 반사율은 반사광이 패널 베이스를 관통하게 하여 내부 표면으로부터의 반사된 광이 3배 감쇠되기 때문에 그렇게 많은 문제를 유발하지 않는다. 이와는 반대로, 브라운 튜브용 패널 베이스의 광 투과율이 60% 이상인 경우, 예를 들면, EIAJ ED-2138에서 특정화된 등급 "클리어(clear)"(투과율: 75% 이상) 또는 등급 "그레이(gray)"(투과율: 60-75%)를 나타내는 패널 베이스를 사용하는 경우에, 패널 베이스의 내부 표면으로부터의 광 반사는 무시할 수 없을 정도의 문제를 유발한다.When the light transmittance of the panel base for the brown tube is as low as 35 to 60%, the light reflectance from the inner surface of the panel base is so much because the reflected light penetrates the panel base and the reflected light from the inner surface is attenuated three times. Does not cause problems In contrast, when the light transmittance of the panel base for the brown tube is 60% or more, for example, the grade "clear" (transmittance: 75% or more) or the grade "gray" specified in EIAJ ED-2138. In the case of using a panel base exhibiting (transmittance: 60-75%), light reflection from the inner surface of the panel base causes a problem that cannot be ignored.

본 발명의 목적은 넓은 범위에서 광 투과율을 조절할 수 있는 반사 방지막과 원하는 화질을 갖는 표시 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an antireflection film capable of adjusting light transmittance in a wide range and a display device having desired image quality.

본 발명에 따르면, 전술된 문제를 해결하기 위하여, 복수개의 박막들이 베이스 상에 적층된 다층 구조를 갖는 반사 방지막이 제공되는데, 여기서 상기 박막들은 금속막, 금속 질화막 및 금속 산화막으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 한 종류로 이루어진 제1 광 흡수막; 금속막, 금속 질화막 및 금속 산화막으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 한 종류로 이루어진 제2 광 흡수막; 및 약 1.4 내지 약 1.9의 범위에 있는 굴절율을 갖는 유전체막을 포함하며, 상기 유전체막은 상기 제1 광 흡수막과 상기 제2 광 흡수막 사이에 놓여지는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, in order to solve the above-described problem, there is provided an antireflection film having a multilayer structure in which a plurality of thin films are stacked on a base, wherein the thin films are at least selected from the group consisting of a metal film, a metal nitride film and a metal oxide film. A first light absorbing film made of one kind; A second light absorbing film made of at least one kind selected from the group consisting of a metal film, a metal nitride film and a metal oxide film; And a dielectric film having a refractive index in a range from about 1.4 to about 1.9, wherein the dielectric film is disposed between the first light absorbing film and the second light absorbing film.

본 발명에 따르면, 화상을 표시하기 위한 패널 베이스의 표면 상에 반사 방지막이 형성된 표시 장치가 제공되는데, 여기서 상기 반사 방지막은According to the present invention, there is provided a display device in which an antireflection film is formed on a surface of a panel base for displaying an image, wherein the antireflection film is

금속막, 금속 질화막 및 금속 산화막으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 한 종류로 이루어진 제1 광 흡수막; 금속막, 금속 질화막 및 금속 산화막으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 한 종류로 이루어진 제2 광 흡수막; 및 약 1.4 내지 약 1.9의 범위에 있는 굴절율을 갖는 유전체막을 포함하며, 상기 유전체막은 상기 제1 광 흡수막과 상기 제2 광 흡수막 사이에 놓여지는 것을 특징으로 한다. 이 표시 장치에서, 패널 베이스는 60% 이상의 범위 이내의 광 투과율을 갖는 것이 바람직하다.A first light absorbing film made of at least one kind selected from the group consisting of a metal film, a metal nitride film and a metal oxide film; A second light absorbing film made of at least one kind selected from the group consisting of a metal film, a metal nitride film and a metal oxide film; And a dielectric film having a refractive index in a range from about 1.4 to about 1.9, wherein the dielectric film is disposed between the first light absorbing film and the second light absorbing film. In this display device, the panel base preferably has a light transmittance within a range of 60% or more.

본 발명의 다른 목적 및 이점들은 첨부된 도면을 참조하여 다음 상세 설명과 첨부된 청구항을 읽음으로써 명백하게 될 것이다.Other objects and advantages of the present invention will become apparent by reading the following detailed description and the appended claims, taken in conjunction with the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 반사 방지막의 2개의 광 흡수막들 사이에 형성된 유전체막의 굴절율의 변화에 따라 표면으로부터의 광 반사와 내부 표면으로부터의 광 반사의 차를 나타내는 그래프.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a graph showing the difference between light reflection from a surface and light reflection from an inner surface in accordance with a change in refractive index of a dielectric film formed between two light absorption films of an antireflection film of the present invention.

표시 장치용 패널 베이스는 유리 재료 또는 합성 수지 재료로 이루어져 있다. 글래스 재료의 구체적인 예로는 소다 글래스(soda glass), 리드 글래스(lead glass), 하드 글래스(hard glass), 쿼츠 글래스(quartz glass) 및 액정 글래스를 포함할 수도 있다. 브라운 튜브용으로, 스트론튬 또는 바륨을 포함하는 실리케이트 글래스가 사용되는 것이 바람직하고, 액정 표시 장치로는 알카리-레스(alkali less) 글래스가 사용되는 것이 바람직하다.The panel base for display apparatus consists of a glass material or a synthetic resin material. Specific examples of the glass material may include soda glass, lead glass, hard glass, quartz glass, and liquid crystal glass. For the brown tube, silicate glass containing strontium or barium is preferably used, and alkali less glass is preferably used as the liquid crystal display.

패널 베이스를 형성하기 위한 합성 수지 재료로서, 유기성 고중합체 재료 중 어느 한 종류가 사용될 수 있다. 그러나, 투명도, 굴절율 및 분산과 같은 광학적 특성과 충격력, 열저항 및 내구력과 같은 다른 특성의 관점으로부터,As the synthetic resin material for forming the panel base, any kind of organic high polymer material can be used. However, from the viewpoint of optical properties such as transparency, refractive index and dispersion and other properties such as impact force, heat resistance and durability,

폴리메틸메타크릴(polymethylmethacrylate)과 같은 (메스)아크릴계 수지, 또는 메틸메타크릴의 공중합체 및 알킬(메스)아크릴 또는 스티렌(styrene)과 같은 비닐 모노머; 폴리카보네이트와 같은 폴리카보네이트계 수지, 또는 디에틸렌 글리콜 비셀리 카보네이트(CR-39); (브롬화된) 비스페놀 A-형 디(메스)아크릴의 단독 중합체 또는 공중합체와 같은 열경화성 (메스)아크릴계 수지 또는 우레탄-변형(브롬화된) 비스페놀 A-모노 (메스)아크릴의 단독 중합체 또는 공중합체; 폴리에스터, 특히 폴리에틸렌터레프탈린(polyethyleneterephthalate), 폴리에틸렌나프탈린(polyethylenenaphthalate) 또는 비포화된 폴리에스터; 아크릴론니트릴에스틸렌(acrylonitrilestyrene) 공중합체; 폴리비닐 클로라이드; 폴리우레탄; 또는 에폭시 수지를 사용하는 것이 바람직할 수도 있다. 게다가, 아라미드계 수지는 열저항의 관점으로부터 사용될 수 있다. 필름형 베이스는 전술된 합성 수지 재료를 드로윙(drawing)하거나, 용매에 전술된 합성 수지 재료를 희석시키고, 이 희석된 재료를 필름형상에 도포하고 이를 건조시킴으로써 제조될 수 있다. 필름형 베이스의 두께는 일반적으로 25∼500㎛의 범위 이내이다.(Meth) acrylic resins such as polymethylmethacrylate, or copolymers of methylmethacryl and vinyl monomers such as alkyl (meth) acryl or styrene; Polycarbonate resins such as polycarbonate, or diethylene glycol biseli carbonate (CR-39); Thermosetting (meth) acrylic resins or homopolymers or copolymers of urethane-modified (brominated) bisphenol A-mono (meth) acryl, such as homopolymers or copolymers of (brominated) bisphenol A-type di (meth) acrylics; Polyesters, in particular polyethyleneterephthalate, polyethylenenaphthalate or unsaturated polyesters; Acrylonitrilestyrene copolymers; Polyvinyl chloride; Polyurethane; Or it may be preferable to use an epoxy resin. In addition, aramid resins can be used from the viewpoint of heat resistance. The film-shaped base can be prepared by drawing the above-mentioned synthetic resin material or by diluting the above-described synthetic resin material in a solvent, applying the diluted material to the film form and drying it. The thickness of a film base is generally within the range of 25-500 micrometers.

표시 장치용 패널 베이스가 합성 수지 재료로 형성되었다면, 패널 베이스의 표면은 일본 특허 공보 소50-28092호, 소50-28446호, 소51-24346호, 소52-112698호 및 소57-2735호에 개시된 하드 코트와 같은 코팅 재료로 코팅될 수도 있다. 또한, 합성 수지 재료로 이루어진 패널 베이스용으로서의, 접착력, 강도, 화학적 저항력, 내구력 및 염료 친화력과 같은 다양한 특성은 반사 방지막의 하부층으로서 무기성 도포 재료를 제공함으로써 향상될 수 있다. 하드 코드의 두께는 일반적으로 약 3 내지 20㎛의 범위 이내이다. 더욱이, 표시 장치용 패널 베이스는 카본 블랙 또는 염료와 같은 안료로 채색될 수도 있다. 이 경우, 일본 특허 공보 평7-36044호에 개시된 바와 같이, 그렇게 채색된 패널 베이스는 특정 파장을 광을 선택적으로 흡수하는 선택 흡수 필터로서 제공할 수 있다.If the panel base for the display device is formed of a synthetic resin material, the surface of the panel base is Japanese Patent Publication Nos. 50-28092, 50-28446, 51-24346, 52-112698 and 57-2735. It may also be coated with a coating material, such as the hard coat disclosed in. In addition, various properties such as adhesion, strength, chemical resistance, durability, and dye affinity for a panel base made of a synthetic resin material can be improved by providing an inorganic coating material as an underlayer of the antireflection film. The thickness of the hard cord is generally within the range of about 3-20 μm. Furthermore, the panel base for display device may be colored with a pigment such as carbon black or dye. In this case, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-36044, the panel base so colored can provide a specific wavelength as a selective absorption filter that selectively absorbs light.

광 흡수막을 포함하는 반사 방지막은 진공 증착 프로세스로 표시되는 PVD(Physical Vapor Deposition) 프로세스, 이온 주입 프로세스 또는 스퍼터링 프로세스에 의해 형성될 수 있다. PVD 프로세스에 의한 광 흡수막을 형성하는데 적합한 재료의 구체적인 예로는 Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr 및 Hf와 같은 금속과 그 질화물 및 산화물을 포함할 수 있다. 더욱이, 유전체막을 형성하기 위한 재료의 구체적인 예로는 SiO2, SiO, Si3N4, Al2O3, ZrO2, TiO2, Ta2O5, TaHf2, TiO, Ti2O3, HfO2, ZnO, In2O3, In2O3/SnO2, Y2O3, Yb2O3, Sb2O3, MgO 및 CeO2와 같은 무기성 산화물 및 무기성 질화물을 포함할 수 있다The antireflection film including the light absorbing film may be formed by a physical vapor deposition (PVD) process, an ion implantation process, or a sputtering process, which is represented by a vacuum deposition process. Specific examples of materials suitable for forming the light absorption film by the PVD process include Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr And metals such as Hf and nitrides and oxides thereof. Moreover, specific examples of the material for forming the dielectric film include SiO 2 , SiO, Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , ZrO 2 , TiO 2 , Ta 2 O 5 , TaHf 2 , TiO, Ti 2 O 3 , HfO 2 , Inorganic oxides and inorganic nitrides such as ZnO, In 2 O 3 , In 2 O 3 / SnO 2 , Y 2 O 3 , Yb 2 O 3 , Sb 2 O 3 , MgO and CeO 2

광 흡수막의 산화를 방지하기 위한 산화 베리어층은 일본 특허 공개 소59-165001호와 평9-156964호에 개시된 바와 같이, 반사 방지막에 삽입될 수도 있다. 전술된 산화 베리어층을 형성하기 위한 재료의 구체적인 예는 Si3N 또는 AlN과 같은 금속 질화물과 다양한 금속을 포함할 수 있다.An oxide barrier layer for preventing oxidation of the light absorbing film may be inserted in the antireflection film, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open Nos. 59-165001 and 9-156964. Specific examples of the material for forming the oxide barrier layer described above may include metal nitrides such as Si 3 N or AlN and various metals.

산화 베리어층은 광학적 관점에서 불필요하기 때문에, 산화 베리어층의 두께는 반사 방지 특성의 저하를 방지하기 위해 20㎛ 이하의 범위가 바람직하다. 게다가, 미국 특허 제2,628,927호와 일본 특허 공보 평3-81121호에 개시된 바와 같이, 패널 베이스가 합성 수지 재료로 제조되는 경우, SiO2또는 금속 황화물과 같은 금속 산화물의 막은 패널 베이스와 반사 방지막 간의 접착력을 향상시키기 위한 반사 방지막의 제1층으로서 극도로 얇게 형성될 수 있다.Since the oxide barrier layer is unnecessary from an optical point of view, the thickness of the oxide barrier layer is preferably in the range of 20 μm or less in order to prevent the deterioration of the antireflection property. In addition, as disclosed in US Pat. No. 2,628,927 and Japanese Patent Publication No. Hei 3-81121, when the panel base is made of a synthetic resin material, a film of metal oxide such as SiO 2 or metal sulfide has an adhesive force between the panel base and the antireflective film. It can be formed extremely thin as the first layer of the anti-reflection film for improving the efficiency.

전술된 수단에 따르면, 최소 개수의 층들로 원하는 반사 방지 특성을 갖는 반사 방지막을 제공할 수 있다. 그러한 반사 방지막이 화상 표시용 패널 베이스의 표면 상에 형성되는 표시 장치에서, 종래와 같이 광 투과율이 변화되는 다양한 패널 베이스를 준비할 필요없이 넓은 범위에서 광투과율을 조절할 수 있다. 또한, 표시 장치에서, 단일 광 투과율은 표시 장치의 기계적 강도에 무관하게 화상을 표시하기 위한 패널 베이스의 전체 표면 상에서 구할 수 있기 때문에, 패널 베이스의 내부 표면으로부터의 광 반사로 인한 고스트(ghost) 또는 플레어(flare)의 발생없이 양호한 화질을 보장할 수 있다.According to the aforementioned means, it is possible to provide an antireflection film having a desired antireflection property with a minimum number of layers. In the display device in which such an anti-reflection film is formed on the surface of the panel base for image display, the light transmittance can be adjusted in a wide range without having to prepare various panel bases whose light transmittance changes as in the prior art. In addition, in the display device, since a single light transmittance can be obtained on the entire surface of the panel base for displaying an image regardless of the mechanical strength of the display device, ghost or ghost due to light reflection from the inner surface of the panel base. Good image quality can be guaranteed without the occurrence of flare.

본 발명은 복수개의 박막들이 베이스 상에 형성되는 다층 구조를 갖는 반사 방지막과, 화상을 표시하기 위한 패널 베이스의 표면 상에 반사 방지막이 형성되는 표시 장치에 적용 가능하다. 이후, 브라운 튜브용 패널 글래스(EIAJ H-8601하에서 특정화된 "클리어" 글래스)로 표시되는 패널 베이스의 표면 상에 형성된 반사 방지막을 이용한 일례가 기술될 것이다. 또한, 패널 글래스의 표시 플레이의 중심부의 두께는 12mm이다. 본 발명은 물론 이에 국한되지 않는다는 것에 유의하여야 한다.The present invention is applicable to an antireflection film having a multilayer structure in which a plurality of thin films are formed on a base, and a display device in which an antireflection film is formed on a surface of a panel base for displaying an image. Subsequently, an example using an antireflection film formed on the surface of the panel base represented by the panel glass for brown tube ("clear" glass specified under EIAJ H-8601) will be described. In addition, the thickness of the center part of the display play of panel glass is 12 mm. It should be noted that the present invention is of course not limited thereto.

실시예 1Example 1

본 실시예에서, 브라운 튜브용 패널 글래스 상에는, 다음 4개의 막들, 두께가 10nm인 TiN의 제1 광 흡수막, 두께가 82nm인 Al2O3(굴절율 : 약 1.7)의 유전체막, 두께가 12nm인 TiN의 제2 광 흡수막, 및 두께가 90nm인 SiO2의 유전체막이 순차적으로 형성되기 때문에 4층 반사 방지막이 구해진다.In this embodiment, the brown tube panel glass formed on, and then the four films, TiN of the first light-absorbing film having a thickness of 10nm, an Al 2 O 3 having a thickness of 82nm (refractive index: about 1.7) for a dielectric film, a thickness of 12nm Since the second light absorption film of TiN and the dielectric film of SiO 2 having a thickness of 90 nm are sequentially formed, a four-layer antireflection film is obtained.

비교예 1Comparative Example 1

비교에에서, 브라운 튜브용 패널 글래스 상에는, 다음 4개의 막들, 두께가 10nm인 TiN의 제1 광 흡수막, 두께가 87nm인 SiO2(굴절율 : 약 1.4)의 유전체막이 형성되기 때문에, 2층 반사 방지막이 구해진다. 이 비교예에서, 제2 광 흡수막이 형성되지 않는다.In comparison, since the following four films were formed on the panel glass for the brown tube, the first light absorbing film of TiN having a thickness of 10 nm, and the dielectric film of SiO 2 (refractive index: about 1.4) having a thickness of 87 nm, two-layer reflection A prevention film is obtained. In this comparative example, the second light absorbing film is not formed.

비교예 2Comparative Example 2

비교예에서, 브라운 튜브용 패널 글래스 상에는 다음 4개의 막들, 두께가 19.9nm인 TiN의 제1 광 흡수막, 두께가 30nm인 TiO2(굴절율 : 약 2.6)의 유전체막, 두께가 6.7nm인 TiN의 제2 광 흡수막, 및 두께가 82.2nm인 SiO2의 유전체막이 순차적으로 적층되기 때문에, 반사 방지막이 구해진다. 이 비교예에서, 제1 및 제2 흡수막 사이에 형성된 유전체막의 굴절율은 1.9 이상이다.In the comparative example, on the panel glass for the brown tube, the following four films, the first light absorbing film of TiN having a thickness of 19.9 nm, the dielectric film of TiO 2 (refractive index: about 2.6) having a thickness of 30 nm, and the TiN having a thickness of 6.7 nm Since the second light absorption film and the dielectric film of SiO 2 having a thickness of 82.2 nm are sequentially stacked, an antireflection film is obtained. In this comparative example, the refractive index of the dielectric film formed between the first and second absorbing films is 1.9 or more.

컴퓨터를 사용하여 실시예 1과 비교예 1 및 2의 반사 방지막을 시뮬레이팅한 결과는 표 1에 나타나 있다. 시뮬레이션용으로 사용된 막 재료의 복합 굴절율으로서, 복합 굴절율 = (n-ik)의 관계에 기초하여 구해진 값들과 표 2에 나타난 값이 사용되었다. 유전체 물질용으로는 k가 제로가 되어야 함에 유의하여야 한다.The results of simulating the antireflection films of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 using a computer are shown in Table 1. As the composite refractive index of the film material used for the simulation, the values obtained based on the relationship of the composite refractive index = (n-ik) and the values shown in Table 2 were used. Note that k must be zero for dielectric materials.

표면으로부터의 광 반사율(시각 반사율)Light reflectance from the surface (visual reflectance) 내부면으로부터의 광 반사율(시각 반사율)Light reflectance from the inner surface (visual reflectance) 투과율(파장 : 546nm)Transmittance (wavelength: 546nm) 실시예 1Example 1 0.1%0.1% 0.8%0.8% 53%53% 비교예 1Comparative Example 1 0.1%0.1% 6.6%6.6% 75%75% 비교예 2Comparative Example 2 0.1%0.1% 16.8%16.8% 48%48%

막 재료Membrane material 복합 굴절율Composite refractive index 파장wavelength 450nm450 nm 550nm550 nm 650nm650nm TiNTiN 굴절율(n)Refractive index (n) 2.002.00 1.751.75 1.701.70 TiNTiN 소광 계수(k)Extinction coefficient (k) 0.950.95 1.201.20 1.671.67 Al2O3 Al 2 O 3 굴절율(n)Refractive index (n) 1.671.67 1.671.67 1.671.67 SiO2 SiO 2 굴절율(n)Refractive index (n) 1.461.46 1.461.46 1.451.45

표 1로부터 명백한 바와 같이, 실시예 1에서 구해진 반사 방지막으로는, 표면으로부터 반사된 광의 시각 반사율은 0.1%이고, 내부면으로부터 반사된 광의 시각 반사율은 0.8%이며, 파장이 546nm인 광의 투과율은 53%이다. 이들 결과는 표시 장치의 요구 조건을 충족한다. 이에 반하여, 비교예 1과 2에서 구해진 반사 방지막용으로는, 표면으로부터 반사된 광이 시각 반사율은 0.1%보다 낮지만, 내부면으로부터 반사된 광의 시각 반사율은 비교예 1에서는 6.6%만큼 높고 비교예 2에서는 16.8%만큼 높다. 이들 결과는 표시 장치의 요구 조건을 충족하지 못한다.As is apparent from Table 1, with the antireflection film obtained in Example 1, the visual reflectance of the light reflected from the surface was 0.1%, the visual reflectance of the light reflected from the inner surface was 0.8%, and the transmittance of the light having a wavelength of 546 nm was 53. %to be. These results meet the requirements of the display device. In contrast, for the antireflection films obtained in Comparative Examples 1 and 2, the visual reflectance of the light reflected from the surface was lower than 0.1%, but the visual reflectance of the light reflected from the inner surface was as high as 6.6% in Comparative Example 1 and the comparative example. In 2 it is as high as 16.8%. These results do not meet the requirements of the display device.

도 1은 반사 방지막의 유전체막을 형성하는 유전체 물질의 굴절율과 휘도 반사율 간의 관계를 나타내는 그래프이다. 보다 구체적으로는, 패널 베이스로서의 투명한 글래스 상에는 다음 4개의 층들, 두께가 10nm인 TiN의 제1 광 흡수막, 유전체막(1/4파장 막), 두께가 12nm인 TiN의 광 흡수막, 및 두께가 90nm인 SiO2의 유전체막이 순차적으로 적층되어, 반사 방지막이 형성된다. 그러한 반사 방지막에 관련하여, 표면과 내부면 각각으로부터 반사된 광의 시각 반사율은 파라미터로서 취해진 유전체막의 유전체 물질의 굴절율로 계산된다.1 is a graph showing the relationship between the refractive index and the luminance reflectance of the dielectric material forming the dielectric film of the antireflection film. More specifically, on the transparent glass as the panel base, the following four layers, the first light absorbing film of TiN having a thickness of 10 nm, the dielectric film (1/4 wavelength film), the light absorbing film of TiN having a thickness of 12 nm, and the thickness A dielectric film of SiO 2 having a thickness of 90 nm is sequentially stacked to form an antireflection film. With respect to such an antireflective film, the visual reflectance of the light reflected from each of the surface and the inner surface is calculated as the refractive index of the dielectric material of the dielectric film taken as a parameter.

글래스 재료 또는 합성 수지 재료로 이루어진 패널 베이스의 표면과 내부면 각각으로부터 반사된 광의 반사율은 약 4 내지 6%의 범위 이내이다. 표시 장치에 요구되는 반사 방지 효과를 결정하기 위한 기준은 유럽 표준 TUV 하에서 특정화된다. 그러한 표준을 만족시키기 위하여, 시각 반사율은 2% 이하의 값으로 억제되어야만 한다(텔레비젼 학회 기술 보고, Vol. 19, No. 2, 1995를 참조). 전술된 시뮬레이션 결과에서 조차도, 표면으로부터의 광 반사율과 내부면으로부터의 광 반사율 둘다를 동시에 2% 이하의 범위 내에서 놓여지도록 하기 위하여, 유전체막의 굴절율은 1.4 내지 1.9의 범위, 바람직하기로는 1.5 내지 1.8의 범위 이내가 되도록 하여야 한다.The reflectance of light reflected from each of the surface and inner surface of the panel base made of glass material or synthetic resin material is within the range of about 4 to 6%. Criteria for determining the antireflection effect required for the display device are specified under the European standard TUV. In order to meet such standards, the visual reflectance must be suppressed to a value of 2% or less (see Television Society Technical Report, Vol. 19, No. 2, 1995). Even in the simulation results described above, the refractive index of the dielectric film is in the range of 1.4 to 1.9, preferably 1.5 to 1.8, so that both the light reflectance from the surface and the light reflectance from the inner surface are simultaneously placed within the range of 2% or less. It should be within the range of.

본 발명은 최소 개수의 층들로 원하는 반사 방지 기능을 갖는 반사 방지막을 제공할 수 있다. 화상을 표시하기 위한 패널 베이스의 표면 상에 반사 방지막이 형성되는 표시 장치는 다음과 같은 효과를 가진다.The present invention can provide an antireflection film having a desired antireflection function with a minimum number of layers. A display device in which an antireflection film is formed on a surface of a panel base for displaying an image has the following effects.

(1) 광 투과율은 종래와 같이 광 투과율이 변화되는 다양한 종류의 패널 베이스를 준비할 필요없이 넓은 범위에서 조절될 수 있다.(1) The light transmittance can be adjusted in a wide range without having to prepare various kinds of panel bases whose light transmittance is changed as in the prior art.

(2) 패널 베이스의 내부면으로부터의 광 반사로 인한 고스트 또는 플레어의 발생없이 원하는 화질을 보장할 수 있다.(2) Desired image quality can be ensured without generation of ghosts or flares due to light reflection from the inner surface of the panel base.

(3) 표시 장치의 기계적인 강도에 무관하게 화상을 표시하기 위한 패널 베이스의 전체 표면 상에 균일한 광 투과율을 구할 수 있다.(3) A uniform light transmittance can be obtained on the entire surface of the panel base for displaying an image regardless of the mechanical strength of the display device.

본 발명의 바람직한 실시예가 구체적인 용어를 사용하여 기술되었지만, 그러한 설명은 단지 설명을 위한 것이고, 첨부된 청구범위 및 기술적 사상과 동떨어짐없이 변화와 변형이 이루어질 수 있다는 것을 알 수 있을 것이다.While the preferred embodiments of the present invention have been described using specific terminology, such description is for illustrative purposes only and it will be appreciated that changes and modifications may be made without departing from the scope of the appended claims and the spirit.

Claims (9)

복수개의 박막들이 베이스(base) 상에 적층된 다층 구조를 갖는 반사 방지막에 있어서,In the anti-reflection film having a multilayer structure in which a plurality of thin films are stacked on a base, 금속, 금속 질화물 및 금속 산화물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 제1 광 흡수막;A first light absorbing film selected from the group consisting of metals, metal nitrides and metal oxides; 금속, 금속 질화물 및 금속 산화물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 제2 광 흡수막; 및A second light absorbing film selected from the group consisting of metals, metal nitrides and metal oxides; And 약 1.4 내지 약 1.9의 범위에 있는 굴절율을 갖는 유전체막을 포함하며;A dielectric film having a refractive index in the range of about 1.4 to about 1.9; 상기 유전체막은 상기 제1 광 흡수막과 상기 제2 광 흡수막 사이에 놓여지는 것을 특징으로 반사 방지막.And the dielectric film is disposed between the first light absorbing film and the second light absorbing film. 제1항에 있어서, 상기 제1 광 흡수막의 금속은 Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr 및 Hf로 이루어진 그룹으로부터 선택된 금속, 금속 질화물 및 금속 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 반사 방지막.The method of claim 1, wherein the metal of the first light absorption film is Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr and An antireflection film comprising a metal, a metal nitride and a metal oxide selected from the group consisting of Hf. 제1항에 있어서, 상기 제2 광 흡수막의 금속은 Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr 및 Hf로 이루어진 그룹으로부터 선택된 금속, 금속 질화물 및 금속 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 반사 방지막.The method of claim 1, wherein the metal of the second light absorption film is Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr and An antireflection film comprising a metal, a metal nitride and a metal oxide selected from the group consisting of Hf. 제1항에 있어서, 상기 유전체막은 SiO2, SiO, Si3N4, Al2O3, ZrO2, TiO2, Ta2O5, TaHf2, TiO, Ti2O3, HfO2, ZnO, In2O3, In2O3/SnO2, Y2O3, Yb2O3, Sb2O3, MgO 및 CeO2로 구성된 그룹으로부터 선택된 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사 방지막.The method of claim 1, wherein the dielectric layer is formed of SiO 2 , SiO, Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , ZrO 2 , TiO 2 , Ta 2 O 5 , TaHf 2 , TiO, Ti 2 O 3 , HfO 2 , ZnO, An antireflection film comprising a material selected from the group consisting of In 2 O 3 , In 2 O 3 / SnO 2 , Y 2 O 3 , Yb 2 O 3 , Sb 2 O 3 , MgO and CeO 2 . 화상 표시용 패널 베이스의 표면 상에 반사 방지막이 형성된 표시 장치에 있어서,In the display device in which the antireflection film was formed on the surface of the panel base for image display, 상기 반사 방지막은The anti-reflection film 금속, 금속 질화물 및 금속 산화물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 제1 광 흡수막;A first light absorbing film selected from the group consisting of metals, metal nitrides and metal oxides; 금속, 금속 질화물 및 금속 산화물로 이루어진 그룹으로부터 선택된 제2 광 흡수막; 및A second light absorbing film selected from the group consisting of metals, metal nitrides and metal oxides; And 약 1.4 내지 약 1.9의 범위에 있는 굴절율을 갖는 유전체막을 포함하며;A dielectric film having a refractive index in the range of about 1.4 to about 1.9; 상기 유전체막은 상기 제1 광 흡수막과 상기 제2 광 흡수막 사이에 놓여지는 것을 특징으로 표시 장치.And the dielectric film is disposed between the first light absorbing film and the second light absorbing film. 제2항에 있어서, 상기 패널 베이스는 60% 이상의 범위에 있는 광 투과율을 갖는 것을 특징으로 하는 표시 장치.The display device of claim 2, wherein the panel base has a light transmittance in a range of 60% or more. 제5항에 있어서, 상기 제1 광 흡수막의 금속은 Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr 및 Hf로 이루어진 그룹으로부터 선택된 금속, 금속 질화물 및 금속 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치.The metal of the first light absorbing film is Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr and A display device comprising a metal, a metal nitride and a metal oxide selected from the group consisting of Hf. 제5항에 있어서, 상기 제2 광 흡수막의 금속은 Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr 및 Hf로 이루어진 그룹으로부터 선택된 금속, 금속 질화물 및 금속 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치.The metal of the second light absorption film is Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr and A display device comprising a metal, a metal nitride and a metal oxide selected from the group consisting of Hf. 제5항에 있어서, 상기 유전체막은 SiO2, SiO, Si3N4, Al2O3, ZrO2, TiO2, Ta2O5, TaHf2, TiO, Ti2O3, HfO2, ZnO, In2O3, In2O3/SnO2, Y2O3, Yb2O3, Sb2O3, MgO 및 CeO2로 구성된 그룹으로부터 선택된 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치.The method of claim 5, wherein the dielectric film is SiO 2 , SiO, Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , ZrO 2 , TiO 2 , Ta 2 O 5 , TaHf 2 , TiO, Ti 2 O 3 , HfO 2 , ZnO, A display device comprising a material selected from the group consisting of In 2 O 3 , In 2 O 3 / SnO 2 , Y 2 O 3 , Yb 2 O 3 , Sb 2 O 3 , MgO and CeO 2 .
KR1019990055368A 1998-12-08 1999-12-07 Anti-reflection film and display device KR100636773B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10348529A JP2000171601A (en) 1998-12-08 1998-12-08 Antireflection film and display device
JP1998-348529 1998-12-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20000047951A true KR20000047951A (en) 2000-07-25
KR100636773B1 KR100636773B1 (en) 2006-10-23

Family

ID=18397632

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019990055368A KR100636773B1 (en) 1998-12-08 1999-12-07 Anti-reflection film and display device

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JP2000171601A (en)
KR (1) KR100636773B1 (en)
GB (1) GB2344600B (en)
NL (1) NL1013664C2 (en)
SG (1) SG85155A1 (en)
TW (1) TW428107B (en)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19948839A1 (en) * 1999-10-11 2001-04-12 Bps Alzenau Gmbh Conductive transparent layers and processes for their manufacture
EP1148037A1 (en) * 2000-04-19 2001-10-24 Blösch Holding AG Process for the production of an anti-reflective coating on watchcover glasses
US9359261B2 (en) 2013-05-07 2016-06-07 Corning Incorporated Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film
US9366784B2 (en) 2013-05-07 2016-06-14 Corning Incorporated Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film
US9110230B2 (en) 2013-05-07 2015-08-18 Corning Incorporated Scratch-resistant articles with retained optical properties
US9684097B2 (en) 2013-05-07 2017-06-20 Corning Incorporated Scratch-resistant articles with retained optical properties
US9703011B2 (en) 2013-05-07 2017-07-11 Corning Incorporated Scratch-resistant articles with a gradient layer
US10160688B2 (en) 2013-09-13 2018-12-25 Corning Incorporated Fracture-resistant layered-substrates and articles including the same
US9335444B2 (en) 2014-05-12 2016-05-10 Corning Incorporated Durable and scratch-resistant anti-reflective articles
US11267973B2 (en) 2014-05-12 2022-03-08 Corning Incorporated Durable anti-reflective articles
US9790593B2 (en) 2014-08-01 2017-10-17 Corning Incorporated Scratch-resistant materials and articles including the same
KR102591067B1 (en) 2015-09-14 2023-10-18 코닝 인코포레이티드 Anti-reflective product with high light transmittance and scratch resistance
CN114085038A (en) 2018-08-17 2022-02-25 康宁股份有限公司 Inorganic oxide articles with thin durable antireflective structures
FR3098215B1 (en) * 2019-07-05 2021-12-31 Saint Gobain DOUBLE LAYER TIN GLAZING FOR SOLAR CONTROL
CN111261488B (en) * 2020-01-29 2022-04-22 北方夜视技术股份有限公司 Metal nitride antireflection film of photomultiplier glass light window, preparation method and preparation system thereof, and photomultiplier
CN113320248A (en) * 2021-07-04 2021-08-31 北京载诚科技有限公司 Display film and display module

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4346324A (en) * 1979-10-12 1982-08-24 Westinghouse Electric Corp. Heat mirror for incandescent lamp
DE3316548C2 (en) * 1983-03-25 1985-01-17 Flachglas AG, 8510 Fürth Process for coating a transparent substrate
US4690871A (en) * 1986-03-10 1987-09-01 Gordon Roy G Protective overcoat of titanium nitride films
GB8900166D0 (en) * 1989-01-05 1989-03-01 Glaverbel Glass coating
US5073451A (en) * 1989-07-31 1991-12-17 Central Glass Company, Limited Heat insulating glass with dielectric multilayer coating
CA2041038C (en) * 1990-05-10 2001-01-02 Jesse D. Wolfe Durable low-emissivity thin film interference filter
US5183700A (en) * 1990-08-10 1993-02-02 Viratec Thin Films, Inc. Solar control properties in low emissivity coatings
US5091244A (en) * 1990-08-10 1992-02-25 Viratec Thin Films, Inc. Electrically-conductive, light-attenuating antireflection coating
US5527596A (en) * 1990-09-27 1996-06-18 Diamonex, Incorporated Abrasion wear resistant coated substrate product
US5270858A (en) * 1990-10-11 1993-12-14 Viratec Thin Films Inc D.C. reactively sputtered antireflection coatings
US5271960A (en) * 1991-06-24 1993-12-21 Ford Motor Company Step gradient anti-iridescent coatings
US5254392A (en) * 1991-06-24 1993-10-19 Ford Motor Company Anti-iridescence coatings
US5667880A (en) * 1992-07-20 1997-09-16 Fuji Photo Optical Co., Ltd. Electroconductive antireflection film
CH684643A5 (en) * 1992-10-20 1994-11-15 Troesch Glas Ag A process for the production of window panes with high transmission of radiation in the visible spectral range and high reflection of radiation in the heat radiation range.
CA2129488C (en) * 1993-08-12 2004-11-23 Olivier Guiselin Transparent substrates with multilayer coatings, and their application to thermal insulation and sunshading
JP3359114B2 (en) * 1993-08-26 2002-12-24 キヤノン株式会社 Thin film type ND filter and method of manufacturing the same
US5798182A (en) * 1993-11-08 1998-08-25 Optical Coating Laboratory, Inc. Wear resistant thin film coating and combination
DE19520843A1 (en) * 1995-06-08 1996-12-12 Leybold Ag Disc made of translucent material and process for its manufacture

Also Published As

Publication number Publication date
TW428107B (en) 2001-04-01
NL1013664A1 (en) 2000-06-13
GB9928967D0 (en) 2000-02-02
KR100636773B1 (en) 2006-10-23
JP2000171601A (en) 2000-06-23
GB2344600A (en) 2000-06-14
SG85155A1 (en) 2001-12-19
GB2344600B (en) 2001-09-26
NL1013664C2 (en) 2007-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100636773B1 (en) Anti-reflection film and display device
US4846551A (en) Optical filter assembly for enhancement of image contrast and glare reduction of cathode ray display tube
US5521765A (en) Electrically-conductive, contrast-selectable, contrast-improving filter
EP0990928B1 (en) Filter for plasma display panel
US5728456A (en) Methods and apparatus for providing an absorbing, broad band, low brightness, antireflection coating
JP2020166290A (en) Video display transparent member, video display system and video display method
EP1566667A2 (en) An optical filter
US20060001959A1 (en) Optical multilayer film and reflective screen
US20150212335A1 (en) Reflective type imaging element and optical system, and method of manufacturing relective type imaging element
JP2003139907A (en) Display device and reflection preventing substrate
JPH1173119A (en) Antireflection coat having electromagnetic wave shield effect and optical member having antireflection coat
US20220244429A1 (en) Optical laminate and article
JP2000171605A (en) Antireflection film and display device
EP0841680B1 (en) Explosion-proof film and cathode-ray tube
JPH10187056A (en) Filter for display device, display device, and front surface plate for display device
USRE27473E (en) Thin film coating for sunglasses
JP2001159712A (en) Optical filter, display unit and front plate for the same
JPH11142603A (en) Antireflection film
JP2002277608A (en) Antireflection film and image display using the same
JP2000105311A (en) Filter for plasma display panel
JPH01180501A (en) Transparent plate adhered with antireflection film having metallic film
JP2000137111A (en) Filter for display device, and display device
JP2003062920A (en) Antireflection film
JPH01198701A (en) Colored reflection preventive film
JP2000106044A (en) Surface resistance lowering method for transparent conductive film

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20111005

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee