NL1013664C2 - Anti-reflective film and image display device. - Google Patents

Anti-reflective film and image display device. Download PDF

Info

Publication number
NL1013664C2
NL1013664C2 NL1013664A NL1013664A NL1013664C2 NL 1013664 C2 NL1013664 C2 NL 1013664C2 NL 1013664 A NL1013664 A NL 1013664A NL 1013664 A NL1013664 A NL 1013664A NL 1013664 C2 NL1013664 C2 NL 1013664C2
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
metal
optical absorption
reflective film
absorption layer
film
Prior art date
Application number
NL1013664A
Other languages
Dutch (nl)
Other versions
NL1013664A1 (en
Inventor
Hanaoka Hideaki
Hisamatsu Fumiaki
Yamashita Masataka
Kobayashi Masahiro
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Publication of NL1013664A1 publication Critical patent/NL1013664A1/en
Application granted granted Critical
Publication of NL1013664C2 publication Critical patent/NL1013664C2/en

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/361Coatings of the type glass/metal/inorganic compound/metal/inorganic compound/other
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3417Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3429Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
    • C03C17/3435Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3615Coatings of the type glass/metal/other inorganic layers, at least one layer being non-metallic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3618Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3642Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating containing a metal layer
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11Anti-reflection coatings
    • G02B1/113Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
    • G02B1/115Multilayers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/70Properties of coatings
    • C03C2217/73Anti-reflective coatings with specific characteristics

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Description

5 ' *> l .,5 '*> 1.

ANTIREFLECTERENDE FILM EM BEELDWEERGAVEINRICHTINGANTI-REFLECTIVE FILM EM IMAGE VIEWING DEVICE

Gebied van de UitvindingField of the Invention

De onderhavige uitvinding betreft een antireflecte-rende film en een beeldweergaveinrichting, meer in het bijzonder een antireflecterende film teneinde reflectie 5 van extern licht te voorkomen en een beeldweergaveinrichting waarin de antireflecterende film gevormd is op het oppervlak van een paneelbasis voor het weergeven van een beeld.The present invention relates to an anti-reflective film and an image display device, more particularly an anti-reflective film to prevent reflection of external light and an image display device in which the anti-reflective film is formed on the surface of a panel base for displaying an image.

ACHTERGROND VAN DE UITVINDINGBACKGROUND OF THE INVENTION

10 Wanneer een persoon een object bekijkt door een transparant materiaal zoals brillelenzen, neemt hij een verschijnsel waar, zweem of uitwaaiering geheten, hetgeen een gereflecteerd beeld is dat duidelijk verschijnt als de intensiteit van het gereflecteerde licht sterk wordt. 15 Aan de andere kant veroorzaakt een gewoon venster- glas of het glas van een winkelruit een afbeeldingsver-schijnsel in het glas, hetgeen gebeurt door spiegelre-flectie van omgevingslicht, zoals zonlicht of instralend licht, vanaf het vensterglas. Een dergelijk afbeelding-20 verschijnsel in het glas kan het lichtdoorlatend vermogen van het vensterglas verslechteren. Om dit ongemak het hoofd te bieden is er een poging gedaan om op een basis-paneel een antireflecterende film te vormen die gemaakt is van een materiaal dat wat betreft brekingsindex ver-25 schilt van het materiaal van het basispaneel, door middel van een vacuüm dampneerslagproces of iets dergelijks. In dit geval is het, zoals goed bekend is, belangrijk de dikte van de afdeklaag die op het basispaneel gevormd wordt passend te kiezen om het effect van het voorkomen 30 van de reflectie te maximaliseren. Het is bijvoorbeeld bekend dat voor een bedekking bestaande uit een enkele laag het minimale reflecterend vermogen, dat wil zeggen het maximale doorlatend vermogen, van de afdeklaag kan 10 1 3 66 4 '' /: 2 worden verkregen door van een bedekkingmateriaal dat een brekingsindex heeft lager dan dat van het materiaal van het basispaneel een optische laagdikte te kiezen bij 1/4 (of een oneven meervoud daarvan) van de golflengte van 5 het bedoelde licht. Opgemerkt moet worden dat de optische laagdikte van het bedekkingmateriaal gegeven is door het product van de brekingsindex van het bedekkingmateriaal en de laagdikte van het bedekkingmateriaal. De antire-flecterende laag kan worden samengesteld door het stape-10 len van een veelvoud aan lagen op het basispaneel. Met betrekking tot een dergelijke antireflecterende laag met een meerlaagstructuur zijn verscheidene technieken voorgesteld betreffende de keuze van de dikte van elke laag, bijvoorbeeld in “Optical Technique Contact”, Vol. 9. Nr. 15 8, pagina 17, 1971. De bedekkingslaag die de bovenstaande antireflecterende film vormt is in hoofdzaak gemaakt van een anorganisch oxyde of een anorganisch halide en heeft in het algemeen een laag reflecterend vermogen in combinatie met een hoog doorlatend vermogen in een gebied van 20 zichtbaar licht.When a person views an object through a transparent material such as spectacle lenses, he perceives a phenomenon called a hint or fanning, which is a reflected image that appears clearly when the intensity of the reflected light becomes strong. On the other hand, an ordinary window glass or the glass of a shop window causes an image phenomenon in the glass, which occurs due to mirror reflection of ambient light, such as sunlight or incident light, from the window glass. Such an image phenomenon in the glass can deteriorate the light transmitting power of the window glass. To overcome this inconvenience, an attempt has been made to form an anti-reflective film on a base panel made of a material that differs in refractive index from the base panel material by means of a vacuum vapor deposition process or the like. In this case, as is well known, it is important to appropriately choose the thickness of the cover layer formed on the base panel to maximize the effect of preventing the reflection. For example, it is known that for a single layer cover, the minimum reflective power, that is, the maximum transmissive power, of the cover layer can be obtained from a cover material having a refractive index. lower than that of the material of the base panel to select an optical layer thickness at 1/4 (or an odd multiple thereof) of the wavelength of the intended light. It should be noted that the optical layer thickness of the coating material is given by the product of the refractive index of the coating material and the layer thickness of the coating material. The anti-reflective layer can be composed by stacking a plurality of layers on the base panel. With regard to such an anti-reflective layer with a multi-layer structure, various techniques have been proposed concerning the choice of thickness of each layer, for example in "Optical Technique Contact", Vol. 9. No. 8, page 17, 1971. The cover layer forming the above anti-reflective film is essentially made of an inorganic oxide or an inorganic halide and generally has a low reflectivity in combination with a high transmissivity in a range of 20 visible. light.

Zelfs in een beeldweergaveinrichting als een buis van Braun of een vloeibaar kristal beeldweergaveinrich- . ting kan zich het ongemak voordoen dat een beeld onduidelijk wordt ten gevolge van de reflectie van extern licht 25 of instralend licht in een scherm en is er in vele gevallen een antireflecterende film op het oppervlak van een basispaneel voor het weergeven van een beeld gevormd om dergelijke reflectie van het vooroppervlak te voorkomen. Aan de andere kant is het in de beeldweergaveinrichting, 30 afhankelijk van haar structuur of toepassing, vereist dat het lichtdoorlatend vermogen van het basispaneel kan worden ingesteld in een gebied van 20 tot 92%, teneinde het contrast te verbeteren. In het basispaneel, zoals een glaspaneel voor een buis van Braun of een voorste plaat 35 van een projector (projector aan de achterzijde) van het transmissie type dat gemaakt is van een acrylhars, wordt het lichtdoorlatend vermogen bijvoorbeeld geregeld door 101J664 3 het lichtdoorlatend vermogen van het basispaneel zelf te veranderen.Even in an image display device such as a Braun tube or a liquid crystal display device. There may be the inconvenience of an image becoming obscure due to the reflection of external light or incident light in a screen, and in many cases an anti-reflective film is formed on the surface of a base panel for displaying such an image about such an image. prevent reflection of the front surface. On the other hand, depending on its structure or application, the image display device requires that the light transmitting power of the base panel be adjusted in a range of 20 to 92% in order to improve the contrast. For example, in the base panel, such as a glass tube for a Braun tube or a front plate 35 of a projector (rear-facing projector) of the acrylic type, the light-transmitting power is controlled by 101J664 3 the light-transmitting power of change the basic panel itself.

Het basispaneel voor het weergeven van een beeld speelt echter de rol van het instandhouden van de mecha-5 nische sterkte van de beeldweergaveinrichting. Dat wil | zeggen dat als de beeldweergaveinrichting groter gemaakt wordt, het basispaneel dik gemaakt moet worden. Om het lichtdoorlatend vermogen van het basispaneel, dat aldus dik gemaakt is, te veranderen is het vereist verscheidene 10 basispanelen te bereiden die verschillend zijn in doorlatend vermogen, door het veranderen van de sterkte van een kleurstof of de concentratie van een pigment.However, the basic panel for displaying an image plays the role of maintaining the mechanical strength of the image display device. That is | say that if the image display device is made larger, the base panel must be made thicker. In order to change the light transmittance of the base panel, thus thickened, it is required to prepare several base panels that are different in transmissivity, by changing the strength of a dye or the concentration of a pigment.

Voorts is bij een glaspaneel, zoals het basispaneel voor een buis van Braun, het centrale deel dun en het 15 gedeelte aan het uiteinde dik, om een voldoende mechanische sterkte te verzekeren. Dientengevolge is in het geval van het instellen van het lichtdoorlatend vermogen van het glaspaneel door het veranderen van het lichtdoorlatend vermogen van het glaspaneel zelf het probleem 20 opgekomen dat het lichtdoorlatend vermogen bij het centrale deel verschillend is van dat bij het gedeelte aan het uiteinde. In het bijzonder wordt voor de buis van Braun van de laatste tijd, waarin een weergavescherm voor het weergeven van een beeld als een in hoofdzaak vlakke 25 plaat wordt genomen, aangezien het centrale deel dun wordt en het gedeelte aan het uiteinde dik wordt om de mechanische sterkte te vergroten, het verschil in lichtdoorlatend vermogen tussen het centrale deel en het gedeelte aan het uiteinde groter.Furthermore, with a glass panel, such as the base panel for a Braun tube, the central portion is thin and the portion at the end thick to ensure sufficient mechanical strength. Consequently, in the case of adjusting the light transmitting power of the glass panel by changing the light transmitting power of the glass panel itself, the problem has arisen that the light transmitting power at the central portion is different from that at the end portion. In particular, for the Braun tube of recent times, in which a display screen for displaying an image is taken as a substantially flat plate, since the central portion becomes thin and the end portion becomes thick around the mechanical increase the intensity, the difference in light transmitting power between the central part and the part at the end larger.

30 Eén soort componenten met afkapfilm voor hittestra- ling dat optische dunne films gebruikt is zo samengesteld dat een optische absorptielaag gevormd is uit een dunne film van metaal ten behoeve van het aanpassen van lichtdoorlatend vermogen. Specifieke voorbeelden van materiaal 35 voor het vormen van de optische absorptielagen kunnen Au, Pt, Ni-Cr, Al, In203-Sn02, Cul en CuS omvatten. Een dergelijke afkapfilm voor hittestraling heeft een doorlatend vermogen voor zichtbaar licht dat bij voorkeur ligt in 10 1 3 664 4 een gebied van 60 tot 90%. Specifieke voorbeelden die gebriiikmaken van een dergelijke optische absorptielaag als antireflecterende film kunnen een donkere spiegel, een spiegel met selectieve absorptie of een spiegel met 5 verhoogde absorptie omvatten. Als antireflecterende film in een gebied van zichtbaar licht kan een samenstelling, een "donkere spiegel" geheten, worden gebruikt. Een donkere spiegel met dubbele laag, waarin een optische absorptielaag gecombineerd wordt met een diëlektrische 10 laag, wordt bijvoorbeeld beschreven in “Optical Thin Film User Handbook*, pagina 160 (gepubliceerd door Nikkan Kogyou Shinbunsha). Japans Patent Laid-open No. Hei 9-156964 beschrijft een techniek waarin een laag van me-taalnitr'i'dëV, -gemaakt van TiN, ZrN of HfN, gebruikt wordt 15 als.een optische absorptielaag om daarmede een laag reflëctërehd vermogen in een breed gebied van zichtbaar licht te verkrijgen. U.S. Patent No. 5,091,244 beschrijft een antireflecterende film met een structuur van vier tot zes lagen, waarin een laag van metaal of van metaalnitri-20 de gebruikt wordt als een optische absorptielaag om daarmede aanpassingen van lichtdoorlatend vermogen moge-lijk te maken terwijl een laag reflecterend vermogen in een gebied van zichtbaar licht wordt behouden.One type of heat-radiation cut-off film components using optical thin films is composed so that an optical absorption layer is formed from a metal thin film for the purpose of adjusting light transmissivity. Specific examples of material for forming the optical absorption layers may include Au, Pt, Ni-Cr, Al, In 2 O 3-SnO 2, Cul and CuS. Such a heat radiation cut-off film has a visible light transmissivity, which is preferably in a range of 60 to 90%. Specific examples using such an optical absorption layer as an anti-reflective film may include a dark mirror, a selective absorption mirror, or a mirror with increased absorption. As an anti-reflective film in an area of visible light, a composition called a "dark mirror" can be used. A dark double layer mirror in which an optical absorption layer is combined with a dielectric layer is described, for example, in Optical Thin Film User Handbook *, page 160 (published by Nikkan Kogyou Shinbunsha). Japanese Patent Laid-open 9-156964 describes a technique in which a layer of metal nitrile made of TiN, ZrN or HfN is used as an optical absorption layer to thereby provide a low reflectivity in a wide range of visible light. to gain. U.S. Patent No. No. 5,091,244 describes an anti-reflective film with a structure of four to six layers, in which a layer of metal or metal nitride is used as an optical absorption layer to allow adjustments of light transmitting power while having a low reflecting power in an area visible light is preserved.

In het geval van het gebruikmaken van het materiaal 25 dat geschikt is voor het vormen van bovenstaande optische absorptielaag als deel van de antireflecterende film doet zich echter een probleem voor. In de techniek beschreven in Japans Patent Laid-open No. Hei 9-156964 is bijvoorbeeld het reflecterend vermogen van licht vanaf het 30 voorste oppervlak van het basispaneel voldoende laag, maar het reflecterend vermogen van licht vanaf het binnenste oppervlak van het basispaneel is wel 5 tot 10%. In de beeldweergaveinrichting kan de reflectie van licht vanaf het binnenste oppervlak van het basispaneel dubbel 35 beeld (of een zweem) van een letterteken of een beeld veroorzaken of de omtrek van een letterteken of een beeld onduidelijk maken, resulteren in een aanzienlijk verslechterde weergavekwaliteit. In de antireflecterende 10 1 3 664 5 film, beschreven in U.S. Patent No. 5,091,244, onderwijst het patent de wijze van het verlagen van de reflectie van licht vanaf het voorste oppervlak terwijl het lichtdoor-latend vermogen wordt geregeld; het bestudeert echter 5 niet de verlaging van de reflectie van licht vanaf het binnenste oppervlak van het basispaneel, hetgeen de zaak van belang is van de beeldweergaveinrichting als boven beschreven, met als resultaat dat het reflecterend vermogen van licht vanaf het binnenste oppervlak van het 10 basispaneel wel 8 tot 20% is.However, in the case of using the material 25 suitable for forming the above optical absorption layer as part of the anti-reflective film, a problem arises. In the art described in Japanese Patent Laid-open No. For example, the reflective power of light from the front surface of the base panel is sufficiently low, but the reflective power of light from the inner surface of the base panel is 5 to 10%. In the image display device, the reflection of light from the inner surface of the base panel may cause a double image (or a cast) of a letter or an image or obscure the outline of a letter or an image, resulting in a considerably deteriorated display quality. In the anti-reflective film described in U.S. Pat. Patent No. 5,091,244, the patent teaches the method of decreasing the reflection of light from the front surface while controlling the light transmittance; however, it does not study the reduction of the reflection of light from the inner surface of the base panel, which is the matter of interest of the image display device as described above, with the result that the reflectivity of light from the inner surface of the base panel is 8 to 20%.

Als het lichtdoorlatend vermogen van het basispaneel voor een buis van Braun een lage waarde heeft van 35 tot 60% veroorzaakt de reflectie van licht vanaf het binnenste oppervlak van het basispaneel niet zozeer een pro-15 bleem omdat het reflecterend licht vanaf het binnenste oppervlak verzwakt is door het gereflecteerde licht driemaal door het basispaneel te laten gaan. Indien daarentegen het lichtdoorlatend vermogen van het basispaneel voor een buis van Braun 60% of meer bedraagt, bij-20 voorbeeld in het geval van het gebruikmaken van het basispaneel dat de klasse “Clear" (doorlatend vermogen: 75% of meer) of de klasse “Gray” (doorlatend vermogen: 60-75%) vertoont als gespecificeerd onder EIAJ EC-2138, veroorzaakt de reflectie van licht vanaf het binnenste 25 oppervlak van het basispaneel een niet-verwaarloosbaar probleem.If the light transmissivity of the base panel for a Braun tube has a low value of 35 to 60%, the reflection of light from the inner surface of the base panel does not cause so much a problem because the reflective light from the inner surface is weakened by passing the reflected light through the base panel three times. On the other hand, if the light transmittance of the base panel for a Braun tube is 60% or more, for example, in the case of using the base panel, the class "Clear" (transmittance: 75% or more) or the class "Gray" (transmissivity: 60-75%) exhibits as specified under EIAJ EC-2138, the reflection of light from the inner surface of the base panel causes a non-negligible problem.

Een doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een antireflecterende film die de regeling toelaat van lichtdoorlatend vermogen in een breed gebied 30 en het verschaffen van een beeldweergaveinrichting die een gewenste weergavekwaliteit heeft.An object of the present invention is to provide an anti-reflective film that allows the control of light transmitting power in a wide area 30 and to provide an image display device that has a desired display quality.

SAMENVATTING VAN DE UITVINDINGSUMMARY OF THE INVENTION

Om het bovenstaande probleem op te lossen is volgens 35 de onderhavige uitvinding een antireflecterende film verschaft die een meerlaagstructuur heeft, waarin een veelvoud aan dunne films gestapeld is op een basispaneel, gekenmerkt hierin dat in de dunne films zijn inbegrepen: 1 3 664 6 een eerste optische absorptielaag, samengesteld uit tenminste één soort gekozen uit een groep bestaande uit een film van metaal, een film van metaalnitride en een film van metaaloxyde; een tweede optische absorptielaag, 5 samengesteld uit tenminste één soort gekozen uit een groep bestaande uit een film van metaal, een film van metaalnitride en een film van metaaloxyde; en een diëlek-trische film met een brekingsindex variërend van ongeveer 1,4 tot ongeveer 1,9, waarbij de diëlektrische film ; 10 geplaatst is tussen de eerste optische absorptielaag en de tweede optische absorptielaag.To solve the above problem, according to the present invention, an anti-reflective film is provided which has a multi-layer structure in which a plurality of thin films are stacked on a base panel, characterized in that the thin films include: 1 3 664 6 a first optical absorption layer composed of at least one type selected from a group consisting of a film of metal, a film of metal nitride and a film of metal oxide; a second optical absorption layer composed of at least one type selected from a group consisting of a film of metal, a film of metal nitride and a film of metal oxide; and a dielectric film with a refractive index ranging from about 1.4 to about 1.9, wherein the dielectric film; 10 is placed between the first optical absorption layer and the second optical absorption layer.

Volgens de onderhavige uitvinding is ook een beeld- j weergaveinrichting verschaft waarin een antireflecterende j film gevormd is op een oppervlak van een basispaneel voor 15 het weergeven van een beeld, hierin gekenmerkt dat de antireflecterende film omvat: een eerste optische absorptielaag, samengesteld uit tenminste één soort gekozen uit een groep bestaande uit een film van metaal, een film van metaalnitride en een film van metaaloxyde; een tweede 20 optische absorptielaag samengesteld uit tenminste één soort gekozen uit een groep bestaande uit een film van metaal, een film van metaalnitride en een film van metaaloxyde; en een diëlektrische film met een brekingsindex variërend van ongeveer 1,4 tot ongeveer 1,9, waarbij 25 de diëlektrische film geplaatst is tussen de eerste optische absorptielaag en de tweede optische absorptielaag. In deze beeldweergaveinrichting heeft het basispaneel bij voorkeur een lichtdoorlatend vermogen in een gebied van 60% of meer.According to the present invention, there is also provided an image display device in which an anti-reflective film is formed on a surface of a base panel for displaying an image, characterized in that the anti-reflective film comprises: a first optical absorption layer composed of at least one type selected from a group consisting of a film of metal, a film of metal nitride and a film of metal oxide; a second optical absorption layer composed of at least one type selected from a group consisting of a film of metal, a film of metal nitride and a film of metal oxide; and a dielectric film with a refractive index ranging from about 1.4 to about 1.9, wherein the dielectric film is disposed between the first optical absorption layer and the second optical absorption layer. In this image display device, the base panel preferably has a light transmitting power in a range of 60% or more.

30 Andere doelstellingen en voordelen van de uitvinding zullen duidelijk worden bij het lezen van de volgende uitvoerige beschrijving en aangehechte conclusies en onder verwijzing naar de bijbehorende tekeningen.Other objects and advantages of the invention will become apparent upon reading the following detailed description and appended claims and with reference to the accompanying drawings.

KORTE BESCHRIJVING VAN DE TEKENINGEN 35 Figuur 1 is een tekening die de veranderingen toont in de reflectie van licht vanaf het voorste oppervlak en de reflectie van licht vanaf het binnenste oppervlak afhankelijk van een verandering in de brekingsindex van i 10 1 3 664 if , * 7 een diëlektrische film die gevormd is tussen twee optische absorptielagen van een antireflecterende film volgens de onderhavige uitvinding.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Figure 1 is a drawing showing the changes in the reflection of light from the front surface and the reflection of light from the inner surface depending on a change in the refractive index of i 10 1 3 664 if, * 7 a dielectric film formed between two optical absorption layers of an anti-reflective film according to the present invention.

Begrepen dient te worden dat de tekeningen niet 5 noodzakelijkerwijs op schaal zijn en dat de uitvoeringsvormen soms zijn weergegeven door grafische symbolen, denkbeeldige lijnen, schetsgewijze weergaven en deelsge-wijze aanzichten. In bepaalde gevallen kunnen details die niet nodig zijn voor het begrijpen van de onderhavige 10 uitvinding of die andere details moeilijk te onderscheiden maken zijn weggelaten. Uiteraard moet begrepen worden dat de uitvinding niet noodzakelijkerwijs beperkt is tot de specifieke uitvoeringsvormen die hierin zijn weergegeven.It is to be understood that the drawings are not necessarily to scale and that the embodiments are sometimes represented by graphic symbols, imaginary lines, sketch-like representations and partial views. In certain cases, details that are not necessary for understanding the present invention or that make other details difficult to distinguish may be omitted. Of course, it is to be understood that the invention is not necessarily limited to the specific embodiments shown herein.

15 UITVOERIGE BESCHRIJVING VAN DE ONDERHAVIGE UITVOERINGSVORMEN15 DETAILED DESCRIPTION OF THE PRESENT EMBODIMENTS

Het basispaneel voor een beeldweergaveinrichting is gemaakt van een glazen materiaal of een materiaal van synthetische hars. De specifieke voorbeelden van glazen 20 materiaal kunnen natronglas, loodglas, hard glas, kwarts-glas en vloeibaar kristal glas omvatten. Voor een buis van Braun wordt bij voorkeur silicaatglas gebruikt dat strontium of barium bevat; en voor een vloeibaar kristal beeldweergaveinrichting wordt bij voorkeur alkaliarm glas 25 gebruikt.The base panel for an image display device is made of a glass material or a material of synthetic resin. The specific examples of glass material can include sodium glass, lead glass, hard glass, quartz glass and liquid crystal glass. For a Braun tube, silicate glass is preferably used which contains strontium or barium; and for a liquid crystal display device, low-alkali glass is preferably used.

Als synthetisch harsmateriaal voor het vormen van het basispaneel kan iedere soort van materiaal van een organische hoge polymeer worden gebruikt. Vanuit het oogpunt van optische karakteristieken zoals doorlatend 30 vermogen, brekingsindex en dispersie, alsmede andere karakteristieken zoals slagweerstand, warmteweerstand en duurzaamheid, kunnen echter bij voorkeur worden gebruikt: een hars gebaseerd op (met)acrylaat zoals polymethylmeta-crylaat, of een co-polymeer van methylmetacrylaat en een 35 vinylmonomeer zoals alkyl(met)acrylaat of styreen; een hars gebaseerd op polycarbonaat zoals polycarbonaat of diëthyleen glycol bisallylcarbonaat (CR-39); een thermo-hardende hars gebaseerd op (met)acrylaat zoals een enkel- 10 1 3 664 . i , ΐ 8 voudige polymeer of een co-polymeer van (gebromeerd) bisferiol A-type di(met)acrylaat of een enkelvoudige polymeer of een co-polymeer van urethaan-gemodificeerd (gebromeerd) bisfenol A-mono (met)acrylaat; polyester, in 5 het bijzonder polyethyleen tereftalaat, polyethyleen naftalaat of onverzadigd polyester; acrylonitrile-styreen co-polymeer; polyvinylchloride; polyurethaan; of epoxyhars. Voorts kan een op aramide gebaseerd hars worden gebruikt vanuit het oogpunt van warmteweerstand. Een 10 film-achtige basis kan worden geproduceerd door het bovenbeschreven synthetische harsmateriaal te laten uitvloeien of door het bovenbeschreven synthetische harsmateriaal te verdunnen met een oplosmiddel, het verdunde materiaal aan te brengen in een film-achtige 15 vorm en het te drogen. De dikte van de film-achtige basis is in het algemeen in een gebied van 25 tot 500 micrometer .Any type of material of an organic high polymer can be used as the synthetic resin material for forming the base panel. From the point of view of optical characteristics such as transmissivity, refractive index and dispersion, as well as other characteristics such as impact resistance, heat resistance and durability, however, it is preferable to use: a resin based on (with) acrylate such as polymethylmetacrylate, or a copolymer of methyl methacrylate and a vinyl monomer such as alkyl (met) acrylate or styrene; a polycarbonate resin such as polycarbonate or diethylene glycol bisallyl carbonate (CR-39); a thermosetting resin based on (with) acrylate such as a single 1 664. i, ΐ 8-fold polymer or a copolymer of (brominated) bisferiol A-type di (met) acrylate or a single polymer or a copolymer of urethane-modified (brominated) bisphenol A-mono (met) acrylate; polyester, in particular polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate or unsaturated polyester; acrylonitrile-styrene copolymer; polyvinyl chloride; polyurethane; or epoxy resin. Furthermore, an aramid-based resin can be used from the point of view of heat resistance. A film-like base can be produced by flowing out the above-described synthetic resin material or by diluting the above-described synthetic resin material with a solvent, applying the diluted material in a film-like form and drying it. The thickness of the film-like base is generally in a range of 25 to 500 microns.

Als het basispaneel voor de beeldweergaveinrichting gemaakt is van een synthetisch harsmateriaal kan het 20 oppervlak van het basispaneel worden bedekt met een bedekkingmateriaal zoals een harde deklaag, beschreven in Japans Patent Publication Nos. Sho 50-28092, Sho 50-28446, Sho 51-24368, Japans Patent Publication No. Sho 52-112698 en Japans Patent Publication No. Sho 57-2735.If the base panel for the display device is made of a synthetic resin material, the surface of the base panel can be covered with a covering material such as a hard coat, described in Japanese Patent Publication Nos. Sho 50-28092, Sho 50-28446, Sho 51-24368, Japanese Patent Publication No. Sho 52-112698 and Japanese Patent Publication No. Sho 57-2735.

25 Ook kunnen voor het basispaneel, gemaakt van een synthetisch harsmateriaal, verscheidene karakteristieken daarvan, zoals adhesie, hardheid, chemische bestendigheid, duurzaamheid en kleurstofaffiniteit worden verbeterd door het verschaffen van een anorganisch bedekkend materiaal 30 als een benedengelegen laag van een antireflecterende film. De dikte van de harde deklaag is in het algemeen in een gebied van ongeveer 3 tot 20 micrometer. Voorts kan het basispaneel voor de beeldweergaveinrichting met een pigment zoals zwart koolstof of een kleurstof worden 35 gekleurd. In dit geval kan, zoals beschreven in JapansAlso, for the base panel made of a synthetic resin material, various characteristics thereof, such as adhesion, hardness, chemical resistance, durability, and dye affinity can be improved by providing an inorganic covering material 30 as a lower layer of an anti-reflective film. The thickness of the hard cover layer is generally in a range of about 3 to 20 microns. Furthermore, the base panel for the image display device can be colored with a pigment such as black carbon or a colorant. In this case, as described in Japanese

Patent Publication No. Hei 7-36044, het basispaneel, j aldus gekleurd, dienen als een selectief absorptiefilter 101 3 664 / 9 dat licht met een specifieke golflengte selectief absorbeert .Patent Publication No. 7-36044, the base panel, thus colored, serve as a selective absorption filter 101 3 664/9 which selectively absorbs light with a specific wavelength.

De antireflecterende film die een optische absorp-tielaag bevat kan worden gevormd met een PVD (fysische 5 dampdepositie) proces, vertegenwoordigd door een vacuüm dampdepositie proces, een proces van elektrolytisch bekleden of een proces van sputteren. De specifieke voorbeelden van materialen, geschikt voor het vormen van een optische absorptielaag door middel van het PVD proces 10 kunnen metalen omvatten zoals Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr and Hf, en nitri-den en oxyden daarvan. Voorts kunnen specifieke voorbeelden van materialen voor het vormen van een diëlektrische film anorganische oxyden of anorganische nitriden omvat-15 ten zoals Si02, SiO, Si3N4, Al203, Zr02, Ti02, Ta205, TaHf2, TiO, Ti203, Hf02, ZnO, ln203, In203/Sn02, Y203, Yb203, Sb203, MgO en Ce02.The anti-reflective film containing an optical absorption layer can be formed with a PVD (physical vapor deposition) process, represented by a vacuum vapor deposition process, a process of electrolytic coating or a process of sputtering. The specific examples of materials suitable for forming an optical absorption layer by the PVD process 10 can include metals such as Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr , Fe-Cr, Cu, Ti, Zr and Hf, and nitrides and oxides thereof. Furthermore, specific examples of dielectric film forming materials may include inorganic oxides or inorganic nitrides such as SiO 2, SiO, Si 3 N 4, Al 2 O 3, ZrO 2, TiO 2, Ta 2 O 5, TaHf 2, TiO, Ti 2 O 3, HfO 2, ZnO, ln 2 O 3, In 2 O 3 / SnO 2, Y 2 O 3, Yb 2 O 3, Sb 2 O 3, MgO and CeO 2.

Een oxidatiebarrièrelaag, om oxidatie te voorkomen van een optische absorptielaag, kan worden ingevoegd in 20 de antireflecterende film, zoals beschreven in Japans Patent Laid-open Nos. Sho 59-165001 en Hei 9-156964. Specifieke voorbeelden van materialen voor het vormen van bovenstaande oxidatiebarrièrelaag kunnen verscheidene metalen en metaalnitriden omvatten, zoals Si.N, of AlN.An oxidation barrier layer, to prevent oxidation of an optical absorption layer, can be inserted into the anti-reflective film, as described in Japanese Patent Laid-open Nos. Sho 59-165001 and Hei 9-156964. Specific examples of materials for forming the above oxidation barrier layer may include various metals and metal nitrides, such as Si.N, or AlN.

25 De oxidatiebarrièrelaag is vanuit optische oogpunt onnodig en daarom is de dikte van de oxidatiebarrièrelaag bij voorkeur in een gebied van 20 micrometer of minder teneinde de verslechtering van de reflectieverhinderings-eigenschap te voorkomen. Voorts kan, indien het basispa-30 neel gemaakt is van een synthetisch harsmateriaal, zoals beschreven in U.S. Patent No. 2,628,927 en Japans Patent Publication No. Hei 3-81121, een film van een metaal-oxyde, zoals Si02, of een metaalsulfide op uiterst dunne wijze worden gevormd als een eerste laag (hechtende laag) 35 van de antireflecterende film om de hechting tussen het basispaneel en de antireflecterende film te bevorderen.The oxidation barrier layer is unnecessary from an optical point of view, and therefore the thickness of the oxidation barrier layer is preferably in a range of 20 micrometers or less in order to prevent the deterioration of the reflection prevention property. Furthermore, if the base panel is made of a synthetic resin material as described in U.S. Pat. Patent No. 2,628,927 and Japanese Patent Publication No. 3-81121, a film of a metal oxide, such as SiO 2, or a metal sulfide in an extremely thin way are formed as a first layer (adhesive layer) of the anti-reflective film to promote adhesion between the base panel and the anti-reflective film .

Volgens de bovenbeschreven middelen is het mogelijk een antireflecterende film met een gewenste reflectiever- 10 1 3 664 ,/,,1 i 10 hinderingseigenschap te verschaffen met een minimaal aantal lagen. In een beeldweergaveinrichting waarin een dergelijke antireflecterende film gevormd is op het oppervlak van een basispaneel voor het weergeven van een 5 beeld is het mogelijk het lichtdoorlatend vermogen in een breed gebied te regelen zonder de noodzakelijkheid, zoals gewoonlijk, van het bereiden van verscheidene basispanelen die variëren in lichtdoorlatend vermogen. Ook is het in deze beeldweergaveinrichting mogelijk, aangezien een 10 homogeen lichtdoorlatend vermogen verkregen kan worden over het gehele oppervlak van het basispaneel voor het weergeven van een beeld onafhankelijk van de mechanische sterkte van de beeldweergaveinrichting, een goede weerga-vekwaliteit zeker te stellen zonder het optreden van 15 zweem of uitwaaiering ten gevolge van reflectie van licht vanaf het binnenste oppervlak van het basispaneel.According to the means described above, it is possible to provide an anti-reflective film with a desired reflective property with a minimal number of layers. In an image display apparatus in which such an anti-reflective film is formed on the surface of a base panel for displaying an image, it is possible to control the light transmissivity in a wide area without the necessity, as usual, of preparing various base panels that vary in light transmitting power. It is also possible in this image display device, since a homogeneous light transmitting power can be obtained over the entire surface of the base panel for displaying an image irrespective of the mechanical strength of the image display device, to ensure a good display quality without the occurrence of tinge or fanning due to reflection of light from the inner surface of the base panel.

De onderhavige uitvinding is toepasbaar op een antireflecterende film met een meerlaagstructuur waarin een veelvoud aan dunne films gevormd is op een basis; en 20 op een beeldweergaveinrichting waarin bovenstaande antireflecterende film gevormd is op het oppervlak van een basispaneel voor het weergeven van een beeld. In het hierna volgende zal een voorbeeld worden beschreven dat gebruik maakt van een antireflecterende film die gevormd 25 is op het oppervlak van een basispaneel vertegenwoordigd door een glazen paneel (“Clear” glas, gespecificeerd onder EIAJ H-8601) voor een buis van Braun. Bovendien is de dikte van het centrale deel van een beeldweergavevlak van het glazen paneel 12 millimeter. Opgemerkt dient te 30 worden dat de onderhavige uitvinding uiteraard niet daartoe beperkt is.The present invention is applicable to an anti-reflective film with a multi-layer structure in which a plurality of thin films are formed on a base; and 20 on an image display device in which the above-mentioned anti-reflective film is formed on the surface of a base panel for displaying an image. In the following, an example will be described that uses an anti-reflective film formed on the surface of a base panel represented by a glass panel ("Clear" glass, specified under EIAJ H-8601) for a Braun tube. Moreover, the thickness of the central part of an image display surface of the glass panel is 12 millimeters. It should be noted that the present invention is of course not limited thereto.

Inventief Voorbeeld 1Inventive Example 1

In dit voorbeeld werden de volgende vier films opeenvolgend gevormd op het glazen paneel van een buis 35 van Braun: een eerste optische absorptielaag van TiN met een dikte van 10 nanometer, een diëlektrische film van A1203 (brekingsindex: ongeveer 1,7) met een dikte van 82 nanometer; een tweede optische absorptielaag van TiN met 10 1 3 664 11 een dikte van 12 nanometer; en een diëlektrische film van Si02 met een dikte van 90 nanometer, teneinde aldus een vierlagige antireflecterende film te verkrijgen. Vergelijkend Voorbeeld 1 5 In dit vergelijkende voorbeeld werden de volgende twee films gevormd op het glazen paneel voor een buis van Braun: een eerste optische absorptielaag van TiN met een dikte van 10 nanometer; en een diëlektrische film van Si02 (brekingsindex: ongeveer 1,4) met een dikte van 87 nano-10 meter, teneinde aldus een tweelagige antireflecterende film te verkrijgen. In dit vergelijkende voorbeeld wordt de tweede optische absorptielaag niet gevormd. Vergelijkend Voorbeeld 2In this example, the following four films were sequentially formed on the glass panel of a Braun tube 35: a first optical absorption layer of TiN with a thickness of 10 nanometers, a dielectric film of A1203 (refractive index: about 1.7) with a thickness of 82 nanometers; a second optical absorption layer of TiN with a thickness of 12 nanometers; and a dielectric film of SiO 2 with a thickness of 90 nanometers, so as to obtain a four-layer anti-reflective film. Comparative Example 1 In this comparative example, the following two films were formed on the glass panel for a Braun tube: a first optical absorption layer of TiN with a thickness of 10 nanometers; and a dielectric film of SiO 2 (refractive index: about 1.4) with a thickness of 87 nano-10 meters, so as to obtain a two-layer anti-reflective film. In this comparative example, the second optical absorption layer is not formed. Comparative Example 2

In dit vergelijkende voorbeeld werden de volgende 15 vier films opeenvolgend gestapeld op het glazen paneel voor een buis van Braun: een eerste optische absorptielaag van TiN met een dikte van 19,9 nanometer; een di-elektrische film van Ti02 (brekingsindex: ongeveer 2,6) met een dikte van 30 nanometer; een tweede optische 20 absorptielaag van TiN met een dikte van 6,7 nanometer; en een diëlektrische film van Si02 met een dikte van 82,2 nanometer, teneinde aldus een antireflecterende film te verkrijgen. In dit vergelijkende voorbeeld is de brekingsindex van de diëlektrische film die gevormd is 25 tussen de eerste en tweede optische absorptielagen meer i dan 1,9.In this comparative example, the following four films were sequentially stacked on the glass panel for a Braun tube: a first optical absorption layer of TiN with a thickness of 19.9 nanometers; a dielectric film of TiO 2 (refractive index: about 2.6) with a thickness of 30 nanometers; a second optical absorption layer of TiN with a thickness of 6.7 nanometers; and a dielectric film of SiO 2 with a thickness of 82.2 nanometers, so as to obtain an anti-reflective film. In this comparative example, the refractive index of the dielectric film formed between the first and second optical absorption layers is more than 1.9.

De resultaten van het simuleren van de antireflecterende films in Inventief Voorbeeld 1 en Vergelijkende Voorbeelden 1 en 2, gebruikmakend van een computer, zijn 30 getoond in Tabel 1. Als complexe brekingsindices van de filmmaterialen die voor de simulatie zijn gebruikt werden waarden gebruikt, verkregen op grond van een betrekking voor de complexe brekingsindex = (n - ik) en getoond in Tabel 2. Opgemerkt dient te worden dat voor een diëlek-35 trische substantie k gelijk aan nul wordt.The results of simulating the anti-reflective films in Inventive Example 1 and Comparative Examples 1 and 2, using a computer, are shown in Table 1. As complex refractive indices of the film materials used for the simulation, values obtained at on the basis of a relationship for the complex refractive index = (n - 1) and shown in Table 2. It should be noted that for a dielectric substance k becomes zero.

10 1 3 664 ·· » 12 'Tabel 1 5 -:-:--:-:---10 1 3 664 ·· »12 'Table 1 5 -: -: -: -: ---

Reflecterend vermogen van Reflecterend vermogen Dooriateod licht vanaf voorste van licht vanaf binnenste vermogen oppervlak (Zichtbaar oppervlak (Zichtbaar (Golflengte: _reflecterend vermogen) reflecterend vermogen) 546 nm) ..Reflective power of Reflective power Dooriateod light from front of light from inner power surface (Visible surface (Visible (Wavelength: reflective power) reflective power) 546 nm) ..

Inventief 0,1% 0,8% S3 %Inventive 0.1% 0.8% S3%

Voorbeeld 1____Example 1____

Vergelijkend 0,1% 6,6% 7S% 10 Voorbeeld 1____·Comparative 0.1% 6.6% 7S% 10 Example 1 ____ ·

Vergelijkend 0,1% 16,8% 48% I Voorbeeld 2____Comparative 0.1% 16.8% 48% I Example 2____

Tabel 2 15 Filmmateriaal Complexe Golflengte brekingsindex ___ 4S0 nm SS0 nm 6S0 nm ΠΝ Brekingsindex (n) 2,00 1,75 1,70Table 2 15 Film material Complex Wavelength refractive index ___ 4S0 nm SS0 nm 6S0 nm ΠΝ Refractive index (s) 2.00 1.75 1.70

TiN _Bsthactiecoëffidenl (k) 0,95_ 1,20__1,67_TiN _Bsthaction coefficientl (k) 0.95_ 1.20__1.67_

AbQ» ~ Brekingsindex (n) 1,67 1,67_1,67_ 20 |BwhlHaMndeK(n) 11,46 |l,46 |l,4S |AbQ »~ Refractive index (s) 1.67 1.67_1.67_20 | BwhlHaMndeK (n) 11.46 | 1.46 | 1.44 |

Zoals duidelijk is uit Tabel 1 is voor de antire- 25 flecterende film verkregen in Inventief Voorbeeld 1 het zichtbare reflecterend vermogen van licht dat gereflecteerd wordt vanaf het voorste oppervlak 0,1%; het zichtbare reflecterend vermogen van licht dat gereflecteerd wordt vanaf het binnenste oppervlak is 0,8%; en het 30 doorlatend vermogen van licht met een golflengte van 546 nanometer is 53%. Deze resultaten voldoen aan de vereisten van de beeldweergaveinrichting. Daarentegen is voor de antireflecterende films verkregen in Vergelijkende Voorbeelden 1 en 2 het zichtbare reflecterend vermogen 35 van licht dat gereflecteerd wordt vanaf het voorste oppervlak van een lage waarde, nl. 0,1%; het zichtbare reflecterend vermogen van licht dat gereflecteerd wordt vanaf het binnenste oppervlak is echter van een hoge 10 1 3 664 13 waarde, nl. 6,6% voor Vergelijkend Voorbeeld 1 en 16,8% voor Vergelijkend Voorbeeld 2. Deze resultaten voldoen niet aan de vereisten van de beeldweergaveinrichting.As is clear from Table 1, for the anti-reflective film obtained in Inventive Example 1, the visible reflective power of light reflected from the front surface is 0.1%; the visible reflective power of light reflected from the inner surface is 0.8%; and the transmissivity of light with a wavelength of 546 nanometers is 53%. These results meet the requirements of the image display device. In contrast, for the anti-reflective films obtained in Comparative Examples 1 and 2, the visible reflectivity of light reflected from the front surface is of a low value, namely, 0.1%; however, the visible reflectivity of light reflected from the inner surface is of a high value, namely 6.6% for Comparative Example 1 and 16.8% for Comparative Example 2. These results do not meet the requirements of the image display device.

Figuur 1 is een tekening die een betrekking toont 5 tussen het lichtreflecterend vermogen en de brekingsindex van een diëlektrische substantie die een diëlektrische film vormt van een antireflecterende film. Om meer precies te zijn, de volgende vier lagen werden opeenvolgend gevormd op een transparant glas als basispaneel: een 10 optische absorptielaag van TiN met een dikte van 10 nanometer, een diëlektrische film (kwartgolflengte film); een optische absorptielaag van TiN met een dikte van 12 j nanometer; en een diëlektrische film van Si02 met een dikte van 90 nanometer, om een antireflecterende film te 15 vormen. Voor een dergelijke antireflecterende film werd het zichtbare reflecterend vermogen van licht dat gereflecteerd werd vanaf zowel het voorste oppervlak als het binnenste oppervlak berekend waarbij de brekingsindex van de diëlektrische substantie van de diëlektrische film 20 genomen werd als parameter.Figure 1 is a drawing showing a relationship between the light-reflecting power and the refractive index of a dielectric substance that forms a dielectric film of an anti-reflective film. To be more precise, the following four layers were sequentially formed on a transparent glass as a base panel: an optical absorption layer of TiN with a thickness of 10 nanometers, a dielectric film (quarter-wavelength film); an optical absorption layer of TiN with a thickness of 12 µm; and a dielectric film of SiO 2 with a thickness of 90 nanometers, to form an anti-reflective film. For such an anti-reflective film, the visible reflective power of light reflected from both the front surface and the inner surface was calculated taking the refractive index of the dielectric substance of the dielectric film 20 as a parameter.

Het reflecterend vermogen van licht dat gereflecteerd wordt vanaf zowel het voorste oppervlak als het binnenste oppervlak van een basispaneel, gemaakt van een glazen materiaal of een synthetisch harsmateriaal, is in 25 een gebied van ongeveer 4 tot 6%. Een maatstaf voor het bepalen van het reflectieverhinderingseffeet, vereist voor een beeldweergaveinrichting, is gespecificeerd onder Europa Standaard TUV. Om te voldoen aan deze standaard moet het zichtbare reflectievermogen onderdrukt worden 30 tot een waarde van 2% of minder (zie Television Society’ s Technical Report, Vol. 19, No. 2, 1995). Met name in de bovenbeschreven simulatieresultaten moet, teneinde zowel het reflecterend vermogen van licht vanaf het voorste oppervlak en het reflecterend vermogen van licht vanaf 35 het binnenste oppervlak gelijktijdig in een gebied van 2% of minder te laten zijn, de brekingsindex van de diëlektrische film liggen in 'een gebied van 1,4 tot 1,9; bij voorkeur in een gebied van 1,5 tot 1,8.The reflectivity of light reflected from both the front surface and the interior surface of a base panel made of a glass material or a synthetic resin material is in a range of about 4 to 6%. A measure of determining the reflection prevention requirement required for an image display device is specified under Europe Standard TUV. To meet this standard, visible reflectivity must be suppressed to a value of 2% or less (see Television Society's Technical Report, Vol. 19, No. 2, 1995). In particular in the simulation results described above, in order for both the reflective power of light from the front surface and the reflective power of light from the inner surface to be simultaneously in a range of 2% or less, the refractive index of the dielectric film must be in a range of 1.4 to 1.9; preferably in a range of 1.5 to 1.8.

101 3 664 «· 14101 3 664

De onderhavige uitvinding kan een antireflecterende film verschaffen met een gewenste reflectieverhinderende werking met een minimum aantal lagen. De beeldweergavein-richting waarin de antireflecterende laag is gevormd op 5 het oppervlak van een basispaneel voor het weergeven van een beeld bezit de volgende effecten: (1) Het lichtdoorlatend vermogen kan worden ingesteld in een breed gebied zonder de noodzakelijkheid van j het, zoals gewoonlijk, bereiden van verscheidene soorten 10 van basispaneel die verschillen in lichtdoorlatend vermogen .The present invention can provide an anti-reflective film with a desired reflection-inhibiting effect with a minimum number of layers. The image display device in which the anti-reflective layer is formed on the surface of a base panel for displaying an image has the following effects: (1) The light transmitting power can be adjusted in a wide range without the necessity of it, as usual , preparing various types of base panel that differ in light transmittance.

(2) Een gewenste weergavekwaliteit zonder het optreden van zweem of uitwaaiering ten gevolge van reflectie van licht vanaf het binnenste oppervlak van het basispa- 15 neel kan worden verzekerd.(2) A desired display quality without the occurrence of hint or flare due to reflection of light from the inner surface of the base panel can be ensured.

(3) Een homogeen lichtdoorlatend vermogen kan worden verkregen over het gehele oppervlak van het basispaneel voor het weergeven van een beeld, onafhankelijk van de mechanische sterkte van de beeldweergaveinrichting.(3) A homogeneous light transmitting power can be obtained over the entire surface of the base panel for displaying an image, regardless of the mechanical strength of the image display device.

20 Terwijl de voorkeursuitvoeringsvormen van de onder havige uitvinding beschreven zijn gebruikmakend van specifieke termen is een dergelijke beschrijving alleen voor toelichtende doeleinden en dient te worden begrepen dat veranderingen en variaties kunnen worden gemaakt 25 zonder af te wijken van de geest of de strekking van de volgende conclusies.While the preferred embodiments of the present invention have been described using specific terms, such description is for illustrative purposes only and it is to be understood that changes and variations can be made without departing from the spirit or scope of the following claims. .

101 3 6 6 4101 3 6 6 4

Claims (11)

1. Een antireflecterende film met een meerlaagstruc-tuur waarin een veelvoud aan dunne films gestapeld is op 5 een basis, waarbij de antireflecterende film omvat: een eerste optische absorptielaag gekozen uit een groep bestaande uit een metaal, een metaalnitride en een metaaloxyde; een tweede optische absorptielaag gekozen uit een 10 groep bestaande uit een metaal, een metaalnitride en een metaaloxyde; en een diëlektrische film met een brekingsindex die varieert tussen ongeveer 1,4 en ongeveer 1,9, waarbij de diëlektrische film geplaatst is tussen de eerste optische 15 absorptielaag en de tweede optische absorptielaag.An anti-reflective film with a multilayer structure in which a plurality of thin films are stacked on a base, the anti-reflective film comprising: a first optical absorption layer selected from a group consisting of a metal, a metal nitride and a metal oxide; a second optical absorption layer selected from a group consisting of a metal, a metal nitride and a metal oxide; and a dielectric film with a refractive index ranging between about 1.4 and about 1.9, the dielectric film being placed between the first optical absorption layer and the second optical absorption layer. 2. De antireflecterende film van conclusie 1, waarin het metaal van de eerste optische absorptielaag een metaal, een metaalnitride of een metaaloxyde omvat, 20 gekozen uit de groep bestaande uit Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr en Hf, en nitriden en oxyden daarvan.2. The anti-reflective film of claim 1, wherein the metal of the first optical absorption layer comprises a metal, a metal nitride or a metal oxide selected from the group consisting of Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr and Hf, and nitrides and oxides thereof. 3. De antireflecterende film van conclusie 1, 25 het metaal van de tweede optische absorptielaag een metaal, een metaalnitride of een metaaloxyde omvat, gekozen uit de groep bestaande uit Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr en Hf, en nitriden en oxyden daarvan. 303. The anti-reflective film of claim 1, the metal of the second optical absorption layer comprises a metal, a metal nitride or a metal oxide selected from the group consisting of Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni -V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr and Hf, and nitrides and oxides thereof. 30 4. De antireflecterende film van conclusie 1, waarin de diëlektrische film een materiaal omvat, gekozen uit de groep bestaande uit Si02, SiO, Si3N4, Al203, Zr02, Ti02, Ta205, TaHf2, TiO, Ti203, Hf02, ZnO, ln203, In203/Sn02, Y203,The anti-reflective film of claim 1, wherein the dielectric film comprises a material selected from the group consisting of SiO 2, SiO, Si 3 N 4, Al 2 O 3, ZrO 2, TiO 2, Ta 2 O 5, TaHf 2, TiO, Ti 2 O 3, HfO 2, ZnO, ln 2 O 3, In 2 O 3 / SnO 2, Y 2 O 3, 35 Yb203, Sb203, MgO en Ce02.35 Yb 2 O 3, Sb 2 O 3, MgO and CeO 2. 5. Een beeldweergaveinrichting waarin een antire-flecterende film gevormd is op het oppervlak van een 10 1 3 664 ,+ , m basispaneel voor het weergeven van een beeld, waarbij de antireflecterende film omvat: . een eerste optische absorptielaag gekozen uit een groep bestaande uit een metaal, een metaalnitride en een ! 5 metaaloxyde; een tweede optische absorptielaag gekozen uit een groep bestaande uit een metaal, een metaalnitride en een metaaloxyde; en een diëlektrische film met een brekingsindex die 10 varieert tussen ongeveer 1,4 en ongeveer 1,9, waarbij de diëlektrische film geplaatst is tussen de eerste optische absorptielaag en de tweede optische absorptielaag.5. An image display device in which an anti-reflective film is formed on the surface of an image display panel, the anti-reflective film comprising:. a first optical absorption layer selected from a group consisting of a metal, a metal nitride and a Metal oxide; a second optical absorption layer selected from a group consisting of a metal, a metal nitride, and a metal oxide; and a dielectric film with a refractive index ranging between about 1.4 and about 1.9, the dielectric film being placed between the first optical absorption layer and the second optical absorption layer. 6. Een beeldweergaveinrichting volgens conclusie 2 15 waarin het basispaneel een lichtdoorlatend vermogen heeft j in een gebied van 60% of meer. j6. An image display device as claimed in claim 2, wherein the base panel has a light transmitting power in a range of 60% or more. j 7. De antireflecterende film van conclusie 5, waarin het metaal van de eerste optische absorptielaag een 20 metaal, een metaalnitride of een metaaloxyde omvat, gekozen uit de groep bestaande uit Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, j Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr en Hf, en nitriden en oxyden daarvan.7. The anti-reflective film of claim 5, wherein the metal of the first optical absorption layer comprises a metal, a metal nitride or a metal oxide selected from the group consisting of Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr , Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr and Hf, and nitrides and oxides thereof. 8. De antireflecterende film van conclusie 5, waarin het metaal van de tweede optische absorptielaag een metaal, een metaalnitride of een metaaloxyde omvat, gekozen uit de groep bestaande uit Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni-V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr en Hf, en 30 nitriden en oxyden daarvan.The anti-reflective film of claim 5, wherein the metal of the second optical absorption layer comprises a metal, a metal nitride or a metal oxide selected from the group consisting of Au, Pt, Pd, Fe, Fe-Ni, Ni-Cr, Ni -V, Al, Ag, Cr, Fe-Cr, Cu, Ti, Zr and Hf, and nitrides and oxides thereof. 9. De antireflecterende film van conclusie 5, waarin de diëlektrische film een materiaal omvat, gekozen uit de groep bestaande uit Si02, SiO, Si3N4, Al203, Zr02, Ti02,The anti-reflective film of claim 5, wherein the dielectric film comprises a material selected from the group consisting of SiO 2, SiO, Si 3 N 4, Al 2 O 3, ZrO 2, TiO 2, 35 Ta205, TaHf2, TiO, Ti203, Hf02, ZnO, ln203, In203/Sn02, Y203, Yb203, Sb203, MgO en Ce02. 10 1 3664Ta 2 O 5, TaHf 2, TiO, Ti 2 O 3, HfO 2, ZnO, In 2 O 3, In 2 O 3 / SnO 2, Y 2 O 3, Yb 2 O 3, Sb 2 O 3, MgO and CeO 2. 10 1 3664
NL1013664A 1998-12-08 1999-11-24 Anti-reflective film and image display device. NL1013664C2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34852998 1998-12-08
JP10348529A JP2000171601A (en) 1998-12-08 1998-12-08 Antireflection film and display device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL1013664A1 NL1013664A1 (en) 2000-06-13
NL1013664C2 true NL1013664C2 (en) 2007-04-24

Family

ID=18397632

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1013664A NL1013664C2 (en) 1998-12-08 1999-11-24 Anti-reflective film and image display device.

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JP2000171601A (en)
KR (1) KR100636773B1 (en)
GB (1) GB2344600B (en)
NL (1) NL1013664C2 (en)
SG (1) SG85155A1 (en)
TW (1) TW428107B (en)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19948839A1 (en) 1999-10-11 2001-04-12 Bps Alzenau Gmbh Conductive transparent layers and processes for their manufacture
EP1148037A1 (en) * 2000-04-19 2001-10-24 Blösch Holding AG Process for the production of an anti-reflective coating on watchcover glasses
US9366784B2 (en) 2013-05-07 2016-06-14 Corning Incorporated Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film
US9359261B2 (en) 2013-05-07 2016-06-07 Corning Incorporated Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film
US9684097B2 (en) 2013-05-07 2017-06-20 Corning Incorporated Scratch-resistant articles with retained optical properties
US9110230B2 (en) 2013-05-07 2015-08-18 Corning Incorporated Scratch-resistant articles with retained optical properties
US9703011B2 (en) 2013-05-07 2017-07-11 Corning Incorporated Scratch-resistant articles with a gradient layer
US10160688B2 (en) 2013-09-13 2018-12-25 Corning Incorporated Fracture-resistant layered-substrates and articles including the same
US11267973B2 (en) 2014-05-12 2022-03-08 Corning Incorporated Durable anti-reflective articles
US9335444B2 (en) 2014-05-12 2016-05-10 Corning Incorporated Durable and scratch-resistant anti-reflective articles
US9790593B2 (en) 2014-08-01 2017-10-17 Corning Incorporated Scratch-resistant materials and articles including the same
JP2018536177A (en) 2015-09-14 2018-12-06 コーニング インコーポレイテッド High light transmittance and scratch resistant anti-reflective article
KR20230146673A (en) 2018-08-17 2023-10-19 코닝 인코포레이티드 Inorganic Oxide Articles with Thin, Durable Anti-Reflective Structures
FR3098215B1 (en) * 2019-07-05 2021-12-31 Saint Gobain DOUBLE LAYER TIN GLAZING FOR SOLAR CONTROL
CN111261488B (en) * 2020-01-29 2022-04-22 北方夜视技术股份有限公司 Metal nitride antireflection film of photomultiplier glass light window, preparation method and preparation system thereof, and photomultiplier
CN113320248A (en) * 2021-07-04 2021-08-31 北京载诚科技有限公司 Display film and display module

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5091244A (en) * 1990-08-10 1992-02-25 Viratec Thin Films, Inc. Electrically-conductive, light-attenuating antireflection coating
US5715103A (en) * 1993-08-26 1998-02-03 Canon Kabushiki Kaisha Neutral density (ND) filter

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4346324A (en) * 1979-10-12 1982-08-24 Westinghouse Electric Corp. Heat mirror for incandescent lamp
DE3316548C2 (en) * 1983-03-25 1985-01-17 Flachglas AG, 8510 Fürth Process for coating a transparent substrate
US4690871A (en) * 1986-03-10 1987-09-01 Gordon Roy G Protective overcoat of titanium nitride films
GB8900166D0 (en) * 1989-01-05 1989-03-01 Glaverbel Glass coating
US5073451A (en) * 1989-07-31 1991-12-17 Central Glass Company, Limited Heat insulating glass with dielectric multilayer coating
CA2041038C (en) * 1990-05-10 2001-01-02 Jesse D. Wolfe Durable low-emissivity thin film interference filter
US5183700A (en) * 1990-08-10 1993-02-02 Viratec Thin Films, Inc. Solar control properties in low emissivity coatings
US5527596A (en) * 1990-09-27 1996-06-18 Diamonex, Incorporated Abrasion wear resistant coated substrate product
US5270858A (en) * 1990-10-11 1993-12-14 Viratec Thin Films Inc D.C. reactively sputtered antireflection coatings
US5271960A (en) * 1991-06-24 1993-12-21 Ford Motor Company Step gradient anti-iridescent coatings
US5254392A (en) * 1991-06-24 1993-10-19 Ford Motor Company Anti-iridescence coatings
US5667880A (en) * 1992-07-20 1997-09-16 Fuji Photo Optical Co., Ltd. Electroconductive antireflection film
CH684643A5 (en) * 1992-10-20 1994-11-15 Troesch Glas Ag A process for the production of window panes with high transmission of radiation in the visible spectral range and high reflection of radiation in the heat radiation range.
CA2129488C (en) * 1993-08-12 2004-11-23 Olivier Guiselin Transparent substrates with multilayer coatings, and their application to thermal insulation and sunshading
US5798182A (en) * 1993-11-08 1998-08-25 Optical Coating Laboratory, Inc. Wear resistant thin film coating and combination
DE19520843A1 (en) * 1995-06-08 1996-12-12 Leybold Ag Disc made of translucent material and process for its manufacture

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5091244A (en) * 1990-08-10 1992-02-25 Viratec Thin Films, Inc. Electrically-conductive, light-attenuating antireflection coating
US5715103A (en) * 1993-08-26 1998-02-03 Canon Kabushiki Kaisha Neutral density (ND) filter

Also Published As

Publication number Publication date
NL1013664A1 (en) 2000-06-13
GB9928967D0 (en) 2000-02-02
GB2344600A (en) 2000-06-14
JP2000171601A (en) 2000-06-23
KR20000047951A (en) 2000-07-25
KR100636773B1 (en) 2006-10-23
TW428107B (en) 2001-04-01
GB2344600B (en) 2001-09-26
SG85155A1 (en) 2001-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL1013664C2 (en) Anti-reflective film and image display device.
TWI776845B (en) Optical film, polarizing plate, and image display device
US20090015548A1 (en) Image projection system
WO1999036808A1 (en) Multilayer infrared reflecting optical body
CN1440540A (en) Transparent data card
WO2006137427A1 (en) Protective film for polarizing plate
JP2008209598A (en) Optical film
US20040004760A1 (en) Image display screen and image display unit
JP5141110B2 (en) Image projection system
KR100215587B1 (en) Mirror and film and television set
JP2009083183A (en) Optical membrane laminate
JP5306872B2 (en) Optical components and optical equipment
KR102080131B1 (en) Organic light emitting diode display
CN109476218A (en) Second surface transflector for electro-optical device
KR20230162991A (en) Head-up display system
JP2000171605A (en) Antireflection film and display device
JP2003094548A (en) Reflection-proof film
JP2003005662A (en) Display device provided with protection board and protection board suitable for it
US6111352A (en) Explosion-proof film and cathode-ray tube
KR20230043212A (en) Optical stacks and articles
CN209946629U (en) Mirror screen and projection system
JP2792492B2 (en) Liquid crystal display
JPH01168855A (en) Transparent sheet coated with antireflection film containing metal film
JPH10206837A (en) Liquid crystal display device
JP2004284232A (en) Laminate and optical member

Legal Events

Date Code Title Description
AD1A A request for search or an international type search has been filed
RD2N Patents in respect of which a decision has been taken or a report has been made (novelty report)

Effective date: 20070221

PD2B A search report has been drawn up
VD1 Lapsed due to non-payment of the annual fee

Effective date: 20080601