KR20000040217A - 무선 주파 발생기 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 주파수를 변화시켜 다양한 주파수의 무선 주파를 발생시킬 수 있는 무선 주파 발생기에 관한 것이다. 따라서, 본 발명의 목적은 다양한 주파수의 무선 주파를 발생시킬 수 있는 발진기를 구비한 무선 주파 발생기를 제공하는데 있다. 이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 진동자를 발진시켜서 원하는 주파수의 무선 주파를 발생시키는 발진기, 무선 주파를 출력하는 출력부, 발진기 및 출력부를 제어하는 제어부를 포함하는 무선 주파 발생기에 있어서, 발진기는 발진 회로, 발진 회로와 연결되는 복수 개의 진동자 및 진동자 중의 하나를 선택하는 스위칭 회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 무선 주파 발생기를 제공한다.
Description
본 발명은 무선 주파 발생기에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 주파수를 변화시켜 다양한 주파수의 무선 주파를 발생시킬 수 있는 무선 주파 발생기에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에서 플라즈마는 건식 식각(Dry Etching), 화학 기상 증착 등의 공정에서 사용되는 중요한 요소이다. 이러한 공정은 플라즈마의 물리적, 화학적 반응에 의한 박막의 식각, 도포 등을 진공의 플라즈마 소스(Plasma Source)에서 수행하는데, 이때 플라즈마 발생에 필요한 에너지원을 공급하는 장치가 무선 주파 발생기(Radio Frequency Generator)이다.
도 1은 종래 기술에 따른 무선 주파 발생기의 발진기를 나타내는 개략도이다.
도 1을 참조하면, 발진기(10)는 발진 회로(12)와 하나의 수정 진동자(14)로 이루어진다. 발진기(10)에서는 수정 진동자(14)를 발진시켜서 원하는 주파수의 무선 주파를 발생시키는데, 종래 기술에 따른 발진기(10)에서는 일반적으로 13.56MHz의 고정된 무선 주파를 플라즈마 발생용 에너지로 사용하고 있다.
그런데, 플라즈마의 특성은 사용하는 무선 주파에 따라 많은 차이가 있다. 식각 공정에 있어서 주파수가 높은 무선 주파를 사용하여 발생된 플라즈마는 낮은 주파수의 무선 주파에 의한 플라즈마에 비해서 반응성이 크고, 등방성의 특성을 갖는다. 또한, 식각률 및 설비의 설계에 있어서도 차이가 생기게 된다. 따라서, 다양한 제품의 제조에 있어서 제조 조건을 최적화하기 위해서는 무선 주파의 주파수를 변화시킬 필요가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 다양한 주파수의 무선 주파를 발생시킬 수 있는 발진기를 구비한 무선 주파 발생기를 제공하는데 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 무선 주파 발생기의 발진기를 나타내는 개략도,
도 2는 일반적인 무선 주파 발생기를 나타내는 개략도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 무선 주파 발생기의 발진기를 나타내는 개략도이다.
도면의 주요 부분에 대한 설명
10, 21, 100; 발진기 12, 112; 발진 회로
14, 114; 진동자 20; 무선 주파 발생기
22; 감쇠기 23; 드라이버
24; 전력 증폭기 25; 필터
26; 센서 27; 제어부
28; 출력부 116; 스위칭 회로
이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 진동자를 발진시켜서 원하는 주파수의 무선 주파를 발생시키는 발진기, 무선 주파를 출력하는 출력부, 발진기 및 출력부를 제어하는 제어부를 포함하는 무선 주파 발생기에 있어서, 발진기는 발진 회로, 발진 회로와 연결되는 복수 개의 진동자 및 진동자 중의 하나를 선택하는 스위칭 회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 무선 주파 발생기를 제공한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하고자 한다.
도 2는 일반적인 무선 주파 발생기를 나타내는 개략도이다.
도 2를 참조하면, 무선 주파 발생기(20)는 발진기(21), 출력부(28), 제어부(27)로 구성된다. 발진기(21)는 일반적으로 수정을 발진시켜서 원하는 주파수의 무선 주파를 발생시킨다. 발진기(21)에서 발생한 무선 주파는 출력부(28)에서 일정한 처리를 거친 다음 출력된다. 출력부(28)는 감쇠기(Attenuator)(22), 드라이버(Driver)(23), 전력 증폭기(Power Amplifier)(24), 필터(25), 센서(26) 등으로 구성된다.
감쇠기(22)는 발진기(21)에서 발생된 신호 전압을 가감하여 드라이버(23)에 공급한다. 드라이버(23)는 감쇠기(22)에서 나온 무선 주파 신호를 전력 증폭기(24)에서 충분히 증폭될 수 있도록 증가시키는 역할을 하며, 최종 출력의 약 1/20~1/30배의 출력 전력이 드라이버(23)에서 나와서 전력 증폭기(24)로 입력된다. 일반적으로 전력 증폭기(24)는 협대역 증폭기를 사용하기보다는 광대역 증폭기를 많이 사용하므로 증폭된 무선 주파 신호는 기본 주파수 외의 신호가 많이 포함된다. 따라서, 필터(25)를 이용하여 불필요한 주파수를 제거하면 파형이 깨끗해지고 전력 증폭기(23)의 효율도 개선된다.
무선 주파 전력에는 반사파 전력과 진행파 전력이 있는데, 장치의 운영상 반사파 전력은 최소화하여야 한다. 센서(26)에서는 이 두 가지 신호를 추출하여 제어부(27)에서 처리하도록 하고, 무선 주파를 출력시킨다. 제어부(27)에는 공정 조건이 입력되고, 발진기(21)와 감쇠기(22)를 제어한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 무선 주파 발생기의 발진기를 나타내는 개략도이다.
도 3을 참조하면, 발진기(100)는 발진 회로(112), 다수의 진동자(114), 스위칭 회로(116)로 구성된다. 발진 회로(112)에 연결된 진동자는 일반적으로 수정 진동자(114)를 사용한다. 종래 기술에 따른 발진기에서 사용하는 13.56MHz 이외의 필요한 주파수의 무선 주파를 발생시키기 위해 서로 다른 수정 진동자(114)를 스위칭 회로(116)에 연결하여 사용한다. 스위칭 회로(116)는 원하는 공정 조건을 충족시키기 위해서 외부에서 입력되는 신호에 따라 필요한 수정 발진자(114)를 연결하여 다양한 주파수의 무선 주파를 발생시킬 수 있다. 또한, 하나의 수정 발진자를 주파수 변화가 가능하도록 하여 사용할 수도 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 공정 조건에 따라 필요한 주파수의 무선 주파를 사용하여 제품의 특성에 맞는 공정 조건을 맞출 수 있다.
Claims (1)
- 진동자를 발진시켜서 원하는 주파수의 무선 주파를 발생시키는 발진기, 상기 무선 주파를 출력하는 출력부, 상기 발진기 및 상기 출력부를 제어하는 제어부를 포함하는 무선 주파 발생기에 있어서, 상기 발진기는(1) 발진 회로와,(2) 상기 발진 회로와 연결되는 복수 개의 진동자와,(3) 복수 개의 상기 진동자 중의 하나를 선택하는 스위칭 회로를 구비하는 것을 특징으로 하는 무선 주파 발생기.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980055792A KR20000040217A (ko) | 1998-12-17 | 1998-12-17 | 무선 주파 발생기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980055792A KR20000040217A (ko) | 1998-12-17 | 1998-12-17 | 무선 주파 발생기 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000040217A true KR20000040217A (ko) | 2000-07-05 |
Family
ID=19563447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019980055792A KR20000040217A (ko) | 1998-12-17 | 1998-12-17 | 무선 주파 발생기 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20000040217A (ko) |
-
1998
- 1998-12-17 KR KR1019980055792A patent/KR20000040217A/ko not_active Application Discontinuation
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