KR20000037981A - 웨이퍼 유동 방지 시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 진공 호스를 통해 진공원과 접속된 내부진공라인을 구비하여 웨이퍼를 이동하는 진공 튀져에 형성된 웨이퍼 유동 방지 시스템에 관한 것으로, 상기 진공 호스에서 분기되어 공기공급원과 접속된 공기호스에 공기공급원으로부터 수동밸브와, 압력조절계와, 제 1 자동개폐밸브와, 압력계와, 제 2 자동개폐밸브를 순차적으로 설치하되, 상기 제 1자동개폐밸브와, 압력계와, 제 2 자동개폐밸브는 중앙처리장치에 의해 제어되며, 진공 튀져내에 진공을 차단하기 전에, 제 1 자동개폐밸브를 개방하여, 압력계가 일정한 압력을 유지하면, 다시 제 1 자동개페밸브를 폐쇄하고, 제 2 자동개폐밸브를 개방하여 진공 튀져의 진공라인에 공기를 유입함으로서 진공 튀져내의 압력을 상압으로 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 웨이퍼 유동 방지 시스템에 의하면, 웨이퍼를 소망의 위치에 놓기 위해 진공 튀져내에 진동을 차단하기 전에, 진공 튀져내의 압력을 상압으로 만드는 것과 진공을 차단시킴으로서 웨이퍼의 튀는 현상을 방지하면서 자연스럽게 웨이퍼를 소망의 위치에 놓게 된다.
Description
본 발명은 웨이퍼 유동 방지 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 진공 튀져(Vacuum tweezer)에 의해 이송되는 반도체 웨이퍼의 유동을 방지할 수 있는 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조공정에 있어서, 웨이퍼를 붙잡거나 이동시키기 위해서 진공 튀져를 이용하는 것이 알려져 있다. 이러한 진공 튀져는 진공의 흡착력으로 웨이퍼의 뒷면을 잡게 된다.
도 1에는 이러한 종래의 진공 튀져의 구성을 나타내고 있다. 도시된 바와 같이, 진공 튀져(10)는 내부에 진공라인이 배설되고, 그 일단에는 웨이퍼(12)의 뒷면을 흡착하는 흡기구(14)가 형성되고, 타단에는 진공원(20)과 연통된 진공호스(22)와 연결되는 연결부(16)가 형성되어 진공을 유지한다. 한편, 진공원(20)과 접속된 진공호스(22)상에는 진공원(20)으로부터 수동밸브(30)와, 압력 조절계(32)와, 개폐가 종앙처리장치(40)에 의해 제어되는 자동개폐밸브(34)가 순차적으로 부착되어 있다.
진공원(20)이 작동하게 되면, 진공 튀져(10)는 그 내부의 진공라인에 진공이 형성되어 흡기구(16)를 통해 웨이퍼(12)를 흡착하게 되므로, 그 후 소망의 위치로 웨이퍼(12)를 이동시키는 것이며, 이와 반대로 중앙처리장치(40)의 제어에 의해 자동개폐밸브(34)를 폐쇄시키면, 진공 튀져(10)에 형성된 진공이 차단됨으로서, 흡기구(16)를 통한 흡착력을 해제하여 소망의 위치에 웨이퍼(12)를 놓게 되는 것이다. 하지만, 진공 튀져(10)와 웨이퍼(12)사이에 가해진 진공 흡착력이 갑자스러운 진공차단이라는 순간적인 동작에 의해 진공 튀져(10)의 흡기구(16)내측면과 외측면사이에 압력차, 즉 진공과 상압사이의 급속한 변화로 인하여 웨이퍼(12)를 놓는 순간 웨이퍼(12)에 유동이 발생, 즉 순간적으로 웨이퍼(12)가 튀게 된다. 이러한 웨이퍼(12)의 유동에 의해 웨이퍼(12)와 진공 튀져(10)가 맞닿는 부분으로 주변의 먼지가 유입되는 문제가 있으며, 심할 경우, 웨이퍼가 깨지는 현상까지 발생되는 문제가 있었다.
따라서, 본 발명은 이에 따라 안출된 것으로, 그 목적은 웨이퍼의 이동 재치시, 웨이퍼의 유동, 즉 웨이퍼의 튀는 현상을 방지하여 먼지의 유입을 방지할 수 있는 웨이퍼 유동 방지 시스템을 제공하는 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위한 수단으로서, 본 발명의 웨이퍼 유동 방지 시스템은 진공 호스를 통해 진공원과 접속된 내부진공라인을 구비하여 웨이퍼를 이동하는 진공 튀져에 형성된 웨이퍼 유동 방지 시스템에 있어서,
상기 진공 호스에서 분기되어 공기공급원과 접속된 공기호스에 공기공급원으로부터 수동밸브와, 압력조절계와, 제 1 자동개폐밸브와, 압력계와, 제 2 자동개폐밸브를 순차적으로 설치하되, 상기 제 1자동개폐밸브와, 압력계와, 제 2 자동개폐밸브는 중앙처리장치에 의해 제어되며, 진공 튀져내에 진공을 차단하기 전에, 제 1 자동개폐밸브를 개방하여, 압력계가 일정한 압력을 유지하면, 다시 제 1 자동개페밸브를 폐쇄하고, 제 2 자동개폐밸브를 개방하여 진공 튀져의 진공라인에 공기를 유입함으로서 진공 튀져내의 압력을 상압으로 하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명의 웨이퍼 유동 방지 시스템에 의하면, 웨이퍼를 소망의 위치에 놓기 위해 진공 튀져내에 진동을 차단하기 전에, 진공 튀져내의 압력을 상압으로 만드는 것과 진공을 차단시킴으로서 웨이퍼의 튀는 현상을 방지하면서 자연스럽게 웨이퍼를 소망의 위치에 놓게 된다.
도 1은 반도체 웨이퍼 이송용 진공 튀져의 구성을 나타내는 개략도이고,
도 2는 도 1의 진동 튀져의 구성에 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 웨이퍼 유동 방지 시스템이 장착된 구성을 나타내는 개략도이다.
＜도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＞
10 : 진공 튀져(Vacuum tweezer) 12 : 웨이퍼(wafer)
14 : 흡기구 16 : 연결부
20 : 진공원 22 : 진공호스
30 : 수동밸브 32 : 압력조절계
34 : 자동개폐밸브 40 : 중앙처리장치
50 : 공기공급원 52 : 공기호스
54 : 수동밸브 56 : 압력조절계
58 : 제 1 자동개폐밸브 60 : 압력계
62 : 제 2 자동개폐밸브
이하, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 일실시예에 따른 웨이퍼 유동 방지 시스템을 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 웨이퍼 유동 방지 시스템을 도시하는 것으로, 종래와 동일한 구성에는 동일한 참조번호를 사용하였다. 도 2에 도시된 바와 같이, 진공 튀져(10)에 진공을 공급하도록 진공원(20)에 접속된 진공호스(22)에 접속된 구성은 종래와 동일하고, 이러한 진공호스(22)에는 공기호스(52)가 분기되어 공기공급원(50)과 접속된다.
공기호스(52)는 공기공급원(50)으로부터 수동밸브(54)와, 압력조절계(56)와, 제 1 자동개폐밸브(58)와, 압력계(60)와, 제 2 자동개폐밸브(62)가 순차적으로 접속된다. 한편, 제 1 자동개폐밸브(58)와, 압력계(60) 및 제 2 자동개폐밸브(62)는 중앙처리장치(40)에 의해 제어된다.
이와 같이 구성된 본 발명의 웨이퍼 유동 방지 시스템은 다음과 같이 작동한다.
웨이퍼(12)를 진공 튀져(10)가 흡착하여 소망하는 위치로 이동한 후, 진공호스(22)를 통해 진공 튀져(10)에 형성된 진공을 차단하고자 자동개폐밸브(34)를 폐쇄하기전에, 중앙처리장치(40)는 제 1 자동개폐밸브(58)를 개방하여 공기호스(52)내에 공기공급원(50)으로부터의 공기를 압력계(60)가 소정의 압력을 나타낼때까지 공급한다. 이어, 제 1 자동개폐밸브(58)를 폐쇄하고 제 2 자동개폐밸브(62)를 개방하여 진공 튀져(10)내의 압력을 상압으로 만듬과 동시에, 자동개폐밸브(34)를 폐쇄하여 진공 튀져(10)내의 진공을 차단하여, 웨이퍼(12)의 유동, 즉 웨이퍼(12)가 튀는 현상없이 자연스럽게 소망의 위치에 놓게 된다.
상술한 바와 같이 본 발명의 웨이퍼 유동 방지 시스템은 웨이퍼를 안정적으로 이송할 수 있으므로, 질높은 제품의 생산이 가능하고 웨이퍼의 깨짐 및 스크래치(scratch)등과 같은 웨이퍼의 손상으로 인한 손실을 방지하게 되는 효과를 가진다.
이상의 실시예에서는 한 장씩 이송하는 이동용 웨이퍼 튀져를 예로서 설명하였지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니고, 자동 로봇 시스템으로 이송하는 1-10장용 웨이퍼 튀져에도 적용가능하며, 자동화 시스템을 이용한 반도체 제조용 웨이퍼 이송 튀져에도 적용할 수 있음은 물론이다.
Claims (3)
- 진공 호스를 통해 진공원과 접속된 내부진공라인을 구비하여 웨이퍼를 이동하는 진공 튀져에 형성된 웨이퍼 유동 방지 시스템에 있어서,상기 진공 호스에서 분기되어 공기공급원과 접속된 공기호스에 공기공급원으로부터 수동밸브와, 압력조절계와, 제 1 자동개폐밸브와, 압력계와, 제 2 자동개폐밸브를 순차적으로 설치하되, 상기 제 1자동개폐밸브와, 압력계와, 제 2 자동개폐밸브는 중앙처리장치에 의해 제어되고, 진공 튀져내에 진공을 차단하기 전에, 제 1 자동개폐밸브를 개방하여, 압력계가 일정한 압력을 유지하면, 다시 제 1 자동개페밸브를 폐쇄하고, 제 2 자동개폐밸브를 개방하여 진공 튀져의 진공라인에 공기를 유입함으로서 진공 튀져내의 압력을 상압으로 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 유동 방지 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 진공 튀져는 자동 로봇 시스템으로 이송하는 1-10장용 웨이퍼 튀져인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 유동 방지 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 진공 튀져는 자동화 시스템을 이용한 반도체 제조용 웨이퍼 이송 튀져인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 유동 방지 시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980052817A KR100280381B1 (ko) | 1998-12-03 | 1998-12-03 | 웨이퍼 유동 방지 시스템 |
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| KR1019980052817A KR100280381B1 (ko) | 1998-12-03 | 1998-12-03 | 웨이퍼 유동 방지 시스템 |
Publications (2)
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| KR20000037981A true KR20000037981A (ko) | 2000-07-05 |
| KR100280381B1 KR100280381B1 (ko) | 2001-03-02 |
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ID=19561189
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| KR1019980052817A KR100280381B1 (ko) | 1998-12-03 | 1998-12-03 | 웨이퍼 유동 방지 시스템 |
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| KR (1) | KR100280381B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030038474A (ko) * | 2001-11-07 | 2003-05-16 | 슐럼버거 테크놀로지즈, 아이엔씨. | 가변압력챔버 내에 반도체 웨이퍼의 움직임 억제 시스템및 방법 |
-
1998
- 1998-12-03 KR KR1019980052817A patent/KR100280381B1/ko not_active IP Right Cessation
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|---|---|---|---|---|
| KR20030038474A (ko) * | 2001-11-07 | 2003-05-16 | 슐럼버거 테크놀로지즈, 아이엔씨. | 가변압력챔버 내에 반도체 웨이퍼의 움직임 억제 시스템및 방법 |
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| KR100280381B1 (ko) | 2001-03-02 |
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