KR20000021472A - 반도체장치 제조설비의 가스분산판 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체장치 제조설비의 가스분산판에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체장치 제조설비의 가스분산판은, 중앙부에 상부 중앙홀이 형성되어 있고, 상기 상부 중앙홀 주변부에 복수의 상부홀이 형성된 상부 가스분산판과 상기 상부 중앙홀과 일치하는 하부 중앙홀이 중앙부에 형성되어 있고, 상기 상부홀과 일치하는 복수의 하부홀이 형성된 가스분산판 및 상기 상부 가스분산판 및 하부 가스분산판이 서로 회전가능하도록 밀착고정시키는 고정수단을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
따라서, 가스분산판 교체 따른 로스타임을 줄여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체장치 제조설비의 가스분산판
본 발명은 반도체장치 제조설비의 가스분산판에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체장치 제조설비 내부로 반응가스를 분산시키는 반도체장치 제조설비의 가스분산판에 관한 것이다.
통상, 반도체장치 제조공정에서는 반응가스를 활성화시켜 반도체기판 상에 특정막을 증착시키거나, 반도체기판의 소정영역을 식각하고 있다. 다시 말하면, 화학기상증착공정에서는 공정챔버 내부로 공급된 반응기체가 화학반응을 일으키도록 유도하여 그 반응에 의해서 생성된 고체 생성물이 반도체기판 상에 증착되도록 하고 있다. 그리고, 식각공정에서는 공정챔버 내부로 공급된 반응가스를 활성화시켜 활성화된 반응가스와 반도체기판이 서로 접촉하도록 유도함으로서 반도체기판의 소정영역을 식각하고 있다.
전술한 바와 같이 공정챔버 내부로 공급되는 반응가스는 통상 공정챔버 상부 소정영역에 설치된 가스분산판(Gas Distribution Plate)을 통과한 후, 공정챔버 내부로 공급되도록 되어 있다. 상기 가스분산판 상에는 반응가스의 양 및 반응가스의 공급속도를 조절할 수 있는 다수의 홀(Hole)이 형성되어 있다.
그리고, 상기 가스분산판은 복수개 설치될 수 있으며, 복수개의 가스분산판은 서로 소정간격 이격되어 설치되고, 상기 각 가스분산판에는 서로 상이한 직경을 가지는 다수의 홀이 형성됨으로서 가스분산판을 통과하는 반응가스의 공급속도 및 반응가스의 양이 조절되도록 되어 있다. 그런데, 상기 가스분산판의 홀의 크기, 위치는 최초로 제작된 위치에서 공정 엔지니어가 변동시킬 수 없었다.
따라서, 공정과정에 가스공급량을 변화시킬 경우, 공정챔버 상부소정영역에 설치된 가스분산판과 새로운 가스분산판을 교체하여야 하는 번거로움이 있었다. 그리고, 최초로 공정챔버에 가스분산판을 설치할 경우, 순차적으로 서로 상이한 직경의 홀이 각각 형성된 가스분산판을 공정챔버의 상부 소정영역에 설치한 후, 실공정을 진행하여 그 결과를 분석함으로서 최적의 가스분산판을 선택하는 작업이 진행됨으로서 가스분산판 교체에 따른 로스타임이 발생하는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 가스분산판의 홀의 직경을 조절함으로서 공정챔버 내부로 공급되는 반응가스의 양을 조절할 수 있는 반도체장치 제조설비의 가스분산판을 제공하는 데 있다.
도1은 본 발명에 따른 반도체장치 제조설비의 가스분산판의 일 실시예를 나타내는 분해사시도이다.
도2는 본 발명에 따른 반도체장치 제조설비의 상부 가스분산판과 하부분산판의 결합관계를 설명하기 위한 단면도이다.
도3는 본 발명에 따른 반도체장치 제조설비의 가스분산판의 다른 실시예를 설명하기 위한 상부 분산판의 사시도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 상부 가스분산판 12 : 상부 중앙홀
12a : 연결홈 14 : 셔터
14a : 회전축 16 : 상부홀
20 : 하부 가스분산판 22 : 하부 중앙홀
24 : 연결부 26 : 상부홀
30 : 손잡이
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체장치 제조설비의 가스분산판은, 중앙부에 상부 중앙홀이 형성되어 있고, 상기 상부 중앙홀 주변부에 복수의 상부홀이 형성된 상부 가스분산판, 상기 상부 중앙홀과 일치하는 하부 중앙홀이 중앙부에 형성되어 있고, 상기 상부홀과 일치하는 복수의 하부홀이 형성된 가스분산판 및 상기 상부 가스분산판 및 하부 가스분산판이 서로 회전가능하도록 밀착고정시키는 고정수단을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 고정수단은 상기 상부 중앙홀 내부에 설치된 연결홈과 상기 연결홈에 삽입될 수 있도록 상기 하부 중앙홀에서 외부로 연장된 연결부일 수 있다.
그리고, 상기 상부 중앙홀 또는 하부 중앙 홀 일측에 상기 상부 중앙홀 또는 하부 중앙홀의 소정영역을 폐쇄시킬 수 있는 셔터가 더 구비될 수 있고, 상기 상부 분산판 상부 소정영역에 상기 상부 분산판을 회전시킬 수 있는 손잡이가 더 구비될 수 있다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도1은 본 발명에 따른 반도체장치 제조설비의 가스분산판의 일 실시예를 나타내는 분해사시도이다.
본 발명에 따른 반도체장치 제조설비의 가스분산판은 도1에 도시된 바와 같이 상부 가스분산판(10)과 상기 상부 가스분산판(10)에 밀착고정되는 회전가능한 하부 가스분산판(20)으로 이루어진다. 상기 상부 가스분산판(10) 중앙부에는 반응가스가 통과하는 상부 중앙홀(12)이 형성되어 있고, 상기 상부 중앙홀(12) 주변부에는 역시 반응가스가 통과하는 복수의 상부홀(16)이 형성되어 있다. 상기 상부 중앙홀(12) 일측에는 도2에 도시된 바와 같이 회전축(14a)을 중심으로 회전함으로서 상부 중앙홀(12)의 소정영역을 폐쇄시킬 수 있는 셔터(14)가 구비되어 있고, 상기 상부 중앙홀(12)의 직경은 상부홀(16)의 직경보다 더 크게 형성될 수 있다.
또한, 상기 하부 가스분산판(20)의 중앙부에는 상부 중앙홀(12)과 일치하는 하부 중앙홀(22)이 형성되어 있고, 상기 하부 중앙홀(22) 주변부에는 상부홀(16)과 일치하는 복수의 하부홀(26)이 형성되어 있다. 상기 하부 중앙홀(22)에는 외부로 연장된 연결부(24)가 형성되어 있다.
도2는 본 발명에 따른 반도체장치 제조설비의 상부 가스분산판(10)과 하부분산판의 결합관계를 설명하기 위한 단면도이다.
본 발명에 따른 상부 가스분산판(10)과 하부 가스분산판(20)은 도2에 도시된 바와 같이 상부 중앙홀(12) 내부에 설치된 연결홈(12a)에 하부 중앙홀(22)에서 외부로 연장된 연결부(24)가 삽입됨으로서 서로 고정되도록 되어 있다. 여기서 상기 연결홈(12a)은 탄성력을 가진 재질로 제작됨으로서 연결홈(12a)에 삽입된 연결부(24)를 탄성력에 의해서 고정할 수 있도록 되어 있으며, 제작자에 따라 다양한 변형을 가하여 상기 연결홈(12a)과 연결부(24)를 서로 회전가능하도록 고정할 수 있을 것이다.
따라서, 상기 상부 가스분산판(10) 하부에 하부 가스분산판(20)을 위치시킨 후, 하부 가스분산판(20)의 연결부(24)를 상부 가스분산판(10)의 연결홈(12a)에 삽입고정한다. 여기서, 상기 상부 가스분산판(10) 및 하부 가스분산판(20)은 서로 회전가능하며, 상기 상부 가스분산판(10) 및 하부 가스분산판(20)을 회전시켜 서로 일치된 상부홀(16) 및 하부홀(26)이 서로 어긋나도록 함으로서 상부홀(16) 및 하부홀(26)의 개방영역을 감소시킬 수도 있다. 상기 상부홀(16) 및 하부홀(26)이 서로 어긋남으로서 통과하는 반응가스의 양은 조절된다.
그리고, 셔터(14)를 회전축(14a)을 중심으로 소정각도 회전시켜 상부 중앙홀(12)의 소정영역을 폐쇄시킴으로서 통과하는 반응가스의 양을 조절할 수도 있다.
또한, 다른 실시예로서 도3에 도시된 바와 같이 상기 상부 가스분산판(10) 상부 소정영역에 한쌍의 손잡이(30)를 설치함으로서 공정챔버 내부에 설치된 상부 가스분산판(10)의 손잡이(30)를 작업자가 손으로 잡고 회전시켜 상부홀(16) 및 하부홀(26)이 서로 어긋나는 정도를 조절함으로서 통과하는 반응가스의 양을 조절할 수도 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 공정챔버로 공급되는 반응가스의 양을 조절하는 가스 분산판의 홀의 직경을 용이하게 조절함으로서 가스 분산판 교체에 따른 로스타임을 줄임으로서 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (4)

  1. 중앙부에 상부 중앙홀이 형성되어 있고, 상기 상부 중앙홀 주변부에 복수의 상부홀이 형성된 상부 가스분산판;
    상기 상부 중앙홀과 일치하는 하부 중앙홀이 중앙부에 형성되어 있고, 상기 상부홀과 일치하는 복수의 하부홀이 형성된 가스분산판; 및
    상기 상부 가스분산판 및 하부 가스분산판이 서로 회전가능하도록 밀착고정시키는 고정수단;
    을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체장치 제조설비의 가스분산판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정수단은 상기 상부 중앙홀 내부에 설치된 연결홈과 상기 연결홈에 삽입고정될 수 있도록 상기 하부 중앙홀에서 외부로 연장된 연결부인 것을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조설비의 가스분산판.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 중앙홀 또는 하부 중앙 홀 일측에 상기 상부 중앙홀 또는 하부 중앙홀의 소정영역을 폐쇄시킬 수 있는 셔터가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조설비의 가스분산판.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 분산판 상부 소정영역에 상기 상부 분산판을 회전시킬 수 있는 손잡이가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조설비의 가스분산판.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100766132B1 (ko) * 2005-08-31 2007-10-12 코바렌트 마테리얼 가부시키가이샤 가스 분산판 및 그 제조방법

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