KR20000018575A - 누출 감지 테이프 - Google Patents

누출 감지 테이프 Download PDF

Info

Publication number
KR20000018575A
KR20000018575A KR1019980036220A KR19980036220A KR20000018575A KR 20000018575 A KR20000018575 A KR 20000018575A KR 1019980036220 A KR1019980036220 A KR 1019980036220A KR 19980036220 A KR19980036220 A KR 19980036220A KR 20000018575 A KR20000018575 A KR 20000018575A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
tape
message
litmus paper
color
chemicals
Prior art date
Application number
KR1019980036220A
Other languages
English (en)
Inventor
김길수
임영철
신원열
Original Assignee
윤종용
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자 주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1019980036220A priority Critical patent/KR20000018575A/ko
Publication of KR20000018575A publication Critical patent/KR20000018575A/ko

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
    • F17C13/00—Details of vessels or of the filling or discharging of vessels
    • F17C13/02—Special adaptations of indicating, measuring, or monitoring equipment

Landscapes

  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 제조 장치로부터 화학 물질의 누출 여부를 확인할 수 있는 누출 감지 테이프로서, 누출 감지 테이프는 양면 접착 테이프와, 양면 접착 테이프의 일면에 부착된 리트머스 종이 또는 색소 테이프 및 리트머스 종이 또는 색소 테이프에 부착되며, 색소 테이프 또는 리트머스 종이와 동일한 색상을 갖는 메시지 테이프로 구성되며, 메시지 테이프에는 메시지 테이프를 뚫어 적어도 하나 이상의 경고 메시지가 새겨져 있다. 따라서, 누출 감지 테이프를 반도체 제조 장치의 화학 물질의 누출이 우려되는 지점에 부착하여, 반도체 제조 장치로부터 화학 물질이 누출될 경우, 리트머스 종이는 색이 변색되고, 색소 테이프는 색소로 물들여져 색이 변색되어 변색된 색으로 메시지 테이프에 새겨진 경고 메시지가 표시되어 화학 물질의 누출을 외부에 알리게 된다.

Description

누출 감지 테이프(Tape for checking leak)
본 발명은 반도체 제조 장치에서 액체 또는 기체의 화학 물질의 누출 여부를 감지하여 외부에 표시할 수 있는 누출 감지 테이프에 관한 것이다.
반도체 제조 공정을 진행하기 위하여 여러 가지 유독성의 기체 및 액체와 같은 화학 물질을 사용하고 있기 때문에, 반도체 제조 공정의 진행중에 반도체 제조 장치의 배관의 연결 부분이나 반도체 제조 공정을 진행하는 시료의 출입문에서 화학 물질의 유출이 우려된다. 특히, 반도체 제조 장치로부터 미세하게 누출되는 화학 물질을 감지하는 것이 용이하지 않으며, 누출 양이 미세하기 때문에, 누출되는 것을 알았다 하더라도 어느 곳에서 누출되는 지를 알아내기가 용이하지 않다. 그리고, 이와 같은 일이 발생할 경우 그 작업장의 환경을 오염시켜 그 작업장에서 일하는 작업자의 건강을 해치거나 안전사고의 우려가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 반도체 제조 장치로부터 미세하게 화학 물질이 누출되는 것을 확인할 수 있는 누출 감지 테이프를 제공하는 데 있다.
도 1은 본 발명에 따른 산성 또는 알칼리성의 화학 물질의 누출을 감지할 수 있는 누출 감지 테이프를 나타내는 분해 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 중성의 화학 물질의 누출을 감지할 수 있는 누출 감지 테이프를 나타내는 분해 사시도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 설명 *
10, 20 : 누출 감지 테이프 12, 22 : 메시지 테이프
14 : 리트머스 종이 16, 26 : 양면 접착 테이프
18 : 경고 메시지 24 : 색소 테이프
25 : 색소
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 반도체 제조 장치로부터 산성 또는 알칼리성의 화학 물질이 누출되는 것을 확인하기 위한 누출 감지 테이프로서, 양면 접착성을 갖는 양면 접착 테이프와; 양면 접착 테이프의 일면에 부착되는 리트머스 종이; 및 리트머스 종이의 상부에 부착되며, 리트머스 종이와 동일한 색상을 갖는 메시지 테이프로서, 메시지 테이프를 뚫어 적어도 하나 이상의 경고 메시지를 새긴 메시지 테이프;를 포함하며, 누출 감지 테이프의 양면 접착 테이프의 타면을 반도체 제조 장치의 화학 물질의 누출이 우려되는 지점에 부착하여, 반도체 제조 장치로부터 산성 또는 알칼리성의 화학 물질이 누출될 경우, 리트머스 종이는 색이 변색되고, 변색된 리트머스 종이의 색에 의해 메시지 테이프의 경고 메시지가 표시되어 산성 또는 알칼리성의 화학 물질의 누출을 알리는 것을 특징으로 하는 누출 감지 테이프를 제공한다.
본 발명에 따른 리트머스 종이는 산성의 화학 물질의 누출을 확인할 수 있는 푸른 리트머스 종이이며, 메시지 테이프는 푸른 리트머스 종이와 동일한 푸른색이다.
본 발명에 따른 리트머스 종이는 알칼리성의 화학 물질의 누출을 확인할 수 있는 붉은 리트머스 종이이며, 메시지 테이프는 붉은 리트머스 종이와 동일한 푸른색이다.
본 발명은 또한 반도체 제조 장치로부터 중성의 화학 물질이 누출되는 것을 확인하기 위한 누출 감지 테이프로서, 양면 접착성을 갖는 양면 접착 테이프와; 하부면이 양면 접착 테이프의 일면에 부착되며, 상부면에 중성의 화학 물질에 의해 물들여지는 색소가 뿌려진 색소 테이프; 및 색소 테이프의 상부면에 부착되며, 색소 테이프와 동일한 색상을 갖는 메시지 테이프로서, 메시지 테이프를 뚫어 적어도 하나 이상의 경고 메시지를 새긴 메시지 테이프;를 포함하며, 누출 감지 테이프의 양면 접착 테이프의 타면을 반도체 제조 장치의 화학 물질의 누출이 우려되는 지점에 부착하여 반도체 제조 장치로부터 중성의 화학 물질이 누출될 경우, 색소 테이프의 색소가 색소 테이프에 물들어 색소의 색으로 변색되고, 변색된 색소 테이프의 색에 의해 메시지 테이프의 경고 메시지가 표시되어 중성의 화학 물질의 누출을 알리는 것을 특징으로 하는 누출 감지 테이프를 제공한다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명에 따른 산성 또는 알카리성의 액체 또는 기체의 누출을 감지할 수 있는 누출 감지 테이프(10)를 나타내는 분해 사시도이다. 도 1을 참조하면, 누출 감지 테이프(10)는 양면 접착 테이프(16)의 일면에 리트머스 종이(14)가 부착되고, 리트머스 종이(14)의 상부에 리트머스 종이(14)와 동일한 색상을 갖는 메시지 테이프(12)가 부착된 구조를 갖는다. 양면 접착 테이프(16)의 타면은 화학 물질의 누출이 우려되는 반도체 제조 장치에 부착될 것이다. 특히, 메시지 테이프(12) 상에는 메시지 테이프(12)를 뚫어 적어도 하나 이상의 경고 메시지(18) 예를 들면, "LEAK"이라는 경고 메시지가 새겨져 있다. 메시지 테이프(12)로 텔플론 테이프(teflon tape)를 사용하는 것이 바람직하다.
한편, 리트머스 종이(14)에는 산성의 화학 물질에 반응하는 푸른 리트머스 종이와, 알칼리성의 화학 물질에 반응하는 붉은 리트머스 종이가 있다. 메시지 테이프(12) 또한 푸른 리트머스 종이 부착할 메시지 테이프는 푸른색이고, 붉은 리트머스 종이에 부착할 메시지 테이프는 붉은색을 사용한다. 이와 같이 동일한 색상의 메시지 테이프(12)를 부착하는 이유는 다음과 같다. 첫째, 리트머스 종이(14)가 산성 또는 알칼리성의 화학 물질과 반응하지 않았을 때는 리트머스 종이(14)와 메시지 테이프(12)가 동일한 색상을 갖기 때문에, 메시지 테이프(12)에 새겨진 경고 메시지(18)가 표시되지 않는다. 둘째, 리트머스 종이(14)가 산성 또는 알칼리성 화학 물질에 노출될 경우 리트머스 종이(14)는 색이 변하기 때문에, 변하기 전의 리트머스 종이(14)와 동일한 색상을 갖는 메시지 테이프(12)에 대하여 아래에 부착된 리트머스 종이(14)의 색상이 달라 메시지 테이프(12)에 새겨진 경고 메시지(18)가 변한 리트머스 종이(14)의 색상으로 외부에 표시된다. 따라서, 리트머스 종이(14)를 갖는 누출 감지 테이프(10)를 반도체 제조 장치의 화학 물질의 누출이 우려되는 지점에 부착하여 산성 또는 알칼리성 화학 물질의 누출 여부를 육안으로 확인하면 된다.
다음으로 중성의 화학 물질의 누출을 감지할 수 있는 누출 감지 테이프(20)에 대하여 도 2를 참조하여 설명하면, 누출 감지 테이프(20)는 양면 접착 테이프(26)와, 양면 접착 테이프(26)의 일면에 하부면이 부착되며, 상부면에 중성의 화학 물질에 의해 물들여지는 색소(25)가 뿌려진 색소 테이프(24) 및 색소 테이프(24)의 상부면에 부착되며, 색소 테이프(24)와 동일한 색상을 갖는 메시지 테이프(22)가 부착된 구조를 갖는다. 양면 접착 테이프(26)의 타면은 화학 물질의 누출이 우려되는 반도체 제조 장치에 부착될 것이다. 특히, 메시지 테이프(22) 상에는 메시지 테이프(22)를 뚫어 적어도 하나 이상의 경고 메시지(28) 예를 들면, "LEAK"이라는 경고 메시지가 새겨져 있다. 메시지 테이프(22)로 텔플론 테이프를 사용하는 것이 바람직하다. 물론, 색소 테이프(24)의 색과 색소(25)의 색은 동일하지 않으며, 색소 테이프(24)로는 색소(25)가 잘 물들 수 있는 흰색이나 옅은 노란색과 같은 밝은색 계통의 색을 갖는 색소 테이프를 사용하는 것이 바람직하다.
이와 같은 색소 테이프(24)를 갖는 누출 감지 테이프(20)의 이용 양태를 살펴보면, 누출 감지 테이프(20)를 반도체 제조 장치의 중성의 화학 물질의 누출이 우려되는 지점에 부착한다. 만약, 누출 감지 테이프(20)가 부착된 지점에서 중성의 화학 물질이 누출되지 않았을 경우, 색소 테이프(24)와 메시지 테이프(22)는 색상이 동일하기 때문에 경고 메시지(28)가 표시되지 않는다. 그러나, 누출 감지 테이프(20)가 부착된 지점에서 중성의 화학 물질이 누출될 경우, 색소 테이프(24)에 뿌려진 색소(25)가 색소 테이프(24)에 물들어 색소 테이프(24)가 변색되면, 변색된 색소(25)의 색으로 메시지 테이프(22)에 새겨진 경고 메시지(28)가 표시된다. 따라서, 누출 감지 테이프(20)를 반도체 제조 장치의 중성의 화학 물질의 누출이 우려되는 지점에 부착하여 중성의 화학 물질의 누출 여부를 육안으로 확인하면 된다.
따라서, 본 발명의 구조를 따르면 누출 감지 테이프를 화학 물질의 누출이 우려되는 반도체 제조 장치의 지점에 설치함으로써, 반도체 제조 장치로부터 화학 물질의 누출 여부를 육안으로 쉽게 확인할 수 있다.

Claims (4)

  1. 반도체 제조 장치로부터 산성 또는 알칼리성의 화학 물질이 누출되는 것을 확인하기 위한 누출 감지 테이프로서,
    양면 접착성을 갖는 양면 접착 테이프와;
    상기 양면 접착 테이프의 일면에 부착되는 리트머스 종이; 및
    상기 리트머스 종이의 상부에 부착되며, 상기 리트머스 종이와 동일한 색상을 갖는 메시지 테이프로서, 상기 메시지 테이프를 뚫어 적어도 하나 이상의 경고 메시지를 새긴 메시지 테이프;를 포함하며,
    상기 누출 감지 테이프의 양면 접착 테이프의 타면을 상기 반도체 제조 장치의 화학 물질의 누출이 우려되는 지점에 부착하여, 상기 반도체 제조 장치로부터 산성 또는 알칼리성의 화학 물질이 누출될 경우, 상기 리트머스 종이는 색이 변색되고, 변색된 리트머스 종이의 색에 의해 상기 메시지 테이프의 경고 메시지가 표시되어 상기 산성 또는 알칼리성의 화학 물질의 누출을 알리는 것을 특징으로 하는 누출 감지 테이프.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 리트머스 종이는 산성의 화학 물질의 누출을 확인할 수 있는 푸른 리트머스 종이이며, 상기 메시지 테이프는 상기 푸른 리트머스 종이와 동일한 푸른색인 것을 특징으로 하는 누출 감지 테이프.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 리트머스 종이는 알칼리성의 화학 물질의 노출을 확인할 수 있는 붉은 리트머스 종이이며, 상기 메시지 테이프는 상기 붉은 리트머스 종이와 동일한 붉은색인 것을 특징으로 하는 누출 감지 테이프.
  4. 반도체 제조 장치로부터 중성의 화학 물질이 누출되는 것을 확인하기 위한 누출 감지 테이프로서,
    양면 접착성을 갖는 양면 접착 테이프와;
    하부면이 상기 양면 접착 테이프의 일면에 부착되며, 상부면에 중성의 화학 물질에 의해 물들여지는 색소가 뿌려진 색소 테이프; 및
    상기 색소 테이프의 상부면에 부착되며, 상기 색소 테이프와 동일한 색상을 갖는 메시지 테이프로서, 상기 메시지 테이프를 뚫어 적어도 하나 이상의 경고 메시지를 새긴 메시지 테이프;를 포함하며,
    상기 누출 감지 테이프의 양면 접착 테이프의 타면을 상기 반도체 제조 장치의 화학 물질의 누출이 우려되는 지점에 부착하여, 상기 반도체 제조 장치로부터 중성의 화학 물질이 누출될 경우, 상기 색소 테이프의 색소가 상기 색소 테이프에 물들어 상기 색소의 색으로 변색되고, 변색된 색소 테이프의 색에 의해 상기 메시지 테이프의 경고 메시지가 표시되어 상기 중성의 화학 물질의 누출을 알리는 것을 특징으로 하는 누출 감지 테이프.
KR1019980036220A 1998-09-03 1998-09-03 누출 감지 테이프 KR20000018575A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980036220A KR20000018575A (ko) 1998-09-03 1998-09-03 누출 감지 테이프

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980036220A KR20000018575A (ko) 1998-09-03 1998-09-03 누출 감지 테이프

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20000018575A true KR20000018575A (ko) 2000-04-06

Family

ID=19549424

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980036220A KR20000018575A (ko) 1998-09-03 1998-09-03 누출 감지 테이프

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20000018575A (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101477238B1 (ko) * 2014-04-03 2014-12-30 (주)씨엠코리아 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치
KR20190002444U (ko) * 2018-12-20 2019-10-01 주식회사 유한테크 누액감지 테이프 설치방법 및 그 설치용 테이프
WO2023080356A1 (ko) * 2021-11-04 2023-05-11 하이리움산업(주) 수소감지패치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101477238B1 (ko) * 2014-04-03 2014-12-30 (주)씨엠코리아 배관 유체누출 감지 및 외부로의 누출 방지장치
KR20190002444U (ko) * 2018-12-20 2019-10-01 주식회사 유한테크 누액감지 테이프 설치방법 및 그 설치용 테이프
WO2023080356A1 (ko) * 2021-11-04 2023-05-11 하이리움산업(주) 수소감지패치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7185601B2 (en) Chemically sensitive warning apparatus and method
US3713779A (en) Disposable comparison detector kit
KR20070005234A (ko) 누수 센서 및 누수 감지 시스템
JPS59170748A (ja) 酸素測定方法およびその装置
WO2008006153A1 (en) Medical indicator method and device
EP1647823A1 (en) Gas detecting sheet
WO2003008942A1 (en) System and method for detection of a target substance
KR20180096555A (ko) 유해화학물질 파이프 라인의 유체 누설 여부 실시간 점검 시스템
JP2004251657A (ja) 配管等からの流体の漏洩個所検知方法、及びそれに用いるインジケータ
KR20000018575A (ko) 누출 감지 테이프
WO1994002772A1 (en) Leak detection for liquid hoses
KR20150117464A (ko) 누수감지키트
US2228737A (en) Process for testing apparatus for leaks
US3317283A (en) Leak detecting device
WO2014208825A1 (ko) 산, 염기 및 독성가스 누출 감지를 위한 화합물의 제조방법 및 그 용도
KR102115800B1 (ko) 발색섬유를 이용한 유해물질 감지 방법
KR20230069555A (ko) 용액 누액 및 가스누출 여부 감지용 변색 센서 및 이를 이용한 용액 누액 및 가스누출 여부 확인방법
WO2017010786A1 (ko) 유해물질 누출 감지 시스템
KR102661424B1 (ko) 누설 검출장치
KR102115797B1 (ko) 발색섬유를 이용한 유해물질 감지 시스템
JP6429274B2 (ja) 分析容器とその分析装置
CN107331799A (zh) Oled显示面板、母板及测试其切割区域和对其切割的方法
KR20230007746A (ko) 유입식 기기 누유 검출지 및 이를 이용한 누유 검출방법 평가방법
Stull et al. A review of overall integrity and material performance tests for the selection of chemical protective clothing
JPH07286929A (ja) 液漏れ検知法

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid