KR20000015890U - 공기 팽창식 오-링 - Google Patents

Abstract

본 고안은 공기 팽창식 오-링에 관한 것으로, 공기팽창부(11a)가 구비된 원형의 고무 링(11)과, 그 고무 링(11)의 일측에 연결설치되어 상기 공기팽창부(11a)의 내측으로 공기를 주입하기 위한 공기주입기(12)로 구성되어, 고무 링(11)을 오-링 홈(3)에 삽입시킬때는 공기를 빼고, 덮개(5)를 덮은 다음에는 공기를 주입하여 덮개(5)의 하면에 고무 링(11)의 상면이 밀착되도록 함으로써, 종래와 같이 덮개에 의하여 오-링의 돌출된 부분이 눌려서 손상되는 것을 방지하게 된다.

Description

공기 팽창식 오-링{AIR EXPANSION TYPE O-RING}

본 고안은 공기 팽창식 오-링에 관한 것으로, 특히 오-링에 눌림이 발생되는 것을 방지함과 아울러 덮개의 하면에 밀착되도록 함으로서 기밀이 누설되는 것을 방지하도록 하는데 적합한 공기 팽창식 오-링에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼 제조장비 중 "HP ENDURA"라고 불리우는 장비에 오-링이 사용된 예가 도 1에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하며 다음과 같다.

도시된 바와 같이, 종래에는 중앙에 관통공(1)이 형성되어 있는 소스장착판(2)의 관통공(1) 외측에는 오-링 홈(3)이 형성되어 있고, 그 오-링 홈(3)에 고무재질로된 원형의 오-링(4)이 삽입되며, 이와 같이 삽입된 오-링(4)의 상측에 덮개(5)가 덮히면서 덮개(5)의 하면에 오-링(4)이 눌리면서 밀봉되도록 되어 있다.

즉, 도 2a에 도시된 바와 같이, 오-링 홈(3)에 오-링(4)을 삽입한 상태에서 도 2b와 같이 덮개(5)를 덮으면 오-링(4)의 상면에 덮개(5)의 하면이 누르면서 밀착하게 되어 기밀이 유지되는 것이다.

그러나, 상기와 같은 종래의 오-링(4)은 덮개(5)가 덮이기 전에 오-링 홈(3)의 외측으로 돌출되어 있어서, 덮개(5)가 덮히면서 오-링(4)의 측면을 도 3과 같이 눌러서 손상시키는 경우가 종종 발생되고, 이와 같이 오-링(4)이 손상된 상태를 인지하지 못하고 공정을 계속진행하여 후작업에서 공정불량을 유발하는 문제점이 있었다.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 오-링을 공기팽창식으로 제작하여 덮개가 덮히기 전에는 공기를 빼고, 덮개가 덮인 다음에는 공기를 팽창시켜서 오-링의 눌림을 방지할뿐만 아니라, 기밀을 향상시키도록 하는데 적합한 공기 팽창식 오-링을 제공함에 있다.

도 1은 종래 오-링이 설치된 상태를 보인 분해사시도.

도 2a는 종래 오-링의 상측에 덮개가 덮이기 전 상태를 보인 단면도.

도 2b는 종래 오-링의 상측에 덮개가 덮인 상태를 보인 단면도.

도 3은 종래 오-링이 손상되는 상태를 보인 단면도.

도 4는 본 고안에 따른 오-링의 구조를 보인 사시도.

도 5a는 본 고안에 따른 오-링이 안착된 상태를 보인 단면도.

도 5b는 본 고안에 따른 오-링의 상측에 덮개가 덮인 상태를 보인 단면도.

도 5c는 오-링에 공기가 팽창된 상태를 보인 단면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

11 : 고무 링 11a : 공기팽창부

12 : 공기주입기

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 공기를 주입할 수 있는 공기팽창부가 내부에 형성된 원형의 고무 링과, 그 고무 링의 일측에 연결되어 상기 공기팽창부에 공기를 주입하기 위한 공기주입기를 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 공기 팽창식 오-링이 제공된다.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안 공기 팽창식 오-링을 첨부된 도면의 실시예를 참고하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 4는 본 고안에 따른 오-링의 구조를 보인 사시도로서, 도시된 바와 같이, 본 고안의 오-링은 내측에 공기팽창부(11a)가 형성되어 있는 원형의 고무 링(11)과, 그 고무 링(11)의 공기팽창부(11a)에 공기를 주입할 수 있도록 고무 링(11)의 일측에 연결설치되어 있는 공기주입기(12)로 구성되어 있다.

상기와 같이 구성되어 있는 공기 팽창식 오-링(13)의 사용예를 도면을 참고하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 5a와 같이 소스장착판(2)에 형성된 오-링 홈(3)에 본 고안에 따른 공기 팽창식 오-링(13)의 고무 링(11)을 삽입하되 고무 링(1)의 공기팽창부(11a)에 있는 공기를 빼내어 오-링 홈(3)의 외측으로 돌출되지 않도록 한다.

그런 다음, 상기와 같이 오-링 홈(3)에 고무 링(11)이 설치된 상태에서 도 5b와 같이 덮개(5)를 덮개되는데, 이때 고무 링(11)은 오-링 홈(3)의 외측으로 돌출되어 있지 않기 때문에 고무 링(11)의 상면에 덮개(5)의 하면이 접촉되지 않게 된다.

상기와 같은 상태에서 공기주입기(12)를 이용하여 고무 링(11)의 공기팽창부(11a)로 공기를 주입하면 도 5c와 같이 고무 링(11)이 팽창되면서 덮개(5)의 하면에 고무 링(11)의 상면이 밀착되어 기밀을 유지하게 된다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안 공기 팽창식 오-링은 공기팽창부가 구비된 원형의 고무 링과, 그 고무 링의 일측에 연결설치되어 상기 공기 팽창부의 내측으로 공기를 주입하기 위한 공기주입기로 구성되어, 고무 링을 오-링 홈에 삽입시킬때는 공기를 빼고, 덮개를 덮은 다음에는 공기를 주입하여 덮개의 하면에 고무 링의 상면이 밀착되도록 함으로써, 종래와 같이 덮개에 의하여 오-링의 돌출된 부분이 눌려서 손상되는 것을 방지하게 된다.

Claims (1)

1. 공기를 주입할 수 있는 공기팽창부가 내부에 형성된 원형의 고무 링과, 그 고무 링의 일측에 연결되어 상기 공기팽창부에 공기를 주입하기 위한 공기주입기를 구비하여서 구성되는 것을 특징으로 하는 공기 팽창식 오-링.