KR20000000951A - 반도체 제조라인의 물류자동화시스템 - Google Patents

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박상렬
김경호
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윤종용
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Abstract

본 발명은 반도체 제조라인에서의 물류의 이송을 자동화시킬 수 있는 반도체 제조라인의 물류자동화시스템에 관한 것이다.
본 발명의 반도체 제조라인의 물류자동화시스템은, 반도체소자를 제조할 수 있는 제조설비가 다수대 구비되는 반도체 제조라인에 있어서, 상기 제조설비들의 둘레를 따라서 웨이퍼를 이송시킬 수 있는 트랙이 상기 제조설비들이 인접하는 영역은 공유할 수 있도록 상기 제조설비들을 통합적으로 배치시키고, 상기 제조설비의 물류의 이송은 이송아암이 구비되는 버스를 이용하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 반도체 제조라인에서 물류의 이송을 효율적으로 운용함으로써 반도체소자의 제조에 따른 생산성이 향상되는 효과가 있다.

Description

반도체 제조라인의 물류자동화시스템
본 발명은 반도체 제조라인의 물류자동화시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조라인에서의 물류의 이송을 자동화시킬 수 있는 반도체 제조라인의 물류자동화시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자를 제조할 수 있는 반도체 제조라인(이하 '제조라인'이라 한다.)에서의 제조설비의 배치는 주로 단위공정의 수행을 위하여 각 단위공정의 특성에 따라 일련의 단위공정을 수행할 수 있는 제조설비들을 하나의 제조라인에 분류하여 배치시킨다.
이렇게 배치시킨 제조라인에서의 물류(특히, 웨이퍼를 말한다.)의 이송은 주로 작업자가 직접 수행하는 것이 일반적인 것으로써, 경우에 따라서 자동화를 위한 바코드(Bar Code) 혹은 데이터키인(Data Key-in) 등의 데이터를 리딩(Reading)하는 도구들을 이용하기도 한다.
그리고 상기 제조라인에서 부분적으로 웨이퍼 등과 같은 물류의 이송에 자동반송차(AGV : Auto Guided Vehicle) 등을 이용하고 있으나, 상기 제조라인에서의 제조설비의 배치가 기본적으로 작업자를 중심으로 배치하였기 때문에 상기 자동반송차의 효율적인 이용에는 그 한계가 있었다.
또한 상기 자동반송차 등을 이용한 물류의 이송은 주로 카세트(Cassette)를 이송의 단위로 하였기 때문에 웨이퍼가 상기 카세트에 풀(Full)이 되지 않은 상태에서도 이송이 이루어짐으로써 물류의 이송의 측면에서 비효율성을 드러내고 있다.
따라서 종래의 제조라인의 제조설비의 배치는 주로 작업자를 중심으로 이루어져 있었기 때문에 제조라인의 물류자동화를 구축하는데 있어서 그 한계가 있었다.
본 발명의 목적은, 제조라인에서의 물류의 자동화를 구현시키기 위한 반도체 제조라인의 물류자동화시스템을 제공하는 데 있다.
도1은 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 물류자동화시스템의 일 실시예를 나타내는 구성도이다.
도2는 도1에 구성되는 제조설비의 포트를 설명하기 위한 구성도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 제조설비 12 : 트랙
14 : 터미널 16 : 포트
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 물류자동화시스템은, 반도체소자를 제조할 수 있는 제조설비가 다수대 구비되는 반도체 제조라인에 있어서, 상기 제조설비들의 둘레를 따라서 웨이퍼를 이송시킬 수 있는 트랙이 상기 제조설비들이 인접하는 영역은 공유할 수 있도록 상기 제조설비들을 통합적으로 배치시키고, 상기 제조설비의 물류의 이송은 이송아암이 구비되는 버스를 이용하는 것을 특징으로 한다.
상기 제조설비들이 배치되는 양끝단에는 효율적인 물류의 이송을 위하여 상기 제조설비의 물류를 인/아웃시킬 수 있는 터미널이 구성되는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도1은 본 발명에 따른 반도체 제조라인의 물류자동화시스템의 일 실시예를 나타내는 구성도이고, 도2는 도1에 구성되는 제조설비의 포트를 설명하기 위한 구성도이다.
먼저, 도1은 반도체소자를 제조할 수 있는 제조설비(10)가 다수대 구비되는 반도체 제조라인을 나타내는 것으로써, 상기 제조설비(10)들의 둘레를 따라서 제조라인의 물류(특히, 웨이퍼를 말한다.)를 이송시킬 수 있는 경로인 트랙(Track)(12)이 구성되어 있는 상태를 나타내고 있다.
여기서 상기 트랙(12)은 상기 제조설비(10)들이 인접하는 영역은 공유할 수 있도록 상기 제조설비(10)들을 통합적으로 배치시킴으로써 확보할 수 있다.
이러한 본 발명의 트랙(12)을 확보하기 위한 제조설비(10)의 배치는 특별한 제한없이 배치할 수는 있지만, 도1에 도시된 바와 같이 상기 제조설비(10)의 둘레를 따라서 트랙(12)을 구성되도록 배치할 수 있고, 이는 작업자의 요구에 따라 유연하게 대처할 수 있다.
그리고 상기 제조설비(10)들이 배치되는 양끝단 즉, 상기 트랙(12)이 끝나는 지점에는 상기 물류를 인/아웃(In/Out)시킬 수 있는 터미널(Terminal)(14)이 구성될 수 있다.
이에 따라 본 발명에서는 상기 제조설비(10)의 물류의 이송을 이송아암이 구비되는 버스(Bus)(도시되지 않음)를 이용할 수 있다.
즉, 본 발명에서와 같이 제조설비(10)를 배치시킴으로써 종래와 같은 작업자 중심이 아닌 자동화장치인 버스(도시되지 않음)를 용이하게 이용할 수 있는 것이다.
여기서 상기 버스(도시되지 않음)를 이용한 물류의 이송은 주로 낱장단위의 웨이퍼로 이루어지고, 상기의 물류의 이송은 호스트컴퓨터(Host Computer)를 이용하여 실시간으로 제어할 수 있다.
또한 도2에 도시된 바와 같이 상기 제조설비(10)의 둘레를 따라서는 2군데의 인풋포트(Input Port)와 2군데의 아웃풋포트(Output Port) 등으로 이루어지는 포트(16)를 작업자가 임의로 설정하여 이용할 수 있다.
이에 따라 상기 물류의 이송시 상기 트랙(12)을 따라 버스(도시되지 않음)가 제조설비(10)를 통과할 때 상기 버스(도시되지 않음)의 이송아암을 이용하여 물류를 픽업(Pick Up)시켜 터미널(14)로 이송시킬 수 있다.
그리고 상기 제조라인에는 복수개의 버스(도시되지 않음)를 배치시킴으로써 이벤트(Event)가 발생한 제조설비(10)에서 가장 근접한 위치에 있는 버스(도시되지 않음)를 이용하여 물류의 이송을 수행할 수 있다.
또한 상기 버스(도시되지 않음)에는 자체적으로 N2분위기의 보관부를 구성시킴으로써 물류의 이송을 효율적으로 운용할 수 있다.
이러한 구성으로 이루어지는 본 발명은 제조라인에서의 물류의 이송을 위하여 상기 제조설비(10)들을 통합적으로 배치시키고, 이에 따라 버스(도시되지 않음) 등과 같은 자동화장치를 이용함으로써 상기 제조라인에서의 물류의 이송을 효율적으로 운용할 수 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 반도체 제조라인에서 물류의 이송을 효율적으로 운용함으로써 반도체소자의 제조에 따른 생산성이 향상되는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (2)

  1. 반도체소자를 제조할 수 있는 제조설비가 다수대 구비되는 반도체 제조라인에 있어서,
    상기 제조설비들의 둘레를 따라서 웨이퍼를 이송시킬 수 있는 트랙(Track)이 상기 제조설비들이 인접하는 영역은 공유할 수 있도록 상기 제조설비들을 통합적으로 배치시키고, 상기 제조설비의 물류의 이송은 이송아암이 구비되는 버스(Bus)를 이용하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조라인의 물류자동화시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제조설비들이 배치되는 양끝단에는 상기 제조설비의 물류를 인/아웃(In/Out)시킬 수 있는 터미널(Terminal)이 구성되는 것을 특징으로 하는 상기 반도체 제조라인의 물류자동화시스템.
KR1019980020907A 1998-06-05 1998-06-05 반도체 제조라인의 물류자동화시스템 KR20000000951A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9726419B2 (en) 2010-07-13 2017-08-08 Lg Electronics Inc. Cooling apparatus and refrigerator having the same

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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