KR19990088563A

KR19990088563A - 센서모듈및센서모듈의기능을감시하는방법

Info

Publication number: KR19990088563A
Application number: KR1019990019017A
Authority: KR
Inventors: 브로스팔드로타르; 장케랄프
Original assignee: 마이크로나스 인터메탈 게엠베하
Priority date: 1998-05-30
Filing date: 1999-05-26
Publication date: 1999-12-27
Also published as: DE59900196D1; US6424143B1; DE19824362A1; JP2000146991A; EP0962748B1; EP0962748A1

Abstract

본 발명의 센서 모듈(1)은 센서(2) 및 하나 이상의 측정 증폭기(3)를 가지며, 파워 서플라이 및 측정 출력신호를 위한 외부 접속단자를 가지고 있다. 센서 모듈에 있어서, 평가회로(6)는 적어도 하나의 내부 측정 포인트에 접속되어 있다. 상기 평가회로(6)는 센서 모듈의 외부 접속단자를 통해서 내부회로 측정값으로 부터 형성된 판단신호를 출력하기 위하여 공급 전류 및/또는 공급전원 및/또는 측정 출력신호를 변조하는 변조기(10)에 접속되어 있다.

Description

센서 모듈 및 센서 모듈의 기능을 감시하는 방법{Process for Monitoring the Function of a Sensor Module And a Sensor Module to Perform the Process}

본 발명은 솔리드 스테이트 집적회로로 구성되며 센서 및 하나 이상의 측정 증폭기를 가지며 파워 서플라이 및 측정 출력신호를 위하여 외부접속되는 센서 모듈 및 센서 모듈의 기능을 감시하는 방법에 관한 것이다.

센서 모듈은 특히 자장 의존 센서를 가진 모듈을 포함하고 있으나, 센서 모듈은 기타 센서 예를 들면 광센서, 압력센서 등을 사용할 수도 있다.

자장 센서(예를 들면 홀 센서)를 가진 센서 모듈은 특히 자동차 분야의 캠 샤프트/크랭크 샤프트 또는 ABS시스템에 사용되고 있다. 이들 시스템에서의 회전 운동은 예를 들면 회전 톱니 기어 및 센서 분야의 고정 마그네트의 결합을 통해서 DC 및 AC성분으로 이루어진 자화신호를 이끌어 낸다. 자기적으로 민감한 2개의 면을 가진 스테이틱 차동센서 또는 자기적으로 민감한 하나의 면을 가진 다이내믹 센서로 AC성분을 측정하여 회전 운동은 예를 들면 홀 효과에 의해 센서 모듈내의 슈미트 트리거 회로를 통해 측정 출력신호를 전압으로 변환한다.

상기 모듈이 대기 온도에서 동작할 때, 상기 모듈은 엔진 격실내에 설치할 수 있다. 마그네틱 영역의 AC 및 DC성분을 마그네트 센서부에서 변화시키도록 예를 들면 톱니 기어 - 마그네트 센서 - 마그네트의 이간 거리를 변화시킬 수 있다. 또한, 이것은 작동시간 중에 기계적 성분의 취약을 통해서 발생된다. 디지탈 출력을 가지는 센서 모듈내의 값이 스레소울드값 이하로 떨어질 경우, 이것은 외부 환경에 따른 AC성분의 떨어짐은 예를 들면 적용시에 기능을 급작스럽게 브랙다운으로 유도할 수 있다.

시스템의 이러한 브랙다운은 예를 들면 모터 제어에 있어서 매우 큰 손상을 초래하여 안전 상에 문제점이 있다. 이들 경우에 있어서 센서 자체의 기능은 블랙다운을 발생시키지 않으나, 대기 조건 대신에 센서 주위를 변화시킨다. 따라서, 측정 출력신호를 감시하는데 감시기능을 제한할 수 있으며, 그들이 센서 입력신호에 나타나게 된다.

본 발명은 상기 여러 가지 문제점을 감안해서 이루어진 것으로써, 본 발명의 목적은 감시 기능을 확장할 수 있으며, 또한 대기 조건의 변화를 인식서 블랙다운 전의 적절한 시간에 대책을 취할 수 있는 센서 모듈 및 센서 모듈의 기능을 감시하는 방법을 제공하는데 있다. 방법에 있어서, 센서 모듈의 비용 지출을 변화키지 않고 또 센서 모듈의 각 구조 형상을 지닐 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 공급 전류 및/또는 공급 전압 및/또는 측정 출력신호에 변조신호로서 센서 모듈내에 유용한 회로 측정값을 첨가시키는 스텝과, 판단신호로서 외부 접속단자를 통해 신호를 출력하는 스텝과, 아날로그 또는 디지탈 변조신호로서의 내부회로 측정값과 디지탈 변조신호로서 측정 출력신호 중 하나를 출력하거나 또는 디지탈 변조신호로서 내부회로 측정값 및 아날로그 값으로서 측정 출력신호를 출력하는 스텝으로 이루어진 것을 특징으로 한다.

내부 회로측정값을 사용하면, 센서 기능의 브랙다운 전에, 센서 모듈의 측정 조건 변화를 인식할 수 있으며, 즉 측정 출력신호전에 더 이상 평가할 수 없거나, 또는 더 이상 나타나지 않는다. 대기 조건의 변화를 감지하는 상기 내부 회로 측정값은 예를 들면 변조 신호로서 측정 출력신호에 첨가된다. 따라서, 대응하는 판단신호는 외측에 유용하다. 출력신호를 변조함으로서, 공급 전류 또는 공급 전압, 기능값이 선택적으로 변화되지 않고 남아있게 되어 측정기능 또는 측정 출력신호가 차단되지 않는다. 또한, 사용되는 판단신호의 출력을 위해서 접속단자를 사용할 수 있으며, 또한 센서 모듈의 구조 형상 및 그 접속특성이 변화되지 않는다는 이점이 있다.

편의적으로, 측정 디지탈 출력신호를 위하여 센서신호에 비례하는 적어도 하나 이상의 측정값은 회로 측정값으로서 수집되고, 또한 외부 접속단자를통해 판단값으로 출력된다. 상기 측정 디지탈 출력신호는 센서신호의 증폭도가 각각의 미리 설정된 스레소울드값을 초과할 경우에만 유용하다. 이 스레소울드값에 도달되지 않으면, 출력신호는 더 이상 방사되지 않으며, 급작스러운 브랙다운에 이르게 된다. 그러나, 본 발명에 따르면, 센서신호에 비례하는 측정값이 회로 측정값으로서 회로 내부에 수집되고, 센서신호의 증폭도 변화를 이용하여 브랙다운이 발생하기 전의 적절한 시간에 위험을 인식할 수 있어 그에 대응하는 대책을 취할 수 있다.

또한, 필요할 경우에는 상기 측정의 결합에 있어서 오프 셋 전압 또는 오프 셋 전류, 온도, 필터 상수 및 유사한 회로의 내부 동작 데이터들을 회로 측정값으로서 수집할 수 있으며, 외부 접속단자를 통해서 판단신호로서 출력할 수 있다. 또한, 이들 내부 회로 측정값에 있어서 외부 대기 조건을 인식할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 정밀한 제어 방법은 외부 접속 단자, 특히 인출변조 신호에 의해 외부로 부터 인출되는 판단 신호를 외부 접속단자를 통해 공급할 수 있다. 여러 가지 적용에 있어서, 대기 조건의 변화를 장시간의 시간간격에서만 예측되어서 특정 시간간격으로 판단값을 인출하는데 충분하다.

또한, 본 발명은 솔리드 스테이트 집적회로로 구성되고 센서 및 하나 이상의 측정 증폭기를 가진 센서 모듈에 관한 것으로서, 상기 센서 모듈은 적어도 파워 서플라이 및 측정 출력신호를 위한 외부 접속단자를 가지고 있다.

본 발명에 따른 센서 모듈은 회로의 적어도 하나의 내부 측정 포인트에접속되는 평가회로를 구비하고, 상기 평가회로는 센서 모듈의 외부 접속단자를 통해서 내부회로 측정값으로 부터 형성된 판단신호를 출력하기 위하여 공급 전류 및/또는 공급 전압 및/또는 측정 출력신호를 변조하도록 모듈레이터에 접속되어 있다.

본 발명에 따른 방법에 관련하여 이미 설명한 바와 같이 상기 센서 모듈에 있어서 외부 접속단자를 통해서 측정 출력신호를 별도로 하고 내부 회로 측정 포인트에 접근할 수 있으며, 그것을 통해서 측정값을 회로기능을 판단할 수 있다. 특히, 그 때문에, 회로가 동작하는 동작한계(안전 거리)를 인식할 수 있다. 그러므로, 작동기능의 브랙다운 전의 적절한 시간에 적절한 대책을 취할 수 있다. 측정량 또는 공급량에 대한 판단값 이상으로 변조함으로서, 부가적인 접속단자가 불필요하여 센서 모듈의 구조 형상 및 그 접속 형태를 그대로 유지할 수 있다. 주어진 적용에 있어서, 지금까지 사용되어 온 센서 모듈 대신에 본 발명에 따른 센서모듈을 회로 변경이 없이 대체할 수 있다.

본 발명에 따른 센서 모듈은 에미터로 부터 센서 또는 센서 모듈의 거리를 측정할 수 있음과 동시에, 회전 속도를 측정할 수 있다. 예를 들면, 센서 모듈은 ABS시스템과 함께 장착되어 자동차에 사용가능하며, 자동차의 림(rim)회전 속도가 자장 센서를 사용하여 측정된다. 휠 자체의 회전 속도를 가진 톱니의 회전 속도가 측정된다. 브레이크 라이닝의 마모는 브레이크 라이닝의 사용수명을 경과한 브레이크 실린더의 활성 경로를 크게 한다. 회전 속도 측정을 위하여 배설된 센서 위치와 함께 이 이동을 결합함으로서, 회전 운동 및 시간 경과에 따라 마모되는 브레이크 라이닝을 위한 거리 변화에 의해서 조정된 증폭도의 변화(AC 성분)를 싱글 센서를 사용하여 검출할 수 있다.

도 1은 센서모듈의 개략적인 블록도,

도 2 내지 도 4는 변조된 다른 진단 신호를 가진 측정 출력신호의 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1:센서 모듈 2:자장 센서

3:측정 증폭기 4:출력단

5:슈미트 트리거 6:평가회로

7:측정 입력신호 8:출력단

9:에미터 10:모듈레이터

11:접속단자 12:오프 셋 보상 유닛

13:필터회로 14:압력 측정 포인트

15:온도 측정 포인트 16:출력 측정신호

17,17a,17b:판단신호

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부 도면을 참조하면서 상세히 설명한다.

도 1은 자장(또는 자계)을 측정 또는 검출하는 기능을 가진 센서 모듈(1)을 도시한 블록도이다. 상기 센서 모듈(1)은 자장을 측정하기 위하여 자장센서(2)를 가지고 있다. 상기 자장센서(2)는 측정신호에 비례하여 증폭해서 증폭신호를 출력하도록 측정 증폭기(3)에 접속되어 있다. 상기 측정 증폭기(3)의 출력단(4)에는 슈미트 트리거(5)가 접속되어 있고, 이 슈미트 트리거(5)에서 증폭된 측정신호를 포메이션 및 디지탈화된다. 슈미트 트리거(5)의 출력신호는 지금까지 사용된 디지탈 센서 모듈(1)내에서 측정 출력신호가 형성된다.

상기 슈미트 트리거(5)는 입력전압이 일정 레벨을 초과하거나 또는 일정 레벨이하로 떨어질 경우에 하나의 안정상태로 부터 다른 안정상태로 변환시킨다. 지금, 측정 증폭기(3)의 출력단(4)에 나타나는 AC성분의 전압 증폭도가 변하면, 상기 슈미트 트리거(5)의 입력전압이 변하며, 상기 값이 특정 스레소울드 값이하로 떨어질 경우 상기 슈미트 트리거(5)는 더 이상 신호를 출력하지 않는다.

기능의 급작스러운 브랙다운을 단정하기 위하여 본 발명에 따른 센서 모듈(1)은 평가회로(6)를 구비하고 있고, 이 평가회로(6)는 회로의 하나 이상의 내부 측정 포인트에 접속되어 있다. 특히, 측정 입력신호(7)는 아날로그 회로 측정값을 방사하는 자장 센서(2)의 출력단(8)에 접속되어 있거나, 또는 측정 증폭기(3)의 출력단(4)에 접속되어 있다. 예를 들면, 상기 평가회로(6)에 의해 외부 에미터(9)에 "a"만큼의 거리를 변화시키기 위하여 자장 센서(2)의 출력단(8)에 나타나는 측정신호 또는 AC전압을 검출할 수 있다. 대기 조건이 변해서 예를 들면 에미터(9)와 자장 센서(2)사이의 거리가 "a"만큼 변하면 이들 측정 정보를 즉시 이용할 수 있다. 이와 같이 상기 슈미트 트리거(5)의 작동 한계에 도달하기 전의 적절한 시간에 반응할 수 있으며, 시스템의 급작스러운 브랙다운을 방지하기 위하여 대책을 세울 수 있다. 이러한 입력신호의 변화는 슈미트 트리거(5)의 동작 한계내에서 슈미트 트리거(5)의 출력에서 인식할 수 없다.

외측에 대해 평가회로(6)내에서 유용한 정보를 얻기 위하여 본 실시예에서 내부 검출값은 슈미트 트리거(5)의 출력신호에 평가회로(6)의 출력신호를 첨가하는 모듈레이터(10)에 모듈레이터 신호로서 주어진다. 또한 출력 측정신호를 위한 외측 접속단자(11)에 회로의 동작 포인트에 대해 즉시 결론을 내릴 수 있는 첨가된 판단 신호를 동일한 시간에 사용할 수 있다.

상기 평가회로(6)의 측정 입력신호를 회로의 내부 측정 포인트를 변화시키기 위하여 접속할 수 있다. 도 1에 도시한 본 발명의 실시예에서 오프 셋 보상 유닛(12)은 자장 센서(2)와 측정 증폭기(3)사이에 접속되어 있고, 상기 오프 셋 보상 유닛(12)에서 전압 또는 전류가 회로 측정값으로서 결정되어 평가회로(6)에 인가된다.오프 셋 보상의 감시는 회로의 내부 기능 상황에 도달할 수 있게 결정된다. 필터회로(13)의 감시를 위해 마찬가지로 평가회로(6)에 그 출력이 인가되도록 평가회로(6)에 필터회로(13)의 출력단이 접속되어 있어서 예를 들면 내부 동작 데이터로서 필터상수를 수집할 수 있다.

이들은 단지 내부 측정 포인트를 위한 단지 한 예에 지나지 않으며, 상기 측정 포인트에 평가회로(6)를 접속할 수 있다.

특히, 측정 포인트, 예를 들면 압력 측정 포인트(14) 및 온도 측정 포인트(15)를 평가회로(6)에 접속할 수 있음을 점선으로 표시하고 있다. 측정값은 설치위치에 따라 영향을 주고, 또 센서 모듈(1)의 설치방법은 회로의 기능에 불리한 조건으로 영향을 주기 때문에, 압력 측정 포인트(14)에 의해 제공되는 측정 데이터는 예를 들면 센서 모듈(1)의 설치 형태에 중대한 영향을 준다.

어떤 경우에 있어서도, 회로의 순간 작동 포인트에 도달하여야 할 것을 결정하는 정보는 판단 신호로서 주어진다. 따라서, 센서 모듈(1)의 작동한계를 향해서 움직이는 이들 변화를 센서 모듈(1)의 전체 브랙다운이 발생하기 전의 적절한 시간에 평가할 수 있다. 이와 같은 전체 브랙다운의 원인은 일반적으로 대기 조건 변화, 예를 들면 자장 센서(2)와 에미터(9)사이의 거리확대를 통해서 센서의 환경에서 추구하고 있었다.

도 2 내지 도 4는 디지탈 출력 측정신호(16)의 도면으로서, 디지탈 출력 측정신호(16)는 도 1에 도시한 센서 모듈(1)의 외부 접속단자(11)에 나타나는 신호이다. 도 2 내지 도 4에 있어서, 차동 변조 타입을 사용하여 출력 측정신호(16)에 판단신호(16)를 어떻게 첨가할 수 있는지를 도시하고 있다. 또한, 출력 측정신호(16)의 정보 내용은 판단신호(17)와 함께 변화됨이 없이 첨가된 상태로 남아있다는 것을 여기에서 충분히 나타내고 있고, 계속해서 사용할 수 있도록 남아있다.

도 2 내지 도 4에 있어서, 시간(t)은 x축상에 표시되어 있고, 전류 소모(I)는 y축상에 표시되어 있다. 이것은 센서 모듈에 대응하기 위하여 전류출력을 가진 하나를 포함하고 있다. 전압 출력을 가진 센서를 위하여 출력전압은 y축에 표시되어 있다 상기 출력 측정신호(16)는 전류레벨이 "로우레벨"과 "하이레벨"사이를 가변하는 구형파 출력신호이다.

도 2에 의하면, 아날로그 판단출력신호는 저레벨 전류의 변화를 통해서 공급되고 있다. 기준치로서 저레벨의 전류로 부터 두 개의 편차를 가진 점선으로 표시된 판단신호의 편차는 비례 판단값을 나타내고, 그것은 특정 측정 기능에 할당되어 있다. 예를 들면, 이들 비례 판단값은 자장 센서(2)와 에미터(9)사이의 "a"로 표시한 거리로 표시할 수 있다.

도 3에 있어서, 고레벨 전류의 비례 편차는 판단값으로 나타내도록 아날로그 판단신호(17a)에는 디지탈 출력 측정신호(16)에 첨가되어 있다. 또한, 아날로그 판단신호(17a)는 별도로 하고, 도 4에 도시한 바와 같이 디지탈 출력 측정신호(16)를 발생시킬 수 있다. 로우레벨 및/또는 하이레벨의 전류변화를 통해서 판단신호(17b)가 발생되도록 판단신호(17b)는 디지탈 출력 측정신호(16)에 첨가되어 있다.도 4에 도시한 출력 측정신호는 디지탈 판단정보로서 바이너리 시퀀스 011011을 포함하고 있다.

도시한 실시예에 있어서, 디지탈 출력 측정신호(16) 및 아날로그(도 2 및 도 3) 또는 디지탈 변조(도 4)된 출력 측정신호(16)를 발생한다. 그러나, 출력 측정신호가 아날로그 값으로서 출력가능함을 나타내고, 디지탈적으로 변조된다.

또한, 판단신호의 출력은 모든 종류의 변화에서 발생할 수 있으므로, 선형관계는 별도로 하고, 회로 내부 측정값과 외측으로 방사된 판단신호사이의 대수 또는 기타 비선형 기능을 제공할 수 있다.

도 1에 있어서, 센서 모듈(1)은 3핀(접속단자)을 가진 하우징을 도시하고 있으며, 도면에 있어서 출력 측정신호(16) 및 출력 측정신호(16)에 첨가된 판단신호는 외부 접속단자(11)에 나타난다. 다른 2개의 핀은 센서 모듈의 파워 서플라이에 연결되는 것이다.

또한, 본 발명은 2개의 핀을 가진 하우징을 실현할 수도 있으며, 2개의 핀을 가진 하우징에 있어서 출력 측정신호는 "고 전류 소모" 및 "저 전류 소모" 등의 2개의 동작 조건을 포함하고 있다.

도 2 내지 도 4에 관련해서 설명한 바와 같이 판단신호의 출력은 하이 레벨 또는 로우 레벨로의 변화에 의해 아날로그 또는 디지탈신호로서 발생한다. 도 1에 도시한 센서 모듈(1)에 있어서, 센서 모듈(1)은 솔리드 스테이트 집적회로를 포함하고, 상기 센서 모듈(1)에는 평가회로(6) 및 모듈레이터(10) 등의 인테그럴 콤포넌트를 구비하고 있다.

에미터(9)로 부터 자장 센서(2)의 거리를 동시에 측정하면서 자동차의 회전 속도를 측정하기 위한 센서 모듈(1)의 사용은 별도로 하고, 예를 들면 자동차의 휠 회전속도 및 브레이크 라이닝의 마모를 감시할 경우, 캠샤프트/크랭크샤프트 및 유사한 용도로 사용할 수 있는 것은 물론이다. 이들 모두에 적용함에 있어서, AC성분 및 AC/DC 비를 악화시키는 변화는 판단신호를 사용해서 측정할 수 있다. 제어기 모듈과 함께 배선함으로써, 시스템의 기능 상황 및 성능에 대해 유용하게 할 수 있다. 메카니컬 성분의 취약을 확실하게 방지할 수 없으나, 브랙다운 전에 적절한 측정을 유도하기 위하여 예를 들면 자장 AC성분의 측정을 사용해서 센서의 브랙다운을 즉시 예측 가능하다.

앞에서 특정 실시예를 들어서 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 발명의 개념을 이탈하지 않는 범위내서 변형시킬 수 있음은 물론이며, 본 발명은 청구범위에 한정된 바와 같이 발명의 개념 및 범위내에서 변경할 수 있다.

Claims

센서 및 하나 이상의 측정 증폭기를 가진 솔리드 스테이트 집적회로로 구성되며, 하나 이상의 파워 서플라이 및 측정 출력신호를 위한 접속단자를 가지는 센서 모듈의 기능 감시 방법에 있어서,

공급 전류 및/또는 공급전원 및/또는 측정 출력신호(16)에 변조신호로서 센서 모듈내에 유용한 회로 측정값을 첨가시키는 스텝과,

판단신호(17,17a,17b)로서 외부 접속단자를 통해 신호를 출력하는 스텝과,

아날로그 또는 디지탈 변조신호로서의 내부회로 측정값과 디지탈 변조신호로서 측정 출력신호 중 하나를 출력하거나 또는 디지탈 변조신호로서 내부회로 측정값 및 아날로그 값으로서 측정 출력신호를 출력하는 스텝으로 이루어진 것을 특징으로 하는 센서 모듈의 기능을 감시하는 방법.
제1항에 있어서, 디지탈 측정신호를 위해 상기 센서신호에 비례하는 하나 이상의 측정값을 회로측정값으로 수집하고, 외부 접속단자를 통해서 판단신호로서 출력하고 있는 것을 특징으로 하는 센서 모듈의 기능을 감시하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 회로의 오프 셋 전압, 오프 셋 전류, 온도, 필터상수 및 이와 유사한 내부동작 데이터를 회로 측정값으로서 수집하여 외부 접속단자를 통해 판단신호로서 출력하는 것을 특징으로 하는 센서 모듈의 기능을 감시하는 방법.
제2항에 있어서, 상기 판단 신호는 외부 접속단자를 통해 외부로 인출하는 것을 특징으로 하는 센서 모듈 및 센서 모듈의 기능을 감시하는 방법.
센서 및 하나 이상의 측정 증폭기를 가진 솔리드 스테이트 집적회로로 구성되며, 하나 이상의 파워 서플라이 및 측정 출력신호를 위한 외부 접속단자를 가지는 센서 모듈에 있어서,

회로의 내부 측정 포인트에 접속되는 평가회로(6)를 구비하고, 상기 평가회로(6)는 외부 접속단자(11)를 통해서 내부 회로 측정값으로 부터 형성된 판단신호(17,17a,17b)를 출력하기 위하여 공급 전류 및 또는 공급 전압 및/또는 측정 출력신호를 변조하기 위하여 모듈레이터(10)에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 센서 모듈.
제5항에 기재한 센서 모듈에 디지탈 측정 출력신호(16)를 형성하기 위하여 측정 증폭기(3) 후단에 접속된 슈미트 트리거(5)를 추가로 포함하고, 상기 평가회로(6)는 아날로그 회로 측정값을 보내는 센서출력 및/또는 상기 측정 증폭기(3)에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 센서 모듈.
제5항에 있어서, 상기 평가회로(6)는 오프 셋 보상 유닛(12) 및/또는 필터(13) 및/또는 온도 센서에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 센서 모듈.
제5항에 있어서, 상기 판단신호(17,17a,17b)는 외부 접속단자를 통해 공급되는 변조신호를 사용하는 외주 접속단자를 통해서 외부로 인출할 수 있으며, 상기 평가회로(6)는 변조신호를 수신하며, 판단신호를 트리거하거나 또는 판단신호로 변환하는 평가 로직 시스템을 가지는 것을 특징으로 하는 센서 모듈.
제5항에 있어서, 상기 판단신호(17,17a,17b) 및/또는 변조신호는 아날로그신호 또는 디지탈신호로 나타나는 것을 특징으로 하는 센서 모듈.
제5항에 있어서, 상기 평가회로(6)는 솔리드 스테이트 집적회로의 인테그럴 콤포넌트인 것을 특징으로 하는 센서 모듈.
자장 센서(2) 또는 에미터(9)로 부터 센서 모듈(1)의 거리 측정과 동시에 회전 속도를 측정하는 청구항 제5항에 따른 사용방법.