KR19990088445A - 탄성표면파필터장치,듀플렉서및통신장치 - Google Patents

탄성표면파필터장치,듀플렉서및통신장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 탄성 표면파 필터장치는, 복수개의 단면 반사형(edge-reflection type) 탄성 표면파 장치로 구성되며, 서로 전기적으로 직렬로 접속되어 있는 복수단의 다중모드(multi-mode) 필터를 포함하고 있다. 이 복수단의 다중모드 필터는 공통 압전기판 상에서 탄성 표면파의 전파 방향에 실질적으로 수직한 방향으로 연장하도록 모두 형성되어 있다. 이 복수단의 다중모드 필터의 각 단들(stages) 사이에 접지전극이 배치되어 있다.

Description

탄성 표면파 필터장치, 듀플렉서 및 통신장치{Surface Acoustic Wave Filter Apparatus, Duplexer and Communications Apparatus}
본 발명은 단면 반사형(edge-reflection type) 탄성 표면파 장치로 구성되는 복수개의 다중모드(multi-mode) 필터를 포함하고 있는 탄성 표면파 필터장치에 관한 것으로, 보다 상세히하면, 복수개의 다중모드 필터의 배열 및 구조를 개선시킴에 따라 최소의 본딩 와이어(bonding wire)로 접속이 가능한 극히 소형의 탄성 표면파 필터장치, 듀플렉서 및 통신장치에 관한 것이다.
종래에는, 휴대전화 등의 이동통신 장치에 대역필터로서, 복수개의 단면 반사형 탄성 표면파 장치를 포함하고 있는 다중모드 필터가 사용되었다. 이러한 다중모드 필터의 종류로서, 러브파(Love wave), 압전표면 전단파 (piezoelectric surface shear wave) 등의 SH-타입(type)의 탄성 표면파를 이용하여 작동되는 단면 반사형 표면파 공진자가 전기적으로 직렬로 접속되어 있는 횡결합형(transversally coupled) 다중모드 필터, 및 단면 반사형 탄성 표면파 공진자가 음향적으로 (acoustically) 직렬로 배열되어 있는 종결합형(longitudinally coupled) 다중모드 필터가 인지되고 있다.
이러한 다중모드 필터의 통과대역폭 및 감쇠특성이 개선되도록, 이러한 종류의 복수개의 다중모드 필터가 종종 다단으로 접속되어 있다.
도 8은 3단의 횡결합형 다중모드 필터가 전기적으로 직렬로 접속되어 있는 종래의 탄성 표면파 필터장치의 한 예를 도시하는 평면도이다.
탄성 표면파 필터장치 101은 횡결합형의 다중모드 필터 102, 103, 104를 포함하고 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 입출력 포트 105와 106 사이에 3개의 다중모드 필터 102, 103, 104가 본딩 와이어 107를 사용하여 전기적으로 직렬로 접속되어 있다.
각 횡결합형의 다중모드 필터 102, 103, 104는 압전기판 102x, 103x, 104x 상에 각각 형성된 2개의 인터디지탈 전극 트랜스듀서(interdigital electrode transducer: 이하 IDT라 한다)를 포함하여, 2개의 단면 반사형 공진자를 구성한다. 일반적으로, 하나의 IDT는 복수개의 전극핑거(electrode finger) 및 이 복수개의 전극핑거의 한 단에 각각 접속되어 있는 버스바(bus bar)를 가지고 있는 한쌍의 빗형상의 전극을 포함하고 있다. 부가하여, 이 한쌍의 빗형상 전극은, 빗형상 전극의 전극핑거가 서로 교차되어 맞물려 있도록 배열되어 있다.
그러나, 각 다중모드 필터 102, 103, 104에 있어서, 첫 번째 IDT의 빗형상 전극 및 두 번째 IDT의 빗형상 전극은 버스바를 분할하도록, 또는 일체화된 버스바를 구성하도록 배열된다. 그 결과, 각 다중모드 필터 102, 103, 104는 실제적으로 3개의 빗형상 전극을 가지고 있게 된다. 즉, 2개의 빗형상 전극이 이 2개의 빗형상 전극들 사이에 배치된 한 버스바 및 이 버스바의 양측에 배치된 전극핑거를 가지고 있는 한 빗형상 전극을 사이에 두고 배치되도록, 그리고 이 2개의 각 빗형상 전극쪽으로 연장하게 형성되도록, 이 2개의 빗형상 전극은 이 2개의 빗형상 전극의 버스바가 서로 평행하게, 그리고 이 2개의 빗형상 전극의 전극핑거가 버스바들 사이의 내부로 연장하게 형성되어 있다. 이러한 구성의 결과, 각 다중모드 필터의 2개의 단면 반사형 공진자는 전기적으로 직렬로 접속되어 있다. 각 다중모드 필터의 한 IDT에 신호가 입력될 때, 정재파가 발생되고, 이 정재파를 토대로 하는 출력 신호가 다른 IDT로부터 출력된다. 공진 주파수가 각기 다른 정재파의 고차 모드도 또한 발생되므로, 각 다중모드 필터는 필터 특성을 나타낸다.
도 9는 종결합형의 다중모드 필터가 전기적으로 직렬로 2단으로 접속되어 있는 종래의 탄성 표면파 필터장치의 한 예를 도시하는 평면도이다.
탄성 표면파 필터장치 111은 종결합형의 다중모드 필터 112, 113을 포함하고 있다. 도 9에 도시된 바와 같이, 입출력 포트 115와 116 사이에 2개의 다중모드 필터 112, 113이 본딩 와이어 117를 사용하여 전기적으로 직렬로 접속되어 있다.
각 다중모드 필터 112, 113은 압전기판 112x, 113x 상에 각각 형성된 2개의 IDT를 포함하고 있다. 각 IDT는 복수개의 전극핑거 및 이 복수개의 전극핑거의 한 단에 각각 접속되어 있는 버스바를 가지고 있는 한쌍의 빗형상의 전극을 포함하고 있다. 부가하여, 이 한쌍의 빗형상 전극은, 빗형상 전극의 전극핑거가 서로 교차되어 맞물려 있도록 배열되어 있다.
각 다중모드 필터 112, 113에서, 2개의 IDT는 탄성 표면파가 전파하는 방향으로 배열되어 있다. 각 다중모드 필터의 한 IDT에 신호가 입력될 때, 정재파가 발생되고, 이 정재파를 토대로 하는 출력 신호가 다른 IDT로부터 출력된다. 공진 주파수가 각기 다른 정재파의 고차 모드도 또한 발생되므로, 각 다중모드 필터는 필터 특성을 나타낸다.
종래의 탄성 표면파 필터장치 101, 111에서는, 개별의 압전기판 102x∼104x, 112x, 113x 상에 다중모드 필터 102∼104, 112, 113이 형성되어 있다. 그러므로, 다중모드 필터 102∼104, 112, 113은 본딩 와이어를 사용하여 서로 접속될 필요가 있으며, 이로 인해 제조공정이 복잡해진다.
또한, 단면 반사형 공진자에서, 압전기판의 단면은 단면 반사형 공진자가 정확하게 작동하도록, 고정확도로 형성될 필요가 있다. 이들 단면은 다이싱(dicing) 공정에 의해 압전기판을 절단함으로써 형성되므로, 이 다이싱 공정이 각 압전기판마다 고정확도로 수행될 필요가 있다. 그 결과, 다이싱 공정이 다수번 상당한 주의를 요하면서 수행될 필요가 있으며, 이로 인해 제조공정이 복잡해진다.
부가하여, 다중모드 필터들 사이의 전자기적 상호 간섭을 방지하도록, 각 압전기판은 서로 일정한 거리를 두고 떨어져서 배치되어 있으며, 이로 인해 탄성 표면파 필터장치 자체의 소형화가 어려워진다.
상술한 문제점을 극복하기 위해서, 본 발명의 바람직한 구현예들은, 다중모드 필터들 사이의 전자기적 상호 간섭이 대폭 저하되고, 다이싱 공정이 간단하게 구성된 소형의 저렴한 탄성 표면파 필터장치를 제공한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 제 1 구현예에 따른 탄성 표면파 필터장치의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 제 1 구현예의 제 1 변형예에 따른 탄성 표면파 필터장치의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 제 1 구현예의 제 2 변형예에 따른 탄성 표면파 필터장치의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 제 1 구현예의 제 3 변형예에 따른 탄성 표면파 필터장치의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 제 1 구현예의 제 4 변형예에 따른 탄성 표면파 필터장치의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 제 2 구현예에 따른 듀플렉서의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 제 3 구현예에 따른 통신장치의 블록도(block diagram)이다.
도 8은 종래 탄성 표면파 필터장치의 평면도이다.
도 9는 또 다른 종래 탄성 표면파 필터장치의 평면도이다.
<도면의 부호에 대한 간단한 설명>
1 ... 탄성 표면파 필터장치
2, 3, 4 ... 다중 모드 필터
1x ... 압전기판 5, 6 ... 입출력 포트
7 ... 스트립선로 8 ... 접지전극
9 ... 접속전극 51 ... 듀플렉서
61 ... 통신장치
본 발명의 한 바람직한 구현예에 따르면, 탄성 표면파 필터장치는 단면 반사형 공진자로 구성되며, 서로 전기적으로 직렬로 접속되어 있는 복수단의 다중모드 필터를 포함하고 있다. 상기 복수단의 다중모드 필터는 공통 압전기판 상에서 자신의 내부에서 발생되는 탄성 표면파의 전파 방향에 실질적으로 수직한 방향으로 연장하도록 형성되어 있으며, 상기 복수단의 다중모드 필터의 각 단들 사이에는 접지전극이 형성되어 있다.
이 탄성 표면파 필터장치에서, 상기 복수단의 다중모드 필터 중의 적어도 하나의 다중모드 필터는 횡모드 또는 종모드로 결합되어도 된다.
상술한 바람직한 구현예들에 따른 탄성 표면파 필터장치의 소자들의 구성 및 배열로 다중모드 필터들 사이의 전자기적 상호 간섭이 대폭으로 저하되고, 기판 단면의 다이싱 공정에 요구되는 시간 및 복잡성이 대폭으로 저하된다.
상기 접지전극은 바람직하게 상기 복수개의 다중모드 필터의 단들 사이의 공간의 적어도 약 1/2 이상을 점유하고 있다. 그 결과, 다중모드 필터들 사이의 전자기적 상호 간섭을 저하시키는 것이 가능하다.
상기 접지전극들은 접속전극에 의해 함께 접속되어도 된다. 그 결과, 접지전극을 접지시키는 영역은 낮은 저항의 영역으로 선택될 수 있다.
상기 복수개의 다중모드 필터의 내부단들은 상기 다중모드 필터를 구성하는 인터디지탈 트랜스듀서의 틈(apperture)보다 긴것이 바람직하다. 그 결과, 다중모드 필터들 사이의 전자기적 상호 간섭이 거의 완벽하게 제거될 수 있다.
상기 복수개의 다중모드 필터의 인터디지탈 트랜스듀서의 일부분을 분할하여도 되고, 이 분할된 부분에서, 상기 복수개의 다중모드 필터의 인터디지탈 트랜스듀서의 접지측은 접지전극에 복수개의 부분들이 접속되어도 된다.
본 발명을 설명하기 위해서, 본 발명에 여러 형태의 도면을 도시하고 기술하였지만, 이 도면의 특정한 배열과 구성으로만 본 발명이 제한되는 것은 아니다.
이하, 본 발명의 바람직한 구현예들을 도면을 참조하여 설명한다.
본 발명의 바람직한 제 1 구현예를 도 1을 참조하여 설명할 것이다.
탄성 표면파 장치 1은, 바람직하게 복수개의 횡결합형의 다중모드 필터 2, 3, 4를 포함하고 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 입출력 포트 5와 6 사이에 3개의 다중모드 필터 2, 3, 4가 스트립선로(strip line) 7에 의해 전기적으로 직렬로 접속되어 있다.
각 다중모드 필터 2, 3, 4는 단일의 공통 압전기판 1x 상에 형성된 2개의 IDT를 포함하고 있다. 각 IDT가 단면 반사형 공진자를 구성하므로, 2개의 단면 반사형 공진자가 전기적으로 직렬로 접속되어, 상응하는 다중모드 필터를 구성하며, SH-타입의 탄성 표면파로서 압전표면 전단파가 사용될 수 있다.
또한, 다중모드 필터 2, 3, 4의 단(stage)들 사이에는, 스트립선로 7과 전기적으로 절연되어 있는 접지전극 8이 형성되어 있다. 접지전극 8은 접속전극 9에 의해 다중모드 필터 2, 3, 4의 IDT의 접지측에 접속되어 있다. 그러므로, 압전기판 1x 상의 접지전극 8과 다중모드 필터 2, 3, 4의 IDT의 접지측은 모두 단일 구조로 접속되어 있다. 이 구조는 다중모드 필터 2, 3, 4의 단들 사이에 형성되어 있는 접지전극 8의 위치에서 본딩 와이어 또는 페이스-다운 본딩(face-down bonding)을 사용하여, 회로기판의 접지전극과 케이스의 접지단자에 접지되어 있다.
상술한 바와 같이, 본 바람직한 구현예에서는, 다중모드 필터 2, 3, 4가 탄성 표면파의 전파 방향과 실질적으로 수직한 방향으로 단일의 공통 압전기판 상에 형성되어 있으며, 이에 의해 압전기판에서 수행되는 다이싱 공정의 회수가 줄어들며, 제조공정이 대폭 간단하게 된다.
또한, 본 바람직한 구현예에서는, 다중모드 필터 2, 3, 4가 스트립선로 7에 의해 전기적으로 직렬로 접속되어 있으므로, 다중모드 필터의 접속에 본딩 와이어가 불필요하게 되어, 접합 작업에 수반되는 시간 및 어려움이 줄어든다.
게다가, 본 바람직한 구현예에서는, 다중모드 필터 2, 3, 4의 단들 사이에 접지전극 8이 배치되어 있다. 이에 의해, 다중모드 필터 2, 3, 4 사이의 전자기적 상호 간섭이 대폭으로 저하될 수 있다.
접지전극 8이 다중모드 필터 2, 3, 4 사이의 전자기적 상호 간섭을 저하시킬 수 있음에 따라, 접지전극 8이 스트립선로 7로부터 절연되기만 하면, 압전기판 1x의 가능한 큰 영역을 접지전극 8로 피복하는 것이 바람직하다. 그러나, 다중모드 필터들 사이에서 발생되는 작은 전자기적 상호 간섭은 필터에 손상을 주지 않으므로, 접지전극 8이 다중모드 필터들의 단들 사이의 면적의 1/2 이상을 점유하기만 하면, 이 장치는 탄성 표면파 필터장치로서 충분한 기능이 있다.
또한, 접지전극 8이 다중모드 필터 2, 3, 4 사이의 전자기적 상호 간섭을 저하시킨다는 점을 고려하여, 탄성 표면파의 전파 방향과 실질적으로 수직한 방향으로 접지전극 8의 폭이 크면 클수록 좋다. 접지전극 8이 다중모드 필터 2, 3, 4의 IDT의 틈(교차폭)보다 적어도 크기만 하면, 다중모드 필터 2, 3, 4 사이의 전자기적 상호 간섭을 거의 완벽하게 제거하는 것이 가능하다.
본 바람직한 구현예에서는, 회로기판의 접지전극과 케이스의 접지단자가 접지전극 8의 위치에서 접지되며, 이에 의해 접지전극과 접지단자를 저항이 작고 안정적으로 접지시킬 수 있다.
이 점에서, 도 1에 도시된 4개의 접지전극 8이 모두 접지되는 것이 바람직하다. 그렇지만, 4개의 접지전극 8 중의 한개만 접지되는 경우에도, 감쇠 특성이 약간 저하되긴하지만, 탄성 표면파 필터장치는 원하는 특성을 만족하게 된다.
도 1에서, 탄성 표면파를 반사하는 기판 단면의 근방에 접속전극 9가 배치되어 있고, 접지전극 8은 다중모드 필터 2, 3, 4의 IDT의 접지측에 접속되어 있다. 그러나, 본 발명이 이 구성으로만 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 기판 단면으로부터 거리를 두고 떨어져 있는 위치에 접속전극 9가 형성되어도 된다.
이하에서는, 본 발명의 제 1 바람직한 구현예의 변형예를 도 2 및 도 3을 참조하여 설명할 것이다. 도 2는 본 발명의 바람직한 제 1 구현예의 제 1 변형예의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 바림직한 제 1 구현예의 제 2 변형예의 평면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 탄성 표면파 필터장치 11은 횡결합형의 다중모드 필터 12, 13, 14를 포함하고 있다. 입출력 포트 15, 16 사이에는 3개의 다중모드 필터 12, 13, 14가 스트립선로 17을 사용하여, 전기적으로 직렬로 접속되어 있고, 단일의 공통 압전기판 11x 상에 형성되어 있다.
다중모드 필터 12, 13, 14의 단들 사이에는, 스트립선로 17과 전기적으로 절연되어 있는 접지전극 18이 형성되어 있다. 접지전극 18은 접속전극 19에 의해 다중모드 필터 12, 13, 14의 IDT의 접지측에 접속되어 있다.
또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 탄성 표면파 필터장치 21은 횡결합형의 다중모드 필터 22, 23, 24를 포함하고 있다. 입출력 포트 25와 26 사이에는 3개의 다중모드 필터 22, 23, 24가 스트립선로 27을 사용하여, 전기적으로 직렬로 접속되어 있고, 단일의 공통 압전기판 21x 상에 형성되어 있다.
다중모드 필터 22, 23, 24의 단들 사이에는, 스트립선로 27과 전기적으로 절연되어 있는 접지전극 28이 형성되어 있다. 접지전극 28은 접속전극 29에 의해 다중모드 필터 22, 23, 24의 IDT의 접지측에 접속되어 있다.
도 2 및 도 3에 도시된 구조는 도 1의 탄성 표면파 필터장치 1과 동일한 효과를 얻게 한다.
또한, 도 1의 다중모드 필터에 있어서, 가는 접속전극의 저항성분이 문제가 되는 경우, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, IDT의 일부분을 분할하고, 이 분할된 부분에서 다중모드 필터의 IDT의 접지측을 접지전극 28에 접속시킴으로써, 접속전극의 수를 감소시킬 수 있다. 이에 의해, 문제가 되는 저항성분이 저하된다.
아울러, 도 1의 다중모드 필터에 있어서, 접속전극의 전극폭이 압전기판의 다이싱의 정밀도에 따라 변동된다. 이 접속전극의 전극폭에서의 변동이 문제가 되는 경우, 도 3에 도시된 바와 같이, IDT의 일부분을 분할하고, 이 분할된 부분에서만 다중모드 필터의 IDT의 접지측을 접지전극 28에 접속시킴으로써, 이 전극폭의 변동에 대한 문제가 제거될 수 있다.
다음으로, 본 발명의 바람직한 제 1 구현예의 제 3 변형예를 설명할 것이다. 도 4는 본 발명의 바람직한 제 1 구현예의 제 3 변형예를 도시하는 탄성 표면파 필터장치의 평면도이다.
탄성 표면파 장치 31은 종결합형의 다중모드 필터 32, 33을 포함하고 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 입출력 포트 35와 36 사이에 2개의 다중모드 필터 32, 33이 스트립선로 37에 의해 전기적으로 직렬로 접속되어 있다.
각 다중모드 필터 32, 33은 단일의 공통 압전기판 31x 상에 형성된 2개의 IDT를 포함하고 있다. 각 IDT가 전기적으로 직렬로 접속되어 있는 단면 반사형 공진자를 구성하므로, SH-타입의 탄성 표면파로서 압전표면 전단파가 사용될 수 있다.
다중모드 필터 32, 33의 단들 사이에는, 스트립선로 37과 전기적으로 절연되어 있는 접지전극 38이 형성되어 있다. 접지전극 38은 다중모드 필터 32, 33의 IDT의 접지측에 접속되어 있다.
상술한 독특한 배열 및 구성으로, 종결합형의 다중모드 필터를 가지고 있는 탄성 표면파 필터장치는, 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한 바람직한 제 1 구현예의 횡결합형의 다중모드 필터를 가지고 있는 탄성 표면파 필터장치와 동일한 효과를 얻는다.
다음으로, 본 발명의 바람직한 제 1 구현예의 제 4 변형예를 설명할 것이다. 도 5는 본 발명의 바람직한 제 1 구현예의 제 4 변형예를 도시하는 탄성 표면파 필터장치의 평면도이다.
탄성 표면파 장치 41은 횡결합형의 다중모드 필터 42, 44 및 종결합형의 다중모드 필터 43을 포함하고 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 입출력 포트 45와 46 사이에 횡결합형의 다중모드 필터 42, 종결합형의 다중모드 필터 43 및 횡결합형의 다중모드 필터 44가 스트립선로 47에 의해 전기적으로 직렬로 접속되어 있고, 단일의 공통 압전기판 41x 상에 형성되어 있다.
또한, 다중모드 필터 42, 43, 44의 단들 사이에는, 스트립선로 47과 전기적으로 절연되어 있는 접지전극 48이 형성되어 있다. 접지전극 48은 다중모드 필터 42, 43, 44의 IDT의 접지측에 접속되어 있다.
상술한 독특한 배열 및 구성으로, 횡결합형의 다중모드 필터와 종결합형의 다중모드 필터를 조합시켜 구성한 탄성 표면파 필터장치는, 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명한 바람직한 제 1 구현예의 탄성 표면파 필터장치와 동일한 효과를 얻는다.
다음으로, 본 발명의 바람직한 제 2 구현예에 대해서 설명할 것이다. 도 6은 본 발명의 바람직한 제 2 구현예의 평면도이다.
듀플렉서 51은 횡결합형의 다중모드 필터 52a, 52b, 53a, 53b를 포함하고 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 입출력 포트 55와 56a 사이에 2개의 다중모드 필터 52b, 52a가 스트립선로 57에 의해 전기적으로 직렬로 접속되어 있다. 또한, 입출력 포트 55와 56b 사이에 2개의 다중모드 필터 53a, 53b가 스트립선로 57에 의해 전기적으로 직렬로 접속되어 있다. 각 다중모드 필터 52a, 52b, 53a, 53b는 한 압전기판 51x 상에 형성된 2개의 IDT를 포함하고 있다.
다중모드 필터 52a와 52b의 사이 및 다중모드 필터 53a와 53b의 사이에는, 스트립선로 57과 절연되어 있는 접지전극 58이 형성되어 있다. 다중모드 필터 52b와 53a의 사이에도 접지전극 58이 형성되어 있다.
접지전극 58은 접속전극 59에 의해 다중모드 필터 52a, 52b, 53a, 53b의 IDT의 접지측에 접속되어 있다.
본 바람직한 구현예는 도 1 내지 도 5를 참조하여 설명한 바람직한 제 1 구현예의 탄성 표면파 필터장치와 동일한 효과를 얻는다.
다음으로, 본 발명의 바람직한 제 3 구현예에 대해서 설명할 것이다. 도 7은 본 발명의 바람직한 제 3 구현예를 도시하는 통신장치의 평면도이다. 또한, 도 6에 도시된 부재와 동일하게 설계된 부재에는 동일한 참조부호를 부여하며, 그에 대한 설명은 생략한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 통신장치 61은 신호 수신에 사용되는 탄성 표면파 필터장치 53a, 53b, 및 신호 송신에 사용되는 탄성 표면파 필터 52b, 52a를 가지고 있는 듀플렉서 51를 포함하고 있다. 듀플렉서 51의 입출력 포트 55는 안테나 65에 접속되어 있고, 입출력 포트 56b는 수신회로에 접속되어 있으며, 입력단자 56a는 송신회로에 접속되어 있다.
본 발명의 바람직한 제 1 및 제 2 구현예에 있어서, 단면 반사형 탄성 표면파 공진자의 탄성 표면파를 반사하는 단면은 마더보드(mother board)를 다이싱 공정으로 절단하여 형성되었다. 그러나, 본 발명이 이 방법으로만 한정되는 것은 아니고, 다이싱 등의 공정을 사용하여 홈과 홀을 형성한 후에, 각 압전기판을 다이싱 등의 공정을 사용하여 절단하는 것도 가능하다.
이제까지 상술한 바와 같이, 본 발명에 있어서, 다중모드 필터를 공통 압전기판 상에서 탄성 표면파의 전파 방향에 실질적으로 수직한 방향으로 연장하도록 형성시킴으로써, 압전기판에서 수행되는 다이싱 공정의 회수가 대폭 줄어들어, 제조공정이 간단해진다.
또한, 본 발명에 있어서, 다중모드 필터를 스트립선로에 의해 전기적으로 직렬로 접속시킴으로써, 다중모드 필터의 접속에 본딩 와이어가 불필요하게 되어, 필터의 접합 작업이 간단해진다.
아울러, 본 발명에 있어서, 다중모드 필터의 단들 사이에 접지전극이 형성되됨으로써, 다중모드 필터들 사이에서 전자기적 상호 간섭이 저하된다.
본 발명에서는, 본 발명의 바람직한 구현예들을 하기 특허청구범위의 청구범위 내에서 첨부된 도면을 참조하여, 특정하게 도시하고 기술하였지만, 당업자들에게는 본 발명이 본 발명의 범위 내에서 다양하게 변화, 변형될 수 있다는 것이 인지되어 있다.

Claims (21)

  1. 압전기판;
    복수개의 단면 반사형(edge-reflection type) 탄성 표면파 장치로 구성되며, 서로 전기적으로 직렬로 접속되어 있고, 상기 압전기판 상에서 자신의 내부에서 발생되는 탄성 표면파의 전파 방향에 실질적으로 수직한 방향으로 연장하도록 모두 형성되어 있는 복수단의 다중모드(multi-mode) 필터; 및
    상기 복수단의 다중모드 필터의 각 단들(stages) 사이에 배치된 복수개의 접지전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 복수단의 다중모드 필터 중의 적어도 하나의 다중모드 필터가 종모드(longitudinal mode)로 결합되는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 복수단의 다중모드 필터 중의 적어도 하나의 다중모드 필터가 횡모드(transversal mode)로 결합되는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 접지전극이 상기 복수개의 다중모드 필터의 단들 사이의 공간의 적어도 약 1/2 이상을 점유하는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터장치.
  5. 제 1항에 있어서, 접속전극을 더 포함하여, 상기 접속전극에 의해 상기 접지전극들이 함께 접속되는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터장치.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 다중모드 필터는 인터디지탈 트랜스듀서 (interdigital transducer)를 포함하고 있으며; 상기 복수개의 다중모드 필터의 단들 사이의 거리가 상기 다중모드 필터를 구성하는 상기 인터디지탈 트랜스듀서의 틈(apperture)보다 길게 구성되는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터장치.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 다중모드 필터는 인터디지탈 트랜스듀서를 포함하고 있으며; 상기 복수개의 다중모드 필터의 상기 인터디지탈 트랜스듀서의 일부분이 분할되고, 이 분할된 부분에서, 상기 복수개의 다중모드 필터의 상기 인터디지탈 트랜스듀서의 접지측은 상기 접지전극에 복수개의 부분들이 접속되는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터장치.
  8. 압전기판;
    복수개의 단면 반사형 탄성 표면파 장치로 구성되며, 서로 전기적으로 직렬로 접속되어 있고, 상기 압전기판 상에서 자신의 내부에서 발생되는 탄성 표면파의 전파 방향에 실질적으로 수직한 방향으로 연장하도록 모두 형성되어 있는 복수단의 다중모드 필터; 및
    상기 복수단의 다중모드 필터의 각 단들 사이에 배치된 복수개의 접지전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 듀플렉서.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 복수단의 다중모드 필터 중의 적어도 하나의 다중모드 필터가 종모드로 결합되는 것을 특징으로 하는 듀플렉서.
  10. 제 8항에 있어서, 상기 복수단의 다중모드 필터 중의 적어도 하나의 다중모드 필터가 횡모드로 결합되는 것을 특징으로 하는 듀플렉서.
  11. 제 8항에 있어서, 상기 접지전극이 상기 복수개의 다중모드 필터의 단들 사이의 공간의 적어도 약 1/2 이상을 점유하는 것을 특징으로 하는 듀플렉서.
  12. 제 8항에 있어서, 접속전극을 더 포함하여, 상기 접속전극에 의해 상기 접지전극들이 함께 접속되는 것을 특징으로 하는 듀플렉서.
  13. 제 8항에 있어서, 상기 다중모드 필터는 인터디지탈 트랜스듀서를 포함하고 있으며; 상기 복수개의 다중모드 필터의 단들 사이의 거리가 상기 다중모드 필터를 구성하는 상기 인터디지탈 트랜스듀서의 틈보다 길게 구성되는 것을 특징으로 하는 듀플렉서.
  14. 제 8항에 있어서, 상기 다중모드 필터는 인터디지탈 트랜스듀서를 포함하고 있으며; 상기 복수개의 다중모드 필터의 상기 인터디지탈 트랜스듀서의 일부분이 분할되고, 이 분할된 부분에서, 상기 복수개의 다중모드 필터의 상기 인터디지탈 트랜스듀서의 접지측은 상기 접지전극에 복수개의 부분들이 접속되는 것을 특징으로 하는 듀플렉서.
  15. 압전기판;
    복수개의 단면 반사형 탄성 표면파 장치로 구성되며, 서로 전기적으로 직렬로 접속되어 있고, 상기 압전기판 상에서 자신의 내부에서 발생되는 탄성 표면파의 전파 방향에 실질적으로 수직한 방향으로 연장하도록 모두 형성되어 있는 복수단의 다중모드 필터; 및
    상기 복수단의 다중모드 필터의 각 단들 사이에 배치된 복수개의 접지전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 통신장치.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 복수단의 다중모드 필터 중의 적어도 하나의 다중모드 필터가 종모드로 결합되는 것을 특징으로 하는 통신장치.
  17. 제 15항에 있어서, 상기 복수단의 다중모드 필터 중의 적어도 하나의 다중모드 필터가 횡모드로 결합되는 것을 특징으로 하는 통신장치.
  18. 제 15항에 있어서, 상기 접지전극이 상기 복수개의 다중모드 필터의 단들 사이의 공간의 적어도 약 1/2 이상을 점유하는 것을 특징으로 하는 통신장치.
  19. 제 15항에 있어서, 접속전극을 더 포함하여, 상기 접속전극에 의해 상기 접지전극들이 함께 접속되는 것을 특징으로 하는 통신장치.
  20. 제 15항에 있어서, 상기 다중모드 필터는 인터디지탈 트랜스듀서를 포함하고 있으며; 상기 복수개의 다중모드 필터의 단들 사이의 거리가 상기 다중모드 필터를 구성하는 상기 인터디지탈 트랜스듀서의 틈보다 길게 구성되는 것을 특징으로 하는 통신장치.
  21. 제 15항에 있어서, 상기 다중모드 필터는 인터디지탈 트랜스듀서를 포함하고 있으며; 상기 복수개의 다중모드 필터의 상기 인터디지탈 트랜스듀서의 일부분이 분할되고, 이 분할된 부분에서, 상기 복수개의 다중모드 필터의 상기 인터디지탈 트랜스듀서의 접지측은 상기 접지전극에 복수개의 부분들이 접속되는 것을 특징으로 하는 통신장치.
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