KR19990084809A - Carrier module of test tray for semiconductor device test - Google Patents

Carrier module of test tray for semiconductor device test Download PDF

Info

Publication number
KR19990084809A
KR19990084809A KR1019980016812A KR19980016812A KR19990084809A KR 19990084809 A KR19990084809 A KR 19990084809A KR 1019980016812 A KR1019980016812 A KR 1019980016812A KR 19980016812 A KR19980016812 A KR 19980016812A KR 19990084809 A KR19990084809 A KR 19990084809A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cavity
housing
link
carrier module
test tray
Prior art date
Application number
KR1019980016812A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100262267B1 (en
Inventor
김희수
Original Assignee
정문술
미래산업 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 정문술, 미래산업 주식회사 filed Critical 정문술
Priority to KR1019980016812A priority Critical patent/KR100262267B1/en
Publication of KR19990084809A publication Critical patent/KR19990084809A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100262267B1 publication Critical patent/KR100262267B1/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices

Abstract

본 발명은 반도체 소자의 테스트시 반도체 소자를 테스트 트레이(test tray)상에 실어 반송하기 위해 사용되고, 반도체 소자를 수용하여 테스트 트레이에 유지시키는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈(carrier moudle)에 관한 것으로 중심부에 소자(8)가 로딩되는 캐비티(17)가 형성되고 상기 캐비티의 양측으로는 수용홈(18)이 관통되게 형성된 하우징(16)과, 상기 수용홈내에 지지축(22)을 중심으로 회동가능하게 설치된 한쌍의 링크(21)와, 상기 링크의 다른 일단에 링크축(24)으로 힌지 결합되어 링크(21)의 회동운동에 따라 승강운동하면서 캐비티(17)내에 위치하거나, 캐비티로부터 벗어나는 걸림레버(23)와, 상기 지지축(22)과 링크축(24)사이에 지지되게 설치되어 외력이 작용되지 않을 때 축간 수평거리가 최대한 멀어지도록 하는 토션 스프링(25)과, 상기 하우징(16)에 승강 가능하게 설치되어 승강운동에 따라 링크축(24)이 접속된 상태로 수평운동하는 슬라이딩면(27a)이 구비된 버튼(27)과, 상기 하우징으로부터 한쌍의 버튼(27)이 이탈되지 않도록 하우징(16)과 버튼(27)에 구비된 걸림수단으로 이루어져 있으므로 여러 가지 크기 및 형태를 갖는 소자(8)의 로딩에 따라 걸림레버(23)의 형상이나 크기가 달라지더라도 초기 셋팅된 푸셔(30)의 스트로크를 가변시키지 않고도 링크(21)의 설치 각도 또는 지지축(22)과 링크축(24)간의 간격을 가변시키므로 인해 걸림레버(23)의 벌어짐량을 조절할 수 있게 된다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, which is used to carry and transport a semiconductor device on a test tray during testing of the semiconductor device. The cavity 17 is formed in the center of the element 8 is loaded, the housing 16 is formed so that the receiving groove 18 is penetrated to both sides of the cavity, and the support shaft 22 in the receiving groove. A pair of rotatably provided links 21 and the other end of the link is hinged to the link shaft 24 and positioned in the cavity 17 or moving away from the cavity while moving up and down in accordance with the rotational movement of the link 21. The torsion spring 25 is installed to be supported between the locking lever 23 and the support shaft 22 and the link shaft 24 so that the horizontal distance between the shafts is as far as possible when no external force is applied. A button 27 having a sliding surface 27a which is installed in the housing 16 so as to be movable up and down and is horizontally moved in a state in which the link shaft 24 is connected according to the lifting movement, and a pair of buttons from the housing ( 27 is composed of the locking means provided in the housing 16 and the button 27 so as not to be separated from the shape or size of the locking lever 23 is different depending on the loading of the device (8) having a variety of sizes and shapes Even if the stroke of the linker (21) or the support shaft (22) and the link shaft (24) are varied without changing the stroke of the initially set pusher (30), the amount of opening of the locking lever (23) can be adjusted. Will be.

Description

반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈Carrier module of test tray for semiconductor device test

본 발명은 반도체 소자의 테스트시 반도체 소자를 테스트 트레이(test tray)상에 실어 반송하기 위해 사용되고, 반도체 소자를 수용하여 테스트 트레이에 유지시키는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈(carrier moudle)에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 캐리어 모듈에 반도체 소자를 거꾸로 매달은 상태로 이송하는 타입에 적합하도록 한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, which is used to carry and transport a semiconductor device on a test tray during testing of the semiconductor device. More specifically, it is to be suitable for the type of transferring the semiconductor element in the suspended state upside down to the carrier module.

근래에는 부품의 경박 단소화 추세에 따라 반도체 소자(이하 "소자"라 함) 또한 그 두께가 점진적으로 얇아지고 크기 또한 작아지는데, 그 중 대표적인 소자로는 TSOP(Thin Small Outline Package), μBGA(Micro Ball Grid Array) 등이 있다.In recent years, semiconductor devices (hereinafter referred to as "devices") are also gradually thinner and smaller in size, due to the trend toward thinner and shorter components. Among them, thinner small outline packages (TSOP) and micro-BGA (Micro) Ball Grid Array).

상기 TSOP 또는 μBGA는 그 두께가 약 1mm 정도로서, 제조공정에서 생산 완료하여 성능을 검사하는 테스트 공정간에 취급 부주의 등으로 상면 또는 하면에 충격을 가할 경우 소자의 특성이 저하되고, 가해지는 충격이 심한 경우에는 몰딩된 칩(Chip)이 파손되므로 핸들러(handler)내부에서의 이송간 또는 테스트 중 소자에 충격이 가해지지 않도록 세심한 주의를 하여야 된다.The TSOP or μBGA has a thickness of about 1 mm, and when the shock is applied to the upper or lower surface due to carelessness or the like between the test processes that are completed in the manufacturing process and inspects the performance, the characteristics of the device are deteriorated and the impact is severe. The molded chip is damaged during the process, so care must be taken not to impact the device during transfer or testing within the handler.

이러한 TSOP 또는 μBGA는 도 1에 나타낸 바와 같은 금속재의 테스트 트레이(1)에 실려져 테스트공정간에 이송된다.This TSOP or [mu] BGA is loaded on the metal test tray 1 as shown in FIG. 1 and transferred between the test processes.

상기 테스트 트레이(1)는 4각틀 형태의 프레임(2)에 복수개의 살(3)이 등간격으로 평행하게 형성되어 있고 이들 살의 양측 및 상기 살과 대향하는 프레임(2)의 변(2a)(2b)에는 각각 장치편(4)이 등간격으로 돌출 형성되어 있으며, 상기 살(3) 또는 변(2a)(2b)사이와, 2개의 장치편(4)에 의해 약 64개의 캐리어 모듈 수납부(5)가 테스트 트레이(1)에 구비된다.The test tray 1 is formed in a quadrangular frame 2 with a plurality of flesh 3 parallel to each other at equal intervals and on both sides of the flesh and the sides 2a of the frame 2 facing the flesh ( Apparatuses 4 are projected at equal intervals in 2b), respectively, and approximately 64 carrier module accommodating portions are formed between the flesh 3 or the sides 2a and 2b and by the two apparatus pieces 4. (5) is provided in the test tray 1.

상기 각 캐리어 모듈 수납부(5)에는 소자가 실려지는 캐리어 모듈(6)이 파스너(7)에 의해 플로팅상태로 장착된다.In each of the carrier module accommodating parts 5, a carrier module 6 on which an element is loaded is mounted in a floating state by the fastener 7.

첨부도면 도 2는 종래 캐리어 모듈의 일 실시예를 나타낸 사시도이고 도 3은 도 2의 A - A선 단면도로서, 캐리어 모듈(6)의 상면에 소자(8)가 안착되는 캐비티(Cavity)(9)가 형성되어 있고 상기 캐비티의 양측으로는 소자의 리드(8a)가 하방으로 노출되도록 길다랗게 장홈(10)이 형성되어 있으며, 캐리어 모듈(6)의 양측부분에 형성된 날개편(11)에는 소자(8)의 로딩시 캐리어 모듈의 위치를 결정하는 위치 결정홈(12)과, 상기 캐리어 모듈(6)을 테스트 트레이(1)에 파스너(7)로 장착하기 위한 체결공(13)이 형성되어 있다.Figure 2 is a perspective view showing an embodiment of a conventional carrier module and Figure 3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of Figure 2, the cavity (Cavity) 9 is seated on the upper surface of the carrier module 6 (Cavity) (9) And long grooves 10 are formed on both sides of the cavity so that the lead 8a of the device is exposed downward, and the wing pieces 11 formed on both sides of the carrier module 6 Positioning groove 12 for determining the position of the carrier module at the time of loading (8), and fastening hole 13 for mounting the carrier module 6 to the test tray 1 as a fastener 7 is formed have.

따라서 상기한 구조의 캐리어 모듈(6)을 테스트 트레이(1)에 복수개 결합시킨 상태에서 이송수단에 의해 테스트 트레이(1)를 소자(8)의 로딩위치로 이송시키면 고객 트레이내에 담겨져 있던 소자를 별도의 소자 흡착수단이 흡착하여 테스트 트레이(1)의 상부로 이송되어와 소자의 흡착력을 해제하므로써 픽커에 흡착되어 있던 소자가 자중에 의해 캐리어 모듈(6)의 캐비티(9)내에 얹혀지게 되므로 소자의 리드(8a)가 캐비티(9)의 양측으로 길게 형성된 장홈(10)을 통해 하방으로 노출된다.Therefore, when the plurality of carrier modules 6 of the above structure are coupled to the test tray 1 and the test tray 1 is transferred to the loading position of the element 8 by the transfer means, the elements contained in the customer tray are separated. Element adsorption means is absorbed and transferred to the upper part of the test tray 1, and the element absorbed by the picker is released into the cavity 9 of the carrier module 6 by its own weight by releasing the element's attraction force. The lid 8a is exposed downward through the long groove 10 formed long on both sides of the cavity 9.

그 후, 이송수단에 의해 테스트 트레이(1)가 테스트 싸이트(test site)로 이송된 상태에서 절연체(도시는 생략함)가 테스트 트레이의 상부로부터 내려와 소자의 리드를 눌러줌과 동시에 콘택터(도시는 생략함)가 장홈(10)을 통해 상승되어 소자의 리드(8a)와 접속되면 리드(8a)와 콘택터가 전기적으로 통하여지게 되므로 CPU(중앙 처리장치)에서 소자의 전기적 특성이 테스트된다.Then, the insulator (not shown) comes down from the top of the test tray while the test tray 1 is transferred to the test site by the transfer means, and presses the lead of the device, and at the same time, the contactor (not shown) When omitted) is raised through the long groove 10 is connected to the lead (8a) of the device, the lead (8a) and the contactor is electrically through the electrical properties of the device in the CPU (central processing unit) is tested.

그러나 이러한 종래의 테스트 트레이(1)의 캐리어 모듈(6)에 형성된 캐비티(9)의 길이방향 폭이 소자(8)의 용이한 로딩을 위해 소자의 길이방향 폭(L)보다 크게 형성되므로 인해 소자 흡착수단이 소자(8)를 흡착하여와 캐비티(9)의 상부에서 소자를 자유 낙하시켜 캐비티(9)내에 로딩하였을 때 도 3에 도시한 바와 같이 소자(8)가 캐비티(9)내에 정확히 로딩되지 않는 경우가 빈번히 발생되었다.However, because the longitudinal width of the cavity 9 formed in the carrier module 6 of this conventional test tray 1 is larger than the longitudinal width L of the device for easy loading of the device 8 When the adsorption means adsorbs the element 8 and free-falls the element from the top of the cavity 9 and loads it into the cavity 9, the element 8 is correctly loaded into the cavity 9 as shown in FIG. Not frequently occurred.

만약, 이러한 상태에서 테스트 싸이트에서 소자(8)의 리드(8a)를 콘택터에 접촉시켜 테스트를 실시하면 콘택터가 리드와 정확히 접속되지 않게 되므로 양품의 소자를 불량품으로 오판정하게 되는 치명적인 문제점을 나타낸다.If the test is conducted by contacting the lead 8a of the element 8 to the contactor in such a state in this state, the contactor may not be connected to the lead correctly, thereby causing a fatal problem in that the good element is incorrectly judged as defective.

또한, 소자(8)가 캐비티(9)내에 정확히 로딩되었더라도 테스트 트레이(1)의 이송시 진동 등으로 인하여 테스트 트레이에 충격이 가해질 경우에는 소자(8)가 단순히 캐리어 모듈(6)의 캐비티(9)내에 얹혀진 상태이므로 소자의 정위치가 벗어나게 되고, 이에 따라 전술한 바와 같은 문제점을 야기시키게 된다.In addition, even when the device 8 is correctly loaded in the cavity 9, when the test tray is shocked due to vibration or the like during the transfer of the test tray 1, the device 8 is simply the cavity 9 of the carrier module 6. Since it is in the state of), the correct position of the device is off, thereby causing the problem as described above.

도 4a 내지 도 4d는 종래 캐리어 모듈의 다른 실시예를 나타낸 사시도로서, 전술한 일 실시예와 같은 캐리어 모듈(6)의 문제점을 해결하기 위해 개발된 것이다.4A to 4D are perspective views showing another embodiment of the conventional carrier module, and have been developed to solve the problems of the carrier module 6 as in the above-described embodiment.

그 구성을 살펴보면, 캐리어 모듈(6)에 형성된 캐비티(9)의 양측으로 한쌍의 래치(14)가 캐비티로부터 좌,우 이동가능하게 일체로 형성되어 있다.Looking at the configuration, a pair of latches 14 are integrally formed to move left and right from the cavity to both sides of the cavity 9 formed in the carrier module 6.

이러한 구조의 래치(14)는 캐비티(9)의 저면에서 상방으로 일체 형성되어 캐리어 모듈(6)의 재질인 수지재의 탄성력을 이용하여 소자(8)를 캐비티(9)내에 수용할 때, 또는 캐비티(9)로부터 꺼낼 때 소자(8)를 흡착하는 소자 흡착수단과 동시에 이동하는 래치 해방기구(15)에 의해 2개의 래치(14)를 양측으로 동시에 벌린 상태에서 소자(8)를 캐비티내에 수용하거나, 캐비티내에 수용되어 있던 소자를 꺼내게 된다.The latch 14 of this structure is integrally formed upward from the bottom of the cavity 9 to accommodate the element 8 in the cavity 9 by using the elastic force of the resin material of the carrier module 6, or in the cavity The element 8 is accommodated in the cavity while the two latches 14 are simultaneously opened to both sides by the latch release mechanism 15 which moves simultaneously with the element adsorption means for adsorbing the element 8 when taken out from the (9). The device stored in the cavity is taken out.

상기 캐비티(9)내에 소자(8)를 로딩한 다음 래치 해방기구(15)가 래치(14)로부터 이탈되면 래치(14)가 자체 탄성력에 의해 초기상태로 환원되어 캐리어 모듈에 로딩된 소자(8)의 상면을 눌러주게 되므로 테스트 트레이(1)가 공정간에 이송시 충격이 가해지더라도 캐리어 모듈에 로딩된 소자(8)의 위치가 가변되지 않는다.When the element 8 is loaded into the cavity 9 and the latch release mechanism 15 is released from the latch 14, the latch 14 is reduced to its initial state by its elastic force and the element 8 loaded on the carrier module is loaded. Since the upper surface of the) is pressed, the position of the element 8 loaded in the carrier module is not changed even when the test tray 1 is subjected to an impact during transfer between processes.

그러나 이러한 구조의 캐리어 모듈(6) 또한 래치(14)가 수지물인 몸체와 일체로 형성되므로 인해 반복 사용시 래치의 복원력이 떨어지게 되므로 수명이 매우 짧은 결점을 갖는다.However, the carrier module 6 of this structure also has a drawback of very short life because the latch 14 is formed integrally with the resin body so that the restoring force of the latch is decreased when repeated use.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 그 목적은 걸림레버를 벌려주기 위한 일정의 외부 구동 스트로크(stroke)에 대하여 소자를 억제하는 걸림레버의 구동 스트로크가 조절되는 캐리어 모듈을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem in the related art, and an object thereof is to provide a carrier module in which a driving stroke of a locking lever that suppresses an element with respect to a predetermined external driving stroke for opening the locking lever is adjusted. To provide.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 중심부에 소자가 로딩되는 캐비티가 형성되고 상기 캐비티의 양측으로는 수용홈이 관통되게 형성된 하우징과, 상기 수용홈내에 지지축을 중심으로 회동가능하게 설치된 한쌍의 링크와, 상기 링크의 다른 일단에 링크축으로 힌지 결합되어 링크의 회동운동에 따라 승강운동하면서 캐비티내에 위치하거나, 캐비티로부터 벗어나는 걸림레버와, 상기 지지축과 링크축사이에 지지되게 설치되어 외력이 작용되지 않을 때 축간 수평거리가 최대한 멀어지도록 하는 토션 스프링과, 상기 하우징에 승강 가능하게 설치되어 승강운동에 따라 링크축이 접속된 상태로 수평운동하는 슬라이딩면이 구비된 버튼과, 상기 하우징으로부터 한쌍의 버튼이 이탈되지 않도록 하우징과 버튼에 구비된 걸림수단으로 이루어진 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈이 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a cavity in which the element is loaded in the center is formed, the housing formed in both sides of the cavity through the receiving groove, and rotatably installed around the support shaft in the receiving groove A pair of links and a hinge coupled to the other end of the link are positioned in the cavity while moving up and down in accordance with the rotational movement of the link, or are installed to be supported between the support shaft and the link shaft, and are supported by the support shaft and the link shaft. A torsion spring which allows the horizontal distance between the shafts to be as far as possible when it is not actuated, a button having a sliding surface which is installed in the housing so as to be liftable and horizontally moved in a state where the link shaft is connected according to the lifting and lowering movement, and from the housing. It consists of the locking means provided in the housing and the buttons so that the pair of buttons do not escape A carrier module of a test tray for testing a semiconductor device is provided.

도 1은 종래의 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이를 나타낸 분해사시도1 is an exploded perspective view showing a test tray for testing a conventional semiconductor device

도 2는 종래 캐리어 모듈의 일 실시예를 나타낸 사시도Figure 2 is a perspective view showing an embodiment of a conventional carrier module

도 3은 도 2의 A - A선 단면도3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

도 4a 내지 도 4d는 종래 캐리어 모듈의 다른 실시예를 나타낸 사시도4a to 4d is a perspective view showing another embodiment of the conventional carrier module

도 5는 본 발명의 일 실시예를 분해하여 나타낸 저면 사시도5 is an exploded bottom perspective view of an embodiment of the present invention;

도 6은 도 5의 결합상태를 나타낸 저면도FIG. 6 is a bottom view of the coupled state of FIG. 5; FIG.

도 7a 및 도 7b는 도 6의 B - B선 단면도로서,7A and 7B are cross-sectional views taken along the line BB of FIG. 6,

도 7a는 걸림레버가 캐비티상에 위치된 상태도7A is a state in which the locking lever is located on the cavity

도 7b는 걸림레버가 캐비티의 외측으로 벗어난 상태도7B is a state in which the latch lever is out of the cavity

도 8은 도 6의 C - C선 단면도8 is a cross-sectional view taken along the line C-C of FIG.

도 9a 및 도 9b는 걸림레버의 슬라이딩운동을 설명하기 위한 요부 사시도9a and 9b is a perspective view of the main portion for explaining the sliding movement of the locking lever

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

16 : 하우징 17 : 캐비티16: housing 17: cavity

18 : 수용홈 21 : 링크18: acceptance home 21: link

22 : 지지축 23 : 걸림레버22: support shaft 23: locking lever

24 : 링크축 25 : 토션 스프링24: link shaft 25: torsion spring

27 : 버튼27: button

이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 5 내지 도 9를 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to Figures 5 to 9 showing an embodiment of the present invention in more detail as follows.

도 5는 본 발명의 일 실시예를 분해하여 나타낸 저면 사시도이고 도 6은 도 5의 결합상태를 나타낸 저면도이며 도 8은 도 6의 C - C선 단면도로서, 본 발명은 하우징(16)의 중심부에 소자(8)가 로딩되는 캐비티(17)가 형성되고 상기 캐비티의 양측으로는 수용홈(18)이 관통되게 형성되어 있다.FIG. 5 is an exploded bottom perspective view showing an embodiment of the present invention, FIG. 6 is a bottom view showing the coupled state of FIG. 5, and FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line C-C of FIG. The cavity 17 in which the element 8 is loaded is formed in the center, and the receiving groove 18 is formed through both sides of the cavity.

상기 캐비티(17)에는 로딩되는 소자(8)의 상면이 맞닿는 소자 수용면(19)과, 테스트시 외력이 가해질 때 소자(8)의 리드(8a)가 맞닿는 리드 안착면(20)이 구비되어 있다.The cavity 17 is provided with an element receiving surface 19 where the upper surface of the loaded element 8 abuts, and a lead seating surface 20 where the lead 8a of the element 8 abuts when an external force is applied during the test. have.

상기 캐비티(17)의 양측으로 관통되게 형성된 수용홈(18)내에 한쌍의 링크(21)가 지지축(22)을 중심으로 회동가능하게 설치되어 있고 상기 링크(21)의 다른 일단에는 링크(21)의 회동운동에 따라 승강운동하면서 캐비티(17)내에 위치하거나, 캐비티로부터 벗어나는 걸림레버(23)가 링크축(24)으로 힌지 결합되어 있으며 상기 지지축(22)과 링크축(24)사이에는 링크에 외력이 작용되지 않을 때 축간 수평거리가 최대한 멀어지도록 하는 토션 스프링(25)이 지지되게 설치되어 있다.In the receiving groove 18 formed to penetrate both sides of the cavity 17, a pair of links 21 are rotatably installed about the support shaft 22, and the other end of the link 21 is a link 21. The locking lever 23 located in the cavity 17 or moving away from the cavity is hinged to the link shaft 24 while the lifting and lowering movement is performed according to the rotational movement of the support shaft 22 and between the support shaft 22 and the link shaft 24. When the external force is not applied to the link, the torsion spring 25 is installed to support the horizontal distance between the shafts as far as possible.

상기 캐비티(17)의 양측으로 형성된 수용홈(18)의 폭은 걸림레버(23)가 직선 승강운동을 할 때 좌, 우로 유동하지 않을 정도로 설계되어 있다.The width of the receiving groove 18 formed on both sides of the cavity 17 is designed so that the locking lever 23 does not flow left and right when the linear lifting and lowering movement is performed.

또한, 상기 토션 스프링(25)은 도 9a와 같이 지지축(22)에 끼워져 일단이 수용홈(19)의 측벽(26)에 지지되어 있고 다른 일단은 링크축(24)에 지지되어 있는데, 상기 토션 스프링(25)의 일단이 지지되는 링크축(24)에는 토션 스프링의 압축 및 이완 동작시 토션 스프링(25)이 유동되지 않도록 걸림홈(24a)이 형성되어 있다.In addition, the torsion spring 25 is fitted to the support shaft 22, as shown in Figure 9a, one end is supported on the side wall 26 of the receiving groove 19, the other end is supported on the link shaft 24, A locking groove 24a is formed in the link shaft 24 on which one end of the torsion spring 25 is supported so that the torsion spring 25 does not flow during the compression and relaxation operation of the torsion spring.

그리고 상기 각 링크축(24)에 접속되게 하우징(16)의 수용홈(18)내에 버튼(27)이 승강가능하게 설치되어 있는데, 상기 버튼(27)의 저면에는 버튼의 승강운동에 따라 링크축(24)이 접속된 상태로 수평운동하는 슬라이딩면(27a)이 구비되어 있다.And the button 27 is installed in the receiving groove 18 of the housing 16 so as to be connected to each of the link shaft 24, the lower surface of the button 27 in accordance with the lifting movement of the button shaft link shaft The sliding surface 27a which moves horizontally with 24 is connected is provided.

상기 슬라이딩면(27a)은 걸림레버(23)의 좌, 우 이동량에 따라 버튼(27)의 일측으로 돌출편(27b)을 연장되게 형성할 수도 있다.The sliding surface 27a may be formed to extend the protruding piece 27b to one side of the button 27 according to the left and right movement amounts of the locking lever 23.

이는, 링크(21)가 지지축(22)을 중심으로 회동가능하게 하우징(16)에 설치되므로 인하여 버튼(27)의 승강 운동시 지지축(22)과 간섭이 발생되지 않도록 하므로써 캐리어 모듈의 크기를 최소화하기 위함이다.This is because the link 21 is installed on the housing 16 so as to be pivotable about the support shaft 22, thereby preventing the interference between the support shaft 22 and the support shaft 22 during the lifting movement of the button 27. This is to minimize the

상기 하우징(16)에 승강가능하게 설치되는 한쌍의 버튼(27)은 하우징(16)과 버튼(27)에 구비된 걸림수단에 의해 하우징으로부터 이탈되지 않는다.The pair of buttons 27 installed on the housing 16 so as to be lifted and lowered are not separated from the housing by the locking means provided in the housing 16 and the button 27.

상기 걸림수단을 본 발명의 일 실시예에서는 하우징(16)의 양측에 상호 대향되게 형성된 한쌍의 후크(28)와, 상기 후크가 걸려 버튼(27)이 하우징(16)으로부터 이탈되지 않도록 걸림턱(27c)이 형성된 버튼(27)으로 구성되어 있다.In one embodiment of the present invention, the locking means has a pair of hooks 28 formed to oppose each other on both sides of the housing 16, and the locking jaw so that the hook 27 is not released from the housing 16. It consists of the button 27 in which 27c) was formed.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention configured as described above is as follows.

먼저, 상기한 구조의 캐리어 모듈은 하우징(16)에 대향되게 형성된 체결공(13)을 이용하여 테스트 트레이(도시는 생략함)의 프레임상에 복수개(약 64개 정도) 장착된다.First, a plurality of carrier modules having the above-described structure are mounted on a frame of a test tray (not shown) by using fastening holes 13 formed to face the housing 16 (about 64).

본 발명에서는 캐비티(17)가 하방을 향하도록 캐리어 모듈을 프레임에 장착한 상태에서 소자(8)를 로딩 및 언로딩하는 과정을 설명하겠으나, 반드시 이에 한정하지는 않는다.In the present invention, a process of loading and unloading the device 8 in a state in which the carrier module is mounted on the frame such that the cavity 17 faces downward is described, but is not necessarily limited thereto.

그 이유는, 캐비티(17)가 상방을 향하고 있는 상태에서도 소자(8)의 로딩 및 언로딩작업이 가능하기 때문인데, 이에 대한 구체적인 설명은 후술하겠다.The reason for this is that loading and unloading of the element 8 can be performed even in a state in which the cavity 17 faces upwards, which will be described later.

도 7a 및 도 7b는 본 발명의 동작을 설명하기 위한 도 6의 B - B선 단면도로서, 복수개의 캐리어 모듈이 장착된 테스트 트레이가 소자의 로딩 및 언로딩 포지션으로 이송된 상태에서 테스트할 소자(8)를 캐리어 모듈에 형성된 캐비티(17)내에 로딩하기 위해 소자가 담겨진 얼라이너(29)가 테스트 트레이의 하방으로 이송되어 하우징(16)에 형성된 캐비티(17)와 수직방향으로 일치되면 얼라이너의 이송을 중단하게 된다.7A and 7B are cross-sectional views taken along line B-B of FIG. 6 for explaining the operation of the present invention, in which a test tray equipped with a plurality of carrier modules is moved to a loading and unloading position of the device. 8) When the aligner 29 containing the element is loaded under the test tray to vertically coincide with the cavity 17 formed in the housing 16 to load the cavity 17 into the cavity 17 formed in the carrier module. Will stop.

도 7a와 같이 한쌍의 걸림레버(23)가 캐비티(17)내에 위치된 상태에서 얼라이너(29)가 1열의 캐리어 모듈과 일치되게 테스트 트레이의 하방으로 이송되고 나면 푸셔(30)가 하강하여 한쌍의 버튼(27)을 동시에 하방으로 눌러주게 되므로 상기 버튼(27)의 슬라이딩면(27a)에 맞닿아 있던 링크축(24)이 눌리게 된다.As shown in FIG. 7A, when the aligner 29 is moved downward of the test tray to coincide with one row of carrier modules in a state where the pair of locking levers 23 are located in the cavity 17, the pushers 30 are lowered and the pair is lowered. Since the button 27 is pressed downwards simultaneously, the link shaft 24 which is in contact with the sliding surface 27a of the button 27 is pressed.

이와 같이 링크축(24)이 버튼(27)에 의해 눌리게 되면 링크축(24)에 끼워진 걸림레버(23)가 버튼(27)과 함께 하강하게 되지만, 상기 링크축(24)은 도 9a와 같이 링크(21)의 일단과 걸림레버(23)에 끼워져 있어 상기 걸림레버(23)가 지지축(22)을 중심으로 수직 하강운동을 하여 수용홈(18)으로부터 빠져 나오면서 도 7b와 같이 캐비티(17)의 외측으로 벗어나게 된다.When the link shaft 24 is pressed by the button 27 as described above, the locking lever 23 fitted to the link shaft 24 is lowered together with the button 27. However, the link shaft 24 is shown in FIG. As shown in FIG. 7B, the locking lever 23 is inserted into the one end of the link 21 and the locking lever 23, and the locking lever 23 is vertically lowered about the support shaft 22 to escape from the receiving groove 18. 17) out of the way.

즉, 푸셔(30)에 의해 버튼(27)이 눌림에 따라 링크축(24)은 버튼(27)의 저면에 형성된 슬라이딩면(27a)을 따라 도 7a에 일점쇄선으로 나타낸 궤적을 따라 이동하여 도 9b와 같이 되므로 걸림레버(23)가 수직 하강운동을 하게 된다.That is, as the button 27 is pressed by the pusher 30, the link shaft 24 moves along the trajectory indicated by the dashed-dotted line in FIG. 7A along the sliding surface 27a formed on the bottom of the button 27. Since 9b, the locking lever 23 is vertically lowered.

상기한 바와 같은 동작시 링크축(24)의 위치가 가변되어 지지축(22)과의 간격이 좁아지게 되므로 상기 링크축(24)과 수용홈(18)의 측벽에 지지된 토션 스프링(25)은 압축력을 받게 된다.Since the position of the link shaft 24 is changed during the operation as described above, the distance between the support shaft 22 is narrowed, so that the torsion spring 25 supported on the side wall of the link shaft 24 and the receiving groove 18 is provided. Is subjected to compression.

이와 같이 한쌍의 걸림레버(23)가 양측으로 벌어져 소자(8)가 로딩되는 캐비티(17)로부터 벗어나고 나면 얼라이너(29)내의 소자(8)가 소자 안착블럭에 얹혀진 상태로 상승하게 되므로 캐비티(17)내에 위치된다.In this way, after the pair of locking levers 23 are opened to both sides to escape the cavity 17 into which the element 8 is loaded, the element 8 in the aligner 29 rises in a state where it is placed on the element mounting block. Is located in 17).

상기한 동작에 따라 소자의 상면은 소자 수용면(19)에 접속됨과 동시에 리드(8a)는 리드 안착면(20)에 얹혀지게 된다.According to the above operation, the upper surface of the element is connected to the element receiving surface 19 and the lead 8a is placed on the lead seating surface 20.

그 후, 캐비티(17)내에 위치된 소자(8)를 홀딩하기 위해 하강하였던 푸셔(30)가 상승하면 버튼(27)에 가해졌던 외력이 제거되므로 압축력을 받고 있던 토션 스프링(25)이 초기 상태로 환원되면서 링크축(24)을 밀어내게 되고, 이에 따라 슬라이딩면(27a)을 따라 수평 이동하였던 링크축(24)이 도 7a 및 도 9a와 같이 초기 상태로 환원되면서 걸림레버(23)를 수직 상승시키게 되므로 걸림레버(23)가 캐비티(17)내에 로딩되었던 소자(8)의 양측 저면을 홀딩하게 된다.After that, when the pusher 30 lowered to hold the element 8 positioned in the cavity 17 ascends, the external force applied to the button 27 is removed so that the torsion spring 25 which is under compression is in an initial state. The link shaft 24 is pushed out while being reduced to, and thus the link shaft 24 which has been horizontally moved along the sliding surface 27a is returned to its initial state as shown in FIGS. 7A and 9A and the locking lever 23 is vertical. As it is raised, the locking lever 23 holds the bottom of both sides of the element 8 that has been loaded into the cavity 17.

반복되는 동작으로 복수열의 캐리어 모듈에 소자가 전부 로딩되고 나면 상기 테스트 트레이를 수평 또는 수직상태로 유지시킨 상태에서 이송수단에 의해 테스트 싸이트(test site)측으로 이동시킨 다음 테스트 트레이를 테스트 콘택터(도시는 생략함)측으로 밀어 소자의 리드와 접속시킨 상태에서 설정된 시간동안 소자의 전기적인 특성 검사를 실시하게 되므로 소자의 특성에 따른 결과를 중앙 처리장치에 알리게 된다.After the elements are loaded in the plurality of rows of carrier modules in a repeating operation, the test tray is moved to a test site side by a transfer means while the test tray is held in a horizontal or vertical state, and then the test tray is moved to a test contactor (not shown). In the state of being connected to the lead of the device is pushed to the side of the device to check the electrical characteristics of the device for a set time, the result according to the characteristics of the device is notified to the central processing unit.

이하에서는 테스트 완료후 캐비티(17)에 로딩되어 있던 소자(8)를 언로딩하는 과정을 간략하게 설명한다.Hereinafter, a process of unloading the device 8 loaded in the cavity 17 after the test is completed will be described briefly.

테스트 트레이가 언로딩 포지션에 위치된 상태에서 캐리어 모듈에 매달려 있던 소자(8)를 언로딩하기 위해서는 로딩시와 마찬가지로 얼라이너(29)가 테스트 트레이의 하방으로 이송되어 하우징(16)에 형성된 캐비티(17)와 수직방향으로 일치되어야 한다.In order to unload the element 8 suspended from the carrier module while the test tray is located at the unloading position, as in the case of loading, the aligner 29 is transferred to the lower side of the test tray to form a cavity ( 17) should be vertically aligned.

그러나 소자(8)의 로딩시와는 달리 얼라이너(29)에는 소자가 얹혀져 있지 않다.However, unlike when the device 8 is loaded, the aligner 29 is not mounted with the device.

이와 같이 소자(8)가 로딩된 캐비티(17)의 직하방으로 얼라이너(29)가 이송된 다음 소자 안착블럭이 상승하여 소자의 저면에 닿은 상태에서 푸셔(30)가 하강하여 버튼(27)을 눌러 주면 전술한 바와 같이 소자를 지지하고 있던 한쌍의 걸림레버(23)가 양측으로 벌어지게 되므로 소자의 홀딩상태가 해제된다.As such, the aligner 29 is transferred directly below the cavity 17 loaded with the element 8, and then the pusher 30 descends while the element seating block is raised to reach the bottom of the element, thereby pushing the button 27. When pressed, the pair of locking levers 23 supporting the device are opened to both sides, and thus the holding state of the device is released.

이에 따라, 캐비티(17)내에 위치되어 있던 소자가 소자 안착블럭의 하강으로 얼라이너(29)내에 안착된다.As a result, the element located in the cavity 17 is seated in the aligner 29 by the lowering of the element mounting block.

지금까지는 캐비티(17)가 하방을 향한 상태에서 걸림레버(23)에 의해 소자(8)를 캐리어 모듈에 매달은 상태로 로딩 및 언로딩하는 상태를 설명하였으나, 캐리어 모듈의 캐비티(17)가 상방을 향하고 있는 상태에서도 전술한 바와 동일한 동작에 의해 소자의 로딩 및 언로딩동작을 수행할 수 있게 됨은 이해 가능한 것이다.Up to now, the state in which the element 8 is loaded and unloaded while the element 8 is suspended to the carrier module by the latch lever 23 while the cavity 17 is facing downward has been described, but the cavity 17 of the carrier module is upward. It is to be understood that the loading and unloading operations of the device can be performed by the same operation as described above even in the state of facing.

이상에서와 같이 본 발명은 여러 가지 크기 및 형태를 갖는 소자(8)의 로딩에 따라 걸림레버(23)의 형상이나 크기가 달라지더라도 초기 셋팅된 푸셔(30)의 스트로크를 가변시키지 않고도 링크(21)의 설치 각도 또는 지지축(22)과 링크축(24)간의 간격을 가변시키므로 인해 걸림레버(23)의 벌어짐량을 조절할 수 있게 되므로 고가 장비인 핸들러 및 테스터의 가동률을 극대화시킬 수 있게 된다.As described above, according to the present invention, even if the shape or size of the locking lever 23 varies depending on the loading of the element 8 having various sizes and shapes, the link ( Since the installation angle of the 21 or the distance between the support shaft 22 and the link shaft 24 can be varied, the amount of opening of the locking lever 23 can be adjusted, thereby maximizing the operation rate of the expensive equipment and the tester. .

Claims (3)

중심부에 소자가 로딩되는 캐비티가 형성되고 상기 캐비티의 양측으로는 수용홈이 관통되게 형성된 하우징과, 상기 수용홈내에 지지축을 중심으로 회동가능하게 설치된 한쌍의 링크와, 상기 링크의 다른 일단에 링크축으로 힌지 결합되어 링크의 회동운동에 따라 승강운동하면서 캐비티내에 위치하거나, 캐비티로부터 벗어나는 걸림레버와, 상기 지지축과 링크축사이에 지지되게 설치되어 외력이 작용되지 않을 때 축간 수평거리가 최대한 멀어지도록 하는 토션스프링과, 상기 하우징에 승강 가능하게 설치되어 승강운동에 따라 링크축이 접속된 상태로 수평운동하는 슬라이딩면이 구비된 버튼과, 상기 하우징으로부터 한쌍의 버튼이 이탈되지 않도록 하우징과 버튼에 구비된 걸림수단으로 이루어진 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.A cavity is formed in the center of the device is formed, the housing is formed through the receiving groove through both sides of the cavity, a pair of links rotatably installed around the support shaft in the receiving groove, the link shaft at the other end of the link It is hinged to be positioned in the cavity while moving up and down according to the rotational movement of the link, or is installed between the support lever and the link shaft and the latch lever away from the cavity, so that the horizontal distance between the axes as far as possible when no external force is applied. A button having a torsion spring, a button mounted on the housing so as to move up and down and horizontally moving in a state in which the link shaft is connected according to the lifting motion, and a pair of buttons provided on the housing and the button so that the pair of buttons are not separated from the housing. Carrier module of test tray for testing semiconductor devices Module. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 걸림수단은 하우징의 양측에 상호 대향되게 형성된 한쌍의 후크와, 상기 후크가 걸려 버튼이 하우징으로부터 이탈되지 않도록 걸림턱이 형성된 버튼으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.The locking means is a carrier module of a test tray for a semiconductor device test, characterized in that the pair of hooks formed opposite to each other on both sides of the housing and the hook is formed so that the hook is caught so that the button is not separated from the housing. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 캐비티에는 소자의 상면이 맞닿는 소자 수용면과, 소자의 리드가 맞닿는 리드 안착면이 구비된 반도체 소자 테스트용 테스트 트레이의 캐리어 모듈.The cavity has a carrier module of a test tray for testing a semiconductor device, the device receiving surface is in contact with the upper surface of the device and the lead seating surface is in contact with the lead of the device.
KR1019980016812A 1998-05-11 1998-05-11 Carrier module of test tray for testing semiconductor device KR100262267B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980016812A KR100262267B1 (en) 1998-05-11 1998-05-11 Carrier module of test tray for testing semiconductor device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980016812A KR100262267B1 (en) 1998-05-11 1998-05-11 Carrier module of test tray for testing semiconductor device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR19990084809A true KR19990084809A (en) 1999-12-06
KR100262267B1 KR100262267B1 (en) 2000-07-15

Family

ID=19537215

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980016812A KR100262267B1 (en) 1998-05-11 1998-05-11 Carrier module of test tray for testing semiconductor device

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100262267B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100834852B1 (en) * 2007-04-13 2008-06-03 (주)테크윙 Insert for test handler

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100834852B1 (en) * 2007-04-13 2008-06-03 (주)테크윙 Insert for test handler

Also Published As

Publication number Publication date
KR100262267B1 (en) 2000-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100839665B1 (en) An apparatus for fixing and releasing electronic element and a handler comprising the same
US8277162B2 (en) Unit for opening insert for test tray and method of mounting semiconductor device using the same
US5786704A (en) Metallic tray unit for testing a semiconductor device
KR100682543B1 (en) Carrier Module for Semiconductor Test Handler
KR102637464B1 (en) Apparatus for opening latches of insert assemblies
KR100792729B1 (en) Carrier Module for Semiconductor Test Handler
US20080260976A1 (en) Carrier for carrying a packaged chip and handler equipped with the carrier
KR100707241B1 (en) Insert for semiconductor package
JP2004309496A (en) Attaching device for ball grid array device
US5658153A (en) Socket apparatus
WO1999050677A1 (en) Burn-in test socket
US6873169B1 (en) Carrier module for semiconductor device test handler
US6267603B1 (en) Burn-in test socket
KR100262267B1 (en) Carrier module of test tray for testing semiconductor device
KR100795490B1 (en) Carrier Module for Semiconductor Test Handler
KR100262268B1 (en) Carrier module of test tray for testing semiconductor device
KR100739475B1 (en) Carrier module for semiconductor test handler
KR100260459B1 (en) Carrier module in test tray for testing semiconductor device
KR100570201B1 (en) Carrier Module for Semiconductor Test Handler
JP4044063B2 (en) Carrier module for semiconductor element test handler
KR100570200B1 (en) Carrier Module for Semiconductor Test Handler
KR100465372B1 (en) Carrier Module for Semiconductor Test Handler
KR100262266B1 (en) Carrier module in test tray for testing semiconductor device
KR0136169Y1 (en) Test tray carrier module for testing the semiconductor device
KR200157983Y1 (en) Carrier module of semiconductor device test tray

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20080402

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee