KR19990071112A - 반도체 공정용 모노블락밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 공정용 모노블락밸브에 관한 것으로서, 밸브에 소정구조의 작동여부식별장치를 설치하여 이에 의해 압력인가튜브를 분해하는등의 번거로운 과정없이 밸브구동용 유체가 압력인가튜브를 통해 정상적으로 밸브로 공급되고 있는지를 밸브의 외부에서 관찰하여 파악할 수 있도록 하므로써, 장비를 보다 원활하게 관리할 수 있고 문제 발생시 신속하게 대처함에 의해 작업능률과 생산성을 향상시킬 수 있도록 한 것이다.

Description

반도체 공정용 모노블락밸브

본 발명은 반도체 공정용 모노블락밸브에 관한 것으로서, 특히 밸브구동용 유체가 정상적인 압력을 밸브에 가하고 있는지를 밸브의 외부에서 육안으로 파악 가능하여, 이상을 조기에 발견하고 이에 대처할 수 있도록 하는 반도체 공정용 모노블락밸브에 관한 것이다.

반도체 공정에는 반응가스를 비롯한 각종의 유체가 사용되며 이러한 유체의 흐름을 제어하기 위하여 각종의 밸브가 사용되는데, 이러한 밸브에는 유체가 일방향으로만 흐르도록 하는 첵크밸브, 유체가 두가지 방향중 한 쪽 방향으로 선택적으로 흘러나가게 하는 삼방밸브(three way valve), 설치공간을 줄이기 위해 두 개의 밸브가 모여 형성되는 것으로 유체를 벤트(vent) 내지 퍼지(purge)시키는 벤트라인과 유체가 정상적으로 공급되는 메인라인으로 나누어지는 지점에 설치되는 모노블락밸브(monoblock valve)등이 있다.

이러한 밸브 중 어떤 것은 밸브구동용 유체가 가하는 압력에 의해 작동되게 되는데 이러한 밸브를 공압밸브라 하며 모노블락밸브나 삼방밸브 기타 많은 종류가 공압밸브의 범주에 포함될 수 있다.

도 1 은 일반적인 모노블락밸브의 흐름도를 도시한 것이고, 도 2 는 종래 모노블락밸브의 정면도를, 그리고 도 3 은 종래 모노블락밸브의 측면도를 보인 것이다.

이에 도시한 바와 같이, 일반적으로 모노블락밸브는 설치시 차지하는 공간을 줄이기 위해 제 1 밸브(1)와 제 2 밸브(2)의 두 개의 밸브(1,2)가 본체부(3)에 연결되어 일체로 구성되며 상기 본체부(3)에는 메인라인에 양단이 연결되는 주관(4)과 벤트라인에 연결되는 분지관(5)이 형성되어 있다. 상기 제 1 밸브(1)와 제 2 밸브(2) 각각의 상측에는 밸브구동용 유체가 공급되는 관인 압력인가튜브(1b,2b)가 밸브(1,2)의 인렛포트(1a,2a)에 연결되어 있다.

상기한 바와 같은 구조로 되는 모노블락밸브는 필요에 따라 상기 각각의 압력인가튜브(1b,2b)로 밸브구동용 유체가 선택적으로 공급되어 제 1 밸브(1) 및 제 2 밸브(2)의 구동을 제어하게 되는데, 보통때는 제 1 밸브(1)가 닫히고 제 2 밸브(2)가 개방되어 유체가 주관(4)을 통과하여 메인라인을 통해 흐르도록 하게 되며 벤트 내지 퍼지가 필요한 경우에는 제 2 밸브(2)를 막고 제 1 밸브(1)를 개방하여 분지관(5)을 통해 벤트라인으로 유체가 빠져나가도록 하게 된다.

그런데 상기한 바와 같은 구조로 되는 종래의 모노블락밸브에는 다음과 같은 문제점이 있었다.

즉, 상기 제 1 밸브(1) 내지 제 2 밸브(2)로 압력인가튜브(1b,2b)를 통해 밸브구동용 유체가 공급되어 밸브(1,2)가 정상 작동하는지를 외부에서 확인할 수 없어, 실제로 메인라인을 통해 공급되는 유체를 사용하는 작업공정에서 문제가 발생한 경우에야 뒤늦게 이를 알게 되는 문제점이 있었고, 밸브(1,2)가 정상적으로 작동하는지를 알기 위해서는 압력인가튜브(1b,2b)를 인렛포트(1a,2a)로부터 빼내어 확인해야 하는 불편함이 있었던 것이다.

따라서, 상기한 바와 같은 문제점을 인식하여 창출된 본 발명의 목적은 밸브가 정상적으로 작동하는지를 외부에서 용이하게 파악가능하여 문제 발생시 신속하게 대처함에 의해 작업능률과 생산성을 향상시키는데 적합한 반도체 공정용 모노블락밸브를 제공하고자 하는 것이다.

도 1 은 일반적인 모노블락밸브의 흐름도.

도 2 는 종래 모노블락밸브의 정면도.

도 3 은 종래 모노블락밸브의 측면도.

도 4 는 본 발명의 일실시례에 의한 반도체 공정용 모노블락밸브의 측면도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1,2,10;밸브 1a,2a,10a;인렛포트

1b,2b;압력인가튜브 3;본체부

4;주관 5;분지관

11;압력전달관 12;변위부

13;변위부 안내관

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 설치공간을 줄이기 위해 제 1 밸브와 제 2 밸브의 두 개의 밸브가 본체부에 연결되어 일체로 구성되며, 상기 본체부에는 메인라인에 양단이 연결되는 주관과 벤트라인에 연결되는 분지관이 형성되고, 상기 제 1 밸브와 제 2 밸브 각각의 상측에는 밸브구동용 유체가 공급되는 관인 압력인가튜브가 밸브의 인렛포트에 연결되는 반도체 공정용 모노블락밸브에 있어서; 모노블락밸브를 구성하는 상기 밸브는 압력인가튜브를 통해 밸브구동용 유체가 정상적인 압력을 인가할 수 있도록 공급되는지를 외부에서 식별할 수 있는 작동여부식별장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정용 모노블락밸브가 제공된다.

상기 작동여부식별장치는 인렛포트에 연결된 압력인가튜브의 단부에서 분지형성된 것으로서 압력인가튜브로부터 밸브의 내부로 공급되는 밸브구동용 유체의 일부를 이송하는 압력전달관과, 상기 압력전달관을 통해 전달된 유체가 작용하는 압력에 비례하여 이동하는 변위부와 상기 변위부의 이동을 안내함과 아울러 변위부의 이동을 밸브의 외부에서 볼 수 있도록 밸브의 외면을 이루는 부분이 투명하게 형성된 변위부 안내관을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정용 모노블락밸브가 제공된다.

이하, 첨부도면에 도시한 본 발명의 일실시례에 의거하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.

도 4 는 본 발명의 일실시례에 의한 반도체 공정용 모노블락밸브의 측면도를 도시한 것이다.

이에 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 반도체 공정용 모노블락밸브에서는, 압력인가튜브(1b)를 통해 밸브구동용 유체가 정상적인 압력을 인가할 수 있도록 공급되는지를 밸브(10)의 외부에서 식별할 수 있는 작동여부식별장치를 포함하여 밸브가 구성되게 되는데, 이러한 작동여부식별장치는 인렛포트(10a)에 연결된 압력인가튜브(1b)의 단부에서 분지형성된 것으로서 압력인가튜브(1b)로부터 밸브(10)의 내부로 공급되는 밸브구동용 유체의 일부를 이송하는 압력전달관(11)과, 상기 압력전달관(11)을 통해 전달된 유체가 작용하는 압력에 비례하여 이동하는 변위부(12)와 상기 변위부(12)의 이동을 안내함과 아울러 변위부(12)의 이동을 밸브(10)의 외부에서 볼 수 있도록 밸브(10)의 외면을 이루는 부분이 투명하게 형성된 변위부 안내관(13)을 포함하여 구성되게 된다.

이때, 상기 변위부(12)는 변위부(12)의 질량에 의한 중력과 압력전달관(11)을 통해 전달된 유체의 압력이 변위부(12)에 미치는 힘이 이루는 균형에 의해 변위부 안내관(13) 상의 위치가 결정되도록 형성되거나, 미도시 하였으나, 변위부의 일측이 일정한 탄성계수를 가지는 스프링에 의해 변위부 안내관에 고정되어 스프링의 탄성력이 미치는 힘과 압력전달관을 통해 전달된 유체의 압력이 미치는 힘이 이루는 균형에 의해 변위부 안내관 상의 위치가 결정되도록 형성되는 것이 바람직하다.

상기한 바와 같은 구조로 되는 본 발명에 의한 반도체 공정용 모노블락밸브의 작용을 설명하면 다음과 같다.

밸브구동용 유체가 정상적으로 공급되는 동안에는 상기 압력전달관(11)을 통해 밸브구동용 유체의 일부가 이송되어 변위부 안내관(13)내에 놓인 변위부(12)에 압력을 가하게 되는데 이러한 압력은 변위부(12)에 미치는 중력 또는 스프링의 탄성력과 균형을 이루는 위치까지 변위부(12)를 변위부 안내관(13) 상에서 이동시키게 된다. 그런데 변위부 안내관(13)중 밸브(10)의 외면을 구성하는 부분은 투명하게 형성되어 있어 이러한 변위부(12)의 현재 위치는 외부의 작업자에게 감지되게 되고 작업자는 이에 의해 정상적으로 밸브구동용 유체가 공급되어 밸브(10)가 작동하고 있는지를 판단할 수 있게 되는 것이다.

그리고 이러한 작동여부식별장치는 밸브를 구동하기 위하여 밸브구동용 유체의 압력을 이용하는 일반적인 공압밸브에 적용가능하다.

상기한 바와 같은 구조로 되는 반도체 공정용 모노블락밸브는 밸브에 설치된 작동여부식별장치에 의해 압력인가튜브를 분해하는등의 번거로운 과정없이 밸브구동용 유체가 압력인가튜브를 통해 정상적으로 밸브로 공급되고 있는지를 밸브의 외부에서 관찰하여 파악할 수 있으므로 장비를 보다 원활하게 관리할 수 있고 문제 발생시 신속하게 대처함에 의해 작업능률과 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 설치공간을 줄이기 위해 제 1 밸브와 제 2 밸브의 두 개의 밸브가 본체부에 연결되어 일체로 구성되며, 상기 본체부에는 메인라인에 양단이 연결되는 주관과 벤트라인에 연결되는 분지관이 형성되고, 상기 제 1 밸브와 제 2 밸브 각각의 상측에는 밸브구동용 유체가 공급되는 관인 압력인가튜브가 밸브의 인렛포트에 연결되는 반도체 공정용 모노블락밸브에 있어서; 모노블락밸브를 구성하는 상기 밸브는 압력인가튜브를 통해 밸브구동용 유체가 정상적인 압력을 인가할 수 있도록 공급되는지를 외부에서 식별할 수 있는 작동여부식별장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정용 모노블락밸브.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 작동여부식별장치는 인렛포트에 연결된 압력인가튜브의 단부에서 분지형성된 것으로서 압력인가튜브로부터 밸브의 내부로 공급되는 밸브구동용 유체의 일부를 이송하는 압력전달관과, 상기 압력전달관을 통해 전달된 유체가 작용하는 압력에 비례하여 이동하는 변위부와 상기 변위부의 이동을 안내함과 아울러 변위부의 이동을 밸브의 외부에서 볼 수 있도록 밸브의 외면을 이루는 부분이 투명하게 형성된 변위부 안내관을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정용 모노블락밸브.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 변위부는 변위부의 질량에 의한 중력과 압력전달관을 통해 전달된 유체의 압력이 변위부에 미치는 힘이 이루는 균형에 의해 변위부 안내관 상의 위치가 결정되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정용 모노블락밸브.
4. 제 2 항에 있어서, 상기 변위부는 변위부의 일측이 일정한 탄성계수를 가지는 스프링에 의해 변위부 안내관에 고정되어 스프링의 탄성력이 미치는 힘과 압력전달관을 통해 전달된 유체의 압력이 미치는 힘이 이루는 균형에 의해 변위부 안내관 상의 위치가 결정되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정용 모노블락밸브.