KR19990069565A - 팬 작동 상태 감시 장치 - Google Patents

Abstract

부품이나 장치에서 발생되는 열을 방출하기 위한 팬의 정상적인 작동상태를 감지하여 디스플레이하고, 경보동작이 이루어져서 부품 또는 장치의 정상적인 동작이 이루어지도록 하는 팬 작동 상태 감시 장치에 관한 것이다.

본 발명은, 부품에 발생된 열을 냉각시키기 위한 팬의 작동 상태를 감지하는 센싱부, 상기 센싱부의 센싱신호를 인가받아서 상기 팬의 작동 상태를 나타내도록 신호처리하는 신호처리부 및 상기 신호처리부의 처리 결과에 따라 상기 팬의 작동상태를 표시하는 디스플레이 부를 구비하여 이루어진다.

따라서, 본 발명에 의하면 팬의 회전속도의 변화 또는 동작의 정지여부가 센서를 통해 감지되어 디스플레이되고, 경보가 발생되어서 팬의 오동작으로 인한 설비오류가 방지되며, 설비가 효율적으로 관리되는 효과가 있다.

Description

팬 작동 상태 감시 장치

본 발명은 팬 작동 상태 감시 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는

부품이나 장치에서 발생되는 열을 방출하기 위한 팬의 정상적인 작동상태를 감지하여 디스플레이하고, 경보동작이 이루어져서 부품 또는 장치의 정상적인 동작이 이루어지도록 하는 팬 작동 상태 감시 장치에 관한 것이다.

통상, 반도체 장치를 제조하는데 사용하는 기기나 장치는 미세하고 정밀한 작업이 수행되는데, 주위의 환경조건이 변화되면 기기가 오동작을 하거나 다운(Down)되는 경우가 발생된다.

특히, 장치내부에는 작동중에 열이 발생되는 부위가 있는데, 즉 전원공급기, 펌프, 모터, 중앙처리장치 및 컨트롤러 등이 있다. 이들에는 발생되는 열을 방출하기 위한 수단이 제공되는데, 발생된 열을 열전도에 의해 대기중에 방출하는 방열판, 냉각용 팬 등이 있다.

상기 냉각용으로 설치된 팬은 기기의 내부부품이나 장치에서 발생되는 열을 외부로 방출하거나 외부 공기를 장치 내부로 인입시켜서 열을 식히는 용도로 사용되는데, 반도체 장치를 제조하는 라인에서는 제조설비가 지속적으로 가동됨으로써 여기에 사용되는 팬의 수명이 비교적 짧다. 즉, 작동시간이 많음으로 팬에 공급되는 윤활유가 증발하거나 팬이 노화되어 회전수가 감소되어 공기를 불어주는 양이 감소되었다.

제조설비의 작동중에 팬의 동작이 정지되면 제조설비 내부의 부품에서 발생되는 열이 방출되지 않아서 내부온도가 상승하고, 부품이 오동작하여 작동오류가 발생되었고, 특히, 온도상승으로 열에 민감한 부품이 버닝(Burning)되는 결과를 초래하였다.

그러므로, 종래의 반도체 공정에 이용되는 기계 또는 설비의 내부 부품의 냉각을 위하여 설치되는 팬의 작동상태를 감시하는 수단이 강구되어야 했다.

본 발명의 목적은, 반도체 공정에 이용되는 기계 또는 설비의 내부 부품의 발열이나 냉각을 위하여 설치되는 팬의 작동 상태를 체크하여 경보하고, 디스플레이되도록 하는 팬 작동 상태 감시 장치를 제공하는 데 있다.

도1은 본 발명에 따른 팬 작동 상태 감시 장치의 실시예를 나타내는 블록도이다.

도2는 본 발명에 따른 팬 작동 상태 감시 장치의 센싱원리를 보여주기 위한 도면이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10 : 팬 12 : 센싱부

14 : 신호처리부 16 : 디스플레이부

R : 저항

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 팬 작동 상태 감시 장치는, 부품에 발생된 열을 냉각시키기 위한 팬의 작동 상태를 감지하는 센싱부, 상기 센싱부의 센싱신호를 인가받아서 상기 팬의 작동 상태를 나타내도록 신호처리하는 신호처리부 및 상기 신호처리부의 처리 결과에 따라 상기 팬의 작동상태를 표시하는 디스플레이부를 구비하여 이루어진다.

그리고, 상기 센싱부는 상기 팬의 구동에 따라 발생되는 풍량을 감지하는 센서를 구비한다.

그리고, 상기 센싱부는 상기 팬의 구동에 따라 공급되는 열을 감지하는 열감지 센서를 구비하고 있다.

그리고, 상기 디스플레이부는 상기 센싱부에서 감지되는 열의 온도가 디스플레이되도록 이루어진다.

그리고, 상기 디스플레이에는 상기 신호처리부의 출력신호 레벨이 소정 설정기준 이하이면 경보동작이 이루어지는 경보기가 포함되어 이루어짐이 바람직하다.

또한, 상기 경보기는 부저로 이루어진다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도1을 참조하면, 본 발명에 따른 실시예는 팬(10)으로부터 공급되는 열을 감지하는 센싱부(12)의 신호를 인가받는 신호처리부(14)가 센싱부(12)에 연결되고, 신호처리부(14)에는 팬(10)의 구동에 관한 신호를 인가받아 표시하는 디스플레이부(16)가 연결되어 구성된다.

전술한 바 구성에 의하면, 소정 장치내부의 부품에서 발생된 열이 팬(10)에 의해 센싱부(12)에 인입되면 열이 감지되어서 신호처리부(14)에 인가되면 열의 크기에 대한 신호로써 출력되어서 디스플레이부(16)에 표시된다. 그리고, 디스플레이부(16)에는 인가되는 출력의 레벨에 따라 경보동작이 이루어진다.

구체적으로, 팬(10)에 공급되는 윤활유가 증발되거나 부품의 손상 또는 불안정한 전류의 공급 등의 원인으로 팬(10)의 구동이 비정상적으로 수행되면, 팬(10)의 회전속도가 감소되거나 팬(10)의 회전이 멈추게 된다.

팬(10)의 회전속도가 감소되거나 팬(10)의 회전이 멈추게 되면, 발열이 발생되는 부품의 방열이 순조롭게 이루어지지 않아서 과열된다. 이때 풍량이 센싱부(12)를 이루는 센서(도시하지 않음)에 의하여 센싱되고 그에 따른 전기적 논리신호인 센싱신호가 신호처리부(14)로 입력된다.

신호처리부(14)는 입력되는 센싱신호를 논리판단가능한 TTL레벨로 증폭하여 하이레벨인가 로우레벨인가 판단하고 그에 대한 판단 결과를 디스플레이부(16)로 출력한다. 디스플레이부(16)는 인가되는 레벨에 따라 감지되는 열의 레벨이 하이/로우를 나타내는 그래픽 형태 또는 발광다이오드로 구분되어 표시되게 한다. 또한 로우레벨의 신호가 인가될 경우에는 자체에 내장된 경보기가 작동되어서 팬(10)의 비정상적인 동작이 이루어지고 있음을 작업자에게 알린다.

도2에는 본 발명에 따른 감지원리를 개략적으로 파악할 수 있다. 즉, 팬(10)으로부터 인입되는 풍량의 크기에 따라 저항값이 변하게 된다. 그러면 도선을 흐르는 전류의 값이 변하게 되므로 이를 신호처리부(14)에서 소정 레벨에 따라 하이/로우를 결정한다.

전술한 바와 같이 본 발명에 따른 실시예에 의하면 팬(10)의 작동상태가 감지되어서 팬(10)의 오동작을 쉽게 파악할 수 있는 이점이 있다.

따라서, 본 발명에 의하면 팬의 회전속도의 변화 또는 동작의 정지여부가 센서를 통해 감지되어 디스플레이되고, 경보가 발생되어서 팬의 오동작으로 인한 설비오류가 방지되며, 설비를 효율적으로 관리하는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (6)

1. 부품에 발생된 열을 냉각시키기 위한 팬의 작동 상태를 감지하는 센싱부;

   상기 센싱부의 센싱신호를 인가받아서 상기 팬의 작동 상태를 나타내도록 신호처리하는 신호처리부; 및

   상기 신호처리부의 처리 결과에 따라 상기 팬의 작동상태를 표시하는 디스플레이부;

   를 구비함을 특징으로 하는 팬 작동 상태 감시 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 센싱부는,

   상기 팬의 구동에 따라 발생되는 풍량을 감지하는 센서를 구비함을 특징으로 하는 상기 팬 작동 상태 감시 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 센싱부는,

   상기 팬의 구동에 따라 공급되는 열을 감지하는 열감지 센서를 구비함을 특징으로 하는 상기 팬 작동 상태 감시 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 디스플레이부는,

   상기 센싱부에서 감지되는 열의 온도가 디스플레이됨을 특징으로 하는 상기 팬 작동 상태 감시 장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 디스플레이에는,

   상기 신호처리부의 출력신호 레벨이 소정 설정기준 이하이면 경보동작이 이루어지는 경보기가 포함되어 이루어짐을 특징으로 하는 상기 팬 작동 상태 감시 장치.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 경보기는,

   부저로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 팬 작동 상태 감시 장치.