KR19990067758A - 진공 펌프에 의해 펌핑되는 인클로저내에서의 압력 조절 제공 시스템 - Google Patents

진공 펌프에 의해 펌핑되는 인클로저내에서의 압력 조절 제공 시스템 Download PDF

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Abstract

진공 펌프(3)에 의해 펌핑되는 인클로저(1)내의 압력을 조절하는 시스템에 있어서, 본 시스템은 모터 구동 가변 개방 밸브(6)를 갖춘 덕트(5)는 펌프의 출구에 인접한 하나 이상의 스테이지(8)를 펌프의 입구에 인접한 하나 이상의 스테이지(9)에 연결시키고, 밸브(6)의 개방은 인클로저(1)내의 압력 P를 기준 압력 P1으로 서보 제어하기 위해 전자 회로(11)로부터 나온 신호(10)에 의해 제어되며, 상기 회로(11)는 인클로저(1)내에 측정된 압력 P를 나타내는 신호(12)를 입력부로서 받아들이는 것을 특징으로 한다.

Description

진공 펌프에 의해 펌핑되는 인클로저내에서의 압력 조절 제공 시스템 {A system for providing pressure regulation in an enclosure pumped by a vacuum pump}
본 발명은 진공 펌프에 의해 펌핑된 인클로저(enclosure)내에서의 압력 조절 제공 시스템에 관한 것이다.
생산품이 매우 낮은 압력에서 처리 가스로 공급되는 인클로저내에서 제조 또는 처리되는 산업적 방법에 있어서, 인클로저내에서의 압력을 조절하는 것이 필요하다.
이는, 예를 들어, 반도체를 제조 및 처리하는 방법에 적용된다.
진공 펌프에 의해 펌핑된 인클로저내에서 압력을 조절하는 공지의 방법은 직렬형의 펌프 흡입 입구에서 사용하는 것이다. 즉, 다양한 컨덕턴스를 가진 밸브는 펌핑된 흐름이 변화되게 할 수 있고, 이로써, 인클로저내에서의 압력이 변화되게 할 수 있다. 밸브가 개방되는 범위는 기준 압력과 인클로저내에서 측정된 압력을 기초로 하여 조절기 회로로부터 나온 제어 신호에 의해서 조절된다.
그러한 기술은 고가이고 부피가 크다.
본 발명의 목적은 보다 저가이고 또한 보다 컴팩트한 시스템을 마련하는 것이다.
본 발명은 진공 펌프에 의해 펌핑되는 인클로저내에서의 압력을 조절하는 시스템을 마련하고, 본 시스템은 모터 구동 가변 개방 밸브를 갖춘 덕트가 펌프의 출구에 인접한 하나 이상의 스테이지를 그 입구에 인접한 하나 이상의 스테이지에 연결시키고, 밸브의 개방이 기준 압력 P1으로 인클로저내의 압력 P를 서보 제어하기 위해 전자 회로로부터 나온 신호에 의해 제어되며, 상기 회로는 인클로저내에 측정된 압력 P를 나타내는 신호를 입력부로서 받아들인다.
이하 단일의 형태를 포함하는 첨부된 도면을 참조하여 주어진 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다.
도1은 본 발명에 따른 압력 조절 제공 시스템을 나타낸 도면.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
1: 인클로저
3: 진공 펌프
4: 디스크 스테이지
5: 방출부
6: 밸브
7: 덕트
도면을 참조하면, 인클로저(1)이 도시되어 있다. 예로서, 이는 반도체 처리의 방법에서 사용하는 챔버를 구성할 수 있다. 본 처리는 투입이 화살표(2)에 의해 표시되는 처리 가스의 매우 정화된 환경에서 발생된다.
요구 저압력을 유지하기 위해, 인클로저는 진공 펌프(3)에 의해 펌핑된다.
도면은 직렬형의 디스크 스테이지(4)를 갖는 분자 드래그(drag) 2차 펌프를 나타낸다. 그 방출부(5)가 1차 펌프(미도시함)에 연결된다. 이는 홀벡(Holweck) 펌프, 하이브리드 펌프 또는 실제로는, 예를 들어, 다단 루츠(Roots) 펌프와 같은 다단 1차 펌프 등의 일부 다른 형태의 펌프을 사용하는 가능할 수 있다.
본 발명에 따르면, 모터 구동 가변 개방 밸브(6)를 갖춘 덕트(7)는 방출부에 인접한 하나 이상의 스테이지(8)를 흡입부에 인접한 하나 이상의 스테이지(9)에 연결시킨다. 이 가변 개방 밸브는 펌프를 통해 재순환되는 가스의 흐름을 변화시킬 수 있는 재순환을 마련함으로써, 처리실(1)로부터 직접 외부로 펌핑되는 가스의 양을 변화시킨다.
밸브(6)의 개방되는 범위는 설정된 기준 압력 P1으로 인클로저 내에서 얻어지는 압력 P를 서보 제어하는 회로를 포함하는 전자 회로(11)로부터의 신호(10) 출력에 의해 제어된다. 서보 제어 회로는 종래의 것이고 미도시되었다. 그 입력부는 인클로저(1)내의 압력 P를 측정하는 압력 게이지(13)으로부터 나오는 신호(12)를 받는다.
전자 회로(11)는 또한 펌프(3)을 구동하는 모터(14)를 제어하는 데에 요구되는 회로들을 가진다.
따라서, 펌프로 인가될 수 있는 총유량을 표시하는 Qt와, 덕트(5)를 경유하여 재순환되는 가스 유량인 Qr, 인클로저(1)로부터 직접 오는 유량인 Qp를 사용하면, Qt=Qr+Qp으로 된다. Qr이 밸브(6)의 개도를 변경함으로써 변화되면, 펌프의 속도가 일정하고, 이로써, Qt도 일정해지기 때문에, 유량 Qp도 변화한다.
따라서, 상술한 종래의 기술과 비교하면, 본 발명의 시스템은 고가이고 큰 부피를 가진 밸브와 같이 펌프로의 총유량을 변경하기 위해 펌프로의 입구에서 큰 직경의 밸브를 가지는 대신에, 총유량에 비해 적은 재순환 유량 Qr만을 통과하는 소형의 밸브가 요구되기 때문에 특히 이점이 있다. 따라서, 본 밸브는 보다 소형이고 보다 저가이다. 대강 말하면, 그 가격은 1/10이다.
이상 설명한 본 발명에 의하면, 소형의 밸브만이 요구되어 저가이고 콤팩트한 시스템을 마련할 수 있다.

Claims (1)

  1. 진공 펌프(3)에 의해 펌핑되는 인클로저(1)내의 압력을 조절하는 시스템에 있어서,
    모터 구동 가변 개방 밸브(6)를 갖춘 덕트(5)는 펌프의 출구에 인접한 하나 이상의 스테이지(8)를 펌프의 입구에 인접한 하나 이상의 스테이지(9)에 연결시키고, 밸브(6)의 개방은 인클로저(1)내의 압력 P를 기준 압력 P1으로 서보 제어하기 위해 전자 회로(11)로부터 나온 신호(10)에 의해 제어되며, 상기 회로(11)는 인클로저(1)내에 측정된 압력 P를 나타내는 신호(12)를 입력부로서 받아들이는 것을 특징으로 하는 시스템.
KR1019990000135A 1998-01-06 1999-01-06 진공 펌프에 의해 펌핑되는 인클로저내에서의 압력 조절 제공 시스템 KR19990067758A (ko)

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FR9800036 1998-01-06

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