KR19990065303A - Field effect display element, its driving method and spacer manufacturing method - Google Patents

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Abstract

전계효과 표시소자 및 그 구동방법과 그 스페이서 제조방법이 개시된다. 양극판과 음극판 사이의 간극 유지용으로 양극판과 음극판사이에 설치되는 스페이서가 지지층이 되는 상부 및 하부 지지층과, 이 상기 상부 및 하부 지지층 사이에 개재된 적어도 하나 이상의 전극층을 갖고, 바람직한 실시예로서, 하부 지지층으로부터 그 위로 제1전극층, 제1절연층, 제2전극층, 제2절연층, 제3전극층, 제3절연층 및 제4전극층 및 상기 상부 지지층이 순차적으로 마련된 적층구조를 갖는다. 이러한 스페이서가 채용된 전계효과 표시소자에서 제1전극층은 양(+)의 바이어스전압을 인가하고, 상기 제2전극층 및 제4전극층은 각각 소정레벨의 음(-)의 바이어스를 인가하여 구동된다. 이와 같은 전계효과 표시소자에 의하면 그 스페이서 제조에 소요되는 시간이 단축되고, 전극층 사이에 삽입된 세라믹소재의 절연층에 의한 지지강도가 커져, 그에 따라 스페이서의 점유폭대 높이에 대한 비인 에스펙트 비를 원하는 만큼 크게할 수 있고, 스페이서내에 다수의 전극층이 구비되어 구동시 전자렌즈역할에 의해 진행되는 전자빔의 형광막으로의 전자 집중효율을 향상시켜 휘도효율을 증가시키는 효과가 있다.Disclosed are a field effect display device, a driving method thereof, and a spacer manufacturing method thereof. A spacer provided between the positive electrode plate and the negative electrode plate for maintaining the gap between the positive electrode plate and the negative electrode plate has an upper and lower support layer serving as a support layer, and at least one electrode layer interposed between the upper and lower support layers. The first electrode layer, the first insulating layer, the second electrode layer, the second insulating layer, the third electrode layer, the third insulating layer and the fourth electrode layer, and the upper support layer are sequentially formed thereon. In the field effect display device employing the spacer, the first electrode layer is driven by applying a positive bias voltage, and the second and fourth electrode layers are driven by applying a negative bias of a predetermined level, respectively. According to the field effect display device, the time required for manufacturing the spacer is shortened, and the supporting strength of the insulating layer of the ceramic material interposed between the electrode layers is increased, thereby reducing the aspect ratio, which is the ratio to the height of the spacer occupancy. It can be made as large as desired, and a large number of electrode layers are provided in the spacer, and thus the luminance efficiency is increased by improving the electron concentration efficiency of the electron beam to the fluorescent film, which is driven by the electron lens role during driving.

Description

전계효과 표시소자와 그 구동방법 및 그 스페이서 제조방법Field effect display element, its driving method and spacer manufacturing method

본 발명은 전계효과 표시소자와 그 구동방법 및 그 스페이서 제조방법에 관한 것으로서, 상세하게는 양극판과 음극판 사이의 대향 간극을 일정하게 유지시키기 위해 설치되는 스페이서의 일부영역이 양극판을 향하는 전자빔의 집속을 위한 복수의 전극으로 사용될 수 있도록 된 전계효과 표시소자와 그 구동방법 및 그 스페이서 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a field effect display device, a method of driving the same, and a method of manufacturing the spacer thereof. Specifically, a partial region of a spacer provided to maintain a constant gap between the anode plate and the cathode plate is focused on the electron beam toward the anode plate. A field effect display device, a driving method thereof, and a spacer manufacturing method thereof, which can be used as a plurality of electrodes.

도 1은 종래의 전계효과 표시소자의 개략적 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view of a conventional field effect display device.

도시된 바와 같이, 전계효과 표시소자(10)는 스페이서(13)에 의해 상호 일정거리를 두고 대향 배치된 양극판(11)과 음극판(12)이 마련되어 있다. 그리고 음극판(12) 위에는 다수의 마이크로 팁(14)들이 일정거리를 두고 형성되어 있다. 이 마이크로 팁(14)들은 음극판(12) 위에 형성된 절연층(15)에 의해 둘러싸인 관통공(16) 내에 마련되어 있다. 그리고 절연층(15)의 위에는 게이트(17)들이 적층되어 있다. 양극판(11) 상에는 형광막(18)이 형성되어 있다. 여기서 스페이서(13)는 양극판(11)과 음극판(12) 사이의 간격을 유지하는 지지대의 역할만을 한다. 참조부호 11a, 12a는 각각 양극과 음극이다.As shown in the drawing, the field effect display element 10 is provided with a positive electrode plate 11 and a negative electrode plate 12 which are arranged to be spaced apart from each other by a spacer 13. In addition, a plurality of micro tips 14 are formed at a predetermined distance on the negative electrode plate 12. These micro tips 14 are provided in the through holes 16 surrounded by the insulating layer 15 formed on the negative electrode plate 12. The gates 17 are stacked on the insulating layer 15. The fluorescent film 18 is formed on the positive electrode plate 11. The spacer 13 serves only as a support for maintaining a gap between the positive electrode plate 11 and the negative electrode plate 12. Reference numerals 11a and 12a denote positive and negative electrodes, respectively.

이와 같이 지지대 역할만을 하도록 설치된 종래의 스페이서(13)는 도 2에 도시된 바와 같이, 마스크(19)를 사용하여 유리페이스트를 수회에 걸쳐 스크린 프린트하여 만들어졌다.Thus, the conventional spacer 13 installed to serve only as a support was made by screen printing a glass paste several times using a mask 19, as shown in FIG.

그러나, 종래의 스크린 프린트에 의한 스페이서 제조방법에 의하면 요구되는 양극판(11)과 음극판(12)의 유지간극거리가 되는 스페이서(13)의 높이를 200μm 정도로 하기 위해서는 스크린 프린팅 및 경화 공정을 7회 정도 반복하여 실시하여야 하므로 많은 시간이 소요된다. 또한, 경화 중에는 유리페이스트의 흘러내림이 나타나거나, 반복 공정중의 정렬 오차로 인하여 스페이서(13)의 지지대상면과의 점유폭대 그 높이에 대한 비인 에스펙트 비(aspect ratio; 높이/폭)를 크게 하기가 매우 어려운 문제점을 안고 있다.However, according to the conventional method of manufacturing a spacer by screen printing, the screen printing and curing processes are performed about seven times in order to make the height of the spacer 13, which is the retention gap distance between the positive electrode plate 11 and the negative electrode plate 12, required about 200 μm. It takes a lot of time because it must be repeated. In addition, during curing, the glass paste may appear to fall down, or due to an alignment error during the repeating process, an aspect ratio (height / width) that is a ratio of the occupied width to the height of the spacer 13 to the supporting object is greatly increased. There is a problem that is very difficult to do.

한편, 스페이서는 유지재질의 절연성에 의해 전자에 대해 전기적인 반발력을 갖도록 이용될 수 없어 양극판으로 향하도록 마이크로팁들로부터 출사된 전자빔중 스페이서로 향하는 일부 빔에 대한 스페이서 표면으로의 침투에 의한 흡수를 방어할 수 없게 되고, 그에 따라 마이크로팁들로부터의 전자빔 발생량에 대한 양극판으로의 전자빔 도달량에 대한 비가 감소됨으로써 휘도효율 저하 개선에 기여하지 못하는 단점을 안고 있다.On the other hand, the spacer cannot be used to have electrical repulsive force against electrons due to the insulating property of the holding material, so that absorption due to penetration into the spacer surface of some of the beams emitted from the microtips toward the spacer is directed to the anode plate. There is a disadvantage that cannot be defended, and thus the ratio of the amount of electron beam generation from the microtips to the amount of electron beam arrival to the anode plate is reduced, thereby not contributing to the improvement of the luminance efficiency reduction.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위하여 창안된 것으로서, 제조공정에 소요되는 시간을 줄일 수 있고, 제조된 스페이서의 에스펙트 비를 크게 할 수 있으며, 스페이서 표면으로의 전자빔 침투를 억제하여 휘도 향상에 기여할 수 있는 전계효과 표시소자 및 그 스페이서 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.The present invention has been made to improve the above problems, can reduce the time required for the manufacturing process, can increase the aspect ratio of the manufactured spacer, improve the brightness by suppressing the electron beam penetration to the spacer surface An object of the present invention is to provide a field effect display device and a method of manufacturing the spacer, which can contribute to the same.

도 1은 종래의 전계효과 표시소자의 개략적 단면도이고,1 is a schematic cross-sectional view of a conventional field effect display device,

도 2는 도 1의 전계효과 표시소자의 종래의 스페이서 제조방법을 설명하기 위해 그 제조공정의 일부를 나타내보인 단면도이고,FIG. 2 is a cross-sectional view showing a part of a manufacturing process of the conventional spacer manufacturing method of the field effect display device of FIG.

도 3은 본 발명에 따른 전계효과 표시소자를 나타내 보인 단면도이고,3 is a cross-sectional view showing a field effect display device according to the present invention;

도 4 내지 도 7은 본 발명에 따른 전계효과 표시소자의 스페이서 제조 방법을 도식적으로 설명하기 위해 각 공정 단계별로 나타내보인 도면으로서,4 to 7 are diagrams showing step by step in order to explain a method of manufacturing a spacer of a field effect display device according to the present invention;

도 4는 금속판 상 하부에 세라믹 페이스를 롤링에 의해 소정 두께 도포하는 과정을 도시한 단면도이고,4 is a cross-sectional view showing a process of applying a predetermined thickness by rolling a ceramic face on a lower portion of a metal plate;

도 5는 도 4의 과정을 거쳐 얻은 두 개의 금속판을 상호 포갠상태에서 롤러에 의한 가압으로 전기적으로 분리된 전극층을 형성하는 과정을 도시한 단면도이고,FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a process of forming an electrode layer electrically separated from each other by pressing a roller in a state in which two metal plates obtained through the process of FIG.

도 6은 도 5의 적층판 상 하부에 금속판을 부착하여 절연층에 의해 상호 분리된 4개의 전극층을 갖는 복합층을 형성한 후의 단면도이고,6 is a cross-sectional view after forming a composite layer having four electrode layers separated from each other by an insulating layer by attaching a metal plate on the lower part of the laminate of FIG. 5,

도 7은 도 6의 복합층을 수직상으로 펀칭에 의해 다수의 관통공을 형성한 후의 부분절개 사시도이고,FIG. 7 is a partially cutaway perspective view of a plurality of through holes formed by punching the composite layer of FIG. 6 vertically; FIG.

도 8은 도 7의 복합층 상하부에 지지돌기를 다수 형성한 후의 사시도이다.8 is a perspective view after the formation of a plurality of support protrusions on the upper and lower composite layers of FIG.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

10, 30: 전계효과 표시소자 11, 31: 양극판10, 30: field effect display element 11, 31: bipolar plate

12, 32: 음극판 13, 50 : 스페이서12, 32: negative electrode plate 13, 50: spacer

14, 34: 마이크로팁 15, 35: 절연층14, 34: microtip 15, 35: insulating layer

16, 36: 관통공 17, 37: 게이트16, 36 through-hole 17, 37: gate

18, 38: 형광막 19: 마스크18, 38: fluorescent film 19: mask

40: 시일재 51: 하부층(지지돌기)40: sealing material 51: lower layer (supporting projection)

52: 제1전극층 53: 제1절연층52: first electrode layer 53: first insulating layer

54: 제2전극층 55: 제2절연층54: second electrode layer 55: second insulating layer

56: 제3전극층 57: 제3절연층56: third electrode layer 57: third insulating layer

58: 제4전극층 60: 관통공58: fourth electrode layer 60: through hole

80: 금속판 90: 세라믹 페이스트80: metal plate 90: ceramic paste

91: 롤러91: roller

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 전계효과 표시소자는 일정거리를 두고 상호 대향 배치되는 양극판 및 음극판과, 상기 양극판 및 음극판의 대향면상에 소정의 패턴으로 적어도 하나 이상 형성된 양극과 음극, 상기 음극상에 소정의 간격으로 배치된 마이크로팁들, 상기 마이크로팁들을 둘러싸도록 상기 음극판 및 음극 상에 적층된 절연층, 상기 마이크로팁들의 상부가 열리도록 개구부를 갖고 상기 절연층 상에 적층된 게이트, 상기 양극판과 음극판 사이 간격을 유지시키기 위해 상기 양극판과 음극판 사이에 설치된 적어도 하나의 스페이서를 구비하는 전계효과 표시소자에 있어서, 상기 스페이서는 소정거리로 이격된 상부 및 하부 지지층과; 전기적으로 상호 분리되도록 상기 상부 및 하부 지지층 사이에 개재된 적어도 하나 이상의 전극층;을 구비한다. 상기 전극층들 사이에는 절연층이 개재되어 있고, 바람직하게는 상기 하부 지지층으로부터 그 위로 제1전극층, 제1절연층, 제2전극층, 제2절연층, 제3전극층, 제3절연층, 제4전극층 및 상기 상부 지지층이 순차적으로 마련된 구조를 갖는다. 그리고, 상기 제1 내지 제3절연층은 세라믹 소재로, 상기 상부 및 하부 지지층은 유리소재로 각각 형성되어 있는 것이 바람직하다.In order to achieve the above object, the field effect display device according to the present invention includes a positive electrode plate and a negative electrode plate disposed to face each other at a predetermined distance, and at least one positive electrode and a negative electrode formed in a predetermined pattern on opposite surfaces of the positive electrode plate and the negative electrode plate, Microtips disposed on the cathode at predetermined intervals, an insulating layer laminated on the negative electrode plate and the negative electrode to surround the microtips, a gate stacked on the insulating layer having an opening to open the top of the microtips, A field effect display device having at least one spacer disposed between the positive electrode plate and the negative electrode plate to maintain a gap between the positive electrode plate and the negative electrode plate, the spacer comprising: upper and lower support layers spaced at a predetermined distance; And at least one electrode layer interposed between the upper and lower support layers to be electrically separated from each other. An insulating layer is interposed between the electrode layers, and preferably a first electrode layer, a first insulating layer, a second electrode layer, a second insulating layer, a third electrode layer, a third insulating layer, and a fourth insulating layer thereon. The electrode layer and the upper support layer have a structure sequentially provided. Preferably, the first to third insulating layers are made of a ceramic material, and the upper and lower support layers are each formed of a glass material.

또한 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 전계효과 표시소자의 구동방법으로서, 상기 하부 지지층으로부터 그 위로 제1전극층, 제1절연층, 제2전극층, 제2절연층, 제3전극층, 제3절연층, 제4전극층 및 상기 상부 지지층이 순차적으로 마련된 구조를 갖는 스페이서에 대해 상기 제1전극층은 양(+)의 바이어스전압을 인가하고, 상기 제2전극층 내지 제4전극층은 각각 소정레벨의 음(-)의 바이어스를 인가하여 구동시키는 것을 그 특징으로 한다.In addition, in order to achieve the above object, a method of driving a field effect display device according to the present invention includes: a first electrode layer, a first insulating layer, a second electrode layer, a second insulating layer, a third electrode layer, The first electrode layer applies a positive bias voltage to the spacer having a structure in which the third insulating layer, the fourth electrode layer, and the upper support layer are sequentially provided, and the second to fourth electrode layers each have a predetermined level. It is characterized by driving by applying a negative bias.

또한 상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 전계효과 표시소자의 스페이서 제조방법은 가. 전극층으로 사용되는 복수개의 금속판 각각의 사이에 절연층을 개재시킨 복합층을 형성하는 단계와; 나. 상기 가단계에 얻은 복합층을 수직상으로 전자빔 통로가 되는 다수의 관통공을 형성시키는 단계; 및 다. 상기 복합층 상부 및 하부에 각각 지지돌기를 다수 형성시키는 단계;를 포함한다. 상기 복합층은 상기 금속판에 의한 제1전극층 위로 제1절연층, 제2전극층, 제2절연층, 제3전극층, 제3절연층 및 제4전극층이 순차적으로 적층된 구조로 형성한다. 여기서 상기 지지돌기는 상부 및 하부 지지층이 되고, 금속판은 전극층이 된다.In addition, the method for manufacturing a spacer of the field effect display device according to the present invention to achieve the above object is a. Forming a composite layer having an insulating layer interposed between each of the plurality of metal plates used as electrode layers; I. Forming a plurality of through-holes that become electron beam passages vertically on the composite layer obtained in the temporary step; And c. And forming a plurality of support protrusions on the upper and lower portions of the composite layer, respectively. The composite layer has a structure in which a first insulating layer, a second electrode layer, a second insulating layer, a third electrode layer, a third insulating layer, and a fourth electrode layer are sequentially stacked on the first electrode layer by the metal plate. Here, the support protrusions become upper and lower support layers, and the metal plate becomes an electrode layer.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예의 전계효과 표시소자 및 그 구동방법 및 그 스페이서 제조방법을 설명한다.Hereinafter, a field effect display device, a driving method thereof, and a spacer manufacturing method thereof according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 바람직한 실시예의 전계효과 표시소자를 나타내 보인 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing a field effect display device of a preferred embodiment according to the present invention.

도면을 참조하면, 전계효과 표시소자(30)는 시일재(40)에 의해 그 내부공간이 밀폐된 양극판(31)과 음극판(32)이 스페이서(33)에 의해 상호 일정거리를 두고 대향 지지되어 있다. 그리고 음극판(32) 위에 형성된 음극(32a) 위에는 다수의 마이크로 팁(34)들이 일정거리를 두고 형성되어 있다. 이 마이크로 팁(34)들은 음극(32a) 위에 형성된 절연층(35)에 의해 둘러싸인 관통공(36) 내에 설치되어 있다. 그리고 절연층(35)의 위에는 게이트(37)들이 적층되어 있다. 양극판(31)에 형성된 양극(31a) 위에는 형광막(38)들이 형성되어 있다.Referring to the drawings, the field effect display element 30 is supported by the sealing member 40 at a predetermined distance from each other with the positive electrode plate 31 and the negative electrode plate 32 whose inner spaces are sealed by the spacer 33. have. In addition, a plurality of micro tips 34 are formed at a predetermined distance on the cathode 32a formed on the cathode plate 32. These micro tips 34 are provided in the through hole 36 surrounded by the insulating layer 35 formed on the cathode 32a. The gates 37 are stacked on the insulating layer 35. The fluorescent films 38 are formed on the anode 31a formed on the anode plate 31.

여기서, 상기 양극판(31)과 음극판(32)의 이격거리를 유지시키기 위해 게이트(37)로부터 양극판(31) 사이에 설치된 스페이서(50)는 유리재질로 된 지지돌기인 하부 및 상부 지지층(51)(59) 사이에 제1전극층(52), 제1절연층(53), 제2전극층(54), 제2절연층(55), 제3전극층(56), 제3절연층(57), 제4전극층(58)이 마련된 구조를 갖는다. 각 절연층(53)(55)(57)은 세라믹소재로 형성되어 있다.Here, the spacer 50 provided between the gate plate 37 and the positive electrode plate 31 to maintain the separation distance between the positive electrode plate 31 and the negative electrode plate 32 is a lower and upper support layer 51 which is a support protrusion made of glass material. Between the first electrode layer 52, the first insulating layer 53, the second electrode layer 54, the second insulating layer 55, the third electrode layer 56, the third insulating layer 57, The fourth electrode layer 58 is provided. Each insulating layer 53, 55, 57 is formed of a ceramic material.

한 몸체를 이루는 스페이서(50)의 관통공(60, 도 7참조)은 마이크로팁들(34)로부터 형광막(38)으로의 전자빔 투사경로를 제공한다.The through hole 60 (see FIG. 7) of the spacer 50 constituting a body provides an electron beam projection path from the microtips 34 to the fluorescent film 38.

이렇게 형성된 스페이서(50)의 제1전극층(52)에는 마이크로팁들(34)로부터 방출된 전자의 진행을 가속시키기 위한 소정레벨의 양(+)의 전압을 인가하고, 제2전극층 내지 제4전극층(54)(56)(58)에는 전자렌즈(electric lens) 역할에 의한 전자빔의 형광막(38)으로의 집속을 위해 각각 소정레벨의 음(-)이 전압을 인가시켜 사용한다.The first electrode layer 52 of the spacer 50 formed as described above is applied with a positive voltage of a predetermined level to accelerate the progress of electrons emitted from the microtips 34, and the second electrode layer to the fourth electrode layer. The negative voltages (-) of predetermined levels are used in (54), (56) and (58) to focus the electron beam onto the fluorescent film 38 by the role of an electric lens.

따라서, 게이트(37)에 소정레벨의 양(+)의 바이어스가 인가되어 전계효과에 의한 마이크로팁들(34)로부터 방출되는 전자들은 제1전극층(52)에 걸린 양의 전압에 의해 상대적으로 그 보다 고전압의 양의 바이어스가 걸린 양극(31a)으로의 이동이 촉진되고, 이후, 스페이서(50)의 나머지 제2 내지 제4전극층(54)(56)(58)에 가해진 음(-)의 바이어스 전압에 의한 전자와의 반발력에 의해 스페이서(50)의 관통공(60) 중심부로 전자빔의 궤도를 집중시킴으로써 전자의 진행 궤도가 형광막(38)으로 포커스된다. 그 결과 마이크로팁들(34)로부터 방출된 전자들중 스페이서(50)의 내벽으로 향하던 전자들의 그 표면으로의 침투가 억제되어 휘도효율향상에 기여하게 된다.Accordingly, a predetermined level of positive bias is applied to the gate 37 so that the electrons emitted from the microtips 34 due to the electric field effect are relatively prevented by the positive voltage applied to the first electrode layer 52. Movement to the positive electrode 31a subjected to a higher voltage positive bias is promoted, and then negative bias applied to the remaining second to fourth electrode layers 54, 56 and 58 of the spacer 50. By advancing the trajectory of the electron beam in the center of the through hole 60 of the spacer 50 by the repulsive force with the electrons due to the voltage, the trajectory of the electrons is focused on the fluorescent film 38. As a result, the penetration of the electrons emitted from the microtips 34 toward the inner wall of the spacer 50 is suppressed, contributing to the improvement of the luminance efficiency.

이러한 전계효과 표시소자(30)의 스페이서 제조방법을 도 4내지 도 8을 참조하여 설명한다. 앞서 도시된 도면에서와 동일요소는 동일부재번호로 표기한다.A spacer manufacturing method of the field effect display device 30 will be described with reference to FIGS. 4 to 8. The same elements as in the previous drawings are denoted by the same member number.

먼저, 전극층으로 이용되는 복수개의 금속판 각각의 사이에 절연층을 개재시킨 복합층을 형성하는데 그 첫단계로서, 도 4에서와 같이 전극층으로 이용하기 위해 준비된 하나의 금속판(80)에 절연소재이면서 고형상태에서의 지지강도가 큰 세라믹 페이스트(90)가 도포된 롤러(91)사이에 관통시켜 금속판(80) 상하부에 세라믹 페이스트(90)에 의한 절연층을 형성한다. 이러한 과정을 별도의 금속판(80)에 대해서도 반복시켜 얻은 두 개의 금속판(80)을 상호 포개어 도 5에서처럼 롤러(91)사이로 통과시켜 압착에 의해 접합시킨다.First, as a first step of forming a composite layer having an insulating layer interposed between each of the plurality of metal plates used as electrode layers, as an insulating material and solid on one metal plate 80 prepared for use as an electrode layer as shown in FIG. The insulating layer by the ceramic paste 90 is formed above and below the metal plate 80 by penetrating between the rollers 91 on which the ceramic paste 90 having a large supporting strength in the state is applied. This process is repeated for a separate metal plate 80, the two metal plates 80 obtained by overlapping each other and passed through the roller 91 as shown in Fig. 5 to be joined by compression.

이후에는 도 5에서 얻은 적층판의 표면층 증 세라믹 페이스트로 된 절연층 상 하부에 별도의 금속판을 각각 접착시켜 도 6에서와 같이 그 바닥면으로부터 제1전극층(52), 제1절연층(53), 제2전극층(54), 제2절연층(55), 제3전극층(56), 제3절연층(57) 및 제4전극층(58)으로 된 복합층을 갖는 몸체가 형성된다. 여기서 각 전극층(52)(54)(56)(58)은 금속판(80)으로, 각 절연층(53)(55)(57)은 세라믹 페이스트(90)에 의해 형성되어 있다. 이후 세라믹 페이스트(90)를 고형으로 굳히기 위한 열처리공정이 수행된다.Subsequently, a separate metal plate is adhered to each of the upper and lower portions of the insulating layer of the surface layer thickening ceramic paste of the laminate obtained in FIG. 5, and the first electrode layer 52, the first insulating layer 53, A body having a composite layer of the second electrode layer 54, the second insulating layer 55, the third electrode layer 56, the third insulating layer 57, and the fourth electrode layer 58 is formed. Here, each of the electrode layers 52, 54, 56, 58 is formed of a metal plate 80, and each of the insulating layers 53, 55, 57 is formed of a ceramic paste 90. Thereafter, a heat treatment process for solidifying the ceramic paste 90 is performed.

다음은 이렇게 얻은 복합층을 도 7에서와 같이 수직상으로 전자빔 통로가 되는 다수의 관통공(60)을 펀칭기로 형성시킨다.Next, as shown in FIG. 7, a plurality of through holes 60, which are electron beam passages, are vertically formed as a punching machine.

그리고 마지막으로 이 복합층 상하부에 유리소재로 지지돌기가 되는 하부 및 상부층(51)(59)을 다수 형성시키게 되면 스페이서(50)의 제조가 완료된다.And finally, if a plurality of lower and upper layers (51, 59) to be a support projection made of glass material in the upper and lower of the composite layer is completed the manufacture of the spacer (50).

이렇게 제작된 스페이서(50)를 양극과 형광막이 형성된 양극판 조립체와 다수의 마이크로팀들과 게이트들이 형성된 음극판 사이에 개재시킨 다음 그 내부가 소정의 압력 예컨데, 10-7토르(torr)정도의 진공압으로 유지시킨상태에서 프리트 글래스(frit glass)재질의 시일재(도 3참조 ,40)로 봉합하면 도 3과 같은 전계효과 표시소자(30)의 제작이 완료된다.The spacer 50 thus manufactured is interposed between the anode plate assembly having the anode and the fluorescent film formed thereon and the cathode plate having the plurality of microteams and the gates formed therein, and a predetermined pressure inside thereof, for example, a vacuum pressure of about 10 −7 Torr. If it is kept in the state of the seal glass (frit glass) of the sealing material (see Fig. 3, 40) is completed to manufacture the field effect display element 30 as shown in FIG.

지금까지 설명된 바와 같이 본 발명에 따른 전계효과 표시소자 및 그 스페이서 제조방법에 의하면 스페이서 제조에 소요되는 시간이 단축되고, 전극층 사이에 삽입된 세라믹소재의 절연층들에 의해 지지강도가 커지고, 그에 따라 스페이서의 점유폭대 높이에 대한 비인 에스펙트 비를 원하는 만큼 크게할 수 있고, 스페이서내에 다수의 전극층이 구비되어 구동시 전자렌즈역할에 의해 그 관통공내에서 진행되는 전자빔의 형광막으로의 전자 집중효율을 향상시켜 휘도효율을 증가시키는 효과가 있다.As described above, according to the field effect display device and the spacer manufacturing method thereof according to the present invention, the time required for manufacturing the spacer is shortened, and the supporting strength is increased by the insulating layers of the ceramic material inserted between the electrode layers. Therefore, the aspect ratio, which is the ratio to the height of the occupied space of the spacer, can be increased as desired, and a plurality of electrode layers are provided in the spacer so that the electron concentration efficiency in the fluorescent film of the electron beam propagated in the through hole by the electron lens role during driving. This improves the brightness efficiency.

Claims (13)

일정거리를 두고 상호 대향 배치된 양극판 및 음극판과, 상기 양극판과 음극판의 대향면상에 소정의 패턴으로 적어도 하나 이상 형성된 양극과 음극, 상기 음극상에 소정의 간격으로 배치된 마이크로팁들, 상기 마이크로팁들을 둘러싸도록 상기 음극판 및 음극 상에 적층된 절연층, 상기 마이크로팁들의 상부가 열리도록 개구부를 갖고 상기 절연층 상에 적층된 게이트, 상기 양극판과 음극판 사이 간격을 유지시키기 위해 상기 양극판과 음극판 사이에 설치된 적어도 하나의 스페이서를 구비하는 전계효과 표시소자에 있어서,A positive electrode plate and a negative electrode plate disposed to face each other at a predetermined distance, at least one positive electrode and a negative electrode formed in a predetermined pattern on opposite surfaces of the positive electrode plate and the negative electrode plate, micro tips disposed at predetermined intervals on the negative electrode, and the micro tip An insulating layer laminated on the negative electrode plate and the negative electrode so as to surround the negative electrode, a gate laminated on the insulating layer having an opening so that an upper portion of the microtips is opened, and between the positive electrode plate and the negative electrode plate to maintain a gap between the positive electrode plate and the negative electrode plate. In the field effect display device having at least one spacer provided, 상기 스페이서는The spacer 소정거리로 이격된 상부 및 하부 지지층과;Upper and lower support layers spaced a predetermined distance apart; 전기적으로 상호 분리되도록 상기 상부 및 하부 지지층 사이에 개재된 적어도 하나 이상의 전극층;을 구비하는 것을 특징으로 하는 전계효과 표시소자.And at least one electrode layer interposed between the upper and lower support layers to be electrically separated from each other. 제1항에 있어서, 상기 전극층들 사이에는 절연층이 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 전계효과 표시소자.The field effect display device of claim 1, wherein an insulation layer is interposed between the electrode layers. 제2항에 있어서, 상기 하부 지지층으로부터 그 위로 제1전극층, 제1절연층, 제2전극층, 제2절연층, 제3전극층, 제3절연층 및 제4전극층 및 상기 상부 지지층이 순차적으로 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 전계효과 표시소자.3. The method of claim 2, wherein a first electrode layer, a first insulating layer, a second electrode layer, a second insulating layer, a third electrode layer, a third insulating layer and a fourth electrode layer, and the upper support layer are sequentially provided thereon. A field effect display element characterized in that. 제3항에 있어서, 상기 제1내지 제3절연층은 세라믹 소재로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전계효과 표시소자.The field effect display device of claim 3, wherein the first to third insulating layers are formed of a ceramic material. 제3항에 있어서, 상기 상부 및 하부 지지층은 유리소재로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전계효과 표시소자.The field effect display device of claim 3, wherein the upper and lower support layers are formed of a glass material. 제1항에 있어서, 상기 하부 지지층은 상기 게이트를 지지하고, 상기 상부 지지층은 상기 양극판을 지지하고 있는 것을 특징으로 하는 전계효과 표시소자.The field effect display device of claim 1, wherein the lower support layer supports the gate and the upper support layer supports the positive electrode plate. 제1항 또는 제3항중 어느 한항에 있어서, 상기 스페이서는 한몸체로 형성되어 있고, 상기 마이크로팁들로부터 상기 형광막들로의 전자빔 투사경로를 제공하도록 관통공이 다수 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전계효과 표시소자.The field effect according to any one of claims 1 to 3, wherein the spacer is formed in one body, and a plurality of through holes are formed to provide an electron beam projection path from the microtips to the fluorescent films. Display element. 가. 복수개의 금속판 각각의 사이에 절연층을 개재시킨 복합층을 형성하는 단계와;end. Forming a composite layer having an insulating layer between each of the plurality of metal plates; 나. 상기 가단계에 얻은 복합층을 수직상으로 전자빔 통로가 되는 다수의 관통공을 형성시키는 단계; 및I. Forming a plurality of through-holes that become electron beam passages vertically on the composite layer obtained in the temporary step; And 다. 상기 복합층 상하부에 지지돌기를 다수 형성시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계효과 표시소자의 스페이서 제조방법.All. And forming a plurality of support protrusions on the upper and lower portions of the composite layer. 제8항에 있어서, 상기 복합층은 상기 금속판에 의한 제1전극층 위로 제1절연층, 제2전극층, 제2절연층, 제3전극층, 제3절연층 및 제4전극층이 순차적으로 적층된 구조로 형성하는 것을 특징으로 하는 전계효과 표시소자의 스페이서 제조방법.The structure of claim 8, wherein the composite layer has a structure in which a first insulating layer, a second electrode layer, a second insulating layer, a third electrode layer, a third insulating layer, and a fourth electrode layer are sequentially stacked on the first electrode layer by the metal plate. Spacer manufacturing method of the field effect display device, characterized in that formed by. 제9항에 있어서, 상기 복합층은The method of claim 9, wherein the composite layer 가 1. 하나의 상기 금속판 상하에 절연소재의 페이스트로 소정두께 적층하는 단계와;A step of laminating a predetermined thickness with a paste of insulating material on and under the one metal plate; 가 2. 상기 가1단계를 다른 하나의 금속판에 대해서 반복하는 단계와;2. repeating step 1 for another metal plate; 가 3. 상기 가 1 및 상기 가 2단계를 거쳐 얻은 두 개의 금속판을 상호 포개어 접합시키는 단계와;(3) superimposing and joining the two metal plates obtained through Step 1 and Step 2; 가 4. 상기 가 3단계를 통해 얻은 적층판의 상기 절연소재의 페이스트로 된 표면층 상 하부에 금속판을 각각 접착시키는 단계;를 포함하여 형성하는 것을 특징으로 하는 전계효과 표시소자의 스페이서 제조방법.4. A method of manufacturing a spacer of a field effect display device, comprising: attaching a metal plate to a lower portion of a surface layer of a paste of the insulating material of the laminate obtained through step 3, respectively. 제10항에 있어서, 상기 절연소재는 세라믹을 사용하는 것을 특징으로 하는 전계효과 표시소자의 스페이서 제조방법.11. The method of claim 10, wherein the insulating material is ceramic. 제8항에 있어서, 상기 지지돌기는 유리소재로 형성하는 것을 특징으로 하는 전계효과 표시소자의 스페이서 제조방법.The method of claim 8, wherein the support protrusion is formed of a glass material. 일정거리를 두고 상호 대향 배치되는 양극판과 음극판과, 상기 양극판과 음극판의 대향면상에 소정의 패턴으로 적어도 하나 이상 형성된 양극과 음극, 상기 음극상에 소정의 간격으로 배치된 마이크로팁들, 상기 마이크로팁들을 둘러싸도록 상기 음극판 및 음극 상에 적층된 절연층, 상기 마이크로팁들의 상부가 열리도록 개구부를 갖고 상기 절연층 상에 적층된 게이트, 상기 양극판과 음극판 사이 간격을 유지시키기 위해 상기 양극판과 음극판 사이에 설치되되 하부 지지층과 상부 지지층사이에 제1전극층, 제1절연층, 제2전극층, 제2절연층, 제3전극층, 제3절연층 및 제4전극층이 순차적으로 마련된 스페이서를 구비하는 전계효과 표시소자의 구동방법에 있어서,A positive electrode plate and a negative electrode plate disposed to face each other at a predetermined distance, at least one positive electrode and a negative electrode formed in a predetermined pattern on opposing surfaces of the positive electrode plate and the negative electrode plate, micro tips disposed at predetermined intervals on the negative electrode, and the micro tip An insulating layer laminated on the negative electrode plate and the negative electrode so as to surround the negative electrode, a gate laminated on the insulating layer having an opening so that an upper portion of the microtips is opened, and between the positive electrode plate and the negative electrode plate to maintain a gap between the positive electrode plate and the negative electrode plate. A field effect display having a spacer disposed between the lower support layer and the upper support layer, the spacer having a first electrode layer, a first insulation layer, a second electrode layer, a second insulation layer, a third electrode layer, a third insulation layer, and a fourth electrode layer sequentially formed. In the driving method of the device, 상기 제1전극층은 양(+)의 바이어스전압을 인가하고, 상기 제2전극층 및 제4전극층은 각각 소정레벨의 음(-)의 바이어스를 인가하여 구동시키는 것을 특징으로 하는 전계효과 표시소자의 구동방법.The first electrode layer is driven by applying a positive bias voltage, and the second and fourth electrode layers are driven by applying a negative bias of a predetermined level, respectively. Way.
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