KR19990061766A - Optical fiber and optical waveguide device connection structure - Google Patents
Optical fiber and optical waveguide device connection structure Download PDFInfo
- Publication number
- KR19990061766A KR19990061766A KR1019970082056A KR19970082056A KR19990061766A KR 19990061766 A KR19990061766 A KR 19990061766A KR 1019970082056 A KR1019970082056 A KR 1019970082056A KR 19970082056 A KR19970082056 A KR 19970082056A KR 19990061766 A KR19990061766 A KR 19990061766A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- optical fiber
- optical waveguide
- optical
- waveguide device
- groove
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
본 발명은 광섬유 및 광도파로 소자 접속 구조에 관한 것으로서, 광섬유 및 광도파로 접속 구조는, 광섬유; 기판위에 도파로부분이 철(凸) 모양으로 나온 광도파로 소자; 및 상기 광섬유의 중심과 상기 광도파로 소자의 도파로 코아의 중심이 맞닿도록 상기 광섬유가 놓일 요홈 및 상기 광도파로 소자의 철 모양이 들어가 놓일 요홈을 가지는 플랫폼을 구비한다.The present invention relates to an optical fiber and an optical waveguide device connection structure, wherein the optical fiber and the optical waveguide connection structure, the optical fiber; An optical waveguide device in which a waveguide portion is formed in an iron shape on a substrate; And a platform having a groove in which the optical fiber is placed so that the center of the optical fiber and the center of the waveguide core of the optical waveguide element come into contact with each other, and a groove in which the iron shape of the optical waveguide element enters.
본 발명에 의하면, 수동 정렬 구조에 따른 광섬유 및 광도파로 접속시, 광원 및 광검출기등이 사용되지 않아 비용이 절감되며, 신속하게 접속이 이뤄진다.According to the present invention, when the optical fiber and the optical waveguide are connected according to the passive alignment structure, the light source and the photodetector are not used, thereby reducing the cost and making the connection quickly.
Description
본 발명은 광섬유와 광도파로 접속 구조에 관한 것으로서, 보다 상세히게는 광섬유와 광도파로를 정렬 플랫폼상에 수동으로 접속하는 광섬유 및 광도파로 소자 접속 구조에 관한 것이다.The present invention relates to an optical fiber and an optical waveguide connection structure, and more particularly, to an optical fiber and an optical waveguide device connection structure for manually connecting the optical fiber and the optical waveguide on the alignment platform.
일반적으로 광도파로 소자와 광섬유의 결합을 위해서는 광도파로 소자의 입/출력 도파로 개수 만큼의 광섬유를 어레이 형태로 구성한 광섬유 어레이 블록 모듈을 제작한다. 광섬유 어레이 블록 모듈은 일정간격의 V형 홈을 가지는 블록에 광섬유를 실장하고 접착제를 도포한 후 덮개로 고정한 후 블록의 단면을 연마하여 만들어 진다. 광도파로 소자의 입출력 단면은 광섬유 어레이 블록 모듈과 결합할 때의 접속 손실을 줄이기 위하여 연마과정을 거친다. 이 광섬유 어레이 블록 모듈의 입력 광섬유에 빛을 도파한 후 최대의 출력광이 도파로 출력단에서 나오도록 광도파로 소자를 정밀 정렬하여 최대의 출력광이 나오는 상태에서 광섬유 어레이 블록모듈과 광도파로 소자을 고정시켜 결합을 완성한다.In general, in order to combine the optical waveguide device and the optical fiber, an optical fiber array block module is fabricated in which arrays of optical fibers as many as the number of input / output waveguides of the optical waveguide device are formed. The optical fiber array block module is made by mounting an optical fiber in a block having a predetermined V-shaped groove, applying an adhesive, fixing it with a cover, and polishing a cross section of the block. The input and output cross sections of the optical waveguide device are polished to reduce the connection loss when combined with the optical fiber array block module. After guiding the light to the input optical fiber of the optical fiber array block module, the optical waveguide device is precisely aligned so that the maximum output light is emitted from the waveguide output terminal, and then the optical fiber array block module and the optical waveguide device are fixed and coupled while the maximum output light is output. To complete.
도 1은 종래의 광도파로 소자와 광섬유 어레이 블록 모듈을 도시한 것이다. 광도파로 소자(100)과 광섬유 어레이 블록 모듈(110)이 접속 직전의 상태로 정렬되어 있는 모습이며, 아래에 그려진 3차원 좌표는 광섬유 어레이 블록 모듈(110)의 입력단을 통해 조사할 빛의 방향 및 각 모듈의 정렬 방향에 대한 기준으로서 나타낸 것이다. 입력단에서 조사한 빛이 광도파로 소자(100)을 거쳐 광섬유 어레이 블록(110)의 출력단으로 빠져 나올 때 최소 손실로 나올 수 있는 정렬 위치를 찾아 접속을 완성한다.1 illustrates a conventional optical waveguide device and an optical fiber array block module. The optical waveguide device 100 and the optical fiber array block module 110 are arranged in a state immediately before connection, and the three-dimensional coordinates drawn below are the direction of light to be irradiated through the input terminal of the optical fiber array block module 110. It is shown as a reference for the alignment direction of each module. When the light irradiated from the input terminal exits through the optical waveguide element 100 to the output terminal of the optical fiber array block 110, the connection position is completed by finding an alignment position that can be emitted with a minimum loss.
상술한 바와 같이 광섬유 어레이 블록(110)과 광도파로 소자(100)를 능동정렬 방식으로 결합할 때는, 빛을 조사할 광원이 필요하고 손실 계산을 위한 광 검출기등의 도구가 필요하게 되며, 정렬 방향을 맞추는데 많은 시간과 에너지가 낭비된다.As described above, when the optical fiber array block 110 and the optical waveguide device 100 are combined in an active alignment manner, a light source for irradiating light is required, and a tool such as an optical detector for loss calculation is needed. A lot of time and energy is wasted to keep things right.
본 발명이 이루고자하는 기술적 과제는, 광도파로 소자 및 광 섬유 어레이 블록이 광원을 필요로하지 않고 신속하게 접속되도록 수동정렬 방식에 의해 결합되는 광 도파로 및 광 섬유 접속 기구 및 그 방법을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to provide an optical waveguide and an optical fiber connecting mechanism and a method in which an optical waveguide element and an optical fiber array block are coupled by a passive alignment method so as to be quickly connected without requiring a light source.
도 1은 종래의 광도파로 소자와 광섬유 어레이 블록 모듈을 도시한 것이다.1 illustrates a conventional optical waveguide device and an optical fiber array block module.
도 2는 본 발명의 광섬유 및 광도파로 접속 구조를 도시한 것이다.2 shows an optical fiber and optical waveguide connection structure of the present invention.
도 3은 본 발명의 광섬유 및 광도파로 소자 접속 구조의 다른 실시예를 도시한 것이다.Fig. 3 shows another embodiment of the optical fiber and optical waveguide device connection structure of the present invention.
도 4는 본 발명의 광섬유 및 광도파로 소자 접속 구조의 또다른 실시예를 도시한 것이다.Fig. 4 shows another embodiment of the optical fiber and optical waveguide device connection structure of the present invention.
상기 과제를 해결하기 위한, 광섬유 및 광도파로 접속 구조는, 광섬유; 기판위에 도파로부분이 철(凸) 모양으로 나온 광도파로 소자; 및 상기 광섬유의 중심과 상기 광도파로 소자의 도파로 코아의 중심이 맞닿도록 상기 광섬유가 놓일 요홈 및 상기 광도파로 소자의 철 모양이 들어가 놓일 요홈을 가지는 플랫폼을 구비한다.An optical fiber and an optical waveguide connection structure for solving the above problems include an optical fiber; An optical waveguide device in which a waveguide portion is formed in an iron shape on a substrate; And a platform having a groove in which the optical fiber is placed so that the center of the optical fiber and the center of the waveguide core of the optical waveguide element come into contact with each other, and a groove in which the iron shape of the optical waveguide element enters.
상기 광도파로 소자에 사용되는 기판 및 상기 플랫폼은 동일한 소재임이 바람직하다.Preferably, the substrate and the platform used in the optical waveguide device are made of the same material.
상기 플랫폼은, 상기 광섬유를 지지하는 지지대를 더 포함함이 바람직하다.Preferably, the platform further includes a support for supporting the optical fiber.
상기 광도파로 소자는, 식각된 부분으로부터 중심 코아까지의 높이가 상기 광섬유 단면의 반지름과 같은 길이임이 바람직하다.In the optical waveguide device, the height from the etched portion to the center core is preferably equal to the radius of the cross section of the optical fiber.
상기 광도파로 소자는, 상기 철 부분에 위치하는 광도파로 코아 단면의 중심이 상기 기판으로부터 상기 광섬유 단면의 반지름과 같은 길이상에 있음이 바람직하다.In the optical waveguide device, preferably, the center of the optical waveguide core cross section located in the iron portion is on the same length as the radius of the optical fiber cross section from the substrate.
상기 과제를 해결하기 위한, 광섬유 및 광도파로 소자의 접속 구조는, 광섬유; 기판위에 도파로부분이 철(凸) 모양으로 나온 광도파로 소자; 및 상기 광섬유의 중심과 상기 광도파로 소자의 중심이 맞닿도록 상기 광섬유가 놓일 V 홈 및 상기 광도파로 소자의 철 모양이 들어가 놓일 요홈을 가지며 상기 광섬유를 지지하는 지지대를 가지는 플랫폼을 구비한다.In order to solve the above problems, a connection structure of an optical fiber and an optical waveguide device includes an optical fiber; An optical waveguide device in which a waveguide portion is formed in an iron shape on a substrate; And a platform having a V groove in which the optical fiber is placed so that the center of the optical fiber and the center of the optical waveguide element abut, a groove in which the iron shape of the optical waveguide element enters, and a support for supporting the optical fiber.
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 광섬유 및 광도파로 접속 구조를 도시한 것으로서, 광섬유 및 광도파로 접속 구조는, 광섬유(200), 광도파로 소자(210) 및 정렬 플랫폼(220)을 구비한다. 광섬유(200)는 광도파로 소자(210)와 접속하기 위한 입력 부분의 광섬유(201)와 광도파로 소자(210)를 통과한 신호가 출력되는 부분의 광섬유(202)가 도시되어 있다. 출력 부분의 광섬유(202) 개수는 광도파로 소자(210)의 분기 개수에 따라 달라진다. 광도파로 소자(210)는 광 도파로 코아이 포함된 부분(211)이 기판(212)위에 철(凸)로 나온 모양으로 되어 있다. 광섬유 플랫폼(220)은 광섬유(200)와 광도파로 소자(210)가 정렬되어 접속되어지는 부분으로서, 소정 두께의 기판이 광섬유(200)가 정렬될 요(凹)홈과 광도파로 소자(210)의 철 부분이 넣어질 요홈으로 식각된 모양을 가진다. 광섬유(200) 정렬을 위한 요홈의 깊이는 광섬유 단면의 지름과 같거나 약간 작아야 한다. 광도파로 소자(210)의 철 부분이 들어갈 요홈의 깊이는 광섬유(200)를 위한 요홈의 깊이와 같다. 정렬 플랫폼(220)에 광섬유(200)와 광도파로 소자(210)가 정렬되어 접속될 때, 광섬유의 중심, 다시 말하면 코어(core)의 중심과 광도파로 소자(210)의 중심, 즉, 도파로 코아의 중심이 정확하게 서로 맞닿아야 한다. 정렬 플랫폼의 요홈 식각시에는 그러한 접속 관계를 미리 잘 계산하여 정확한 식각이 이뤄지게 해야 한다. 광도파로 소자(210)의 기판(212)은 정렬 플랫폼(220)에서 광섬유(200)와 접속시 광섬유를 고정하는 덮개가 된다. 여기서 광도파로 소자(210)의 기판과 정렬 플랫폼(220)의 소재는 동일한 것을 사용한다.2 illustrates an optical fiber and optical waveguide connecting structure of the present invention, wherein the optical fiber and optical waveguide connecting structure includes an optical fiber 200, an optical waveguide element 210, and an alignment platform 220. The optical fiber 200 is shown the optical fiber 201 of the input portion for connecting to the optical waveguide element 210 and the optical fiber 202 of the portion through which the signal passing through the optical waveguide element 210 is output. The number of optical fibers 202 at the output portion depends on the number of branches of the optical waveguide element 210. The optical waveguide element 210 has a shape in which the portion 211 including the optical waveguide core is formed on the substrate 212 with iron. The optical fiber platform 220 is a portion in which the optical fiber 200 and the optical waveguide device 210 are aligned and connected. The substrate having a predetermined thickness has a recess and an optical waveguide device 210 in which the optical fiber 200 is aligned. The iron part of the shape has been etched into the groove to be put. The depth of the groove for aligning the optical fiber 200 should be equal to or slightly smaller than the diameter of the optical fiber cross section. The depth of the groove into which the iron portion of the optical waveguide element 210 enters is equal to the depth of the groove for the optical fiber 200. When the optical fiber 200 and the optical waveguide element 210 are aligned and connected to the alignment platform 220, the center of the optical fiber, that is, the center of the core and the center of the optical waveguide element 210, that is, the waveguide core The centers of the should exactly touch each other. In the groove etching of the alignment platform, such a connection relationship should be well calculated in advance to ensure accurate etching. The substrate 212 of the optical waveguide element 210 becomes a cover for fixing the optical fiber when connected to the optical fiber 200 in the alignment platform 220. Here, the substrate of the optical waveguide device 210 and the material of the alignment platform 220 use the same material.
광섬유와 광도파로 접속시, 광섬유(200)는 광도파로 소자(210)의 기판(212)에 의해 고정된다. 광도파로 소자(210)는 도 2의 모양에서 위 아래가 뒤집힌 채 정렬 플랫폼(220)의 요홈에 넣어지므로, 광도파로 소자(210)의 철 부분(211)의 도파로 코어 중심까지의 높이는, 즉, 기판(212)의 윗면 또는 식각된 위치를 기준으로 도파로 코어 중심까지의 높이가 광섬유(200)의 단면의 반지름과 같아야 한다.When the optical fiber and the optical waveguide are connected, the optical fiber 200 is fixed by the substrate 212 of the optical waveguide element 210. Since the optical waveguide element 210 is inserted in the groove of the alignment platform 220 with the up and down inverted in the shape of FIG. 2, the height to the center of the waveguide core of the iron portion 211 of the optical waveguide element 210 is ie, The height to the center of the waveguide core based on the top surface or the etched position of the substrate 212 should be equal to the radius of the cross section of the optical fiber 200.
도 3은 본 발명의 광섬유 및 광도파로 소자 접속 구조의 다른 실시예를 도시한 것으로서, 광섬유 및 광도파로 소자 접속 구조는, 광섬유(300), 광도파로 소자(310) 및 정렬 플랫폼(320)으로 구성된다. 광섬유(300) 및 광도파로 소자(310)는 도 2에서 설명한 바와 같다. 정렬 플랫폼(320)은, 도 2와는 다르게 광섬유를 지지하는 판(321)위에 광섬유(300)와 광도파로 소자(310)가 접속되는 정렬부(322)가 존재한다. 정렬부(322)의 요홈과 그 깊이는 도 2에서와 같은 구조이다.3 shows another embodiment of the optical fiber and optical waveguide device connection structure of the present invention, wherein the optical fiber and optical waveguide device connection structure is composed of the optical fiber 300, the optical waveguide device 310 and the alignment platform 320. do. The optical fiber 300 and the optical waveguide device 310 are as described with reference to FIG. 2. The alignment platform 320, unlike FIG. 2, has an alignment portion 322 to which the optical fiber 300 and the optical waveguide element 310 are connected on the plate 321 for supporting the optical fiber. The groove and the depth of the alignment portion 322 is the same structure as in FIG.
도 4는 본 발명의 광섬유 및 광도파로 소자 접속 구조의 또다른 실시예를 도시한 것으로서, 광섬유 및 광도파로 소자 접속 구조는, 광섬유(400), 광도파로 소자(410) 및 정렬 플랫폼(420)으로 이뤄진다. 광섬유(400)와 광도파로 소자(410)는 도 2에서 설명한 바와 같다. 여기서 정렬 플랫폼(420)은 광섬유(400)를 지지하기 위한 판(421)과 광섬유(400)가 실장될 V 홈 및 광도파로 소자(410)의 철 부분이 실장될 요홈이 있는 정렬부(422)로 이뤄진다. V 홈 및 광도파로 실장 요홈의 식각 깊이는, 광섬유(400)의 단면 지름보다 작거나 같고, 광도파로 소자(410)의 철부(411)의 높이는 기판 표면(412)으로부터 광섬유(400)의 단면 반지름과 같은 높이로 도파로 코아의 중심이 올 수 있게 맞춰지며 철부(411)의 전체 높이가 광섬유(400) 단면 지름보다 다소 작아야 한다.4 shows another embodiment of the optical fiber and optical waveguide device connection structure of the present invention, wherein the optical fiber and optical waveguide device connection structure is the optical fiber 400, the optical waveguide device 410 and the alignment platform 420. It is done. The optical fiber 400 and the optical waveguide device 410 are as described with reference to FIG. 2. Here, the alignment platform 420 may include a plate 421 for supporting the optical fiber 400, a V-groove in which the optical fiber 400 will be mounted, and an alignment part 422 having grooves in which the iron portion of the optical waveguide device 410 will be mounted. Is done. The etch depth of the V-groove and the optical waveguide mounting groove is smaller than or equal to the cross-sectional diameter of the optical fiber 400, and the height of the convex portion 411 of the optical waveguide element 410 is the cross-sectional radius of the optical fiber 400 from the substrate surface 412. The center of the waveguide core can be adjusted to the same height and the total height of the convex portion 411 should be somewhat smaller than the diameter of the optical fiber 400.
도 2 내지 도 4의 구현을 위한 각 구성요소의 특징 및 제작 방법에 대하여 설명하고 이후 이러한 구성요소의 조합에 의한 광섬유와 고아도파로 소자의 접속에 대하여 설명한다. 먼저, 정렬 플랫폼(220)은 광섬유(200)와 광도파로 소자(210)의 정렬이 이루어지는 기본 블록으로 광도파로 칩이 실장되는 부분과 입출력 부분에 광섬유가 일정간격으로 삽입되느 홈을 갖는 것을 특징으로 한다. 이러한 정렬 플랫폼(220)을 제작하는 방법에는, 실기콘 기판의 이방성 식각을 이용하는 것이 있다. 도 2의 정렬 플랫폼(220)은 실리콘 웨이퍼상에 도파로소자 칩과 광섬유가 실장될 부분을 제외한 곳에 Si3N4등의 식각마스크 패턴을 형성한 후 KOH등의 식각용액에서 식각하여 제작한다. 도 4의 정렬 플랫폼(420)은 실리콘 웨이퍼상에 상술한 이방성 식각방법으로 제작한 경우의 형태이다. 도 2 내지 도 4의 광도파로 소자(210, 310, 410)의 형태는 각각의 정렬 플랫폼(220, 320, 420)상에 정확히 삽입될 수 있는 형태로 주위를 일정 깊이로 제거한 형태이다. 이러한 광도파로 소자의 구현은 RIE등의 건식식각 방법으로 식각하거나 정밀 그라인더를 이용하여 일정 깊이로 가공한다. 이 때 입출력 광도파로 단면은 광결합시 광손실을 최소화 할 수 있도록 정밀 가공되어야 한다. 여기서 광섬유는 단면을 정밀 절개하여 입출력 광도파로 면과 결합시 광손실을 최소화할 수 있도록 한다.Features and fabrication methods of each component for the implementation of FIGS. 2 to 4 will be described, and then the connection of the optical fiber and the high waveguide device by the combination of these components will be described. First, the alignment platform 220 is a basic block in which the optical fiber 200 and the optical waveguide device 210 are aligned. The alignment platform 220 has a groove in which the optical waveguide chip is mounted and a groove in which the optical fiber is inserted at a predetermined interval. do. The method for manufacturing the alignment platform 220 may use anisotropic etching of the silicon substrate. The alignment platform 220 of FIG. 2 is manufactured by forming an etching mask pattern such as Si 3 N 4 on the silicon wafer except for the portion where the waveguide device chip and the optical fiber are to be mounted, and then etching the same in an etching solution such as KOH. The alignment platform 420 of FIG. 4 is in the form of the anisotropic etching method described above on a silicon wafer. The shape of the optical waveguide elements 210, 310, and 410 of FIGS. 2 to 4 may be inserted into the alignment platforms 220, 320, and 420 so that the surroundings are removed to a certain depth. Implementation of such an optical waveguide device is etched by a dry etching method such as RIE or processed to a certain depth by using a precision grinder. At this time, the input / output optical waveguide cross section should be precisely processed to minimize the optical loss during optical coupling. In this case, the optical fiber precisely cuts the cross section to minimize the optical loss when combined with the input / output optical waveguide surface.
이하에서 도 2 내지 도 4의 구성요소들간의 결합에 관해 설명한다.Hereinafter, the coupling between the components of FIGS. 2 to 4 will be described.
도 2 내지 도 4에서 광섬유, 광도파로 소자, 정렬 플랫폼을 결합하게 되면, 광섬유는 정렬 플랫폼상의 홈에 실장되고 광도파로 소자는 정렬 플랫폼 위에 (도면과 같은 상태에서) 뒤집어져서 정렬 플랫폼에 올려진다. 이 때 광섬유의 단면과 광도파로의 단면이 일치하게 되고 특히 광섬유의 중심과 광도파로 코어의 중심이 서로 맞닿아 일치하게 된다. 광섬유가 정렬 플랫폼의 홈에 실장될 때, 정렬 플랫폼의 표면으로부터 20~30㎛ 정도 드러나도록 하여, 광도파로소자를 정렬 플랫폼에 실장하면 광도파로 소자에서 주위가 제거된 부분(예를 들어, 도 2의 기판(212) 부분)이 광섬유를 고정하는 판의 역할을 한다. 통상 광섬유 직경은 125㎛이므로 정렬 플랫폼에서 광섬유가 실장되는 홈의 깊이는 95~105㎛정도 되게 한다. 이렇게 하면 광도파로소자는 가장자리가 식각되어 제거된 기판부분이 정렬 플랫폼상에서 광섬유위에 올려지게 되며, 이 때 이 기판부분의 표면으로부터 광섬유의 중심까지는 62.5㎛이므로 광도파로 소자의 코어 중심과 광섬유의 중심이 일치하도록 하기위해 광도파로 소자의 기판 표면으로부터, 즉 철(凸)부분이 시작되는 부분으로부터 도파로 소자의 코어 중심까지가 62.5㎛의 식각깊이를 가지도록 하여 광섬유와 광도파로 소자가 상하방향으로 정렬되게 한다. 광섬유와 광도파로 소자의 좌우방향 정렬은, 광도파로 소자상의 좌우에 제거된 부분이 입출력 광도파로로부터 소정의 정해진 위치에 있도록 제작하고 정렬 플랫폼상의 광도파로소자가 실장되는 좌우 위치도 광섬유용 홈에서 특정 위치에 있도록 제작하여, 실장시 광도파로와 광섬유의 좌우 정렬이 이뤄지게 한다. 도 3 및 도 4와 같이 정렬 플랫폼이 광섬유 지지를 위한 판을 가지는 구조는, 정렬 플랫폼의 홈에 광섬유 실장시 광섬유 코팅층의 제거에 따른 광섬유의 손상을 방지하는 효과를 낸다.2 to 4, when the optical fiber, the optical waveguide device and the alignment platform are combined, the optical fiber is mounted in the groove on the alignment platform and the optical waveguide device is inverted (as shown in the figure) on the alignment platform and placed on the alignment platform. At this time, the cross section of the optical fiber and the cross section of the optical waveguide coincide with each other. In particular, the center of the optical fiber and the center of the optical waveguide core abut each other. When the optical fiber is mounted in the groove of the alignment platform, the optical waveguide device is exposed to about 20-30 μm from the surface of the alignment platform. Part of the substrate 212 serves as a plate for fixing the optical fiber. Since the diameter of the optical fiber is usually 125 μm, the depth of the groove in which the optical fiber is mounted in the alignment platform is about 95 to 105 μm. In this case, the edge of the optical waveguide device is etched so that the removed substrate portion is placed on the optical fiber on the alignment platform. In order to match, the optical fiber and the optical waveguide device are aligned vertically from the substrate surface of the optical waveguide device, that is, from the portion where the iron portion starts to the core center of the waveguide device with an etching depth of 62.5 μm. do. The left-right alignment of the optical fiber and the optical waveguide element is made so that the left and right portions of the optical waveguide element are removed from the input / output optical waveguide at a predetermined position. It is manufactured to be in position so that the optical waveguide and the optical fiber are aligned left and right when mounted. 3 and 4, the alignment platform having a plate for supporting the optical fiber has an effect of preventing damage to the optical fiber due to the removal of the optical fiber coating layer when the optical fiber is mounted in the groove of the alignment platform.
상술한 광섬유 및 광도파로 소자 접속 구조는, 광도파로 소자에 광섬유를 부착하는 능동 정렬 방식 대신 수동 정렬하여 접속하는 구조로서, 능동 정렬 접속시 필요한 광원과 광검출기, 정밀 정렬장치와 같은 장치를 필요로 하지 않는다.The above-described optical fiber and optical waveguide device connection structure is a structure in which the optical fiber and the optical waveguide device connection structure are passively aligned instead of the active alignment method of attaching the optical fiber to the optical waveguide device. I never do that.
본 발명에 의하면, 수동 정렬 구조에 따른 광섬유 및 광도파로 접속시, 광원 및 광검출기등이 사용되지 않아 비용이 절감되며, 신속하게 접속이 이뤄진다.According to the present invention, when the optical fiber and the optical waveguide are connected according to the passive alignment structure, the light source and the photodetector are not used, thereby reducing the cost and making the connection quickly.
Claims (6)
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970082056A KR19990061766A (en) | 1997-12-31 | 1997-12-31 | Optical fiber and optical waveguide device connection structure |
| CN 98125607 CN1118715C (en) | 1997-12-31 | 1998-12-18 | Structure for connecting optical fibers to optical waveguide |
| CA 2256585 CA2256585A1 (en) | 1997-12-31 | 1998-12-18 | Structure for connecting optical fibers to optical waveguide |
| GB9827896A GB2332956A (en) | 1997-12-31 | 1998-12-21 | Arrangement platform for connecting optical fibers to optical waveguide |
| FR9816541A FR2773222B1 (en) | 1997-12-31 | 1998-12-29 | STRUCTURE FOR CONNECTING OPTICAL FIBERS TO AN OPTICAL WAVEGUIDE |
| DE1998160862 DE19860862A1 (en) | 1997-12-31 | 1998-12-31 | Connection structure for connecting optical fibers with optical fibers |
| JP20099A JP3065300B2 (en) | 1997-12-31 | 1999-01-04 | Connection structure of optical fiber and optical waveguide device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970082056A KR19990061766A (en) | 1997-12-31 | 1997-12-31 | Optical fiber and optical waveguide device connection structure |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990061766A true KR19990061766A (en) | 1999-07-26 |
Family
ID=19530721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970082056A KR19990061766A (en) | 1997-12-31 | 1997-12-31 | Optical fiber and optical waveguide device connection structure |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3065300B2 (en) |
| KR (1) | KR19990061766A (en) |
| CN (1) | CN1118715C (en) |
| CA (1) | CA2256585A1 (en) |
| DE (1) | DE19860862A1 (en) |
| FR (1) | FR2773222B1 (en) |
| GB (1) | GB2332956A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040026989A (en) * | 2002-09-27 | 2004-04-01 | 전자부품연구원 | Package module of optical waveguide device by using passive alignment device and method of manufacturing the same |
| KR20040042672A (en) * | 2002-11-15 | 2004-05-20 | 전자부품연구원 | Package module of optical waveguide device by using passive alignment device and method of manufacturing the same |
| KR100584115B1 (en) * | 2003-12-24 | 2006-05-30 | 전자부품연구원 | Light splitter and method of manufacturing the same |
| KR100619214B1 (en) * | 2003-10-17 | 2006-09-01 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | Substrate for mounting optical device and manufacturing method thereof |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2381592A (en) * | 2001-10-30 | 2003-05-07 | Bookham Technology Plc | Optical device with recess for optical component |
| US6778718B2 (en) | 2001-11-09 | 2004-08-17 | Corning Incorporated | Alignment of active optical components with waveguides |
| JP4938209B2 (en) * | 2003-05-20 | 2012-05-23 | 住友大阪セメント株式会社 | Waveguide type optical element and output light monitoring method |
| CN100458481C (en) * | 2004-06-16 | 2009-02-04 | 日立化成工业株式会社 | Optical waveguide structure, optical-waveguide-type optical module and optical fiber array |
| CN103091775A (en) * | 2012-12-31 | 2013-05-08 | 孙麦可 | Rapid continuing type planar optical waveguide component |
| CN107250859B (en) * | 2015-06-09 | 2019-10-22 | 华为技术有限公司 | A kind of optical fiber connector |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR890012176A (en) * | 1988-01-15 | 1989-08-24 | 제임즈 제이 플린 | Optical fiber connector assembly and its manufacturing method |
| JPH05113516A (en) * | 1991-10-21 | 1993-05-07 | Fujitsu Ltd | Method for connecting optical waveguide and optical fiber |
| JPH05224079A (en) * | 1992-02-14 | 1993-09-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Coupling structure of optical waveguide path and optical fiber |
| JPH05249342A (en) * | 1992-03-10 | 1993-09-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Optical waveguide device |
| JPH0843677A (en) * | 1994-08-03 | 1996-02-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Connecting jig and connecting method for optical waveguide and optical fiber. |
| KR970022384A (en) * | 1995-10-23 | 1997-05-28 | 이준 | Optical connection device of optical waveguide and input / output terminal single mode optical fiber and manufacturing method thereof |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1986002172A1 (en) * | 1984-09-28 | 1986-04-10 | American Telephone & Telegraph Company | Optical waveguide lateral alignment arrangement |
| JPS63316009A (en) * | 1987-06-19 | 1988-12-23 | Nec Corp | Optical coupling structure |
| JPH01234806A (en) * | 1988-03-16 | 1989-09-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Light guide device |
| JPH0339703A (en) * | 1989-07-06 | 1991-02-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Optical coupling aiding device, optical coupling device, and its assembling method |
| JPH04291205A (en) * | 1991-03-19 | 1992-10-15 | Fujitsu Ltd | Waveguide type optical device |
| CH685521A5 (en) * | 1991-09-10 | 1995-07-31 | Suisse Electronique Microtech | A method for coupling at least one optical fiber with an integrated optical waveguide and micromechanical device of coupling obtained. |
| DE4300652C1 (en) * | 1993-01-13 | 1994-03-31 | Bosch Gmbh Robert | Hybrid integrated optical circuit manufacturing method - uses shaping tool into which electro-optical semiconductor component is inserted before enclosing in polymer material |
| FR2719912B1 (en) * | 1994-05-10 | 1996-06-21 | Radiall Sa | Device for connecting optical fibers to waveguides formed in a substrate. |
| JPH09264340A (en) * | 1996-03-27 | 1997-10-07 | Toyota Motor Corp | Clutch device |
| EP0864893A3 (en) * | 1997-03-13 | 1999-09-22 | Nippon Telegraph and Telephone Corporation | Packaging platform, optical module using the platform, and methods for producing the platform and the module |
-
1997
- 1997-12-31 KR KR1019970082056A patent/KR19990061766A/en not_active Application Discontinuation
-
1998
- 1998-12-18 CN CN 98125607 patent/CN1118715C/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-12-18 CA CA 2256585 patent/CA2256585A1/en not_active Abandoned
- 1998-12-21 GB GB9827896A patent/GB2332956A/en not_active Withdrawn
- 1998-12-29 FR FR9816541A patent/FR2773222B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-12-31 DE DE1998160862 patent/DE19860862A1/en not_active Ceased
-
1999
- 1999-01-04 JP JP20099A patent/JP3065300B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR890012176A (en) * | 1988-01-15 | 1989-08-24 | 제임즈 제이 플린 | Optical fiber connector assembly and its manufacturing method |
| JPH05113516A (en) * | 1991-10-21 | 1993-05-07 | Fujitsu Ltd | Method for connecting optical waveguide and optical fiber |
| JPH05224079A (en) * | 1992-02-14 | 1993-09-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Coupling structure of optical waveguide path and optical fiber |
| JPH05249342A (en) * | 1992-03-10 | 1993-09-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Optical waveguide device |
| JPH0843677A (en) * | 1994-08-03 | 1996-02-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Connecting jig and connecting method for optical waveguide and optical fiber. |
| KR970022384A (en) * | 1995-10-23 | 1997-05-28 | 이준 | Optical connection device of optical waveguide and input / output terminal single mode optical fiber and manufacturing method thereof |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040026989A (en) * | 2002-09-27 | 2004-04-01 | 전자부품연구원 | Package module of optical waveguide device by using passive alignment device and method of manufacturing the same |
| KR20040042672A (en) * | 2002-11-15 | 2004-05-20 | 전자부품연구원 | Package module of optical waveguide device by using passive alignment device and method of manufacturing the same |
| KR100619214B1 (en) * | 2003-10-17 | 2006-09-01 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | Substrate for mounting optical device and manufacturing method thereof |
| KR100584115B1 (en) * | 2003-12-24 | 2006-05-30 | 전자부품연구원 | Light splitter and method of manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2332956A (en) | 1999-07-07 |
| CA2256585A1 (en) | 1999-06-30 |
| DE19860862A1 (en) | 1999-07-15 |
| CN1221888A (en) | 1999-07-07 |
| FR2773222A1 (en) | 1999-07-02 |
| JPH11248963A (en) | 1999-09-17 |
| FR2773222B1 (en) | 2002-08-02 |
| GB9827896D0 (en) | 1999-02-10 |
| JP3065300B2 (en) | 2000-07-17 |
| CN1118715C (en) | 2003-08-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7603021B2 (en) | Optical fiber component, optical waveguide module, and manufacturing method | |
| US5357593A (en) | Method of attaching optical fibers to opto-electronic integrated circuits on silicon substrates | |
| KR960014123B1 (en) | Method of connecting optical waveguide to optical fiber | |
| US6069991A (en) | Flexible optic connector assembly | |
| US5121457A (en) | Method for coupling laser array to optical fiber array | |
| US5482585A (en) | Process for optically joining an optical fiber array to an opponent member | |
| RU2161323C2 (en) | Device and process of passive matching of optical fiber with input/output light guide ( versions ) | |
| US7522807B2 (en) | Optical connector assembly | |
| JPH1195063A (en) | Optical fiber passive arraying device using appaying platform | |
| JPH0618741A (en) | Optical coupling forming device among plurality of optical waveguide | |
| KR19990061766A (en) | Optical fiber and optical waveguide device connection structure | |
| KR100763115B1 (en) | A fibre aligning structure | |
| US6360043B1 (en) | Hybrid chip process | |
| US20030142922A1 (en) | Passive alignment of fiber optic array | |
| CN114026479B (en) | Passive alignment configuration of fiber array to waveguide | |
| US20040247248A1 (en) | Passive alignment between waveguides and optical components | |
| US20230130045A1 (en) | Detachable connector for co-packaged optics | |
| JP2943530B2 (en) | Optical connection component and method of manufacturing the same | |
| JPH07120638A (en) | Optical connecting element and its manufacture | |
| US7076136B1 (en) | Method of attaching optical fibers to integrated optic chips that excludes all adhesive from the optical path | |
| JPH05249340A (en) | Coupling device for optical parts | |
| JPH08110443A (en) | Coupling method of optical element and optical fiber | |
| KR100584115B1 (en) | Light splitter and method of manufacturing the same | |
| JPH08327859A (en) | Optical semiconductor device and its production | |
| KR20050008097A (en) | Fabrication method of optical waveguide device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E601 | Decision to refuse application |