KR19990053749A - Partition wall formation method of plasma display panel - Google Patents
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Abstract
기판 상면에 금속틀을 패턴화하여, 패턴화된 금속틀을 이용하여 격벽을 형성하는 방법은, 기판 상면에서 소정 간격으로 이격된 패턴화된 금속틀 사이의 공간을 페이스트로 인쇄하고 건조하는 과정을 반복하여 채우는 단계, 결과물을 소성하여 패턴화된 금속틀 사이에 격벽을 형성하는 단계, 및 패턴화된 금속틀로부터 격벽을 탈착하는 단계로 구성된다.A method of forming a barrier rib using a patterned metal frame by patterning a metal frame on the upper surface of the substrate includes printing and drying a space between the patterned metal frame spaced from the upper surface of the substrate at a predetermined interval with a paste. Repeatedly filling, firing the resultant to form a partition between the patterned metal frame, and detaching the partition from the patterned metal frame.
Description
본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로 특히 패널의 격벽 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly to a method for manufacturing partition walls of the panel.
플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel:PDP)은 독립적으로 방전시킬 수 있는 방전셀로 구성되어 외부의 전기적 신호에 따라 각각의 방전셀들을 독립적으로 방전시켜 원하는 영상 신호를 재현하는 평판 디스플레이 장치이다. 상기 PDP는 혼합 가스층을 중심으로 양측에 보호막, 유전층, 금속 전극 및 유리 기판 순으로 배열 형성되어 있다. 이때 방전은 혼합 가스층에서 일어나며 각 셀의 독립적인 방전 공간을 정의하고 화소간의 크로스 토크를 방지하기 위해 격벽이 개재된다. 격벽 형성 방법으로는 인쇄법, 샌드블래스트(sandblast), 리프트 오프(lift-off)법이 있다. 그런데 인쇄법의 경우에는 격벽을 형성하기 위해 인쇄와 건조를 10회 이상 반복해야 하므로 시간이 많이 소요되고 반복 과정시 격벽의 위치가 어긋날 수 있으므로 고해상도의 격벽 제조가 방해 받을 수 있다. 샌드블래스트법의 경우에는설비 투자에 소요되는 경비가 크고, 기판 유리에 물리적 충격이 가해지므로 소성시 기판의 균열이 초래된다. 한편 리프트 오프의 경우에는 공정이 복잡하고 100㎛ 이상의 패턴을 형성할 때 시간이 많이 소요되며 형성된 패턴이 허물어지거나 소성시 격벽이 균열될 수 있고 소성 후에는 감광성 필름이 잔존하여 이를 제거해야 하는 문제가 있다.Plasma Display Panel (PDP) is a flat panel display device that is composed of discharge cells capable of independently discharging, and independently discharges each discharge cell according to an external electrical signal to reproduce a desired image signal. The PDPs are arranged on both sides of the mixed gas layer in the order of a protective film, a dielectric layer, a metal electrode, and a glass substrate. At this time, discharge occurs in the mixed gas layer, and partition walls are interposed to define an independent discharge space of each cell and prevent cross talk between pixels. The partition wall forming method includes a printing method, a sandblast, and a lift-off method. However, in the printing method, since the printing and drying must be repeated 10 times or more to form the partition wall, it takes a lot of time, and the position of the partition wall may be displaced during the repetition process, which may interfere with the manufacture of the high resolution partition wall. In the case of the sand blast method, the cost of equipment investment is high, and physical impact is applied to the substrate glass, which causes cracking of the substrate during firing. On the other hand, in the case of the lift-off, the process is complicated and takes a long time when forming a pattern of 100 μm or more, and the formed pattern may be torn down or the partition wall may be cracked during firing, and after the firing, a photosensitive film remains to remove it. have.
따라서, 본 발명은 종래의 문제점을 해결할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a partition wall of a plasma display panel that can solve a conventional problem.
도 1a 내지 도 1f는 본 발명을 실현하기 위한 금속틀 형성을 위한 공정 단면도들.1A to 1F are cross-sectional views of a process for forming a metal frame for implementing the present invention.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 격벽 형성 방법의 일실시예를 나타내는 공정 단면도들.2a to 2d are process cross-sectional views showing one embodiment of the method for forming a partition of the present invention.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 격벽 형성 방법의 다른 실시예를 나타내는 공정 단면도들.3A to 3D are cross-sectional views showing another embodiment of the method for forming a partition of the present invention.
도 4는 블레이드 코팅법에 의한 격벽 형성 방법을 나타내는 공정 단면도.4 is a cross-sectional view illustrating a method of forming a partition wall by a blade coating method.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 사상에 따라 형성된 격벽이 적용된 플라즈마 디스플레이 패널의 단면도들.5A and 5B are cross-sectional views of a plasma display panel to which a partition wall formed according to the spirit of the present invention is applied.
본 발명의 목적을 달성하기 위한 격벽 제조 방법의 일실시예는 (a) 기판을 준비하는 단계, (b) 상기 기판 상면에 금속틀을 형성한후 일정 간격 이격되게 패턴화하는 단계, (c) 페이스트를 상기 이격된 금속 패턴 사이의 공간에 채우는 단계, (d) 결과물을 소성하여 상기 공간에 격벽을 형성하는 단계, 및 (e) 상기 금속 패턴으로부터 격벽을 탈착하는 단계로 구성되고, (b) 단계는. 상기 금속틀 상면에 감광막을 도포하고 상기 감광막을 패터닝하는 단계, 상기 패턴화된 감광막을 마스크로 이용하여 상기 금속틀을 패턴화하는 단계, 상기 감광막 패턴을 제거하는 단계로 구성되거나 상기 금속틀을 일정 간격으로 펀칭하여 패턴화할 수 있다.One embodiment of the method for manufacturing a partition wall to achieve the object of the present invention comprises the steps of (a) preparing a substrate, (b) forming a metal frame on the upper surface of the substrate and patterning the same spaced apart from each other, (c) Filling a space between the spaced metal patterns, (d) firing the resultant to form a partition wall in the space, and (e) detaching the partition wall from the metal pattern, and (b) Step by step. Applying a photoresist film to the upper surface of the metal frame and patterning the photoresist film; patterning the metal frame using the patterned photoresist film as a mask; and removing the photoresist pattern; It can be patterned by punching at intervals.
상기 패턴화된 금속틀 사이 공간에 블레이드 코팅 또는 인쇄법에 의해 상기 페이스트가 채워지며, 이는 상기 페이스트의 인쇄 및 건조로 이루어진 단위 공정을 적어도 2회 이상 실시한다.The paste is filled in the space between the patterned metal molds by blade coating or printing, which is subjected to at least two unit processes consisting of printing and drying the paste.
본 발명에 따른 격벽 제조 방법의 다른 실시예에 의하면, 격벽 제조 방법은, (a) 기판을 준비하는 단계, (b) 상기 기판 상면에 금속틀을 형성하고 일정 간격 이격되게 패턴화하는 단계, (c) 결과물 전면에 건막을 적층하는 단계, (d) 상기 건막 중 상기 이격된 금속 패턴 사이의 공간을 압축시키는 단계, (e) 결과물을 소성하여 상기 금속 패턴 상면의 건막을 격벽으로 형성하는 단계, 및 (f) 상기 금속 패턴으로부터 격벽을 탈착하는 단계로 구성되고, (b) 단계는, 상기 금속틀 상면에 감광막을 도포하고 상기 감광막을 패터닝하는 단계, 상기 패턴화된 감광막을 마스크로 이용하여 상기 금속틀을 패턴화하는 단계, 상기 감광막 패턴을 제거하는 단계로 구성되거나, 상기 금속틀을 일정 간격으로 펀칭하여 패턴화한다.According to another embodiment of the barrier rib manufacturing method according to the present invention, the barrier rib manufacturing method, (a) preparing a substrate, (b) forming a metal frame on the upper surface of the substrate and patterned to be spaced apart at regular intervals, ( c) laminating a dry film on the entire surface of the resultant, (d) compressing a space between the spaced metal patterns in the dry film, (e) firing the resultant to form a dry film on the upper surface of the metal pattern as a partition wall, And (f) detaching the barrier rib from the metal pattern, and (b) applying the photoresist to the upper surface of the metal frame and patterning the photoresist, using the patterned photoresist as a mask. Patterning the metal frame, removing the photoresist pattern, or patterning the metal frame by punching the metal frame at regular intervals.
위의 두 실시예에서, 기판은 유리층 또는 유전층을 포함한다.In the above two embodiments, the substrate comprises a glass layer or a dielectric layer.
한편 위의 방법에 따라 제조된 격벽을 채용하여 플라즈마 디스플레이 패널을 구현하면, 격벽 형성시의 인쇄 위치가 자동 정렬되며, 격벽 형성 시간이 단축되며, 소성시 격벽 하부에 형성되는 기판의 균열이 예방되며 격벽 형성시 감광막을 사용하지 않으므로 감광막의 세정 공정이 필요없다.On the other hand, if the plasma display panel is implemented by using the barrier ribs manufactured according to the above method, the printing position at the barrier rib formation is automatically aligned, the barrier rib formation time is shortened, and the crack of the substrate formed under the barrier rib during the firing is prevented. Since the photosensitive film is not used at the time of forming the partition wall, the cleaning process of the photosensitive film is unnecessary.
이하 첨부한 도면들을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1a 내지 도 1f는 금속틀을 패턴화하는 단계를 나타낸다. 기판(20)상에 금속틀(10)을 준비하고(도 1a), 상기 금속틀(10) 상면에 감광막(12)을 도포한다(도 1b). 마스크(14)를 이용하여 감광막의 일부를 노광시켜 패턴화하고 현상한다(도 1c 및 도 1d). 다음 감광막 패턴(16)을 마스크로 사용하여 금속틀(10)을 식각하여 패턴화된 금속틀(10a)을 형성한다(도 1e). 패턴화된 금속틀(10a) 상면에 위치한 감광막 패턴을 박리한다(도 1f). 여기서 금속틀의 높이는 형성할 격벽의 높이 또는 그 이상의 높이를 가져야 한다.1A-1F illustrate the step of patterning a metal frame. The metal frame 10 is prepared on the substrate 20 (FIG. 1A), and the photosensitive film 12 is coated on the metal frame 10 (FIG. 1B). A portion of the photosensitive film is exposed, patterned and developed using the mask 14 (FIGS. 1C and 1D). Next, the metal frame 10 is etched using the photosensitive film pattern 16 as a mask to form a patterned metal frame 10a (FIG. 1E). The photosensitive film pattern located on the upper surface of the patterned metal frame 10a is peeled off (FIG. 1F). The height of the metal frame shall be at least as high as the bulkhead to be formed.
이제 본격적으로 격벽을 형성한다. 도 2a에서와 같이 기판(20)에 형성된 패턴화된 금속틀(22) 사이의 공간(24)은 처음에는 비어 있으나 유리 페이스트를 통상의 인쇄법이나 도 5와 같은 블레이드 코팅법을 실시함으로써 채워진다. 여기서 기판(20)은 도 5a 및 도 5b에서의 유리층(60) 또는 유전층(64)을 포함한다. 상기 공간(24)에 채워진 페이스트는 건조되고(도 2b), 이런 과정을 2 내지 3회 이상 반복하여 상기 공간(24)에 페이스트를 채운다(도 2c). 결과물을 소성하여(도 2d) 금속틀로부터 격벽을 탈착한다. 격벽 물질과 금속틀의 열팽창률이 다르므로 탈착이 이루어질 수 있으며, 물리적으로 압력을 가해 격벽을 금속틀로부터 탈착시킬 수 있다. 도 5a 및 도 5b의 격벽(58, 68)은 도 2a 내지 도 2d의 방법에 의해 제조된 것이며, 격벽 형성 후의 공정은 통상의 플라즈마 디스플레이 패널 제조 공정을 사용한다. 즉 도 5a(도 5b)에서의 배면 기판(52,62), 어드레스 전극(53,63), 제 1 유전층(54,64), 표시 전극(55,65), 제 2 유전층(56,66), 보호층(57,67), 형광체(59,69)등의 형성 방법은 통상의 것을 사용한다.Now the bulkhead is formed. The space 24 between the patterned metal frames 22 formed in the substrate 20, as in FIG. 2A, is initially empty but is filled by applying a glass paste to a conventional printing method or blade coating method as shown in FIG. The substrate 20 here comprises a glass layer 60 or dielectric layer 64 in FIGS. 5A and 5B. The paste filled in the space 24 is dried (FIG. 2B), and this process is repeated two or three times to fill the paste in the space 24 (FIG. 2C). The resulting product is fired (FIG. 2D) to detach the partition wall from the metal frame. Since the thermal expansion coefficients of the barrier material and the metal frame are different, desorption may be performed, and the barrier wall may be detached from the metal frame by physically applying pressure. The partitions 58 and 68 of Figs. 5A and 5B are manufactured by the method of Figs. 2A to 2D, and the process after the partition formation uses a conventional plasma display panel manufacturing process. That is, the back substrates 52 and 62, the address electrodes 53 and 63, the first dielectric layers 54 and 64, the display electrodes 55 and 65 and the second dielectric layers 56 and 66 in FIG. 5A (FIG. 5B). The protective layers 57, 67, phosphors 59, 69, and the like are formed using conventional ones.
도 1a 내지 도 1f에 의해 형성된 금속틀을 사용하는 격벽 제조 방법의 다른 실시예가 도 3a 내지 도 3d에 나타나 있다. 기판(20)에 해당하는 기판(30) 상면에 금속틀 패턴(36)이 소정의 간격(32)을 두고 위치하며, 상기 패턴화된 금속틀(36) 상면에는 건막(34)이 형성되어 있다(도 3a). 펀쳐(38)를 이용하여 고온하에서 건막(34) 중에서 상기 공간(32)에 대응하는 부분을 압축시킨다(도 3b). 소성하고 펀쳐를 탈착한다(도3c). 다음, 금속틀을 탈착하여 기판(30) 상면에 격벽(38)이 형성된다. 탈착의 원리와 방법은 도 2d의 것과 같으며 이후의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 공정은 도 2a 내지 도 2d의 설명에서 도 5a와 도 5b에 관해 전술한 방법을 사용한다.Another embodiment of a method for manufacturing a partition wall using the metal frame formed by FIGS. 1A-1F is shown in FIGS. 3A-3D. The metal frame pattern 36 is disposed on the upper surface of the substrate 30 corresponding to the substrate 20 at predetermined intervals 32, and a dry film 34 is formed on the upper surface of the patterned metal frame 36. (FIG. 3A). The puncher 38 is used to compress a portion of the dry film 34 corresponding to the space 32 at a high temperature (FIG. 3B). Firing and desorption of the puncher (FIG. 3C). Next, the partition wall 38 is formed on the upper surface of the substrate 30 by removing the metal frame. The principle and method of desorption are the same as that of FIG. 2D and the subsequent manufacturing process of the plasma display panel uses the method described above with respect to FIGS. 5A and 5B in the description of FIGS. 2A-2D.
한편 도 1a 내지 도 1f의 금속 패턴을 형성하는 다른 방법(도시되지 않음)으로, 금속틀(10)을 일정 간격으로 펀칭하여 패턴화할 수 있다.Meanwhile, as another method of forming the metal pattern of FIGS. 1A to 1F (not shown), the metal frame 10 may be patterned by punching at a predetermined interval.
본 발명은 격벽을 형성할 때 금속틀을 이용하므로 인쇄와 건조를 반복할때 인쇄 위치의 정렬이 자동적으로 이루어지며, 인쇄와 건조를 2 내지 3회만 실시하므로 격벽 형성 시간이 단축되며, 격벽 하부에 형성되는 기판이 물리적인 충격을 받지 않으므로 소성시 균일이 생길 가능성이 상당히 감소하며, 격벽 형성시 감광막을 사용하지 않으므로 감광막의 세정 공정이 필요없다.In the present invention, since the metal frame is used to form the partition, the printing position is automatically aligned when the printing and drying are repeated, and the printing and drying are performed only two or three times, thereby shortening the formation time of the partition. Since the substrate to be formed is not subjected to physical impact, the possibility of uniformity during firing is considerably reduced, and since the photosensitive film is not used at the time of forming the partition wall, the cleaning process of the photosensitive film is unnecessary.
기타, 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.In addition, this invention can be implemented in various changes within the range which does not deviate from the summary.
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KR1019970073443A KR19990053749A (en) | 1997-12-24 | 1997-12-24 | Partition wall formation method of plasma display panel |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100405082B1 (en) * | 2001-02-22 | 2003-11-10 | 한국기계연구원 | Barrier Rib Manufacture Method of Plasma Display Panel |
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1997
- 1997-12-24 KR KR1019970073443A patent/KR19990053749A/en not_active Application Discontinuation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100405082B1 (en) * | 2001-02-22 | 2003-11-10 | 한국기계연구원 | Barrier Rib Manufacture Method of Plasma Display Panel |
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