KR19990051776A - Tomography inspection device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 단층 촬영 검사 장치에 관한 것이다. 개시된 본 발명은, 피검사물이 탑재되는 탑재 테이블과, 상기 탑재 테이블의 상측에 위치되어 상기 피검사물에 대하여 X선을 조사하는 X선 조사기 및, 상기 탑재 테이블의 하측에 위치되어 피검사물을 투과한 X선 단층 영상을 가시 영상으로 전환하는 영상 획득부를 포함하는 단층 촬영 검사 장치에 있어서, 상기 영상 획득부는 가동 테이블에 탑재되어, 상기 피검사물을 투과한 엑스선 영상을 따라 상기 피검사물의 검사 대상 단면과 평행한 평면상에서 상기 가동 테이블에 의해 이동되는 것을 특징으로 하며, 영상 획득부가 가동 테이블에 의해 피검사물을 투과한 X선 단층 영상을 따라 이동되기 때문에 종래에 비하여 피검사물에 조사되는 X선의 각도를 보다 작게 할 수 있어 우수한 품질의 단층 영상을 얻을 수 있으며, 또한, 영상 증배관의 상면 전체에 피검사물의 단층 영상이 투영되도록 할 수 있어 종래에 비하여 동일한 크기의 영상 증배관을 사용하더라도 더욱 큰 크기의 단층 영상을 얻을 수 있다.The present invention relates to a tomography inspection apparatus. According to the present invention, a mounting table on which an inspection object is mounted, an X-ray irradiator positioned above the mounting table for irradiating X-rays to the inspection object, and positioned below the mounting table and transmitted through the inspection object A tomography inspection apparatus including an image acquisition unit for converting an X-ray tomography image into a visible image, wherein the image acquisition unit is mounted on a movable table, and includes an inspection target cross section along an X-ray image passing through the inspection object; The moving table is moved by the movable table on a parallel plane, and since the image acquisition unit is moved along the X-ray tomographic image transmitted through the inspected object by the movable table, the angle of the X-ray irradiated to the inspected object is compared. It can be made small, so that high-quality tomographic images can be obtained, and the entire upper surface of the image multiplier can be obtained. Even if it is possible to check that the image is projected onto a single layer of water using an image intensifier of the same size in comparison with the conventional can be obtained tomographic image of a larger size.
Description
본 발명은 인쇄 회로 기판의 납땜 불량 등과 같이 직접 육안으로 확인할 수 없는 대상에 대한 품질 검사를 위한 단층 촬영 검사 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tomography inspection apparatus for inspecting quality of an object that cannot be directly visually checked, such as poor soldering of a printed circuit board.
일반적으로, 공산품의 생산 공정에서는 생산된 제품의 이상 유무를 확인하기 위한 여러 가지 품질 검사를 실시하고 있으며, 이중에서, 인쇄 회로 기판에 실장된 전자 부품들의 납땜 불량 여부 등과 같이 직접 육안으로 확인 할 수 없는 대상에 대해서는 X선을 이용해 그 내부를 확인하는 단층 촬영을 이용한 품질 검사를 실시하고 있다.In general, in the production process of industrial products, various quality inspections are conducted to check whether there are any abnormalities in the produced products. Among them, the visual inspection of the electronic components mounted on the printed circuit boards can be performed by the naked eye. For missing subjects, quality inspection is performed using tomography, which uses X-rays to check the interior.
이러한 X선을 이용한 단층 촬영 검사 장치의 일례를 도 1 및 도 2에 도시된 도면을 참조하여 간략하게 설명하면 다음과 같다.An example of such a tomography inspection apparatus using X-rays will be briefly described with reference to the drawings shown in FIGS. 1 and 2.
도 1에 도시된 바와 같이, 단층 촬영 검사 장치는 크게 피검사물(1)이 탑재되는 탑재 테이블(10)과, 이 탑재 테이블(10)에 탑재된 피검사물(1)에 대하여 X선을 조사(照射)하는 X선 조사기(20), 및 피검사물(1)을 투과한 X선 영상(2)을 육안으로 확인할 수 있는 가시 영상(3)으로 변환시키는 영상 획득부(30) 등으로 구성된다.As shown in FIG. 1, the tomography inspection apparatus irradiates X-rays to the mounting table 10 on which the inspection object 1 is largely mounted, and the inspection object 1 mounted on the mounting table 10 ( And an image acquisition unit 30 for converting the X-ray irradiator 20 to emit light and the X-ray image 2 transmitted through the inspected object 1 into a visible image 3 that can be visually checked.
X선 조사기(20)에서 발생되는 전자선(Electron Beam)은 일종의 전자석인 편향 코일(미도시)에 의해 편향되고, X선 조사기(20) 하단에 설치된 원판 형상의 애노드 전극(미도시)의 내주면에 충돌하여 X선이 발생되고, 이 X선이 탑재 테이블(10)에 탑재된 피검사물(1)에 대하여 소정 각도로 경사지게 조사된다. 이때, X선 조사기(20)의 편향 코일은 편향된 전자선이 일정한 속도로 애노드 전극의 내주면을 따라 일주하도록 X선을 편향시킨다. 따라서, X선은 애노드 전극을 따라 회전되면서 피검사물(1)에 대하여 조사되며, 피검사물(1)을 투과한 X선 영상(2) 또한 피검사물(1)의 반대측에서 원을 그리며 회전된다.Electron beams generated by the X-ray irradiator 20 are deflected by a deflection coil (not shown), which is a kind of electromagnet, and are disposed on an inner circumferential surface of a disk-shaped anode electrode (not shown) provided at the bottom of the X-ray irradiator 20. It collides and an X-ray is produced, and this X-ray is irradiated at the predetermined angle with respect to the to-be-tested object 1 mounted in the mounting table 10. FIG. At this time, the deflection coil of the X-ray irradiator 20 deflects the X-rays so that the deflected electron beam is circulated along the inner circumferential surface of the anode at a constant speed. Therefore, the X-rays are irradiated with respect to the inspected object 1 while being rotated along the anode electrode, and the X-ray image 2 passing through the inspected object 1 is also rotated in a circle on the opposite side of the inspected object 1.
또한, 영상 획득부(30)는, 도 2에 보다 상세하게 도시된 바와 같이, 원통형의 케이싱(31) 내부에 상측으로부터 영상 증배관(32)과, 회전 반사경(33), 및 카메라(34)가 차례로 설치된 구성을 가진다.In addition, as shown in more detail in FIG. 2, the image acquisition unit 30 includes an image multiplier 32, a rotation reflector 33, and a camera 34 from above from inside the cylindrical casing 31. Has a configuration that is installed in turn.
영상 증배관(32)은 피검사물(1)을 투과한 X 선 영상(2)을 가시 영상(3)으로 전환시키는 것으로서, 그의 상면이 형광막으로 이루어져 있어, 피검사물(1)을 투과한 X선 영상이 이 형광막에 투영되면 X선에 의해 형광 물질이 발광되는 것에 의해 X선 영상(2)이 가시 영상(3)으로 전환되게 된다.The image multiplier 32 converts the X-ray image 2 transmitted through the test object 1 into a visible image 3, the upper surface of which is made of a fluorescent film, and the X passed through the test object 1. When the line image is projected onto this fluorescent film, the X-ray image 2 is converted into the visible image 3 by emitting a fluorescent substance by X-rays.
그리고, 회전 반사경(33)은 X선 조사기(20)에서 조사되는 X선의 회전 속도에 맞추어 회전되며, 그의 내부에 설치된 거울(33a)을 통해 영상 증배관(2)에 맺힌 가시 영상(3)을 반사시켜 카메라(34)로 보낸다.The rotating reflector 33 is rotated according to the rotational speed of the X-ray irradiated from the X-ray irradiator 20, and the visible reflector 3 formed on the image multiplier 2 is disposed through the mirror 33a installed therein. Reflect it and send it to the camera 34.
한편, 도시되지는 않았으나 카메라(34)는 검사자가 육안으로 볼 수 있는 위치에 설치된 모니터와 연결되어 있어, 카메라(34)에 입력된 영상은 모니터에 나타나게 된다.Meanwhile, although not shown, the camera 34 is connected to a monitor installed at a position where the inspector can see the naked eye, and the image input to the camera 34 is displayed on the monitor.
또한, 피검사물(1)이 탑재되는 탑재 테이블(10)은 X선이 회전되는 회전면과 동일한 평면상에서 이동될 수 있도록 되어 있어, 탑재 테이블(10)을 이동시킴으로써 X선 조사기(20)에서 조사되는 X선이 피검사물(1)의 원하는 검사 영역(4)으로 조사될 수 있도록 조절할 수 있다.In addition, the mounting table 10 on which the inspected object 1 is mounted can be moved on the same plane as the rotating surface on which the X-rays are rotated, and is irradiated from the X-ray irradiator 20 by moving the mounting table 10. It can be adjusted so that the X-rays can be irradiated to the desired inspection area 4 of the inspection object (1).
물론 설명은 생략하였으나, 이러한 단층 촬영 검사 장치에는 X선 조사기(20)와 영상 획득부(30)가 각각 지지되는 베이스와, 탑재 테이블(10)을 이동시키기 위한 구동부와, X선을 편향시키는 편향 코일을 제어하는 제어부 등이 포함된다.Although the description is omitted, the tomography inspection apparatus includes a base on which the X-ray irradiator 20 and the image acquisition unit 30 are respectively supported, a driving unit for moving the mounting table 10, and a deflection for deflecting X-rays. A control unit for controlling the coil is included.
이와 같이 구성되어, 피검사물(1)을 탑재 테이블(10)에 탑재하고 탑재 테이블(10)을 이동시켜 피검사물(1)의 위치를 조절한 다음, X선 조사기(20)를 작동시켜 X선을 피검사물(1)에 대하여 조사한다. 그러면, 피검사물(1)을 투과한 X선은 영상 획득부(30)의 영상 증배관(32) 상면에 투영되어 가시 영상(3)으로 전환된다. 영상 증배관(32) 상면의 가시 영상(32)은 회전 반사경(33)에 의해 반사되어 카메라(34)로 보내지고, 카메라(34)에 입력된 영상은 다시 모니터(미도시)로 보내어져 모니터에 출력됨으로써 검사자가 피검사물(1) 내부의 투과된 영상을 확인할 수 있게 된다.In this way, the test object 1 is mounted on the mounting table 10, the mounting table 10 is moved to adjust the position of the test object 1, and then the X-ray irradiator 20 is operated to operate the X-ray. Examine the test object (1). Then, the X-rays transmitted through the inspected object 1 are projected onto the image multiplier tube 32 upper surface of the image acquisition unit 30 is converted into a visible image (3). The visible image 32 of the upper surface of the image multiplier 32 is reflected by the rotating reflector 33 and sent to the camera 34, and the image input to the camera 34 is sent to a monitor (not shown) again. By being output to the inspector can check the transmitted image inside the inspected object (1).
이때, X 선이 X선 조사기(20) 하단의 원주를 따라 회전되면서 조사되기 때문에 영상 증배관(32)의 상면에 투영되는 영상(3)도 영상 증배관(32)의 상면 가장자리를 따라 회전된다. 따라서, 영상 증배관(32)에 투영된 영상(3)을 카메라(34)로 보내기 위한 회전 반사경(33)은 X선의 회전 속도와 동일한 속도로 회전된다.At this time, since the X-rays are irradiated while rotating along the circumference of the bottom of the X-ray irradiator 20, the image 3 projected on the upper surface of the image multiplier 32 is also rotated along the upper edge of the image multiplier 32. . Therefore, the rotary reflector 33 for sending the image 3 projected onto the image multiplier 32 to the camera 34 is rotated at the same speed as the rotational speed of the X-rays.
상기와 같은 단층형 비파괴 검사 장치에 있어서, X선 조사기(20)와 피검사물(1)의 거리가 가까울수록, 즉, 피검사물(1)에 조사되는 X선의 조사각이 적을수록 보다 확실한 단층 영상을 얻을 수 있다.In the tomographic non-destructive inspection device as described above, the closer the distance between the X-ray irradiator 20 and the inspected object 1 is, that is, the smaller the irradiation angle of X-rays irradiated onto the inspected object 1 is, the more certain the tomographic image is. Can be obtained.
그러나, 보다 확실한 단층 영상을 얻기 위해 X선의 조사각을 작게 하는 경우, 검사에 적합한 크기의 단층 영상이 맺히는 위치가 X선의 회전축으로부터 멀어지게 된다. 따라서, 단층 영상이 투영되는 영상 증배관(32)의 직경 및 영상 증배관(32)에 투영된 단층 영상을 카메라(34)로 입력시키는 회전 반사경(33)의 직경도 커지게 되어, 영상 증배관(32) 및 회전 반사경(33)을 포함하는 영상 획득부(30)의 크기가 증대되고, 제작비용도 상승되는 문제점이 있었다.However, when the irradiation angle of the X-rays is reduced in order to obtain a more accurate tomographic image, the position where the tomographic images of a size suitable for inspection are formed is far from the axis of rotation of the X-rays. Therefore, the diameter of the image multiplier tube 32 onto which the tomographic image is projected and the diameter of the rotary reflector 33 for inputting the tomographic image projected on the image multiplier tube 32 to the camera 34 also increase. There is a problem that the size of the image acquisition unit 30 including the 32 and the rotating reflector 33 is increased, and the production cost is also increased.
뿐만 아니라, 회전 반사경(33)의 직경이 커지게 되면, 회전 반사경(33)의 회전 관성이 증가되어, 회전 반사경(33)의 회전 속도를 일정하게 유지시키는 것이 매우 어렵다. 따라서, 영상 증배관(32)의 상면 둘레를 따라 회전되는 투과 영상(3)이 회전 반사경(33)에 의해 카메라(34)로 보내질 때, 투과 영상(3)의 회전 속도와 회전 반사경(33)의 회전 속도에 차이가 발생되어, 카메라(34)에 입력되는 단층 영상(3)이 흔들리는 것과 같은 이유에 의해 그 품질이 저하되는 문제점이 있어, 영상 증배관(32) 및 회전 반사경(33)의 직경을 증가시키는 데도 한계가 있었다.In addition, when the diameter of the rotary reflector 33 is increased, the rotational inertia of the rotary reflector 33 is increased, and it is very difficult to keep the rotational speed of the rotary reflector 33 constant. Therefore, when the transmitted image 3 rotated along the upper circumference of the image multiplier 32 is sent to the camera 34 by the rotating reflector 33, the rotational speed and the rotating reflector 33 of the transmitted image 3 are transmitted. There is a problem in that the rotation speed of the image multiplier 32 and the rotary reflector 33 is deteriorated due to the reason that the quality of the image is reduced due to the reason that the tomographic image 3 input to the camera 34 is shaken. There was a limit to increasing the diameter.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 비교적 작은 크기로 보다 고품질의 단층 영상을 얻을 수 있는 단층 촬영 검사 시스템의 영상 획득 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide an image acquisition device of a tomography inspection system that can obtain a high quality tomography image with a relatively small size.
도 1은 종래의 단층 촬영 검사 장치 및 그 작동을 보인 사시도.1 is a perspective view showing a conventional tomography inspection apparatus and its operation.
도 2는 도 1에 도시된 종래의 단층 촬영 검사 장치의 영상 획득부를 보인 단면도.2 is a cross-sectional view showing an image acquisition unit of the conventional tomography inspection apparatus shown in FIG.
도 3은 본 발명에 따른 단층 촬영 검사 장치 및 그 작동을 보인 사시도.3 is a perspective view showing a tomography inspection apparatus and its operation according to the present invention.
도 4는 도 3에 도시된 본 발명에 따른 단층 촬영 검사 장치의 영상 획득부를 보인 단면도.4 is a cross-sectional view showing an image acquisition unit of the tomography inspection apparatus according to the invention shown in FIG.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
50 : 탑재 테이블 60 : X선 조사기50: mounting table 60: X-ray irradiator
70 : 영상 획득부 71 : 케이싱70: image acquisition unit 71: casing
72 : 영상 증배관 74 : 카메라72: video multiplier 74: camera
상기와 같은 목적은, 피검사물이 탑재되는 탑재 테이블과, 상기 탑재 테이블의 상측에 위치되어 상기 피검사물에 대하여 X선을 조사하는 X선 조사기 및, 상기 탑재 테이블의 하측에 위치되어 피검사물을 투과한 X선 단층 영상을 가시 영상으로 전환하는 영상 획득부를 포함하는 단층 촬영 검사 장치에 있어서, 상기 영상 획득부는 가동 테이블에 탑재되어, 상기 피검사물을 투과한 엑스선 영상을 따라 상기 피검사물의 검사 대상 단면과 평행한 평면상에서 상기 가동 테이블에 의해 이동되는 것을 특징으로 하는 본 발명에 따른 단층 촬영 검사 장치에 의해 달성된다.The above objects are provided with a mounting table on which an inspection object is mounted, an X-ray irradiator positioned above the mounting table for irradiating X-rays to the inspection object, and positioned below the mounting table to penetrate the inspection object. A tomography inspection apparatus comprising an image acquisition unit for converting an X-ray tomography image into a visible image, wherein the image acquisition unit is mounted on a movable table, and an inspection target cross section along an X-ray image transmitted through the inspection object It is achieved by the tomography inspection apparatus according to the invention, characterized in that it is moved by the movable table on a plane parallel to the.
여기서, 상기 영상 획득부는, 그의 상면에 투영되는 엑스선 영상을 가시화시키는 영상 증배관과, 상기 영상 증배관의 하측에 설치되어 상기 영상 증배관에 의해 가시화된 피검사물의 단층 영상을 입력받아 검사자가 볼 수 있는 위치에 설치된 모니터로 전송하기 위한 카메라, 및 상기 영상 증배관과 카메라를 수용하는 케이싱으로 구성되는 것이 바람직하다.Here, the image acquisition unit, the image multiplier for visualizing the X-ray image projected on the upper surface of the image multiplier is installed under the image multiplier tube to be inspected by the image multiplier to receive the tomography image of the inspector It is preferably composed of a camera for transmitting to a monitor installed in a position capable of, and a casing for accommodating the image multiplier and camera.
이와 같은 구성을 가지는 본 발명은, 영상 획득부가 가동 테이블에 의해 피검사물을 투과한 X선 단층 영상을 따라 이동된다. 따라서, 피검사물에 조사되는 X선의 각도를 보다 작게 할 수 있어 우수한 품질의 단층 영상을 얻을 수 있으며, 또한, 영상 증배관의 상면 전체에 피검사물의 단층 영상이 투영되도록 할 수 있어 종래에 비하여 동일한 크기의 영상 증배관을 사용하더라도 더욱 큰 크기의 단층 영상을 얻을 수 있다.In the present invention having such a configuration, the image acquisition unit is moved along the X-ray tomography image transmitted through the inspection object by the movable table. Therefore, the angle of the X-rays irradiated onto the inspected object can be made smaller, so that a tomographic image of excellent quality can be obtained, and the tomographic image of the inspected object can be projected on the entire upper surface of the image multiplier tube. Larger tomographic images can be obtained even with a sized image multiplier.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.
도 3 및 도 4에 본 발명에 따른 단층 촬영 검사 장치가 도시되어 있다. 도 3은 본 발명에 따른 단층 촬영 장치의 구성 및 작동을 보인 사시도이고, 도 4는 본 발명의 주요부인 영상 획득부를 도시한 단면도이다.3 and 4 show a tomography inspection apparatus according to the present invention. Figure 3 is a perspective view showing the configuration and operation of the tomography apparatus according to the invention, Figure 4 is a cross-sectional view showing an image acquisition unit that is the main part of the present invention.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 단층 촬영 장치는 피검사물(1')이 탑재되는 탑재 테이블(50)과, 탑재 테이블(50)의 상측에 위치되어 탑재 테이블(50)에 탑재된 피검사물(1')에 X선을 조사하는 X선 조사기(60)와, 탑재 테이블(50)의 하측에 위치되어 피검사물(1')을 투과한 X선을 가시 영상(3')으로 전환하는 영상 획득부(70), 및 영상 획득부(70)를 평면상에서 이동시키는 가동 테이블(80)로 구성된다.As illustrated, the tomography apparatus according to the present invention includes a mounting table 50 on which the inspected object 1 'is mounted, and an inspected object positioned on the mounting table 50 located above the mounting table 50. X-ray irradiator 60 for irradiating X-rays to 1 ') and image acquisition for converting X-rays positioned under the mounting table 50 and passing through the object 1' to a visible image 3 '. The unit 70 and the movable table 80 for moving the image acquisition unit 70 on a plane.
이와 같은 본 발명에 따른 단층 촬영 장치에 있어서, 탑재 테이블(50)과 X선 조사기(60)의 구성 및 작용은 종래의 탑재 테이블(50)과 X선 조사기(60)의 구성 및 작용과 동일하므로, 이에 대한 설명은 생략하고, 영상 획득부(70) 및 가동 테이블(80)에 대해서만 설명한다.In the tomography apparatus according to the present invention, the configuration and operation of the mounting table 50 and the X-ray irradiator 60 are the same as those of the conventional mounting table 50 and the X-ray irradiator 60. The description thereof will be omitted, and only the image acquisition unit 70 and the operation table 80 will be described.
영상 획득부(70)는 도 4에 보다 상세하게 도시된 바와 같이, 그의 상면에 투영되는 피검사물(1')의 X선 단층 영상을 가시 영상(3')으로 전환시키는 영상 증배관(72)과, 이 영상 증배관(72)에 의해 가시화된 피검사물(1')의 투과 영상(3')을 입력받는 카메라(74) 및 이 영상 증배관(72)과 카메라(74)를 수용하는 케이싱(71)으로 구성된다. 즉, 종래의 영상 획득부(70)에서 회전 반사경이 제거된 것과 같은 구성이다.As shown in more detail in FIG. 4, the image acquiring unit 70 converts an X-ray tomographic image of the object 1 'projected onto its upper surface into a visible image 3'. And a camera 74 which receives the transmission image 3 'of the inspection object 1' visualized by the image multiplier 72, and a casing which accommodates the image multiplier 72 and the camera 74. It consists of 71. That is, the rotation reflector is removed from the conventional image acquisition unit 70.
또한, 영상 획득부(70)는 가동 테이블(80) 상에 탑재된다. 이 가동 테이블(80)은 X선 조사기(60)에서 조사되는 X선의 회전면과 평행한 평면상에서 이동될 수 있도록 되어 있으며, X축 방향 및 Y축 방향의 움직임을 제어하는 한 쌍의 서보 모터에 의해 이동되는 것이 바람직하다. 이때 이 서보 모터는 X선 조사기(60)에서 조사되는 X선의 편향 위치에 맞추어 영상 획득부(70)를 그에 대응되는 위치로 이동시킬 수 있도록 제어된다.In addition, the image acquisition unit 70 is mounted on the movable table 80. The movable table 80 is movable on a plane parallel to the plane of rotation of the X-rays irradiated from the X-ray irradiator 60, and is operated by a pair of servo motors that control movement in the X-axis direction and the Y-axis direction. It is preferred to be moved. At this time, the servo motor is controlled to move the image acquisition unit 70 to a position corresponding to the deflection position of the X-ray irradiated from the X-ray irradiator 60.
이와 같이 되어, 가동 테이블(80)에 탑재된 영상 획득부(70)는 가동 테이블(80)의 이동에 의해 피검사물(1')의 투과 영상이 영상 증배관(72)의 상면에 투영되도록 투과 영상을 따라 이동되며, 이에 따라 영상 획득부(70)의 상면에 투영되는 피검사물(1')의 투과 영상(3')은 영상 획득부(70)의 하측에 위치된 카메라(74)로 입력되어, 검사작가 육안으로 확인할 수 있는 위치에 설치된 모니터로 전달된다.In this way, the image acquisition unit 70 mounted on the movable table 80 transmits the transmitted image of the inspected object 1 'onto the upper surface of the image multiplier 72 by the movement of the movable table 80. The transmission image 3 'of the inspected object 1' projected on the upper surface of the image acquisition unit 70 is moved along the image, and thus is input to the camera 74 positioned below the image acquisition unit 70. The monitor is delivered to a monitor installed at a position where the inspector can visually check.
이러한 본 발명에 따른 단층 촬영 검사 장치는, 영상 획득부(70) 그 자신이 가동 테이블(80)에 탑재되어 피검사물(1')의 단층 영상을 따라 이동되므로, 종래와 같이 회전 반사경의 회전에 따른 회전 관성에 의한 단층 영상의 흔들림과 같은 품질 저하를 방지할 수 있다. 따라서, X선 조사기(60)에서 조사되는 X선의 조사각을 보다 작게 할 수 있어 보다 우수한 품질의 단층 영상을 얻을 수 있다.In the tomography inspection apparatus according to the present invention, since the image acquisition unit 70 itself is mounted on the movable table 80 and moved along the tomography image of the inspected object 1 ', the tomographic inspection apparatus according to the present invention is conventionally used for rotation of the rotating reflector. It is possible to prevent the deterioration of quality, such as the shaking of the tomographic image due to the rotational inertia. Therefore, the irradiation angle of the X-rays irradiated by the X-ray irradiator 60 can be made smaller, and a tomographic image of superior quality can be obtained.
또한, 종래의 단층 촬영 장치에서 피검사물(1')의 단층 영상이 영상 증배관(72)의 상면 가장자리를 따라 회전됨으로써, 실제로 영상 증배관(72)의 상면에 투영되는 피검사물(1')의 단층 영상의 크기가 영상 증배관(72)의 크기에 비하여 작을 수밖에 없는 것에 비하여, 이러한 본 발명에 따른 단층 촬영 검사 장치는, 영상 획득부(70) 전체가 피검사물(1')의 단층 영상을 따라 회전되므로 영상 증배관(72)의 상면 전체에 피검사물(1')의 투과 영상을 투영시킬 수 있어, 종래와 같은 크기의 영상 증배관(72)에서 대략 4배정도 크기의 투과 영상(3')을 얻을 수 있다.In addition, in the conventional tomography apparatus, the tomography image of the inspected object 1 'is rotated along the upper edge of the image multiplier 72 so that the inspected object 1' is actually projected onto the upper surface of the image multiplier 72. In contrast to the fact that the size of the tomography image is smaller than the size of the image multiplier tube 72, in the tomography inspection apparatus according to the present invention, the entire image acquisition unit 70 is a tomography image of the inspection object 1 ′. Since it is rotated along, the transmission image of the inspection object 1 'can be projected on the entire upper surface of the image multiplier tube 72, and the transmission image 3 of approximately 4 times the size of the image multiplier tube 72 having the same size as the conventional one ') Can be obtained.
상기된 바와 같은 본 발명은, 영상 획득부가 가동 테이블에 탑재되어 피검사물을 투과한 X선 단층 영상을 따라 이동되므로, 종래에 비하여 비교적 적은 크기의 영상 증대관을 가지고서, 보다 크고 우수한 품질의 단층 영상을 얻을 수 있는 장점이 있다.In the present invention as described above, since the image acquisition unit is mounted on the movable table and moved along the X-ray tomography image that has passed through the inspection object, the image acquisition tube has a relatively small size of the image augmentation tube, and has a larger and superior quality tomography image. There is an advantage to get it.
이상에서는 본 발명의 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구의 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능할 것이다.Although specific embodiments of the present invention have been illustrated and described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and the present invention belongs to the present invention without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. Anyone of ordinary skill in the art will be able to implement various modifications.
Claims (2)
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