KR19990041711A - 반도체 카세트 고정장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 카세트를 이송함에 있어서 카세트의 진동 및 흔들림에 의한 카세트의 위치 이탈과 카세트의 손상을 방지하며 카세트를 안전하게 고정하도록 하는 반도체 카세트 고정장치에 관한 것이다.

본 발명에 따른 반도체 카세트 고정장치는, 하우징의 소정 위치에 카세트의 양측 슬롯이 상호 대응하는 방향과 나란하게 설치되는 두 개의 회전축과; 상기 각 회전축의 양측부에 각각 고정되어 상기 회전축의 회전시 상기 카세트 손잡이의 각 모서리에 대향하도록 형성된 홀더와; 상기 각 회전축에 각각 고정되고, 마주보는 단부가 상호 대응하여 연동하도록 연결되는 지지대; 및 상기 어느 하나의 지지대의 다른 단부에 연결되어 상기 각각의 지지대가 상기 각 회전축을 중심으로 회동하도록 구동력을 제공하는 구동수단;를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

따라서, 본 발명에 의하면, 카세트 손잡이부의 각 모서리에 대하여 굴곡된 형상을 척을 전·후 방향으로 연동시켜 압착 고정함으로써 이송되는 카세트의 전, 후, 좌, 우 방향에 대한 진동과 흔들림 및 이탈을 방지하고, 이에 따라 카세트를 정위치로 이송할 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체 카세트 고정장치

본 발명은 반도체 카세트 고정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수개의 웨이퍼가 수용되는 카세트를 이송함에 있어서 카세트의 진동 및 흔들림에 의한 위치 이탈과 그에 따른 손상을 방지하도록 카세트를 안전하게 고정하도록 하는 반도체 카세트 고정장치에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼 이송용 카세트는 다수개의 웨이퍼를 내부에 형성된 슬롯에 고정시킨 상태로 보관 또는 각 제조설비 사이로 이송하기 용이하도록 하는데 사용되고 있다.

이러한 종래의 웨이퍼 이송용 카세트는, 작업자 또는 자동화 이송설비의 카세트 고정장치가 파지하기 편리하도록 상부의 양측면에 돌출된 손잡이를 구비한다.

따라서, 종래의 반도체 카세트 고정장치는, 카세트의 하측 부위를 받쳐 지지하거나 카세트의 손잡이 양측을 걸치는 형상으로 파지하여 상, 하 , 좌, 우측 방향으로 이동이 가능하게 형성되었다.

그러나, 카세트의 하측 부위를 받쳐 지지하거나 손잡이를 양측을 지지하는 형상의 카세트 고정장치에 의하면, 카세트를 이송함에 있어서 카세트의 전, 후, 좌, 우 방향의 이송에 따른 진동 또는 흔들림 및 외부의 작은 충격에도 카세트의 위치가 쉽게 이탈하게되어 수용되는 웨이퍼를 포함하여 카세트 및 제조설비의 손상이 발생되는 문제가 있었다.

또한, 상술한 바와 같이, 위치 이탈 및 흔들림을 방지하기 위하여 카세트를 손잡이 부위를 기계적인 힘을 가압하게 되면 구조적으로 취약한 카세트의 측부가 쉽게 변형되거나 손상되어 카세트의 수명이 단축되는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은, 카세트의 전, 후, 좌, 우 방향으로의 이송시 진동과 흔들림 또는 외부의 충격에도 이탈을 방지하도록 하여 웨이퍼를 포함한 카세트와 제조설비의 손상을 방지하도록 하는 반도체 카세트 고정장치를 제공함에 있다.

또한, 카세트를 고정함에 있어서 카세트의 변형 및 손상이 없도록 파지하여 카세트의 수명을 연장하도록 하는 반도체 카세트 고정장치를 제공함에 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반도체 카세트 고정장치를 나타낸 사시도이다.

도 2는 도 1의 반도체 카세트 고정장치의 구성을 나타낸 구성도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10 : 카세트 고정장치 12 : 설비

14 : 하우징 16a,16b : 회전축

18 : 카세트 20a,20b : 홀더

22a,22b : 고정부재 24a,24b : 척

29a,29b : 기어 30 : 실린더

32 : 실린더축

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 카세트 고정장치는, 하우징의 소정 위치에 카세트의 양측 슬롯이 상호 대응하는 방향과 나란하게 설치되는 두 개의 회전축과; 상기 각 회전축의 양측부에 각각 고정되어 상기 회전축의 회전시 상기 카세트 손잡이의 각 모서리에 대향하도록 형성된 홀더와; 상기 각 회전축에 각각 고정되고, 마주보는 단부가 상호 대응하여 연동하도록 연결되는 지지대; 및 상기 어느 하나의 지지대의 다른 단부에 연결되어 상기 각각의 지지대가 상기 각 회전축을 중심으로 회동하도록 구동력을 제공하는 구동수단;을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.

또한, 상기 홀더는, 상기 회전축에 고정되는 고정부재와; 소정 길이를 갖는 봉 형상으로 일단부가 상기 고정부재에 고정되고, 다른 단부는 상기 손잡이의 하측부를 받쳐 지지하도록 굴곡 형성된 굴곡 형성된 척;으로 구성함이 바람직하다.

그리고, 상기 각 지지대의 연결은 마주보는 단부에는 상호 짝을 이루는 기어를 구비하여 형성할 수 있다.

한편, 상기 구동수단은, 상기 지지대의 다른 단부에 힌지 결합되는 실린더축과; 상기 하우징에 수직하게 설치되어 상기 실린더축을 승·하강 구동시키는 실린더;로 구성함이 바람직하다.

이하, 본 발명의 구체적인 일 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세시 설명 한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 반도체 카세트 고정장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 반도체 카세트 고정장치를 내부구조를 나타낸 구성도이다.

본 발명의 반도체 카세트 고정장치(10)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 설비(12) 일측에 소정 형상의 하우징(14)이 승·하강 유동이 가능하게 설치되고, 이 하우징(14)의 소정 위치에는 두 개의 회전축(16a,16b)이 하우징(14)의 측벽을 관통하는 형상으로 회전 가능하게 설치된다.

이들 회전축(16a,16b)은 상호 일정 간격을 두고 평행하게 배치되고, 이 회전축(16a,16b)의 길이 방향은 하측에 위치되는 카세트(18)의 양측 슬롯이 상호 대향하는 방향과 나란하다.

한편, 상술한 각 회전축(16a,16b)의 양측 단부에는 홀더(20a,20b)가 각각 고정되며, 이 홀더(20a,20b)는 회전축(16a,16b)에 통상의 방법으로 고정되는 고정부재(22a,22b)와 이 고정부재(22a,22b)에 일단부가 고정되고 다른 단부가 굴곡된 척 형상의 척(24a,24b)으로 구성된다.

따라서, 상술한 홀더(20a,20b)는, 회전축(16a,16b)의 회전시 홀더(20a,20b)를 구성하는 각각의 척(24a,24b)이 회동하여 카세트(18) 상단의 양측부위에 형성된 손잡이(26)의 각 모서리에 대향하게 되고, 손잡이(26)의 모서리 하측 부위는 척의 다른 단부의 부위에 지지되는 형상으로 놓이게 된다.

한편, 상술한 각각의 회전축(16a,16b) 중심 부위에는 소정 길이를 갖는 지지대(28a,28b)가 각각 고정되어 회전축(16a,16b)을 중심으로 회전축(16a,16b)과 함께 회전 가능하게 설치된다.

이들 지지대(28a,28b)의 상호 마주보는 각 단부에는 어느 하나의 지지대(28a)가 회전축(16a,16b)을 중심으로 회동하게 되면 동시에 대응하는 지지대(28b)가 연동하도록 기어(29a,29b)로 연결되어 있다.

따라서, 어느 하나의 지지대(28a)가 회동하게 되면 다른 지지대(28b)는 상호 연결된 기어(29a,29b) 맞물림에 의해 맞물림 부위를 중심으로 대칭되는 형상으로 연동하게 되고, 이때 각 회전축(16a,16b)의 각 단부에 고정된 홀더(20a,20b)는 카세트(18)의 전·후 방향에서 카세트(18) 손잡이(26)의 모서리 부위를 압착 또는 해체하게 된다.

한편, 상술한 바와 같이, 설비(12)에 근접하는 하우징(14) 내부에는 지지대(28a)가 회전축(16a)을 중심으로 회동하도록 하는 구동수단이 설치되고, 이러한 구동수단은, 도 2에 도시된 바와 같이, 제어부에 의해 구동하는 실린더(30)를 사용하게 된다.

이러한 실린더(30)에는 실린더(30)의 구동에 따라 승·하강 왕복 운동을 하는 실린더축(32)이 설치되어 있으며, 이 실린더축(32)의 상측 단부는 근접하는 지지대(28a)와 힌지 결합되어 지지대(28a)를 회전축(16a)을 중심으로 회동하도록 하는 구성으로 이루어진다.

이하, 상술한 구성에 따른 반도체 카세트 고정장치(10)의 동작 관계를 첨부된 도 1과 도 2를 참조하여 설명하기로 한다.

먼저, 하우징(14)의 하측으로 카세트(18)가 위치되면, 제어부는 실린더(30)를 구동시켜 실린더축(32)을 하강 위치시키게 되고, 이 실린더축(32)의 상측 단부에 힌지 결합된 지지대(28)는 고정된 회전축(16a)과 함께 회전축(16a)을 중심으로 소정 각도 회전하게 된다.

이때 실린더축(32)과 힌지 지지대(28a)와 기어(29a,29b)로 연결된 다른 지지대(28b)는 기어(29a,29b)가 맞물린 부위를 중심으로 상기 지지대(28a)와 대칭되는 형상으로 연동하여 소정 각도로 회전하게 된다.

한편, 상술한 각 회전축(16a,16b)의 양측에 고정된 홀더(20a,20b)는 카세트(18)의 전·후 방향에 대향하게 회동하고, 이 홀더(20a,20b)를 구성하는 척(24a,24b)의 굴곡된 부위가 카세트(18) 손잡이(26)의 하측 부위를 받쳐 지지하는 형상으로 위치되며, 척(24a,24b)의 측부는 손잡이(26)의 각 모서리 부위를 압착하여 고정하게 된다.

따라서, 본 발명에 의하면, 카세트 손잡이부의 각 모서리에 대하여 굴곡된 형상의 척을 전·후 방향으로 연동시켜 에서 압착하여 고정하도록 함으로써 이송되는 카세트의 전, 후, 좌, 우 방향에 대한 진동과 흔들림 및 이탈을 방지하게 되어 카세트를 정위치에 이송할 수 있는 효과가 있다.

또한, 카세트의 구조적으로 강성이 높은 부위를 전·후 방향에서 파지하게 됨으로써 카세트의 변형 및 손상을 줄여 카세트의 수명이 연장되는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (4)

1. 하우징의 소정 위치에 카세트의 양측 슬롯이 상호 대응하는 방향과 나란하게 설치되는 두 개의 회전축과;

   상기 각 회전축의 양측부에 각각 고정되어 상기 회전축의 회전시 상기 카세트 손잡이의 각 모서리에 대향하도록 형성된 홀더와;

   상기 각 회전축에 각각 고정되고, 마주보는 단부가 상호 대응하여 연동하도록 연결되는 지지대; 및

   상기 어느 하나의 지지대의 다른 단부에 연결되어 상기 각각의 지지대가 상기 각 회전축을 중심으로 회동하도록 구동력을 제공하는 구동수단;

   를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 반도체 카세트 고정장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 홀더는, 상기 회전축에 고정되는 고정부재와;

   소정 길이를 갖는 봉 형상으로 일단부가 상기 고정부재에 고정되고, 다른 단부는 상기 손잡이의 하측부를 받쳐 지지하도록 굴곡 형성된 척;으로 구성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 카세트 고정장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 각 지지대의 연결은 마주보는 단부에는 상호 짝을 이루는 기어가 구비됨을 특징으로 하는 상기 반도체 카세트 고정장치.
4. 제1항에 있어서.

   상기 구동수단은, 상기 지지대의 다른 단부에 힌지 결합되는 실린더축과;

   상기 하우징에 수직하게 설치되어 상기 실린더축을 승·하강 구동시키는 실린더;로 구성됨을 특징으로 하는 상기 반도체 카세트 고정장치.