KR19990041106U

KR19990041106U - Semiconductor Strip Feeder

Info

Publication number: KR19990041106U
Application number: KR2019980007850U
Authority: KR
Inventors: 김영건
Original assignee: 김영건; 동양반도체장비 주식회사
Priority date: 1998-05-13
Filing date: 1998-05-13
Publication date: 1999-12-15
Also published as: KR200209305Y1

Abstract

본 고안은 반도체 스트립이 적재되는 카트리지의 크기에 따라 이를 지지하는 유도편의 사이를 간편하게 가감시킬 수 있는 반도체 스트립 공급장치에 관한 것으로서, 반도체 장비의 공급측과 회수측에 구비된 고정플레이트의 상부측에 한쌍의 레일을 따라 수평상태에서 전후방향으로 이동되게 설치된 기판과, 상기 기판의 상면에 부설된 엘엠가이드에 의해 폭방향으로 가변되게 설치되고 다수의 스트립이 적층·보관되는 카트리지를 협지되게 상호 마주보는 한쌍의 유도편을 각각 구비하되 병렬로 위치하게 배열된 복수의 홀더와, 상기 각쌍의 홀더의 양측면에 고정되어 각 홀더의 폭간거리가 가감될 때 일체로 동작되게 하는 고정바와, 상기 복수의 홀더중 선단부에 위치된 한쌍의 홀더에 나선방향이 다른 스크류축이 공회전 가능하게 나사결합되어 이 스크류축의 정역회전에 의해 복수의 홀더를 일체로 연동시키면서 폭간거리를 가감되게 동력을 전달하는 벨트로 연결된 스텝모터와, 상기 스트립을 작업라인에 삽입 또는 회수하기 위한 위치의 수직하부에 기판을 관통하여 상향으로 동작되게 설치되어 기판의 후방측 홀더에 지지된 카트리지를 장비의 고정편상으로 밀어주는 실린더와, 상기 실린더에 인접하여 수직으로 설치된 스크류축의 회전에 의해 승강동작되게 설치되고 카트리지에 적층·보관된 스트립의 최하부를 지탱하면서 상측으로부터 스트립을 공급 또는 회수하는 승강부재를 포함하여서 된 것이다.The present invention relates to a semiconductor strip supply device that can be easily added or subtracted between the guide pieces supporting the semiconductor strip according to the size of the cartridge is loaded, a pair on the upper side of the fixing plate provided on the supply side and the recovery side of the semiconductor equipment A pair of substrates installed to be moved in the horizontal direction in a horizontal state along the rails of the substrate and the cartridge in which the cartridges are variably installed in the width direction by an LM guide attached to the upper surface of the substrate and are sandwiched and stored are stacked. A plurality of holders each having a guide piece arranged in parallel and fixed to both sides of the pair of holders so as to be integrally operated when the width width of each holder is added or lowered, and a tip of the plurality of holders. Screw shafts with different helical directions are screwed to the pair of holders located at The step motor is connected to the belt by a belt that transmits power to the width of the width while interlocking the plurality of holders integrally by the forward and reverse rotation of the screw shaft, and penetrates the substrate in the vertical lower part of the position for inserting or retrieving the strip into the work line. A cylinder which is installed to be operated upward and pushes the cartridge supported by the holder on the rear side of the substrate onto the fixing piece of the equipment, and is installed and lifted by the rotation of the screw shaft vertically installed adjacent to the cylinder and stacked and stored in the cartridge. It includes a lifting member for supplying or withdrawing the strip from the upper side while supporting the bottom of the strip.

Description

Semiconductor Strip Feeder

본 고안은 반도체 스트립 공급장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 스트립이 적재되는 카트리지의 크기에 따라 이를 지지하는 유도편의 사이를 간편하게 가변킴과 동시에 카트리지에 적재된 반도체 스트립의 이송을 원활하게하여 작업능률을 향상시킬 수 있는 반도체 스트립 카트리지용 폭 조절장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor strip supply device, and more particularly, to easily change between guide pieces supporting a semiconductor strip loaded thereon and to smoothly transport the semiconductor strip loaded on the cartridge. The present invention relates to a width adjusting device for a semiconductor strip cartridge capable of improving efficiency.

일반적으로 반도체를 제조하는 공정중 반도체 스트립 상태로 이동하거나 보관할 때에는 다수매의 반도체 스트립을 적재할 수 있는 카트리지에 삽입하여 보관하고 있고 이러한 반도체 스트립을 각종 장비에 공급 및 배출 할 때에는 카트리지를 유도편의 사이에 삽입시킨 후 상기 반도체 스트립을 인출 및 배출하고 있으며 제품의 다변화로 반도체 스트립의 크기가 다양해짐에 따라 이를 적재하는 카트리지의 크기가 각기 다르게 제작됨에 따라 이러한 카트리지를 지지하는 유도편의 간격을 간편하고 신속하게 조절할 수 있는 장치가 절실히 요구되고 있는 실정이다.In general, when moving or storing the semiconductor strip during the semiconductor manufacturing process, a plurality of semiconductor strips are inserted and stored in a cartridge that can be stacked. When supplying and discharging these semiconductor strips to various equipment, the cartridge is placed between the guide pieces. The semiconductor strip is taken out and discharged after being inserted into the semiconductor strip, and as the size of the semiconductor strip varies due to the diversification of products, the size of the cartridges for loading them is made differently. There is an urgent need for an adjustable device.

종래에는 각종 장비의 공급측과 회수측에 설치되어 카트리지를 지지하는 유도편 사이의 간격을 공급하는 반도체 스트립이 적재된 카트리지가 삽입될수 있도록 조절한 후 상기 유도편에 카트리지를 삽입하여 반도체를 제조하고 있다.Conventionally, a semiconductor is manufactured by inserting a cartridge into the guide piece after adjusting a cartridge having a semiconductor strip installed thereon, which is installed on the supply side and the recovery side of various equipment to supply a gap between the guide pieces supporting the cartridge. .

한편 반도체 스트립이 적재된 카트리지의 크기가 변경되면 상기 카트리지를 지지하는 유도편의 간격을 반드시 조절한 후 작업을하고 있으며 상기 유도편의 간격을 조절할 때에는 고정되어 있는 유도편을 분리하고 이후에 작업하기위한 카트리지를 지지할 수 있는 간격이 유지되도록 조절하여 고정시킨 후 작업을 하고 있다.On the other hand, when the size of a cartridge loaded with a semiconductor strip is changed, it is necessary to adjust the space between the guide pieces supporting the cartridge, and then work. When adjusting the space of the guide pieces, the fixed guide piece is separated and the cartridge for later work is performed. After fixing it to maintain the gap to support the work.

그러나 이러한 종래에 유도편을 분리 및 고정하는 작업은 작업자가 수작업으로 수행하고 있으므로 작업시간이 과다하게 소요었고 이로 인하여 고가의 장비가 정지되는 시간이 장기화되어 작업능률이 저하되는 문제점이 있었다.However, in the prior art, the operation of separating and fixing the induction piece was performed by the worker by hand, thus excessive work time was taken. As a result, the time required for stopping expensive equipment was prolonged, resulting in a decrease in work efficiency.

본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 고안한 것으로서, 반도체 스트립이 적재된 카트리지의 크기에 따라 이를 지지하는 유도편을 스텝모터의 구동으로 이동시켜 상기 유도편의 폭을 신속하고 간편하게 조절할 수 있는 반도체 스트립 공급장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention is devised to solve the above problems, and the semiconductor strip which can adjust the width of the guide piece quickly and simply by moving the guide piece supporting it according to the size of the cartridge in which the semiconductor strip is loaded by the driving of the step motor. The purpose is to provide a feeder.

상기 목적을 달성하기위한 본 고안은 반도체 장비의 공급측과 회수측에 구비된 고정플레이트의 상부측에 한쌍의 레일을 따라 수평상태에서 전후방향으로 이동되게 설치된 기판과, 상기 기판의 상면에 부설된 엘엠가이드에 의해 폭방향으로 가변되게 설치되고 다수의 스트립이 적층·보관되는 카트리지를 협지되게 상호 마주보는 한쌍의 유도편을 각각 구비하되 병렬로 위치하게 배열된 복수의 홀더와, 상기 각쌍의 홀더의 양측면에 고정되어 각 홀더의 폭간거리가 가감될 때 일체로 동작되게 하는 고정바와, 상기 복수의 홀더중 선단부에 위치된 한쌍의 홀더에 나선방향이 다른 스크류축이 공회전 가능하게 나사결합되어 이 스크류축의 정역회전에 의해 복수의 홀더를 일체로 연동시키면서 폭간거리를 가감되게 동력을 전달하는 벨트로 연결된 스텝모터와, 상기 스트립을 작업라인에 삽입 또는 회수하기 위한 위치의 수직하부에 기판을 관통하여 상향으로 동작되게 설치되어 기판의 후방측 홀더에 지지된 카트리지를 장비의 고정편상으로 밀어주는 실린더와, 상기 실린더에 인접하여 수직으로 설치된 스크류축의 회전에 의해 승강동작되게 설치되고 카트리지에 적층·보관된 스트립의 최하부를 지탱하면서 승강동작에 의해 상측으로부터 스트립을 공급 또는 회수하는 승강부재를 포함하여서 된 것이다.The present invention for achieving the above object is a substrate installed to be moved in the front and rear direction in a horizontal state along a pair of rails on the upper side of the fixed plate provided on the supply side and the recovery side of the semiconductor equipment, and the elm placed on the upper surface of the substrate A plurality of holders each arranged in parallel in a width direction by a guide and arranged in parallel with a pair of guide pieces facing each other so as to sandwich the cartridge in which a plurality of strips are stacked and stored, and both sides of the pair of holders; A fixed bar which is fixed to the holder so that it is operated integrally when the width distance of each holder is added and subtracted, and a screw shaft having a different helical direction is screwed to the pair of holders positioned at the distal end of the plurality of holders so that the screw shaft is idle. Step hats connected by belts that transmit power to the width-wise distance while interlocking a plurality of holders by rotation. A cylinder which is installed to be operated upwardly through the substrate at a vertical lower portion of the position for inserting or retrieving the strip into the working line and pushing the cartridge supported by the holder on the rear side of the substrate onto the fixing piece of the equipment; And an elevating member which is installed in an elevating operation by the rotation of a screw shaft vertically adjacent to the cylinder and supports or lowers the strip of the strip stacked and stored in the cartridge, while the elevating member feeds or retrieves the strip from the upper side by elevating operation.

도 1은 본 고안에 따른 공급장치를 도시한 사시도,1 is a perspective view showing a supply apparatus according to the present invention,

도 2a 및 도 2b는 본 고안 공급장치를 도시한 평면도,2a and 2b is a plan view showing the present invention supply device,

도 3a 및 도 3b는 본 고안에 따른 공급장치를 도시한 측면도,3a and 3b is a side view showing a supply apparatus according to the present invention,

도 4는 본 고안에 따른 공급장치가 설치된 반도체 제조설비의 사시도.Figure 4 is a perspective view of a semiconductor manufacturing equipment equipped with a supply device according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

M : 반도체 장비 S : 스트립M: Semiconductor Equipment S: Strip

10 : 고정플레이트 11 : 레일10: fixed plate 11: rail

20 : 기판 30 : 카트리지20: substrate 30: cartridge

40 : 홀더 41 : 엘엠가이드40: holder 41: LM Guide

42 : 유도편 43 : 고정바42: guide piece 43: fixed bar

50 : 스크류축 60 : 스텝모터50: screw shaft 60: step motor

61 : 벨트 70 : 실린더61: belt 70: cylinder

81 : 스크류축 83 : 승강부재81: screw shaft 83: lifting member

100 : 고정편100: fixed piece

이하 본 고안을 도시한 첨부도면 도 1 내지 도 3b를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 3B.

도 1은 본 고안에 따른 공급장치를 도시한 사시도이고, 도 2a 및 도 2b는 본 고안 공급장치를 도시한 평면도이며, 도 3a 및 도 3b는 본 고안에 따른 공급장치를 도시한 측면도로서, 도 4에 도시된 바와같이 반도체 장비(M)의 공급측(B) 및 회수측(C)에 각각 설치되어 있다.1 is a perspective view showing a supply device according to the present invention, Figures 2a and 2b is a plan view showing the supply device of the present invention, Figures 3a and 3b is a side view showing a supply device according to the present invention, Figure As shown in Fig. 4, the semiconductor device M is provided on the supply side B and the recovery side C, respectively.

본 고안의 반도체 스트립 공급장치는 플레이트(10)의 상부에 기판(20)의 이동을 안내하는 한쌍의 레일(11)이 길이방향으로 설치되어 있고 상기 기판(20)의 상면에는 적어도 한쌍 이상의 또다른 엘엠가이드(41)가 설치되어 있으며 상기 각 엘엠가이드(41)의 상부에는 반도체 스트립(S)이 적재된 카트리지(30)를 지지하는 유도편(40)이 고정된 홀더(40)가 상호 연동되도록 설치되어 있다.In the semiconductor strip supply apparatus of the present invention, a pair of rails 11 for guiding the movement of the substrate 20 on the upper portion of the plate 10 is provided in a longitudinal direction, and at least one pair of other pairs are provided on the upper surface of the substrate 20. The L guide 41 is installed, and the holder 40 to which the guide piece 40 for supporting the cartridge 30 on which the semiconductor strip S is mounted is fixed to the upper part of the L guide 41. It is installed.

상기 홀더(40)중 일측 끝단에 설치된 홀더(40)에는 나선홈을 갖는 지지돌기(44)가 설치되어 있고 기판(20)의 상부에 설치된 고정돌기(21)에는 중앙을 기점으로 나사의 방향이 반대로 형성된 스크류축(50)이 결합되어 있으며 상기 스크류축(50)의 중앙에는 기판(20)의 상면에 설치된 스텝모터(60)의 회전력을 벨트(61)를 통하여 전달받기위한 풀리(51)가 설치되어 있다.The holder 40 installed at one end of the holder 40 is provided with a support protrusion 44 having a spiral groove, and the direction of the screw from the center of the fixing protrusion 21 installed on the upper portion of the substrate 20 is provided. The oppositely formed screw shaft 50 is coupled to the center of the screw shaft 50, the pulley 51 for receiving the rotational force of the step motor 60 installed on the upper surface of the substrate 20 through the belt 61 It is installed.

한편 상기 플레이트(10)에 형성된 통공(12)의 직하방에는 유도편(40)에 삽입된 카트리지(30)를 상승시켜 이의 상부를 고정편(100)의 사이에 삽입시키는 이동바(71)가 실린더(70)에 의해서 이동가능하게 설치되어 있고 이의 일측에는 회전모터(82)에 의해서 회전되는 스크류축(81)이 설치되어 있으며 상기 스크류축(81)에는 반도체 스트립(S)을 상승시키는 승강부재(83)가 나사결합되어 있다.On the other hand, directly below the through hole 12 formed in the plate 10, the moving bar 71 for raising the cartridge 30 inserted in the guide piece 40 to insert the upper portion between the fixing piece 100 is It is installed to be movable by the cylinder 70 and one side thereof is provided with a screw shaft 81 which is rotated by the rotary motor 82, the lifting member for raising the semiconductor strip (S) on the screw shaft 81 (83) is screwed in.

이와같이 구성된 본 고안의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention configured as described above are as follows.

반도체 장비(M)의 공급측(B)과 회수측(C)에 각각 설치된 본 고안 반도체 스트립 공급장치의 기판(20) 상면에 설치된 스텝모터(60)를 구동시키면 이의 회전력은 벨트(61)를 통하여 스크류축(50)으로 전달되어 상기 스크류축(50)이 회전하게 된다.When driving the step motor 60 provided on the upper surface of the substrate 20 of the semiconductor strip supply apparatus of the present invention installed on the supply side (B) and the recovery side (C) of the semiconductor equipment (M), its rotational force is transmitted through the belt (61). The screw shaft 50 is rotated to be transmitted to the screw shaft 50.

이에 따라 스크류축(50)의 양단에 나사결합된 지지돌기(44)가 이동하게 되므로 상기 지지돌기(44)가 부착된 홀더(40)는 기판(20)의 상부에 설치된 엘엠가이드(41)에 안내를 받으면서 이동되어 유도편(42)사이의 간격이 가변된다.Accordingly, since the support protrusions 44 screwed to both ends of the screw shaft 50 are moved, the holder 40 to which the support protrusions 44 are attached is connected to the LM guide 41 installed on the substrate 20. It is moved while being guided and the spacing between the guide pieces 42 is variable.

따라서 상기 유도편(42)의 간격이 공급하고자하는 반도체 스트립(S)이 적재된 카트리지(30)가 삽입지지될 수 있도록 스텝모터(60)의 구동방향과 구동시간을 조절하면 유도편(42)의 조절이 완료된다.Therefore, when the driving direction and the driving time of the step motor 60 is adjusted so that the interval of the guide piece 42 is inserted into the cartridge 30 loaded with the semiconductor strip S to be supplied, the guide piece 42 The adjustment of is completed.

이러한 상태에서 유도편(42)의 사이에 반도체 스트립(S)이 적재된 카트리지(30)를 삽입시킨 후 별도의 이동수단(도면 미도시)으로 기판(20)을 밀면 상기 기판(20)은 플레이트(10)의 상부에 설치된 가이드(11)에 안내되어 이동하게 되며 상기 카트리지(30)가 플레이트(10)에 형성된 통공(12)의 직상방에 위치되면 기판(20)은 정지하게 된다.In this state, after inserting the cartridge 30 loaded with the semiconductor strip S between the guide pieces 42 and pushing the substrate 20 by a separate moving means (not shown), the substrate 20 is a plate The substrate 20 is guided and moved by the guide 11 installed on the upper portion of the substrate 10, and the substrate 20 is stopped when the cartridge 30 is positioned directly above the through hole 12 formed in the plate 10.

이후 플레이트(10)의 하부에 설치된 실린더(70)가 작동되면 이동바(71)가 상승하게 되어 반도체 스트립(S)이 적재된 카트리지(30)를 상승시켜 이의 상부 끝단을 고정편(100)의 사이로 삽입시키게 되므로 상기 카트리지(30)는 견고히 고정된다.Then, when the cylinder 70 installed on the lower portion of the plate 10 is operated, the moving bar 71 is raised to raise the cartridge 30 on which the semiconductor strip S is loaded, so that its upper end is fixed to the fixing piece 100. Since the cartridge 30 is inserted between the firmly fixed.

한편 카트리지(30)가 견고히 고정된 후 회전모터(82)를 구동 시키면 이때 발생되는 회전력은 스크류축(81)으로 전달되고 상기 스크류축(81)이 회전하게 됨에 따라 스크류축(81)에 결합되어 있는 승강부재(83)가 상승하게 되므로 상기 승강부재(83)는 카트리지(30)에 적재된 반도체 스트립(S)을 상승시키게 된다.Meanwhile, when the cartridge 30 is firmly fixed and the rotary motor 82 is driven, the rotational force generated at this time is transmitted to the screw shaft 81 and coupled to the screw shaft 81 as the screw shaft 81 is rotated. Since the elevating member 83 is raised, the elevating member 83 raises the semiconductor strip S loaded on the cartridge 30.

이와같이 카트리지(30)에 적재된 반도체 스트립(S)을 제조설비로 순차적으로 공급을 하면서 반도체를 제조하게 되는 것이다.In this way, while supplying the semiconductor strip (S) loaded on the cartridge 30 to the manufacturing equipment in order to manufacture the semiconductor.

그리고 상기 반도체 스트립(S)이 적재된 카트리지(30)의 크기가 변경되면 상술한 바와같이 스텝모터(60)를 구동하면 카트리지(30)를 지지하는 유도편(42) 사이의 간격을 가감하는 작업이 완료된다.When the size of the cartridge 30 on which the semiconductor strip S is loaded is changed, when the step motor 60 is driven as described above, the interval between the guide pieces 42 supporting the cartridge 30 is increased or decreased. Is complete.

이상에서와 같이 본 고안은 반도체 스트립이 적재된 카트리지의 크기가 변경됨에 따라 이를 지지하는 유도편의 간격을 조절할 때 상기 유도편을 분리하지 않고도 스텝모터의 구동에 의해서 좌·우 이동 되도록하여 유도편의 간격을 조절하는 작업을 간편하고 신속하게 수행하여 장비를 효율을 상승시켜 생산성을 높일수 있는 매우 유용한 고안이다.As described above, according to the present invention, when the size of the cartridge on which the semiconductor strip is loaded is changed, the gap between the guide pieces can be moved left and right by driving the stepper motor without removing the guide pieces when adjusting the spacing of the guide pieces supporting them. It is a very useful design that can increase the efficiency by increasing the efficiency of equipment by simply and quickly performing the task of adjusting the pressure.

Claims

When ink marking or laser marking to mark the type or manufacturer of a product on various types of strips constituting a semiconductor device, the strips are continuously supplied and the strips with markings are sequentially collected and stored. In the semiconductor device (M), a substrate (20) installed on the upper side of the fixed plate (10) provided on the supply side and the recovery side of the equipment to move in the front and rear directions in a horizontal state along a pair of rails (11), A pair of guide pieces which are installed to be variable in the width direction by the LM guide 41 attached to the upper surface of the substrate 20 and which mutually face each other so as to sandwich the cartridge 30 in which a plurality of strips S are stacked and stored ( 42 and a plurality of holders 40 arranged in parallel, and fixed to both sides of the pair of holders 40 so as to be integrally operated when the width distance of each holder 40 is added or subtracted. The screw shaft 50 having a different helical direction is screwed to the bar 43 and the pair of holders 40 positioned at the distal end of the plurality of holders 40 so that the screw shaft 50 can be idlely rotated. And a step motor 60 connected to the belt 61 which transmits power to the width-interval distance while interlocking the plurality of holders 40 integrally, and a position for inserting or retrieving the strip S into a work line. The cylinder 70 which is installed to be operated upward through the substrate 20 in the vertical lower portion of the substrate 20 and pushes the cartridge 30 supported by the rear holder 40 of the substrate 20 onto the fixing piece 100 of the equipment. ), And by lifting and lowering operation while supporting the lowermost part of the strip S stacked and stored on the cartridge 30 by being lifted and operated by the rotation of the screw shaft 81 installed vertically adjacent to the cylinder 70. A sphere including an elevating member 83 for supplying or recovering strips from above Semiconductor strip supply apparatus characterized by.