KR19990011576A

KR19990011576A - Quartz boat

Info

Publication number: KR19990011576A
Application number: KR1019970034714A
Authority: KR
Inventors: 조길연
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-07-24
Filing date: 1997-07-24
Publication date: 1999-02-18

Abstract

본 발명의 석영 보우트는 웨이퍼를 이송하기 위하여 캐리어의 일면과 결합되고, 웨이퍼를 수납하기 위한 캐리어의 슬롯과 같은 방향 및 피치로 형성된 보우트 슬롯을 갖는 재치대와, 캐리어와 결합되는 재치대의 윗면상에서 보우트 슬롯이 형성된 일측면에 위치하고, 재치대의 양단에서 소정의 거리로 서로 대칭되도록 설치되는 한쌍의 보우트 돌기 그리고, 재치대의 윗면상에서 보우트 돌기와 대향되는 재치대의 측면에 위치하고, 재치대의 양단에서 보우트 돌기와 같은 거리에 설치되는 한쌍의 보우트 홈을 포함한다.The quartz boat of the present invention is bonded to one surface of a carrier for transporting a wafer, and has a mounting table having a boat slot formed in the same direction and pitch as the slot of the carrier for accommodating the wafer, and the boat on the upper surface of the mounting table joined to the carrier. Located on one side of the slot, the pair of bolt protrusions are installed to be symmetrical with each other at a predetermined distance from both ends of the mounting table, and located on the side of the mounting table opposite to the bolt protrusions on the upper surface of the mounting table, and at the same distance from the both ends of the mounting table. It includes a pair of bolt grooves to be installed.

Description

A quartz boat

본 발명은 석영 보우트에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 반도체 공정에서 소정 공정을 수행하는 웨이퍼를 이송하기 위한 석영 보우트에 관한 것이다.The present invention relates to a quartz boat, and more particularly to a quartz boat for transferring a wafer performing a predetermined process in a semiconductor process.

반도체 공정에서 사용되는 석영 보우트(quartz boat) 중 식각 공정의 애싱(ashing) 공정에서 사용되는 석영 보우트는 운반용 캐리어에서 보우트로 웨이퍼를 이송시키는 방법에 따라 두가지의 종류로 분류된다. 한가지는 이송 장치에 의해서 자동으로 웨이퍼를 캐리어에서 보우트 또는 보우트에서 캐리어로 이송시키는 보우트이고, 다른 하나는 작업자가 직접 수작업을 통하여 웨이퍼를 캐리어에서 보우트 또는 보우트에서 캐리어로 이송시키는 보우트이다. 이와 같은 두가지의 보우트에서 경제성과 생산성을 고려하여 작업자의 수작업을 통하여 웨이퍼를 이송시키는 보우트가 널리 사용되고 있다.Among the quartz boats used in the semiconductor process, the quartz boats used in the ashing process of the etching process are classified into two types according to the method of transferring the wafer from the transport carrier to the boat. One is a boat that transfers the wafer from carrier to boat or from boat to carrier automatically by the transfer device, and the other is a boat to transfer the wafer from carrier to boat or from boat to carrier by manual labor. In these two boats, a boat for transferring a wafer through the manual labor of a worker is widely used in consideration of economics and productivity.

도 1a 및 도 1b에서 도시한 바와 작업자의 수작업에 의해서 웨이퍼를 이송시킬 때 사용되는 석영 보우트(10)는 웨이퍼를 정렬시키고, 파손되지 않도록 하는 슬롯(20)이 각각 형성된 재치대(12)와 지지대(14) 그리고, 상기 재치대(12)와 지지대(14)를 연결하여 지지하는 연결대(16)와 받침대(18)로 구성된다.As shown in FIGS. 1A and 1B, the quartz boat 10 used to transfer wafers by manual operation by the operator has a mounting table 12 and a support table on which slots 20 are formed to align the wafers and prevent them from being broken. (14) And, it is composed of a connecting table 16 and the support 18 to connect and support the mounting table 12 and the support (14).

이와 같은 구성을 갖는 석영 보우트(10)는 도 2에서 도시한 바와 같은 캐리어(30)와 함께 사용된다.The quartz boat 10 having such a configuration is used together with the carrier 30 as shown in FIG.

그러나, 상기 캐리어(30)에서 상기 석영 보우트(10) 또는 상기 석영 보우트(10)에서 상기 캐리어(30)로 웨이퍼를 이송할 때 상기 캐리어(30)의 날개부(34)에 형성된 캐리어 돌기(36)에 의해서 상기 석영 보우트와 간섭이 생기게 된다. 또한, 상기 석영 보우트(10)와 캐리어(30) 상호간에 웨이퍼를 이송시킬때에는 상기 석영 보우트(10) 및 캐리어(30)에 각각 형성된 슬롯이 서로 대웅되어 웨이퍼가 제자리에 찾아들어 가도록 위치를 잡아서 이송시켜야 하지만, 상기 석영 보우트(10)와 캐리어(30)의 정확한 위치를 맞추기가 어려우므로 하나의 슬롯에 두 개의 웨이퍼가 들어가기도 한다. 따라서, 작업자의 숙련이 필요하게 되며, 취급실수로 인하여 웨이퍼가 파손되거나 결함발생의 원인이되어 제품의 안정성 및 생산성을 저하시킨다.However, the carrier projection 36 formed in the wing 34 of the carrier 30 when the wafer is transferred from the carrier 30 to the quartz boat 10 or from the quartz boat 10 to the carrier 30. Will cause interference with the quartz boat. In addition, when the wafer is transported between the quartz boat 10 and the carrier 30, slots formed in the quartz boat 10 and the carrier 30 are respectively bowed to each other so that the wafer may be moved into position to move the wafer. However, since it is difficult to accurately position the quartz boat 10 and the carrier 30, two wafers may be inserted into one slot. Therefore, the skill of the operator is required, and the wafer may be broken or a defect may be caused due to a mistake in handling, thereby reducing the stability and productivity of the product.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 반도체 제조 공정에서 작업자의 수작업을 통하여 캐리어에 웨이퍼를 이송하거나 캐리어에서 웨이퍼를 이송받는 석영 보우트가 웨이퍼를 로딩 또는 언로딩할 때 안정적으로 수행될 수 있는 새로운 형태의 석영 보우트를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a conventional problem, and an object thereof is to stabilize the wafer when the wafer is loaded or unloaded by a quartz boat that transfers the wafer to the carrier or the wafer is transferred from the carrier through manual operation by an operator. It is to provide a new type of quartz boat that can be performed with.

도 1a 및 도 1b는 반도체 공정에서 사용되는 종래 석영 보우트를 도시한 정면도 및 평면도,1A and 1B are a front view and a plan view showing a conventional quartz boat used in a semiconductor process,

도 2는 일반적으로 반도체 공정에서 사용되는 캐리어를 도시한 사시도,2 is a perspective view illustrating a carrier generally used in a semiconductor process;

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 석영 보우트를 도시한 정면도 및 평면도,3a and 3b is a front view and a plan view showing a quartz boat according to an embodiment of the present invention,

도 4는 본 발명의 석영 보우트를 이용하여 웨이퍼를 캐리어로 또는 캐리어에서 석영 보우트로 이송하는 상태를 도시한 상태도이다.4 is a diagram illustrating a state in which a wafer is transferred from a carrier to a quartz boat using a quartz boat according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

30 : 캐리어 32 : 캐리어 몸체30 carrier 32 carrier body

34 : 날개부 36 : 캐리어 돌기34: wing 36: carrier projection

38 : 캐리어 홈 40 : 캐리어 슬롯38: carrier groove 40: carrier slot

50 : 석영 보우트 51 : 웨이퍼50: quartz bow 51: wafer

52 : 재치대 54 : 지지대52: mounting table 54: support

56 : 연결대 58 : 받침대56: connecting rod 58: pedestal

59 : 보우트 슬롯 60 : 보우트 돌기59: bolt slot 60: bolt projection

62 : 보우트 홈62: Boat Home

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 석영 보우트는 웨이퍼를 이송하기 위하여 캐리어의 일면과 결합되고, 상기 웨이퍼를 수납하기 위한 상기 캐리어의 슬롯과 같은 방향 및 피치로 형성된 보우트 슬롯을 갖는 재치대와; 상기 캐리어와 결합되는 상기 재치대의 윗면상에서 상기 보우트 슬롯이 형성된 일측면에 위치하고, 상기 재치대의 양단에서 소정의 거리로 서로 대칭되도록 설치되는 한쌍의 보우트 돌기 및 상기 재치대의 윗면상에서 상기 보우트 돌기와 대향되는 상기 재치대의 측면에 위치하고, 상기 재치대의 양단에서 상기 보우트 돌기와 같은 거리에 설치되는 한쌍의 보우트 홈을 포함한다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, a quartz boat is coupled with one surface of a carrier for transporting a wafer, and has a boat slot formed in the same direction and pitch as the slot of the carrier for receiving the wafer. Wit; A pair of bolt protrusions disposed on one side of the mounting slot coupled to the carrier and formed to be symmetrical with each other at a predetermined distance from both ends of the mounting table, and opposite to the bolt protrusions on the upper surface of the mounting table; It is located on the side of the mounting table, and includes a pair of bolt grooves which are installed at the same distance as the boat projection from both ends of the mounting table.

이와 같은 본 발명에서 상기 보우트 돌기와 보우트 홈은 상기 재치대와 결합되는 상기 캐리어의 캐리어 홈과 캐리어 돌기에 각각 결합된다.In the present invention, the bolt protrusion and the bolt groove are respectively coupled to the carrier groove and the carrier protrusion of the carrier coupled to the mounting table.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면 도 2 내지 도 4에 의거하여 상세히 설명하며, 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 4, and the same reference numerals are used for components that perform the same function.

도 2에서 도시한 바와 같이 본 발명의 석영 보우트와 관련된 캐리어(30)는 다수개의 웨이퍼를 이송하기 위한 구조를 갖고 있다. 상기 캐리어(30)는 캐리어 몸체(32)상에 웨이퍼가 하나씩 위치되도록 설계된 캐리어 슬롯(40)이 형성되어 있으며, 상기 캐리어 몸체(32)의 윗면에는 양면으로 각각 소정 길이를 갖는 날개부(34)가 설치된다. 그리고, 상기 날개부(34)상에서 한 쪽면에는 캐리어 돌기(36)가 형성되고, 상기 캐리어 돌기(36)와 대칭되도록 상기 날개부(34)의 다른 면에는 캐리어 홈(38)이 형성된다. 이때, 상기 캐리어 돌기(36)와 캐리어 홈(38)은 서로 결합되는 관계로 형되고, 다른 캐리어를 상기 캐리어(30)에 결합하여 여러 층으로 구성할 수 있다.As shown in FIG. 2, the carrier 30 associated with the quartz boat of the present invention has a structure for transferring a plurality of wafers. The carrier 30 is formed with a carrier slot 40 designed to position the wafers one by one on the carrier body 32, the upper surface of the carrier body 32 wings 34 each having a predetermined length on each side Is installed. In addition, a carrier protrusion 36 is formed on one side of the wing 34, and a carrier groove 38 is formed on the other side of the wing 34 so as to be symmetrical with the carrier protrusion 36. At this time, the carrier projection 36 and the carrier groove 38 is formed in a relationship that is coupled to each other, it may be composed of a plurality of layers by combining the other carrier to the carrier 30.

도 3a 및 도 3b에서 도시한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 석영 보우트(50)는 웨이퍼(51)를 이송하기 위하여 캐리어(30)의 일면과 결합되고, 상기 웨이퍼(51)를 수납하기 위한 상기 캐리어(30)의 슬롯(40)과 같은 방향 및 피치로 형성된 보우트 슬롯(59)을 갖는 재치대(52)와 상기 캐리어(30)와 결합되는 상기 재치대(52)의 윗면상에서 상기 보우트 슬롯(59)이 형성된 일측면에 위치하고, 상기 재치대(52)의 양단에서 소정의 거리로 서로 대칭되도록 설치되는 한쌍의 보우트 돌기(60) 그리고, 상기 재치대(52)의 윗면상에서 상기 보우트 돌기(60)와 대향되는 상기 재치대(52)의 측면에 위치하고, 상기 재치대(52)의 양단에서 상기 보우트 돌기(60)와 같은 거리에 설치되는 한쌍의 보우트 홈(62)으로 구성된다. 또한, 상기 석영 보우트(50)는 상기 재치대(50)의 아래에 위치되고, 연결대(56)에 의해서 상기 재치대(52)와 결합되며, 상기 웨이퍼(51)의 아래 부분을 지지하는 지지대(54)와 상기 지지대(54)와 결합되어 상기 석영 보우트(50)가 바닥면에 위치하도록 하는 받침대(58)로 구성된다.As shown in FIGS. 3A and 3B, the quartz boat 50 according to the embodiment of the present invention is coupled to one surface of the carrier 30 to transfer the wafer 51, and for accommodating the wafer 51. The boat slot on the mounting table 52 having the boat slot 59 formed in the same direction and pitch as the slot 40 of the carrier 30 and the mounting table 52 coupled to the carrier 30. A pair of bolt protrusions 60 disposed on one side of the mounting base 52 and symmetrical with each other at a predetermined distance from both ends of the mounting table 52, and on the upper surface of the mounting table 52, the bolt protrusions ( It is composed of a pair of bolt grooves 62 which are located on the side of the mounting table 52 opposite to 60, and are installed at the same distance as the bolt protrusion 60 at both ends of the mounting table 52. In addition, the quartz boat 50 is positioned below the mounting table 50, coupled to the mounting table 52 by a connecting table 56, and supporting a lower portion of the wafer 51 ( And a pedestal 58 coupled to the support 54 to allow the quartz boat 50 to be positioned on the floor.

이와 같은 구성에 의해서 도 4에서 도시한 바와 같이 상기 석영 보우트(50)는 상기 보우트 돌기(60)와 보우트 홈(62)에 의해서 상기 재치대(52)와 결합되는 상기 캐리어(30)의 캐리어 홈(38)과 캐리어 돌기(36)에 각각 결합되어 상기 캐리어(30)와 결합되어 웨이퍼(51)를 상기 캐리어(30) 또는 석영 보우트(50)로 이송시킬 수 있다.With this configuration, as shown in FIG. 4, the quartz boat 50 is a carrier groove of the carrier 30 coupled to the mounting table 52 by the boat protrusion 60 and the boat groove 62. The carrier 51 may be coupled to the carrier protrusion 36 and the carrier protrusion 36, respectively, to transfer the wafer 51 to the carrier 30 or the quartz boat 50.

이와 같은 본 발명을 적용하면, 석영 보우트와 캐리어의 위치 맞춤이 돌기와 홈의 결합을 통하여 간단하게 이루어지므로, 소정의 공정을 수행하기 위한 웨이퍼를 수동으로 캐리어에서 석영 보우트로 이송하거나, 석영 보우트에서 캐리어로 이송할 때 안정적이고, 용이하게 웨이퍼를 이송할 수 있다. 따라서, 캐리어에서 석영 보우트 또는 석영 보우트에서 캐리어로 웨이퍼를 이송할 때 발생되는 웨이퍼의 파손을 최대한 방지할 수 있으므로 불량율의 감소와 생산성의 향상을 가져올 수 있다.According to the present invention, since the alignment of the quartz boat and the carrier is made simply through the combination of the protrusion and the groove, the wafer for carrying out a predetermined process is manually transferred from the carrier to the quartz boat, or the carrier is disposed on the quartz boat. It is stable when transferring to the wafer, and the wafer can be transferred easily. Therefore, the breakage of the wafer generated when the wafer is transferred from the carrier to the carrier or from the quartz boat to the carrier can be prevented to the maximum, thereby reducing the defective rate and improving productivity.

Claims

The bolt slot 59 is coupled to one surface of the carrier 30 to transfer the wafer 51 and formed in the same direction and pitch as the slot 40 of the carrier 30 for accommodating the wafer 51. A mounting table 52 having;

On the upper surface of the mounting table 52 coupled to the carrier 30 is located on one side of the boat slot 59 is formed, a pair of symmetrical mutually installed at a predetermined distance from both ends of the mounting table 52 Bolt projections (60) and

Located on the upper surface of the mounting table 52 is located on the side of the mounting table 52 facing the boat projection 60, and installed at the same distance as the boat projection 60 from both ends of the mounting table 52 A quartz boat comprising a pair of boat grooves 62.

The method of claim 1,

The bolt protrusion (60) and the bolt groove (62) is a quartz boat comprising a coupling to the carrier groove (38) and the carrier projection (36) of the carrier (30) coupled to the mounting table (52), respectively.