KR19990001952A - 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 습식설비의 배관연결피팅이 느슨해지거나 연결상태가 해체되어 배관내를 흐르는 화학약품이 누출되는 것을 방지하기 위한 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치에 관한 것이다.

본 발명에 따른 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치는, 연결관(16)의 단부에 취부된 배관연결캡(18)들에 나합될 수 있는 나합부를 갖는 배관연결피팅(17)을 구비하는 배관연결장치에 있어서, 상기 배관연결피팅(17)에 나합되어 체결된 상기 연결관(16)의 단부에 걸 수 있는 제1고정탭(21)과 제2고정탭(31)을 포함하며, 제1고정탭(21)과 제2고정탭(31)이 서로 일체로 체결될 수 있도록 상기 제1고정탭(21)의 내면에 제1걸림턱(22)을 일체로 형성시키고, 또한 상기 제2고정탭(31)의 외면에 제2걸림턱(32)을 일체로 형성시켜서 이루어진다.

따라서, 배관연결피팅(17)에 나합된 배관연결캡(18)들을 긴밀하게 결합시킴으로써 이들의 결합의 이완을 방지하는 효과가 있다.

Description

반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치

본 발명은 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 습식설비의 배관연결피팅이 느슨해지거나 연결상태가 해체되어 배관연결피팅에 의하여 연결된 배관내를 흐르는 화학약품이 누출되는 것을 방지하기 위한 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치에 관한 것이다.

반도체 장치를 제조하는데 필요한 여러 제조공정들 중에는 고온의 화학물질을 사용하는 공정이 많이 있으며, 특히 액상의 화학물질을 사용하여 웨이퍼를 처리하는 장치를 웨트스테이션(wet station)이라 하며, 특히 습식식각의 수행을 위한 식각장치 등이 이에 속한다. 도1에 나타낸 바와 같이, 예를 들면 종래의 습식식각장치는, 내조(11), 상기 내조(11)의 상단에 연결되어 취부된 외조(12), 연결관(16)을 통하여 상기 외조(12)의 저면과 상기 내조(11)의 저면 사이를 연결하는 연결관(16)을 포함하며, 상기 연결관(16)에는 연결관(16)내의 액상의 화학물질 즉, 식각장치에서의 식각액을 순환시키기 위한 펌프(13), 가열장치(14) 및 필터(15) 등이 취부되어 있다. 따라서, 상기 연결관(16)에 취부된 펌프(13)의 가동으로 인하여 식각액의 흐름이 발생하며, 이는 상기 내조(11)에서 오버플로우된 식각액을 가압하여 가열장치(14)와 필터(15)를 통과하여 다시 상기 내조(11)로 공급될 수 있으며, 상기한 연결관(16)을 통과하면서 식각액은 가열장치(14)에 의하여 적절한 식각온도로 가열되고, 또 식각액 중에 포함된 파티클 등과 같은 불순물들을 여과할 수 있게 된다.

상기한 바와 같이, 상기 연결관(16)에는 펌프(13)와 가열장치(14) ＜ 필터(15) 등 다양한 장치들이 취부되며, 이들의 취부를 위하여는, 도2에 도시한 바와 같은, 다수의 배관연결피팅(17)이 사용되어야 한다.

상기 배관연결피팅(17)은 식각액과 같은 화학물질들에 대하여 내식성을 갖는 테프론재질로 이루어지며, 액상의 화학물질의 누출을 방지할 수 있을 정도로 긴밀한 연결구조를 갖도록 이루어지며, 이러한 배관연결피팅(17)은 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에게는 상용적으로 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것으로 이해될 수 있다.

그러나, 이러한 공지의 배관연결피팅(17) 만으로는 상기 연결관(16)과 같이 고온의 화학물질이 통과하는 배관들을 화학물질의 누출의 위험성 없이 충분히 기밀을 유지하면서 연결상태를 유지할 수 없다는 문제점이 있었으며, 특히 연결관(16) 중의 펌프(13)와 같이 가동부가 있는 부품의 연결에서는 가동부의 동작에 의한 진동으로 배관연결피팅(17)의 연결상태가 완만하게 이완되고, 심한 경우 연결이 풀리면서 그 내부를 통과하는 화학물질이 누출되는 문제점이 있었다.

이는 배관연결피팅(17)의 실질적인 연결을 이루는 나사결합의 나사산의 높이 등 구조적인 문제도 있지만 상기한 바와 같은 펌프(13)의 구동 등에 의한 지속적인 진동으로 인한 나사결합의 체결상태의 이완 등에 의한 풀림 및 화학물질의 온도에 의한 열팽창 등에 의한 체결상태의 이완 등에 기인하여 누출이 일어나는 경우가 더 많은 것으로 알려져 있다.

따라서, 지속적인 기계적 진동 및 열팽창에도 배관연결피팅(17)의 이완을 방지할 수 있는 체결력이 강화된 배관연결장치를 개발할 필요성이 있었다.

본 발명의 목적은, 지속적인 기계적 진동 및 열팽창에도 배관연결피팅의 이완을 방지할 수 있도록 체결력이 강화된 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치를 제공하는 데 있다.

도1은 일반적인 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결상태를 개략적으로 도시한 구성도이다.

도2는 종래의 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치의 일 구체예를 개략적으로 도시한 측단면도이다.

도3은 본 발명에 다른 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치의 일 실시예를 개략적으로 도시한 측단면도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 내조 12 : 외조

13 : 펌프 14 : 가열장치

15 : 필터 16 : 연결관

17 : 배관연결피팅 18 : 배관연결캡

21 : 제1고정탭 22 : 제1걸림턱

31 : 제2고정탭 32 : 제2걸림턱

41 : 고정나사

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치는, 연결관의 단부에 취부된 배관연결캡들에 나합될 수 있는 나합부를 갖는 배관연결피팅을 구비하는 배관연결장치에 있어서, 상기 배관연결피팅에 나합되어 체결된 상기 연결관의 단부에 걸 수 있는 제1고정탭과 제2고정탭을 포함하며, 제1고정탭과 제2고정탭이 서로 일체로 체결될 수 있도록 상기 제1고정탭의 내면에 제1걸림턱을 일체로 형성시키고, 또한 상기 제2고정탭의 외면에 제2걸림턱을 일체로 형성시켜서 이루어진다.

상기 제1고정탭의 제1걸림턱과 제2고정탭의 제2걸림턱은 일측면이 경사면으로 형성되고, 다른 일측면이 수직면으로 형성되어 경사면이 높아지는 방향으로 체결될 수 있도록 형성될 수 있다.

상기 제1걸림턱과 제2걸림턱의 경사면은 서로 반대방향으로 경사지도록 형성될 수 있다.

상기 제1고정탭과 제2고정탭은 고정나사로 고정될 수 있다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도3에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치는, 연결관(16)의 단부에 취부된 배관연결캡(18)들에 나합될 수 있는 나합부를 갖는 배관연결피팅(17)을 구비하는 배관연결장치에 있어서, 상기 배관연결피팅(17)에 나합되어 체결된 상기 연결관(16)의 단부에 걸 수 있는 제1고정탭(21)과 제2고정탭(31)을 포함하며, 제1고정탭(21)과 제2고정탭(31)이 서로 일체로 체결될 수 있도록 상기 제1고정탭(21)의 내면에 제1걸림턱(22)을 일체로 형성시키고, 또한 상기 제2고정탭(31)의 외면에 제2걸림턱(32)을 일체로 형성시켜서 이루어짐을 특징으로 한다.

상기에서 배관연결피팅(17)과 이에 나합되는 배관연결캡(18)들 및 이 배관연결캡(18)에 연결된 연결관(16)들은 모두 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에게는 상용적으로 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것으로 이해될 수 있다.

본 발명은 상기한 바와 같이 배관연결피팅(17)에 나합되는 배관연결캡(18)에 걸 수 있도록 구성된 상기 제1고정탭(21)과 제2고정탭(31)은 본 발명에 의하여 새로이 도입된 것으로서, 상기 제1고정탭(21)과 제2고정탭(31)은 그들 각각에 일체로 형성된 제1걸림턱(22) 및 제2걸림턱(32)들에 의하여 서로 일체로 체결될 수 있다.

따라서, 상기 제1걸림턱(22) 및 제2걸림턱(32)들에 의하여 서로 체결되는 상기 제1고정탭(21) 및 제2고정탭(31)들은 이들 걸림턱들에 의하여 서로 결합되는 한편으로 이들 고정탭들에 상기 연결관(16)의 배관연결캡(18)들이 걸려 있게 되며, 그에 따라 상기 배관연결피팅(17)에 나합된 상기 배관연결캡(18)들은 상기 배관연결피팅(17)을 중심으로 하여 상기 고정탭들에 의하여 긴밀하게 체결될 수 있다.

따라서, 이들 고정탭들이 상기 배관연결피팅(17)에 나합된 상기 배관연결캡(18)들의 풀림을 예방할 수 있게 된다.

상기 제1고정탭(21)의 제1걸림턱(22)과 제2고정탭(31)의 제2걸림턱(32)은 일측면이 경사면으로 형성되고, 다른 일측면이 수직면으로 형성되어 경사면이 높아지는 방향으로 체결될 수 있도록 형성될 수 있으며, 이러한 걸림턱들의 형상에 의하여 상기 제1걸림턱(22)과 제2걸림턱(32)들은 경사면들이 연속적으로 맞닿는 방향으로의 가변은 이들 경사면에 의하여 쉽게 통과될 수 있으며, 그에 의하여 상기 걸림턱들이 형성된 고정탭들 간의 체결을 용이하게 할 수 있도록 할 수 있다.

반대로, 상기 제1걸림턱(22)과 제2걸림턱(32)들의 수직면들이 연속적으로 맞닿는 방향으로의 가변은 이들 수직면들에 의하여 통과가 어렵게 되며, 그에 의하여 상기 걸림턱들이 형성된 고정탭들은 서로 분리가 불가능하게 된다.

상기 제1걸림턱(22)과 제2걸림턱(32)의 경사면은 서로 반대방향으로 경사지도록 형성될 수 있으며, 그에 의하여 상기 고정탭들의 결합을 용이하게 할 수 있다.

더욱이, 상기 제1고정탭(21)과 제2고정탭(31)들 간의 고정을 보다 긴밀하게 하기 위하여 상기 제1고정탭(21)과 제2고정탭(31)이 서로 체결된 상태에서 이들을 관통하는 고정나사(41)를 사용하여 서로 고정시킬 수 있다.

따라서, 본 발명에 의하면 배관연결피팅(17)에 나합되어 체결되는 배관연결탭들이 상기 배관연결피팅(17)으로부터 임의로 일탈하는 것을 방지하는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 의하면 상기 배관연결탭들을 상기 배관연결피팅(17)을 중심으로 긴밀하게 결합시킴으로써 지속적인 기계적 진동 및 열팽창에도 배관연결피팅(17)의 이완을 방지할 수 있도록 체결력이 강화된 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치를 제공하는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (4)

1. 연결관의 단부에 취부된 배관연결캡들에 나합될 수 있는 나합부를 갖는 배관연결피팅을 구비하는 배관연결장치에 있어서,

   상기 배관연결피팅에 나합되어 체결된 상기 연결관의 단부에 걸 수 있는 제1고정탭과 제2고정탭을 포함하며, 제1고정탭과 제2고정탭이 서로 일체로 체결될 수 있도록 상기 제1고정탭의 내면에 제1걸림턱을 일체로 형성시키고, 또한 상기 제2고정탭의 외면에 제2걸림턱을 일체로 형성시켜서 이루어짐을 특징으로 하는 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1고정탭의 제1걸림턱과 제2고정탭의 제2걸림턱은 그 일측면이 경사면으로 형성되고, 다른 일측면이 수직면으로 형성되어 경사면이 높아지는 방향으로 체결될 수 있도록 형성됨을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 제1걸림턱과 제2걸림턱의 경사면이 서로 반대방향으로 경사지도록 형성됨을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 제1고정탭과 제2고정탭이 고정나사로 고정됨을 특징으로 하는 상기 반도체장치 제조용 습식설비의 배관연결장치.