KR19990000390A - 반도체 제조용 설비의 경고신호 전달방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조용 설비의 경고신호 전달방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 생산라인에 배치된 각 설비에서 출력되는 경고신호를 소정의 설비신호 통합장치를 통해 전량 취합하고 이를 소정의 무선송신기를 통해 작업자에게 직접 전달함으로써, 작업자가 일일이 경고신호 시스템을 관측하지 않고도 설비의 이상을 신속히 파악할 수 있다.

Description

반도체 제조용 설비의 경고신호 전달방법

본 발명은 반도체 제조용 설비에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 설비에서 발생되는 경고상황을 작업자에게 빠르게 통보함으로써, 전체적인 작업 생산성을 향상시킬 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 경고신호 전달방법에 관한 것이다.

일반적인 반도체 소자는 고도의 정밀성을 필요로 하며, 이에 따라 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 소정의 설비, 예컨대, 스퍼터링 설비, 식각 설비, 측정 설비 등이 배치되어 대부분의 반도체 제조공정을 수행하고 있다.

이때, 작업자는 각 설비의 동작상황을 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.

도 1은 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조용 설비의 배치를 개략적으로 도시한 개념도이다.

도시된 바와 같이, 생산라인내에는 다수의 설비(10가 공정별로 배치되며, 각 설비(1)는 설비 제어용 PC(3)에 의해 제어되고 있다.

이때, 작업자는 PC(3)에 소정의 전산작업을 수행하여, 로봇(미도시) 등의 자동 반송 시스템을 작동시키고 이에 의해 로트(2)는 설비(1)에 투입된다.

이어서, 작업자는 상술한 전산작업을 수행하여, 설비(1)를 가동상태로 온(On)시킴과 아울러, 가공되는 로트(2)에 알맞는 환경으로 설비(1)의 공정조건을 설정한다.

예컨대, 설비(1)에 투입된 로트(2)에 옥사이드 공정이 필요한 경우, 작업자는 상술한 PC(3)를 통해 형성될 막의 두께, 공정 온도, 설비의 가동시간 등의 세부 공정 조건을 설정한다.

이러한 설정조건에 따라, 설비(1)는 로트(2)를 가공함으로써, 요구되는 공정을 완료한다.

이때, 설비(1)에는 경고 타우어 등의 경고신호 시스템(미도시)이 구비되는 바, 이러한 경고신호 시스템은 설비(1)에서 예측하지 못한 에러가 발생되거나, 진행되던 공정이 완료되는 등의 상황이 발생되면, 이러한 상황을 즉시 외부로 알려 작업자가 적절한 추후 조치를 취할 수 있도록 한다.

이와 같이, 종래의 반도체 제조용 설비에서는 상술한 경고신호 시스템을 통해 설비가 주기적으로 관측·점검되도록 함으로써, 설비의 상태에 소정의 이상이 발생되지 않도록 노력하고 있다.

그러나, 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조용 설비에는 몇가지 중대한 문제점이 있다.

첫째, 상술한 바와 같이 설비는 다수인데 비해, 이를 관리하는 작업자의 수는 어느 정도 한정되어 있음으로써, 작업자가 각각의 설비에 구비된 경고신호 시스템의 경고신호를 일일이 인식할 수 없는 중대한 문제점이 있다.

둘째, 상술한 경고신호 시스템이 다른 구조물에 가려져 작업자의 시야범위에서 벗어나는 경우, 경고신호 시스템의 경고신호를 작업자가 정확히 인식할 수 없는 중대한 문제점이 있다.

셋째, 이러한 경고신호 전달의 미비로 인해 전체적인 제품의 생산성이 급격히 저감되는 심각한 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 생산라인에 배치된 각 설비에서 출력되는 경고신호를 소정의 설비신호 통합장치를 통해 전량 취합하고 이를 소정의 무선송신기를 통해 작업자에게 직접 전달함으로써, 작업자가 일일이 경고신호 시스템을 관측하지 않고도 설비의 이상을 신속히 파악할 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 경고신호 전달방법을 제공함에 있다.

도 1은 종래의 반도체 제조용 설비의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도.

도 2는 본 발명을 구현하기 위한 반도체 제조용 설비의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 경고신호 전달방법을 순차적으로 도시한 순서도.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 반도체 제조용 설비의 경고신호 전달방법에 있어서, 상기 설비에서 출력되는 신호를 소정의 설비신호 통합부를 통해 통합하는 제 1 단계와; 상기 설비신호 통합부에서 출력되는 신호를 선별하여 상기 신호에 상기 경고신호가 포함되어있는가의 여부를 판단하는 제 2 단계와; 상기 판단결과, 상기 경고신호가 포함되어있으면, 상기 경고신호의 경고형태를 분류하여 작업자에게 상기 경고신호를 송신한 후 상기 경고신호를 모니터에 디스플레이하는 제 3 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 본 발명에서는 작업자가 일일이 경고신호 시스템을 관측하지 않고도 설비에 발생된 이상을 신속히 파악할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 경고신호 전달방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명을 구현하기 위한 반도체 제조용 설비의 배치를 개략적으로 도시한 개념도이다.

도시된 바와 같이, 설비(1) 및 제어용 PC(3) 사이에는 양자간의 인터페이스 역할을 수행하는 설비신호 통합부(10)가 구비된다.

이때, 설비신호 통합부(10)는 설비(1)와 온라인 상태를 유지하며, 이에 따라 설비(1)에서 발생되는 다양한 신호는 설비신호 통합부(10)로 모두 출력된다.

또한 설비신호 통합부(10)는 상술한 제어용 PC(3)와 온라인 상태를 유지하며, 이에 따라, 설비신호 통합부(10)가 취합한 설비(1) 신호는 전량 제어용 PC(3)로 입력된다.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 경고신호 전달방법을 순차적으로 도시한 순서도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명은 설비(1)에서 출력되는 신호를 설비신호 통합부(10)를 통해 통합하는 제 1 단계(S1)와, 설비신호 통합부(10)에서 출력되는 신호를 선별하여 이러한 신호에 상술한 경고신호가 포함되어있는가의 여부를 판단하는 제 2 단계(S20)와, 이러한 판단결과, 경고신호가 포함되어있으면, 경고신호의 경고형태를 분류하여 작업자에게 송신한 후 이를 외부로 디스플레이하는 제 3 단계(S30)를 포함한다.

이하, 이러한 본 발명의 각 단계를 상세히 설명한다.

먼저, 설비(1)는 상술한 제어용 PC(3)에 의해 셋팅된 공정조건에 따라 로트(2)를 적절히 가공한다.

이때, 설비(1)는 자신의 가동상황에 관련된 여러 가지 신호, 예컨대, 설정온도와 관련된 신호, 가동시간과 관련된 신호 등의 정상신호와, 작업완료와 관련된 신호, 에러발생과 관련된 신호 등의 경고신호를 상술한 설비신호 통합부(10)로 출력한다. 이에 따라, 설비신호 통합부(10)는 설비(1)에서 출력되는 다양한 신호를 전량 취합한다.

이어서, 설비신호 통합부(10)는 취합된 각 신호를 적절히 증폭한 후, 신호를 출력한 설비의 ID를 이러한 신호에 함께 실어서 제어용 PC(3)로 출력한다.(S10) 이때, 제어용 PC(3)는 입력되는 각 신호 중에서 경고와 관련된 신호가 입력되는가의 여부를 판단한다.(S20)

이러한 판단결과, 입력되는 신호 중에서 경고와 관련된 신호가 발견되지 않으면, 제어용 PC(3)는 당해 플로우를 처음으로 리턴하여 상술한 설비신호 통합부(10)를 통한 신호 취합 과정을 지속적으로 진행한다.(시작)

그러나, 이러한 판단결과, 입력되는 신호 중에서 경고와 관련된 신호가 발견되면, 제어용 PC(3)는 경고신호를 발생시킨 설비(1) 및 이러한 경고신호의 유형을 실시간으로 파악한다.(S31)

상술한 바와 같이, 설비신호 통합부(10)는 신호를 취합하여 출력할 때 신호를 발생시킨 설비(1) ID, 예컨대, 설비2(1a)의 ID도 함께 실어서 출력시키는 바, 이에 따라 제어용 PC(3)는 이러한 정보를 참조하여 경고신호를 발생시킨 설비를 즉시 파악한다.

이어서, 제어용 PC(3)는 발견된 경고신호의 경고유형을 파악한다.

만약, 발견된 경고신호가 상술한 예와 같은 에러발생과 관련된 경고신호면, 제어용 PC(3)는 이를 즉시 파악한 후, 하드 디스크(미도시)에 내장된 실행파일을 ㅊ아 에러발생 경고신호를 실행파일에 합성한다. 이때, 제어용 PC(3)는 상술한 과정을 통해 파악된 설비(1)의 ID도 아울러 실행파일에 합성한다. 이에 따라, 실행파일에는 에러가 발생된 설비의 ID 및 경고유형이 설비에러라는 내용이 저장된다.

한편, 실행파일에는 다양한 고유기능이 부여될 수 있는 바, 이러한 실행파일은 부여된 고유기능에 따라 다양한 동작을 수행할 수 있다.

일례로, 상술한 실행파일이 음성 전달기능을 부여받은 음성파일인 경우, 이러한 음성파일은 상술한 에러발생 경고신호 및 설비(1)의 ID를 적절히 합성함으로써, 추후에 소정의 음성 경고전달 기능을 수행할 수 있다.

이 후, 제어용 PC(3)는 실행파일을 무선송신기(미도시)를 통해 외부로 송신한다.(S32)

이때, 작업자의 신체에 부착되어 있던 수신기(미도시)는 무선송신기를 통해 송신된 실행파일을 수신받은 후, 수신된 실행파일에 따라 적절한 경고전달 동작을 수행한다. 상술한 예에서와 같이, 실행파일이 음성 전달기능을 수행할 수 있는 음성파일인 경우, 수신기는 설비2(1a)에서 에러가 발생했음이라는 음성을 반복적으로 작업자에게 전달한다.

이에 따라, 작업자는 이상이 발생된 설비(1a) 및 이러한 이상의 유형을 실시간으로 파악하여 이에 따른 적절한 추후조치를 신속히 취함으로써, 설비(1a)의 고장을 미연에 방지할 수 있고 그 결과, 전체적인 제품의 생산성을 향상시킬 수 있다.

이어서, 제어용 PC는 구비된 모니터(미도시)에 상술한 경고신호를 문자형태, 또는 그래픽형태로 출력시킨다.(S33) 이에 따라, 수신기를 소지한 작업자가 소정의 추후조치를 취할 수 없는 처지에 있는 경우, 모니터를 주시하고 있던 다른 작업자가 당해 작업자 대신에 설비의 이상을 즉시 해결할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에서는 설비에서 발생된 이상상황을 무선송신기를 통해 작업자에게 직접 전달함으로써, 작업자가 일일이 설비의 이상상황을 관측하지 않고도, 설비의 이상상황에 신속한 대처를 이룰 수 있다.

이러한 본 발명은 반도체 제조라인에 배치되어 소정의 관리를 필요로 하는 모든 설비에 두루 유용하게 적용된다.

그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.

이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위한에 속한다 해야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조용 설비의 경고신호 전달방법에서는 생산라인에 배치된 각 설비에서 출력되는 경고신호를 설비신호 통합장치를 통해 전량 취합하고 이를 소정의 무선송신기를 통해 작업자에게 직접 전달함으로써, 작업자가 일일이 신호 발생 시스템을 관측하지 않고도 설비의 이상을 신속히 파악할 수 있다.

Claims (1)

1. 반도체 제조용 설비의 경고신호 전달방법에 있어서,

   상기 설비에서 출력되는 신호를 소정의 설비신호 통합부를 통해 통합하는 제 1 단계와;

   상기 설비신호 통합부에서 출력되는 신호를 선별하여 상기 신호에 상기 경고신호가 포함되어있는가의 여부를 판단하는 제 2 단계와;

   상기 판단결과, 상기 경고신호가 포함되어있으면, 상기 경고신호의 경고형태를 분류하여 작업자에게 상기 경고신호를 송신한 후 상기 경고신호를 모니터에 디스플레이하는 제 3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 경고신호 전달방법.