KR19980086768A - Apparatus and method for molding plastic packages - Google Patents
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Abstract
본 발명은 트랜스퍼 몰딩 공정을 사용하여 다양한 BGA 패키지를 캡슐 속에 넣어 밀봉하기 위한 상부 몰드, 공동 플레이트 및 하부 몰드를 포함한다. 상부 몰드는 하나 이상의 스푸루스(spruce)와 연결하기 위한 런너(runner)의 네트워크를 가진다. 상기 공동 플레이트는 클램프되었을 때 사이에 끼워진 기판에 대해 몰드를 성형하기 위한 하나 이상의 공동을 하부 몰드와 마주보는 측부에 가진다. 상부 몰드와 마주보는 공동 플레이트의 측부에 런너로부터 수지를 수용하기 위한 하나 이상의 원뿔형 채널이 배치된다. 원뿔형 채널의 팁은 와이어 스위프를 최소화하면서 내부로 수지를 밀어넣기 위해 공동의 중심에 배치된 서브머린 게이트까지 뻗어있다. 런너의 네트워크와 원뿔형 채널의 결합체는 다양한 매트릭스에서 BGA 패키지를 신뢰성 있고 경제적으로 캡슐화한다.The present invention includes an upper mold, a cavity plate, and a lower mold for encapsulating and sealing various BGA packages using a transfer molding process. The upper mold has a network of runners for connecting with one or more spruces. The cavity plate has one or more cavities on the side facing the lower mold for forming the mold with respect to the substrate sandwiched therebetween when clamped. At the side of the cavity plate facing the upper mold, one or more conical channels are arranged for receiving the resin from the runner. The tip of the conical channel extends to a submarine gate placed in the center of the cavity to push the resin inwards with minimal wire sweep. The combination of the runner's network and the conical channel reliably and economically encapsulates the BGA package in various matrices.
Description
본 발명은 반도체용 플라스틱 패키지를 몰딩하기 위한 장치 및 방법에 관련된다. 특히, 본 발명은 BGA(ball grid array) 패키지를 신뢰성있고 경제적으로 몰딩하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and a method for molding a plastic package for a semiconductor. In particular, the present invention relates to an apparatus and method for reliably and economically molding a ball grid array (BGA) package.
BGA 패키지는 비용, 동력 소실, 속도 및 입력/출력(I/O) 핀 계수면에서 콰드 플랫 팩(QFP)과 같은 종래 패키지의 한계를 극복하기 위한 것이다. 이를 달성하는데 결정적인 것은, 기존의 표면 실장 기술과 장비를 사용하여 BGA 패키지를 신뢰성있고 경제적으로 몰딩하는 전자 산업의 능력에 달려있다. 일반적으로, BGA 패키지는 종래 기술에 따른, 동일한 장비 속도 및 I/O 핀 계수를 가지는 패키지에 비해 크기가 작고 얇다. BGA 패키지가 보다 빠른 속도와 I/O 핀 계수 적용에 알맞을 때 종래의 패키지 기술에서 와이어 스위프와 같은 현상은 큰 문제가 되지 않는다.BGA packages are intended to overcome the limitations of conventional packages such as quad flat packs (QFPs) in terms of cost, power dissipation, speed and input / output (I / O) pin count. Critical to this is the ability of the electronics industry to reliably and economically mold BGA packages using existing surface mount technology and equipment. In general, BGA packages are smaller and thinner than packages with the same equipment speed and I / O pin counts according to the prior art. When the BGA package is suitable for higher speeds and I / O pin count applications, phenomena such as wire sweeping are not a big problem in conventional package technology.
또, 멀티칩 모듈(MCM)과 같은 서로 단단히 연결된 시스템을 만들려는 추세는 계속되고 있다. MCM은 내부에 하나 이상의 칩을 가지고, 백개 이상의 고성능 실리콘 IC와 용도에 알맞게 디자인된 기판 구조물을 여러 번 결합한 패키지를 뜻한다. 전자 산업은 높은 생산력과 저비용을 들여서 프린트 배선 회로 기판(PCB)에 표준 단일-칩 모듈을 조립하므로 일반적으로 BGA 패키지는 MCM과 함께 작동한다. 그럼에도 불구하고, MCM의 글로브 상부 캡슐화 공정을 이용하는 일반적인 관행은 표면 실장 기술의 생산성과 경제성을 떨어뜨린다.In addition, there is a continuing trend to create tightly coupled systems such as multi-chip modules (MCMs). MCM is a package that has one or more chips inside and combines more than one hundred high-performance silicon ICs with substrate structures designed for the application. The electronics industry assembles standard single-chip modules on printed wiring boards (PCBs) at high productivity and low cost, so BGA packages typically work with MCMs. Nevertheless, the common practice of using MCM's glove top encapsulation process is to reduce the productivity and economics of surface mount technology.
본 발명의 목적은 BGA 패키지를 신뢰성있게 캡슐화하는 것이다.It is an object of the present invention to reliably encapsulate a BGA package.
본 발명의 다른 목적은 MCM BGA 패키지를 신뢰성있고 경제적으로 캡슐화하는 것이다.Another object of the present invention is to reliably and economically encapsulate an MCM BGA package.
본 발명은 트랜스퍼 몰딩 공정을 사용해 다양한 BGA 패키지를 캡슐 속에 넣기 위해 상부 몰드, 공동 플레이트 및 하부 몰드를 가진다. 상부 몰드는 하나 이상의 스푸루스(spruce)와 통하는 런너의 네트워크를 포함하는 것을 특징으로 한다. 공동 플레이트는 클램프 되었을 때 사이에 끼워지는 기판에 대해 몰드를 성형하기 위한 하나 이상의 공동을 하부 몰드를 향하고 있는 측부에 가진다. 상부 몰드를 향하고 있는 공동 플레이트의 측부에 런너로부터 수지를 수용하기 위한 하나 이상의 원뿔형 채널이 배치된다. 원뿔형 채널의 팁은 와이어 스위프를 최소화하면서 내부에 수지를 받아들이기 위해 공동의 중심에 배치된 서브머린 게이트까지 뻗어있다. 런너의 네트워크와 원뿔형 채널의 결합체는 다양한 매트릭스에서 BGA 패키지를 경제적으로 신뢰성있게 캡슐 속에 수용한다.The present invention has an upper mold, a cavity plate and a lower mold to encapsulate various BGA packages using a transfer molding process. The upper mold is characterized in that it comprises a network of runners in communication with one or more spruces. The cavity plate has one or more cavities on the side facing the lower mold for forming the mold with respect to the substrate sandwiched between when clamped. At the side of the cavity plate facing the upper mold, one or more conical channels are arranged for receiving the resin from the runner. The tip of the conical channel extends to a submarine gate positioned at the center of the cavity to receive resin therein while minimizing wire sweep. The combination of runner network and conical channel economically and reliably houses the BGA package in a variety of matrices.
도 1a 는 몰딩 또는 캡슐 수지가 점선으로 나타난 공동 다운(down)형 BGA(ball grid array) 패키지의 횡단면도.1A is a cross-sectional view of a cavity down type ball grid array (BGA) package with molded or encapsulated resin in dotted lines;
도 1b 는 오버몰드 수지가 점선으로 나타난 공동 업(up) 유형의 BGA 패키지의 횡단면도.FIG. 1B is a cross-sectional view of a BGA package of the cavity up type with overmolded resin shown in dashed lines. FIG.
도 2 는 종래 기술에 따라 플라스틱 패키지를 캡슐 속에 넣어 밀봉하기 위한 게이트 플레이트 몰딩 방법을 나타낸 도면.2 shows a gate plate molding method for sealing a plastic package in a capsule according to the prior art.
도 3 은 다른 종래 기술에 따라 플라스틱 패키지를 캡슐 속에 넣어 밀봉하기 위한 분리 가능한 공동 플레이트 몰딩 방법을 나타낸 도면.3 shows a detachable hollow plate molding method for sealing a plastic package in a capsule according to another prior art.
도 4 는 또다른 종래 기술에 따라 플라스틱 패키지를 위한 몰딩 수지를 충전하기 위한 글로빙(globbing) 방법을 나타낸 도면.4 shows a globbing method for filling molding resin for plastic packages according to another prior art.
도 5 는 상기 몰딩의 글로빙 방법에 따른 매트릭스 BGA 기판의 휨을 나타낸 도면, 알맞은 다이 크기로 기판을 조절하는 것은 실제로 불가능하다.FIG. 5 is a diagram showing the warpage of the matrix BGA substrate according to the molding globbing method, and it is practically impossible to adjust the substrate to a suitable die size.
도 6 은 보다 우수한 결과를 달성하기 위해서 원뿔형 채널 시스템과 단일 런너를 사용해 BGA 매트릭스 기판이 몰딩된 본 발명에 따른 상측 입면도.6 is a top elevation view according to the present invention in which a BGA matrix substrate is molded using a conical channel system and a single runner to achieve better results.
도 7 은 도 6의 A-A 선을 따라서 본, 본원 발명에 따른 구조체의 횡단면도.FIG. 7 is a cross sectional view of a structure according to the present invention, seen along the line A-A of FIG. 6;
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1,11 ... BGA 패키지 2 ... 칩1,11 ... BGA Package 2 ... Chip
4 ... 열 싱크 6,16 ... 기판4 ... heat sink 6,16 ... substrate
8 ... 납땜 보올 12 ... IC8 ... soldering board 12 ... IC
21 ... 공동 22,32 ... 게이트(gate)21 ... cavity 22,32 ... gate
51,59 ... 몰드 베이스 52 ... 플런저51,59 ... mold base 52 ... plunger
53 ... 상부 몰드 54 ... 스푸루스(spruce)53 ... upper mold 54 ... spruce
55 ... 공동 플레이트 57 ... 하부 몰드55 ... cavity plate 57 ... lower mold
BGA 패키지를 캡슐화하기 위한 장치 및 방법이 기술된다. 아래 설명에서, 본 발명을 완전히 이해할 수 있도록 스푸루스, 런너와 몰드 플레이트등이 자세히 설명될 것이다. 당해 분야에 숙련된 사람들은 상세한 설명없이도 본원 발명을 실시할 수 있을 것이다. 트랜스퍼 몰드의 클램프 조작 뿐만 아니라 수지 가열과 이동에 필요한 공지된 부품은 본 발명을 명료하게 하기 위해서 나타내지 않는다.An apparatus and method for encapsulating a BGA package is described. In the following description, spurs, runners and mold plates and the like will be described in detail so that the present invention can be fully understood. Those skilled in the art will be able to practice the invention without detailed description. Known parts necessary for the heating and movement of the resin as well as the clamping operation of the transfer mold are not shown for clarity of the present invention.
도 1a와 1b는 BGA 패키지의 두 가지 대표적인 구조물의 횡단면을 간략하게 나타내었다. 도 1a에서, BGA 패키지는 공동 다운형 구조로 나타내었다. 일반적인 BGA 패키지의 범위는 미국 특허 제 5,583,378에서 설명되었다. BGA 패키지(1)는 열 싱크(4)에 부착된 통합 칩(IC)(2)으로 구성된다. 도 1a에서는 칩(2)이 기판(6)에 결합된 상태를 자세히 나타내지 않았다. 칩은 기판에 와이어로 결합되거나 TAB으로 연결된다는 것을 당해업자들은 이해해야 한다. 납땜 보올(8)은 BGA 패키지(1)의 하부에 부착된다. 점선과 칩(2) 사이의 영역은 수지로 캡슐화된 부피(10)를 나타내고 본 발명의 관심분야에 해당한다. 상기 산업 분야는 칩을 보호하는 댐과 충전 캡슐화 공정에 적용된다. 첫째, 직사각형 댐은 고점성 캡슐제를 사용하여 다이 둘레에 선택적으로 배치된다. 그 후, 회전 펌프는 점도가 낮은 캡슐제를 사용해 댐 안쪽에 나선형으로 충전한다. 예로 CAM/ALOT 액체 분배 시스템을 참조하라.1A and 1B show simplified cross-sectional views of two representative structures of a BGA package. In FIG. 1A, the BGA package is shown in a cavity down structure. The scope of a typical BGA package is described in US Pat. No. 5,583,378. The BGA package 1 consists of an integrated chip (IC) 2 attached to a heat sink 4. In FIG. 1A, the state in which the chip 2 is coupled to the substrate 6 is not shown in detail. Those skilled in the art should understand that the chip is wired to the substrate or connected by TAB. A solder bowl 8 is attached to the bottom of the BGA package 1. The area between the dashed line and the chip 2 represents the volume 10 encapsulated with the resin and is of interest to the present invention. The industry applies to dams and chip encapsulation processes that protect chips. First, rectangular dams are selectively placed around the die using highly viscous capsules. The rotary pump then spirally fills the dam with low viscosity capsules. See, for example, the CAM / ALOT liquid distribution system.
도 1b에서, BGA 패키지(11)는 공동 업 구조로 나타내었다. 패키지(11)는 기판(16)의 상부면에 부착된 IC(12)를 포함하고, 납땜 보올(18)은 기판(16)의 하면에 부착된다. 도 1a에 나타낸 BGA 패키지처럼, IC가 기판에 결합되는 방법은 생략되었다. 부피(20)는 캡슐화 수지를 나타낸다. 패키지(11)는 Motorola Citizen사에 의해 개척된 광의의 플라스틱 BGA 구조체를 예로 나타내었다,이것은 오버 몰드 플라스틱 패드 어레이 캐리어로 명명되었다.In FIG. 1B, the BGA package 11 is shown in a joint up structure. The package 11 includes an IC 12 attached to the top surface of the substrate 16, and the solder bowl 18 is attached to the bottom surface of the substrate 16. As with the BGA package shown in FIG. 1A, the method by which the IC is coupled to the substrate has been omitted. Volume 20 represents the encapsulation resin. The package 11 illustrates a broad plastic BGA structure pioneered by Motorola Citizen, which has been termed an over mold plastic pad array carrier.
도 2-4는 플라스틱 BGA 구조체를 캡슐 속에 넣는데 사용된 종래 기술에 따른 몰딩 방법을 나타내었다. 도 2에서는, 플라스틱 패키지를 캡슐 속에 넣기 위한 게이트 플레이트 몰딩 방법이 나타나 있다. 패키지(20)는 공동(21)에 연결된 게이트(22)와 횡방향으로 몰딩된다. 이 접근 방법은 Dusan Slepcevic에 의해 공개된 미국 특허 제 4,442,056에 상세히 기술되어 있다. 도 3에서, 하나 이상의 공동(21)과 가로 게이트(32)를 포함하는 분리 가능한 공동 플레이트(30)는 플라스틱 패키지를 캡슐 속에 넣기 위해 Dusan Slepcevic에 의해 공개된 미국 특허 제 4,332,537에 기술한 방법을 따른다. 끝으로, 도 4는 BGA 패키지를 캡슐 속에 넣는 가장 보편적인 방법, 즉 글로브 상측 캡슐화 방법을 강조하여 나타내었다. 예를 들어, Marrs 등에 의해 공개된 미국 특허 제 5,355,283의 도 6을 참고하면, 글로브 상측 캡슐화 방법은 수지 내부에서 기포가 이동할 수 있도록 각 층에 에폭시를 분배함으로써 BGA 다이를 채운다.2-4 illustrate a molding method according to the prior art used to encapsulate plastic BGA structures. In Figure 2, a gate plate molding method for encapsulating a plastic package is shown. The package 20 is molded transversely with the gate 22 connected to the cavity 21. This approach is described in detail in US Pat. No. 4,442,056 published by Dusan Slepcevic. In FIG. 3, the detachable cavity plate 30 comprising one or more cavities 21 and transverse gates 32 follows the method described in US Pat. No. 4,332,537 published by Dusan Slepcevic to encapsulate a plastic package. . Finally, Figure 4 highlights the most common method of encapsulating a BGA package, namely the glove upper encapsulation method. For example, referring to FIG. 6 of US Pat. No. 5,355,283 published by Marrs et al., The glove top encapsulation method fills a BGA die by dispensing epoxy in each layer to allow bubbles to move inside the resin.
플라스틱 패키지를 캡슐화하는 공지된 방법은, 기존의 표면 실장 기술과 장비로 쉽게 해결될 수 없는 많은 제약을 가진다. 첫째, 캡슐제를 공동 내부로 횡방향으로 유입하는 것은 높은 I/O 핀 계수를 가지는 BGA 패키지에서 와이어 스위프를 종종 일으킨다. 둘째, 기준이 미비한 테스트 절차를 가지는 MCM에서, 와이어 스위프에 의해 야기된 전기적 문제점은 진보된 BGA 패키지의 신뢰도를 더욱 악화시킬 수 있다. 셋째, 글로브 상측 캡슐화 접근 방법은 장시간이 소모되고 품질 관리를해야 하는 문제점을 가진다. 글로브 상측 캡슐화 방법을 사용하여 BGA 매트릭스 기판을 캡슐화하는 과정은 도 5에 나타나 있는데, 기판과 캡슐제의 열 팽창 계수가 서로 상이하므로 기판의 휨(42)은 급격하게 일어날 수 있다. 이것은 각각의 BGA 다이로 기판을 조절하는 것을 어렵게 만든다.Known methods of encapsulating plastic packages have many limitations that cannot be easily solved with existing surface mount technologies and equipment. First, transverse introduction of the capsule into the cavity often results in wire sweeps in BGA packages with high I / O pin counts. Second, in MCMs with poorly standard test procedures, the electrical problems caused by wire sweep can further worsen the reliability of advanced BGA packages. Third, the glove upper encapsulation approach has the problem of long time consumption and quality control. The process of encapsulating a BGA matrix substrate using the glove top encapsulation method is shown in FIG. 5, where the warpage 42 of the substrate can occur abruptly because the thermal expansion coefficients of the substrate and capsule are different. This makes it difficult to control the substrate with each BGA die.
도 6과 7은 플라스틱 패키지를 캡슐화하기 위한 본 발명에 따른 구조체의 상측면도 및 측면도이다. 본 발명은 분리가능한 공동 플레이트 몰딩 기술 뿐만 아니라 갱-포트(gang-pot) 몰드를 위한 트랜스퍼 몰딩의 노우-하우를 결합한 것이다. 당해 분야에 숙련된 사람들은 반도체 장치를 캡슐화하기 위한 트랜스퍼 몰딩 내에서 열경화성 수지나 캡슐제의 사용에 대해, 사출성형과 트랜스퍼 몰딩이 구분된다는 것을 이해할 것이다. 이와 반대로, 사출 성형 장비는 열가소성 물질로 작동하는데 적합하다. 도 6과 7에서, 본 발명(50)은 BGA 구조체를 포함하는 플라스틱 패키지의 매트릭스를 통합한 기판(66)을 고정하기 위해 하부 몰드(57), 분리가능한 공동 플레이트(55) 및 상측 몰드(53)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 당해업자들은 상부 몰드 베이스(51)와 하부 몰드 베이스(59)가 본 발명과 함께 작동하는데 필요하다는 것을 이해할 것이다. 몰드 베이스(51, 59)는 수지 펠렛 또는 스트립을 가열하기 위해 포트에 의해 발생된 열을 유지하는 기능을 가진다.6 and 7 are top and side views of a structure according to the invention for encapsulating a plastic package. The present invention combines the know-how of transfer molding for gang-pot molds as well as separable cavity plate molding techniques. Those skilled in the art will appreciate that injection molding and transfer molding are distinguished for the use of thermosetting resins or capsules within transfer moldings for encapsulating semiconductor devices. In contrast, injection molding equipment is suitable for operating with thermoplastics. In Figures 6 and 7, the present invention 50 includes a lower mold 57, a detachable cavity plate 55 and an upper mold 53 for securing a substrate 66 incorporating a matrix of plastic packages comprising a BGA structure. It characterized by including). Those skilled in the art will understand that the upper mold base 51 and the lower mold base 59 are necessary to work with the present invention. The mold bases 51 and 59 have a function of maintaining the heat generated by the pot to heat the resin pellets or strips.
도 6에서, 본 발명에 따른 상측 몰드(53)는 플런저(52)에 의해 압축되는 가열된 수지를 수용하고 방향을 재설정하기 위해 하나 이상의 스푸루스(54)를 하부에 가진다. BGA 패키지(60)의 매트릭스를 포함하는 기판(66)에 대해, 본 발명(50)에 따른 복합 플런저 또는 갱-포트 몰드가 추천된다. 본 발명의 선호되는 실시예에서, 스푸루스(54)는 BGA 패키지의 중심부에 대해 런너(56)의 네트워크에 결합된다. 런너(56)는 상부 몰드 아래에서 각각의 공동으로 수지가 쉽게 이동할 수 있도록 도와 준다. 런너(56)는 상호 연결되어 있으므로, 런너 내 수지의 흐름은 균형을 이룬다.In FIG. 6, the upper mold 53 according to the invention has at least one spruce 54 at the bottom to receive and redirect the heated resin compressed by the plunger 52. For the substrate 66 comprising the matrix of the BGA package 60, a composite plunger or gang-port mold according to the invention 50 is recommended. In a preferred embodiment of the invention, the spruce 54 is coupled to the network of runners 56 with respect to the center of the BGA package. Runner 56 helps the resin to move easily into each cavity under the upper mold. Since the runners 56 are interconnected, the flow of resin in the runners is balanced.
도 7에서는, 상부 몰드(53)와 하부 몰드(57) 사이에 끼워진 분리 가능한 공동 플레이트(55)의 횡단면도가 나타나 있다. 상부 몰드(53)와 동일한 높이를 이루고 상부 몰드를 향하고 있는 표면에 런너로부터 유출되는 수지를 수용하기 위한 하나 이상의 원뿔형 채널(58)이 배치된다. 원뿔형 채널(58)의 좁은 단부는 BGA 패키지를 위한 하나 이상의 공동(60)과 통하는 서브 머린 게이트까지 뻗어있다. 도 7에서, 공동 플레이트(55)와 하부 몰드(57) 사이에 기판(66)이 고정된다. 공동에 대한 원뿔형 채널의 위치는 본 발명의 특징 중 하나이다: 측부보다 공동의 중심부로부터 수지를 받아들이는 것은, 공동 내의 수지의 흐름이 균일하도록 보장한다. 수지는 와이어 결합 또는 TAB 도선에서 팬과 동일한 방향으로 흐른다. 이처럼, 와이어 스위프의 발생 가능성은 현저하게 줄어든다. 또, 공동 내에서 점성이 높은 수지의 이동과 결부된 문제점들도 최소화된다. 일반적으로, 본 발명은 종래의 공동 몰딩 또는 플레이트 몰딩에 따른 단점 없이 트랜스퍼 몰딩 기술의 모든 장점을 전자 산업에 부여한다.In FIG. 7, a cross-sectional view of the detachable cavity plate 55 sandwiched between the upper mold 53 and the lower mold 57 is shown. At least one conical channel 58 is disposed on the surface that is flush with the upper mold 53 and faces the upper mold to receive the resin exiting the runner. The narrow end of the conical channel 58 extends to the submarine gate through one or more cavities 60 for the BGA package. In FIG. 7, the substrate 66 is fixed between the cavity plate 55 and the lower mold 57. The location of the conical channel relative to the cavity is one of the features of the present invention: receiving the resin from the center of the cavity rather than the side ensures that the flow of resin in the cavity is uniform. The resin flows in the same direction as the fan in wire bonds or TAB leads. As such, the probability of occurrence of wire sweep is significantly reduced. In addition, problems associated with the movement of highly viscous resins in the cavity are also minimized. In general, the present invention gives the electronics industry all the advantages of transfer molding technology without the drawbacks associated with conventional cavity molding or plate molding.
BGA 기판의 캡슐화 공정은 다음과 같다. 도 7에서 플런저(52)는 포트(62)에서 위쪽으로 움직이고 가열된 수지를 스푸루스(54)로 밀어넣고 런너(56)와 원뿔형 채널(58)을 통하여 공동(60)으로 유입한다. 플런저(52)가 런너의 네트워크로부터 발생한 배압을 감지했을 때, 이것은 수지가 공동을 완전히 채웠음을 나타낸다. 캡슐제를 위한 적절한 경화시간이 경과했을 때 본 발명에 따른 클램프 과정은 종료된다. 분리 가능한 공동 플레이트(55)의 구조는 공동으로부터 런너를 쉽게 분리할 수 있도록 하여서, BGA 기판의 캡슐화 주기를 감소시킨다.The encapsulation process of the BGA substrate is as follows. In FIG. 7 the plunger 52 moves upward in the port 62 and pushes the heated resin into the spruce 54 and enters the cavity 60 through the runner 56 and the conical channel 58. When plunger 52 senses back pressure generated from the network of runners, this indicates that the resin has completely filled the cavity. The clamping process according to the invention is terminated when the appropriate curing time for the capsule has elapsed. The structure of the removable cavity plate 55 makes it easy to separate the runner from the cavity, reducing the encapsulation cycle of the BGA substrate.
비록 도 6과 7은 매트릭스 BGA 기판의 캡슐화를 나타내었지만, 본 발명은 BGA 구조체의 배열이 불규할 수도 있는 여러가지 용도에 알맞는 MCM BGA 기판을 쉽게 캡슐화할 수 있다. 그러므로, 본 발명은 다양한 종류의 기판에 맞게 바꿀 수 있다.Although Figures 6 and 7 illustrate the encapsulation of a matrix BGA substrate, the present invention can easily encapsulate an MCM BGA substrate suitable for various applications where the arrangement of the BGA structures may be irregular. Therefore, the present invention can be modified for various kinds of substrates.
본 발명은 BGA 패키지에 비중을 둔 플라스틱 패키지를 캡슐 속에 넣기 위한 장치 및 방법에 역점을 두어 도 1에서 7을 참고로 설명되었지만, 도면은 예시에 불과한 것으로 본원에 국한되지 않는다는 것을 이해해야 한다. 또, 본 발명의 방법 및 장치는 반도체 장치의 패키지가 필요한 많은 응용 분야에 이용된다. 당해업자들은 기술한 본 발명의 본질 및 영역에서 벗어나지 않으면서 다양한 수정 및 변경이 이루어질 수 있다는 것을 이해할 것이다. 예를 들어, 본 발명은 세라믹, TAB 등과 같은 다른 기판에 직접 적용될 수 있다.Although the present invention has been described with reference to FIGS. 1 to 7 with an emphasis on an apparatus and method for encapsulating a plastic package weighted on a BGA package, it should be understood that the drawings are illustrative only and not limited thereto. The method and apparatus of the present invention are also used in many application areas where a package of semiconductor devices is required. Those skilled in the art will appreciate that various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the invention as described. For example, the present invention can be applied directly to other substrates such as ceramics, TABs, and the like.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WITN | Withdrawal due to no request for examination |