KR19980073905A - Lead Frame with Synthetic Resin Dam Bar and Manufacturing Method Thereof - Google Patents

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KR19980073905A
KR19980073905A KR1019970009489A KR19970009489A KR19980073905A KR 19980073905 A KR19980073905 A KR 19980073905A KR 1019970009489 A KR1019970009489 A KR 1019970009489A KR 19970009489 A KR19970009489 A KR 19970009489A KR 19980073905 A KR19980073905 A KR 19980073905A
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KR1019970009489A
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류욱열
김성광
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이대원
삼성항공산업 주식회사
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Abstract

절연성 합성수지로 된 댐바(Dambar)가 구비된 리드 프레임과 그 제조방법에 관하여 개시된다. 개시된 리드 프레임은: 리드들의 상면에 리드의 길이방향과 교차하는 절연성 합성수지로 된 댐바가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 또한, 그 제조방법은: 반도체 칩이 탑재되는 패드와, 상기 패드의 주변에 위치하며 상기 반도체 칩의 기능을 외부 회로에 전달하는 다수의 리드를 구비하고, 상기 리드들을 상호 연결하는 금속 댐바가 없는 리드 프레임을 제작하는 단계; 및 상기 리드 프레임의 리드들의 상면에, 상기 리드의 길이방향과 교차하여 절연성 합성수지로 된 댐바를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 여기에서 절연성 합성수지는 폴리이미드인 것이 바람직하다. 따라서, 종래 금속재의 댐바와 동일한 기능을 하는 절연성 합성수지로 된 댐바를 구비한 리드 프레임을 제조 가능하게 함으로써, 반도체 패키지 제작 공정중의 트리밍 공정을 생략할 수 있고, 또한 복잡한 트리밍 금형의 제작이 필요 없게 되는 효과가 있다.Disclosed is a lead frame provided with a dambar made of an insulating synthetic resin, and a manufacturing method thereof. The disclosed lead frame is characterized in that a dam bar made of an insulating synthetic resin is formed on the upper surface of the leads and intersects with the longitudinal direction of the leads. In addition, the manufacturing method includes: a pad on which a semiconductor chip is mounted, and a plurality of leads positioned around the pad and transferring a function of the semiconductor chip to an external circuit, and without a metal dam bar interconnecting the leads. Manufacturing a lead frame; And forming a dam bar made of an insulating synthetic resin on the upper surfaces of the leads of the lead frame to cross the longitudinal direction of the leads. It is preferable that an insulating synthetic resin is polyimide here. Therefore, by making it possible to manufacture a lead frame having a dam bar made of an insulating synthetic resin having the same function as a conventional dam bar of a metal material, it is possible to omit the trimming step in the semiconductor package fabrication process and to eliminate the need for a complicated trim mold. It is effective.

Description

합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임 및 그 제조방법Lead Frame with Synthetic Resin Dam Bar and Manufacturing Method Thereof

본 발명은 리드 프레임(Lead Frame) 및 그 제조방법 관한 것으로, 더 상세하게는 절연성의 합성수지 댐바(Dambar)가 구비된 리드 프레임과 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead frame and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a lead frame provided with an insulating synthetic dambar and a method for manufacturing the same.

통상적인 리드 프레임의 제조방법은 크게 두가지로 분류되는데, 프레스 가공에 의한 스템핑(Stamping) 방법과, 식각에 의한 에칭(Etching) 방법이다.There are two general methods for manufacturing a lead frame, which are a stamping method by press working and an etching method by etching.

상기 스템핑 방법은 프레스 금형장치에 의해 소재를 타발함으로써 소정의 형상으로 리드 프레임을 제작하는 것으로 주로 대량생산에 많이 이용되며, 상기 에칭방법은 식각에 의한 화학적 부식방법에 의한 것으로 복잡하고 미세한 형상을 가진 리드 프레임의 제조에 적합하다.The stamping method is mainly used in mass production by producing a lead frame in a predetermined shape by punching a material by a press mold apparatus, and the etching method is a chemical corrosion method by etching, which is complicated and fine shape. It is suitable for the manufacture of lead frames.

상술한 방법들에 의해 제조된 리드 프레임은 웨이퍼와 함께 반도체 패키지(Package)의 핵심 구성 부품으로서, 반도체 칩(Chip)의 기능을 외부 회로에 전달시켜주는 도선(Lead) 역할과, 동시에 반도체 칩을 지지해주는 지지체(Frame) 역할을 한다.The lead frame manufactured by the above-described methods is a core component of the semiconductor package together with the wafer, and serves as a lead that transfers the function of the semiconductor chip to an external circuit, and simultaneously It serves as a supporting frame.

이하 도면을 참조하면서 종래의 리드 프레임의 구조에 대해 설명한다.A structure of a conventional lead frame will be described below with reference to the drawings.

도 1은 종래의 리드 프레임을 도시한 평면도이다.1 is a plan view showing a conventional lead frame.

종래의 리드 프레임은 박판의 금속 재료로 형성되며, 도 1에 도시된 바와 같이, 반도체 칩이 탑재되는 패드(Pad)(11), 상기 패드(11)의 모서리에 연결되어 상기 패드(11)를 지지하는 타이바(Tie bar)(12), 상기 패드(11)의 각 둘레에서 소정거리 떨어져 형성되며 상기 반도체 칩에 형성된 단자와 와이어본딩(Wire bonding)에 의하여 연결되는 내부리드(Inner lead 또는 Internal lead)(13) 및 상기 내부리드(13)에서 연장되며 상기 반도체 칩의 전기적 신호를 외부회로로 전달하는 외부리드(Outer lead 또는 External lead)(14)를 포함하고 있다. 또한, 반도체 제작 공정중의 몰딩(Molding) 공정에서 성형 수지가 몰드 금형밖으로 빠져나오는 것을 막기위하여 외부리드(14) 사이에 설치된 댐바(Dambar)(15)를 구비하고 있다. 상기 댐바(15)는 일반적으로 스템핑 또는 에칭에 의한 리드 프레임 제작시에 함께 형성되므로, 리드 프레임 소재와 동일한 금속재질을 가지게 된다.The conventional lead frame is formed of a thin metal material, and as illustrated in FIG. 1, a pad 11 on which a semiconductor chip is mounted and a corner of the pad 11 are connected to connect the pad 11. An inner lead or internal lead 12 formed at a predetermined distance from each circumference of the pad 11 and the pad 11 and connected by a wire bonding with a terminal formed on the semiconductor chip. and an outer lead 14 extending from the lead 13 and the inner lead 13 and transferring an electrical signal of the semiconductor chip to an external circuit. In addition, a dambar 15 provided between the outer leads 14 is provided to prevent the molding resin from escaping out of the mold during the molding process during the semiconductor fabrication process. Since the dam bar 15 is generally formed at the time of manufacturing the lead frame by stamping or etching, the dam bar 15 has the same metal material as that of the lead frame material.

도 2는 종래의 반도체 패키지를 도시한 단면도로서, 앞서 도시된 도면에서와 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 가리킨다.2 is a cross-sectional view of a conventional semiconductor package, in which like reference numerals denote the same components as in the above-described drawing.

도 2에 도시된 바와 같이 반도체 패키지는 상술한 구조의 리드 프레임과 패드(11)위에 탑재되어 있는 반도체 칩(21) 및 와이어본딩용 와이어(Wire)(22)를 외부로부터 보호하기 위해, 성형수지(23) 예컨대, 에폭시 몰딩 화합물(EMC, Epoxy Molding Compound)을 사용하여 상기 반도체 칩(21)과 상기 리드 프레임을 몰딩(Molding)함으로써 만들어진다.As shown in FIG. 2, the semiconductor package is formed of a molding resin to protect the semiconductor chip 21 and the wire bonding wire 22 mounted on the lead frame and the pad 11 having the above-described structure from the outside. (23) For example, an epoxy molding compound (EMC) is used to mold the semiconductor chip 21 and the lead frame.

이러한 반도체 패키지의 제작 공정은 상기 리드 프레임의 패드(11) 위에 반도체 칩(21)을 탑재하는 공정과, 상기 반도체 칩(21)에 형성된 단자와 내부리드(13)를 전기적으로 연결하는 와이어본딩 공정과, 몰딩 공정과, 트리밍(Trimming)/포밍(Forming) 공정 등으로 이루어 진다.The manufacturing process of the semiconductor package includes a process of mounting the semiconductor chip 21 on the pad 11 of the lead frame, and a wire bonding process of electrically connecting the terminal formed on the semiconductor chip 21 and the inner lead 13. And a molding process and a trimming / forming process.

상기 트리밍 공정은 몰딩 공정에서 성형 수지가 몰드 금형 밖으로 빠져나오는 것을 막기 위하여 설치된 댐바(15) 및 몰드 금형 밖으로 빠져나온 성형 수지를 잘라내는 공정이다. 상기 금속재의 댐바(Metal Dambar)(15)는 외부리드(14) 사이에 형성되어 있어서 리드들이 상기 댐바(15)에 의해 상호 전기적으로 도통되어 있으므로, 상기 댐바(15)를 잘라냄으로써 각 리드가 전기적 독립성을 띠게된다.The trimming process is a process of cutting off the dam bar 15 provided to prevent the molding resin from escaping out of the mold mold and the molding resin escaping out of the mold mold in the molding process. Since the metal dambar 15 is formed between the outer leads 14 and the leads are electrically connected to each other by the dam bar 15, the leads are electrically cut by cutting the dam bar 15. Independence

상술한 반도체 패키지 제작 공정들은 필요한 공정이나, 다만 트리밍 공정의 경우에는 생산된 제품에 부가가치를 부여하는 생산 공정이라기 보다, 부수적인 후처리 공정이라 할 수 있으므로, 가능하면 트리밍 공정을 제거하여 전체 생산 공정을 단축시킬 필요가 있다. 또한, 리드 프레임이 점점 리드의 수가 매우 많은 하이-핀(High-pin)화 되면서 리드와 리드 사이의 간격이 줄어듬에 따라, 댐바 제거를 위한 금형 펀치(Punch)도 조밀하게 배치되어야 하는 어려움이 있다.The above-mentioned semiconductor package fabrication process is a necessary process, but in the case of trimming process, rather than a production process that adds added value to the produced product, it can be referred to as an after-treatment process. Need to be shortened. In addition, as the lead frame becomes increasingly high-pin with a large number of leads, the gap between the leads and the leads decreases, so that a mold punch for removing the dambar needs to be densely arranged. .

따라서, 이러한 문제점을 개선하기 위하여 금속 댐바가 없는 리드 프레임(Dambarless Lead frame)을 적용하고자 하는 시도가 있어 왔다. 그러나 상기의 금속 댐바 없는 리드 프레임을 적용할 경우에는, 앞에서 서술한 바와 같이 성형 수지가 몰드 금형 밖으로 빠져나와 몰딩이 불가능해지는 문제점이 발생된다.Accordingly, there have been attempts to apply a dambarless lead frame without a metal dambar in order to improve such a problem. However, when the lead frame without the metal dam bar is applied, a problem arises in that molding resin escapes from the mold mold and molding is impossible as described above.

이상에서 설명한 바와 같이, 이러한 종래의 금속재의 댐바(Metal Dambar)를 구비한 리드 프레임을 적용할 경우, 반도체 패키지 제작공정에 있어서 부수적인 트리밍 공정을 필요로 하게 되며, 트리밍 금형 펀치의 제작이 어려운 문제점이 있다. 또한, 댐바 없는 리드 프레임(Dambarless Lead frame)을 적용할 경우에는 몰딩이 불가능해지는 문제점이 있다.As described above, in the case of applying the lead frame having the conventional metal dambar, a secondary trimming process is required in the semiconductor package manufacturing process, and it is difficult to manufacture a trimming mold punch. There is this. In addition, when a dambarless lead frame is applied, molding may be impossible.

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 금속재의 댐바를 제거하고 그 위치에 절연성 합성수지로 된 댐바를 형성시킴으로써, 반도체 패키지 제작 공정중 트리밍 공정의 생략이 가능한 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, and by removing a metal dam bar and forming a dam bar made of an insulating synthetic resin at a position thereof, a synthetic resin dam bar capable of eliminating a trimming process during a semiconductor package manufacturing process is provided. An object of the present invention is to provide a lead frame and a method of manufacturing the same.

도 1은 종래의 리드 프레임을 도시한 평면도,1 is a plan view showing a conventional lead frame,

도 2는 종래의 반도체 패키지를 도시한 단면도,2 is a cross-sectional view showing a conventional semiconductor package;

도 3은 본 발명에 의한 실시예 1에 따른 폴리이미드 댐바를 구비한 리드 프레임을 도시한 부분 평면도,3 is a partial plan view showing a lead frame having a polyimide dam bar according to a first embodiment of the present invention;

도 4a ~ 도 4d는 본 발명에 의한 실시예 1에 따른 폴리이미드 댐바 형성 과정을 나타낸 단면도,4A to 4D are cross-sectional views illustrating a polyimide dam bar forming process according to Example 1 of the present invention;

도 5는 본 발명에 의한 실시예 2에 따른 리드의 몸체 상면에 홈이 형성된 리드 프레임을 도시한 사시도,5 is a perspective view illustrating a lead frame having a groove formed on an upper surface of a body of a lead according to Embodiment 2 of the present invention;

도 6은 본 발명에 의한 실시예 3에 따른 리드의 몸체 측면에 돌출부가 형성된 리드 프레임을 도시한 사시도,6 is a perspective view showing a lead frame having a protrusion formed on a side of a body of a lead according to Embodiment 3 of the present invention;

도 7은 본 발명에 의한 실시예 4에 따른 리드의 몸체 상면에 홈이 형성되고, 또한 리드의 몸체 측면에 돌출부가 형성된 리드 프레임을 도시한 사시도.7 is a perspective view showing a lead frame in which a groove is formed in the upper surface of the body of the lead according to the fourth embodiment of the present invention, and a protrusion is formed in the body side of the lead.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

11,31...패드(Pad) 13,33,53,63,73...내부리드11,31 ... Pad 13,33,53,63,73 ... Internal lead

14,34,54,64,74...외부리드 15...금속재 댐바(Metal Dambar)14,34,54,64,74 ... External lead 15 ... Metal Dambar

35...폴리이미드(Polyimide) 댐바 36,56,66,76...폴리이미드 테이프35 ... Polyimide Dambar 36,56,66,76 ... Polyimide Tape

57,77...홈 68,78...돌출부57,77 ... Home 68,78 ... Protrusion

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임은: 반도체 칩이 탑재되는 패드와, 상기 패드의 주변에 위치하며 상기 반도체 칩의 기능을 외부 회로에 전달하는 다수의 리드를 구비하는 리드 프레임에 있어서, 상기 리드들의 상면에 상기 리드의 길이방향과 교차하는 절연성 합성수지로 된 댐바가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a lead frame having a synthetic resin dam bar according to the present invention includes: a pad on which a semiconductor chip is mounted, and a plurality of leads positioned around the pad and transferring a function of the semiconductor chip to an external circuit. The lead frame according to claim 1, wherein a dam bar made of an insulating synthetic resin intersecting the longitudinal direction of the lead is formed on the upper surfaces of the leads.

여기에서, 상기 리드들의 몸체 일부가 상기 댐바에 몰입되어 있는 것이 바람직하다.Here, it is preferable that a part of the body of the leads is immersed in the dam bar.

상기 댐바가 형성되는 상기 리드들의 몸체 상면부분에 상기 댐바의 몸체 일부가 진입되는 홈이 형성되어 있는 것이 바람직하며, 상기 댐바가 형성되는 상기 리드들의 몸체 측면부분에 상기 댐바가 옆으로 퍼지는 것을 방지하기 위한 돌출부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 특히, 상기 홈과 상기 돌출부가 함께 형성되어 있는 것이 더 바람직하다.Preferably, a groove into which a portion of the body of the dam bar enters is formed in an upper surface portion of the body of the leads in which the dam bar is formed, and the side of the body of the leads in which the dam bar is formed is spreading sideways. It is preferable that the protrusion part is formed. In particular, it is more preferable that the groove and the protrusion are formed together.

그리고 상기 절연성 합성수지는 폴리이미드인 것이 바람직하다.The insulating synthetic resin is preferably polyimide.

한편, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임 제조방법은: (a) 반도체 칩이 탑재되는 패드와, 상기 패드의 주변에 위치하며 상기 반도체 칩의 기능을 외부 회로에 전달하는 다수의 리드를 구비하고, 상기 리드들을 상호 연결하는 금속 댐바가 없는 리드 프레임을 제작하는 단계; 및 (b) 상기 리드 프레임의 리드들의 상면에, 상기 리드의 길이방향과 교차하여 절연성 합성수지로 된 댐바를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.Meanwhile, in order to achieve the above object, a method of manufacturing a lead frame having a synthetic resin dam bar according to the present invention includes: (a) a pad on which a semiconductor chip is mounted and a peripheral portion of the pad, the function of which is transferred to an external circuit Fabricating a lead frame having a plurality of leads for transferring, wherein the lead frame is free of metal dam bars interconnecting the leads; And (b) forming a dam bar made of an insulating synthetic resin on the upper surfaces of the leads of the lead frame to cross the longitudinal direction of the leads.

여기에서, 상기 (a)단계에서는 상기 댐바가 형성되는 상기 리드들의 몸체 상면부분에 상기 댐바의 몸체 일부가 진입되는 홈을 형성시키는 것이 바람직하며, 또한 상기 댐바가 형성되는 상기 리드들의 몸체 측면부분에 상기 댐바가 옆으로 퍼지는 것을 방지하기 위한 돌출부를 형성시키는 것이 바람직하다. 특히, 상기 홈과 상기 돌출부를 함께 형성시키는 것이 더 바람직하다.Here, in the step (a), it is preferable to form a groove into which a part of the body of the dam bar enters in the upper surface portion of the body of the leads in which the dam bar is formed, and in the body side portion of the leads in which the dam bar is formed. It is preferable to form a protrusion for preventing the dambar from spreading laterally. In particular, it is more preferable to form the groove and the protrusion together.

상기 (b) 단계는, 상기 리드 프레임의 리드들의 상면에 상기 리드의 길이방향과 교차하여 절연성 합성수지 테이프를 부착한 후, 상기 절연성 합성수지 테이프를 히터 블록의 열로 녹여 상기 각 리드들의 사이에 절연성 합성수지로 된 댐바를 형성하는 것이 바람직하다.In the step (b), the insulating synthetic resin tape is attached to the upper surfaces of the leads of the lead frame by crossing the lengthwise direction of the leads, and then the insulating synthetic resin tape is melted with the heat of the heater block to form insulating synthetic resin between the leads. It is desirable to form a modified dam bar.

그리고 상기 절연성 합성수지는, 폴리이미드인 것이 바람직하다.And it is preferable that the said insulating synthetic resin is polyimide.

따라서, 종래 금속재의 댐바와 동일한 기능을 하는 절연성의 합성수지로 된 댐바를 구비한 리드 프레임을 제조 가능하게 한다.Therefore, it is possible to manufacture a lead frame having a dam bar made of an insulating synthetic resin having the same function as a conventional dam bar made of metal.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임 및 그 제조방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of a lead frame and a manufacturing method having a synthetic resin dam bar according to the present invention.

실시예 1Example 1

도 3은 본 발명에 의한 실시예 1에 따른 절연성 합성수지로 된 댐바, 바람직하게는 폴리이미드 댐바(Polyimide Dambar)를 구비한 리드 프레임을 도시한 부분 평면도이며, 도 4a~도 4b는 상기의 폴리이미드 댐바의 형성 과정을 나타낸 단면도이다.3 is a partial plan view showing a lead frame having an insulating synthetic resin according to the first embodiment of the present invention, preferably a polyimide dambar, and FIGS. 4a to 4b are polyimide It is sectional drawing which shows the formation process of a dam bar.

본 발명을 실시하기 위해서는 우선 금속재의 댐바가 없는 리드 프레임(Dambarless Lead frame)을 제작하는 단계를 거치게 된다. 상기 리드 프레임의 제작 방법은 종래와 같은 스템핑 또는 에칭 방법을 사용한다.In order to implement the present invention, first, a dambarless lead frame of a metal material is manufactured. The production method of the lead frame uses a conventional stamping or etching method.

다음 단계는 절연성 합성수지로 된 댐바를 형성시키는 단계이다.The next step is to form a dambar made of insulating synthetic resin.

상기 댐바 형성 단계는 아래와 같은 방법에 의하는 것이 바람직하다.The dam bar forming step is preferably by the following method.

우선 상기 리드 프레임의 외부리드(34) 상면에 절연성 합성수지 테이프를 부착하게 된다. 이때 절연성 합성수지 테이프로는 절연성 폴리이미드 테이프(Polyimide Tape)(36)를 사용하는 것이 바람직하다.First, an insulating synthetic resin tape is attached to an upper surface of the outer lead 34 of the lead frame. In this case, it is preferable to use an insulating polyimide tape 36 as the insulating synthetic resin tape.

상기 폴리이미드 테이프(36)는 리드의 길이방향과 교차하여 부착된다. 여기에서 폴리이미드 테이프(36)의 부착 위치는, 도 3에 도시된 패드(31)의 각 둘레에 위치한 내부리드(33)와 외부리드(34)의 경계선상 또는 경계선에 접하여 내,외측 어느쪽이나 가능하다. 특히, 종래의 금속재의 댐바가 형성되는 위치, 즉 경계선에 접하여 외부리드(34)쪽인 것이 바람직하다.The polyimide tape 36 is attached to cross the longitudinal direction of the lead. Here, the attachment position of the polyimide tape 36 is either inside or outside in contact with the boundary line or the boundary line between the inner lead 33 and the outer lead 34 positioned around each of the pads 31 shown in FIG. 3. It is possible. In particular, it is preferable that the position of the conventional dam bar is formed, that is, the outer lead 34 in contact with the boundary line.

상기 폴리이미드 테이프(36)는 리드 프레임의 상부에 설치된 펀치(Punch)(도시하지 않았음)에 의해 부착된다. 도 4a는 상기 외부리드(34)의 상면에 상기 폴리이미드 테이프(36)가 부착된 상태를 보여주고 있다. 여기에서 상기 폴리이미드 테이프(36)는 상기 외부리드(34)의 상면에 소정의 두께를 가지고 부착되어야 하므로, 상기 펀치의 하사점과 상기 외부리드(34)의 상면과는 소정의 간격을 유지하는 것이 필요하다. 상기 간격이 너무 크면, 폴리이미드 테이프(36)가 외부리드(34)의 상면에 제대로 부착되지 못하게 되며, 상기 간격이 너무 작으면 펀치의 압력에 의해 폴리이미드 테이프(36)가 외부리드(34)의 상면에서 소정의 두께를 유지하지 못하고 옆으로 퍼져버리는 현상이 발생하기 때문이다.The polyimide tape 36 is attached by a punch (not shown) provided on the top of the lead frame. 4A shows a state in which the polyimide tape 36 is attached to an upper surface of the outer lead 34. Since the polyimide tape 36 should be attached to the upper surface of the outer lead 34 with a predetermined thickness, the polyimide tape 36 maintains a predetermined distance from the bottom dead center of the punch and the upper surface of the outer lead 34. It is necessary. If the gap is too large, the polyimide tape 36 may not adhere properly to the top surface of the outer lead 34. If the gap is too small, the polyimide tape 36 may be damaged by the punch pressure. This is because the phenomenon of spreading to the side occurs without maintaining a predetermined thickness on the upper surface of the substrate.

다음에는 외부리드(34)의 상면에 부착된 상기 폴리이미드 테이프(36)를 히터 블록(Heat block)(도시하지 않았음)의 열로 녹여 상기 각 외부리드(34)의 사이를 메꿈으로써 폴리이미드 댐바(35)를 형성시키게 된다. 상기 히터 블록은 일반적으로 반도체 패키지 제조 공정에서 사용되는 것을 이용한다. 상기 히터 블록은 리드 프레임의 하부에 설치되며, 그 온도는 약 150~350℃로 유지하는 것이 바람직하고, 가열시간은 약 3~4초가 적절하다. 도 4b와 도 4c는 상기 폴리이미드 테이프(36)가 상기 히터 블록의 열에 의해 녹아서 외부리드(34)의 사이를 메꾸어 나가는 과정을 보여주고 있다. 도 4d는 폴리이미드 댐바(35)가 형성 완료된 상태를 나타낸다. 이와 같이 리드들은 그 하면을 제외하고는 폴리이미드 댐바(35)에 몰입된 형상으로 된다.Next, the polyimide tape 36 by melting the polyimide tape 36 attached to the upper surface of the outer lead 34 by heat of a heater block (not shown) and filling the space between the respective outer leads 34. To form (35). The heater block is generally used in the semiconductor package manufacturing process. The heater block is installed in the lower part of the lead frame, the temperature is preferably maintained at about 150 ~ 350 ℃, the heating time is appropriate about 3 ~ 4 seconds. 4B and 4C illustrate a process in which the polyimide tape 36 is melted by the heat of the heater block to fill the space between the outer leads 34. 4D shows a state in which the polyimide dam bar 35 is formed. In this way, the leads are immersed in the polyimide dam bar 35 except for the lower surface thereof.

여기에서, 상기 폴리이미드(Polyimide)는 절연성인 것이 사용되어야 각 리드 간의 전기적 독립성을 가질 수 있으며, 유동성이 좋은 것이면 폴리이미드 댐바(35) 형성이 보다 쉽게 된다.In this case, the polyimide must have an insulating property to have electrical independence between the leads. If the fluidity is good, the polyimide dam bar 35 is more easily formed.

따라서, 본 실시예 1에 의하면 폴리이미드 댐바를 구비한 리드 프레임의 제조가 가능함으로써, 상기 폴리이미드 댐바의 절연성으로 인해 반도체 패키지 제작 공정중의 트리밍 공정을 생략할 수 있고, 또한 복잡한 트리밍 금형의 제작이 필요 없게 된다.Therefore, according to the first embodiment, it is possible to manufacture a lead frame having a polyimide dam bar, so that the trimming process in the semiconductor package fabrication process can be omitted due to the insulation of the polyimide dam bar, and the production of a complicated trim mold. You do not need this.

실시예 2Example 2

본 발명에 의한 실시예 2는 앞에서 설명한 실시예 1을 보다 개선한 것이다.Embodiment 2 according to the present invention is an improvement over Example 1 described above.

실시예 1에 의하면 도 4c와 같은 불완전한 폴리이미드 댐바가 형성될 가능성이 있다. 그 이유는 펀치로 폴리이미드 테이프를 부착시킬 때 상기 펀치의 가압력에 의해 상기 폴리이미드 테이프가 외부리드의 상면에 퍼지는 현상이 나타날 수 있으며, 히터 블록의 열에 의해 녹은 상기 폴리이미드 테이프가 외부리드의 사이에서도 옆으로 퍼져버리는 현상이 나타날 수 있으므로, 그 결과 상기 폴리이미드가 리드와 리드 사이를 완전히 메꾸지를 못하고 아랫부분에 빈공간이 형성될 수 있기 때문이다.According to Example 1, there is a possibility that an incomplete polyimide dam bar as shown in FIG. 4C is formed. The reason is that when the polyimide tape is attached with a punch, the polyimide tape may be spread on the upper surface of the outer lead by the pressing force of the punch, and the polyimide tape melted by the heat of the heater block may be formed between the outer leads. In this case, since the phenomenon of spreading sideways may occur, as a result, the polyimide may not completely fill the space between the lead and the lead, and an empty space may be formed at the lower portion.

따라서 실시예 2는 상기와 같은 실시예 1에 의한 문제점을 미연에 방지하고자 하는 것이다.Therefore, Example 2 is intended to prevent the problems caused by Example 1 as described above.

도 5는 실시예 2에 따른 댐바가 형성되는 리드의 몸체 상면부분에 홈이 형성된 리드 프레임을 도시한 사시도이다.FIG. 5 is a perspective view illustrating a lead frame having a groove formed in an upper surface portion of a body of a lead in which a dam bar is formed according to Embodiment 2. FIG.

본 발명에 의한 실시예 2는 앞에서 설명한 실시예 1과 동일한 단계, 즉 금속 댐바가 없는 리드 프레임 제작 단계와, 폴리이미드 댐바 형성 단계를 거치게 된다.Embodiment 2 according to the present invention is subjected to the same steps as described in the first embodiment, that is, a lead frame manufacturing step without a metal dam bar, and a polyimide dam bar forming step.

이러한 실시예 2의 특징은 상기 금속 댐바가 없는 리드 프레임을 제작하는 단계에서, 도 5에 도시된 바와 같이 외부리드(54) 상면의 절연성 폴리이미드 테이프를 부착할 부위에 홈(57)를 형성시키는 것이다.This embodiment 2 is characterized in that in the step of manufacturing the lead frame without the metal dam bar, as shown in Figure 5 to form a groove 57 in the site to attach the insulating polyimide tape on the upper surface of the outer lead 54 will be.

상기 홈(57)은 폴리이미드 테이프를 부착할 부위의 리드의 상면, 바람직하게는 외부리드(54)의 상면에 형성되며, 그 형성방법은 코이닝(Coining) 또는 하프에칭(Half Etching) 방법에 의한 것이 바람직하다. 즉, 폴리이미드 테이프 부착부위의 외부리드(54) 두께는 다른 부분의 외부리드(54)의 두께보다 얇게 되어, 그 두께의 차이만큼 외부리드(54)의 상부에 홈(57)이 형성되는 것이다. 따라서, 상기 홈(57)에 의해, 폴리이미드 테이프(56)가 외부리드(54)의 상면에서 옆으로 퍼지는 현상이 방지되며, 폴리이미드가 외부리드(54) 사이를 충분히 메꿀 수 있게 된다.The groove 57 is formed on the upper surface of the lead of the site to which the polyimide tape is to be attached, preferably on the upper surface of the outer lead 54, and the formation method is coined or half etched. Is preferred. That is, the thickness of the outer lead 54 of the polyimide tape attaching portion is thinner than the thickness of the outer lead 54 of the other portion, and the groove 57 is formed on the upper portion of the outer lead 54 by the difference in thickness. . Therefore, the groove 57 prevents the polyimide tape 56 from spreading laterally on the upper surface of the outer lead 54, and the polyimide can sufficiently fill the gap between the outer leads 54.

실시예 3Example 3

본 발명에 의한 실시예 3은 앞에서 설명한 실시예 1을 개선한 또다른 실시예로서, 그 목적은 실시예 2에서와 같다.Example 3 according to the present invention is another embodiment to improve the first embodiment described above, the purpose thereof is the same as in Example 2.

도 6은 실시예 3에 따른 댐바가 형성되는 리드의 몸체 측면부분에 돌출부가 형성된 리드 프레임을 도시한 사시도이다.FIG. 6 is a perspective view illustrating a lead frame in which protrusions are formed at a side surface of a body of a lead in which a dam bar is formed according to Embodiment 3. FIG.

이러한 실시예 3의 특징은 상기 금속 댐바가 없는 리드 프레임을 제작하는 단계에서, 도 6에 도시된 바와 같이 폴리이미드 댐바를 형성할 부위의 외부리드(64) 양측면에 돌출부(68)를 형성시키는 것이다.A characteristic of this embodiment 3 is to form the protrusions 68 on both sides of the outer lead 64 of the site where the polyimide dam bar is to be formed, as shown in FIG. .

또한, 상기 돌출부(68)는 스템핑 또는 에칭에 의한 리드 프레임 제작시에 동시에 형성된다. 상기 돌출부(68)는 상기 외부리드(64)의 일측면에 2개씩 양측면에 형성된 것이 바람직하며, 상기 일측면에 형성된 2개의 돌출부 사이에 폴리이미드 댐바가 형성된다. 그리고 상기 돌출부(68)는 인접한 외부리드의 돌출부와는 소정의 간격을 두어 서로 전기적으로 단절되도록 하는 것이 필요하다. 이러한 돌출부(68)는 폴리이미드 테이프(66)가 녹아 폴리이미드 댐바를 형성하는 과정에서 옆으로 퍼지는 현상을 방지함으로써 외부리드와 외부리드 사이를 완전히 메꿀 수 있게 한다.In addition, the protrusions 68 are formed at the same time when manufacturing the lead frame by stamping or etching. Preferably, the protrusions 68 are formed on both sides of the outer lead 64 at two sides, and a polyimide dam bar is formed between the two protrusions formed at the one side. In addition, the protrusions 68 need to be electrically disconnected from each other at a predetermined interval from the protrusions of adjacent outer leads. The protrusion 68 prevents the polyimide tape 66 from melting and spreading sideways in the process of forming the polyimide dam bar, thereby completely filling the gap between the outer lead and the outer lead.

실시예 4Example 4

본 발명에 의한 실시예 4는 앞에서 설명한 실시예 1을 개선한 가장 바람직한 실시예로서, 그 목적은 실시예 2에서와 같다.Example 4 according to the present invention is the most preferred embodiment to improve the first embodiment described above, the purpose is the same as in Example 2.

도 7은 실시예 4에 따른 댐바가 형성되는 리드의 몸체 상면부분에 홈이 형성되고, 또한 댐바가 형성되는 리드의 몸체 측면부분에 돌출부가 형성된 리드 프레임을 도시한 사시도이다.7 is a perspective view illustrating a lead frame in which a groove is formed in an upper surface of a body of a lead in which a dam bar is formed, and a protrusion is formed in a side surface of the body of the lead in which the dam bar is formed.

이러한 실시예 4의 특징은 상기 금속 댐바가 없는 리드 프레임을 제작하는 단계에서, 도 7에 도시된 바와 같이 외부리드(74) 상면의 절연성 폴리이미드 테이프를 부착할 부위에 홈(77)를 형성시키는 것과 함께 폴리이미드 댐바를 형성할 부위의 외부리드(74) 양측면에 돌출부(78)를 형성시키는 것이다.This embodiment 4 is characterized in that in the step of manufacturing the lead frame without the metal dam bar, as shown in Figure 7 to form a groove 77 in the site to attach the insulating polyimide tape on the upper surface of the outer lead 74 In addition, the protrusions 78 are formed on both sides of the outer lead 74 at the portion where the polyimide dam bar is to be formed.

이러한 홈(77)과 돌출부의 형성 위치 및 형성 방법은 상술한 실시예 3과 실시예 4에서와 동일하다. 따라서, 상기 홈(77)에 의해, 폴리이미드 테이프(76)가 외부리드(74)의 상면에서 옆으로 퍼지는 현상이 방지되며, 상기 돌출부(78)에 의해 폴리이미드 테이프(76)가 녹아 폴리이미드 댐바를 형성하는 과정에서 옆으로 퍼지는 현상이 방지됨으로써 외부리드와 외부리드 사이를 완전히 메꿀 수 있게 한다.The formation position and formation method of the groove 77 and the protrusion are the same as in the above-described third embodiment and fourth embodiment. Accordingly, the groove 77 prevents the polyimide tape 76 from spreading laterally on the upper surface of the outer lead 74, and the polyimide tape 76 is melted by the protrusions 78 to form polyimide. In the process of forming the dam bar, the side spreading phenomenon is prevented to completely fill the gap between the outer lead and the outer lead.

상술한 바와 같이 본 발명에 의한 실시예 4에 따르면, 보다 완전한 폴리이미드 댐바를 구비한 리드 프레임을 제조할 수 있게 된다.As described above, according to the fourth embodiment of the present invention, it is possible to manufacture a lead frame having a more complete polyimide dam bar.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임 및 그 제조방법은 종래 금속재의 댐바와 동일한 기능을 하는 절연성 합성수지로 된 댐바를 구비한 리드 프레임을 제조 가능하게 함으로써, 반도체 패키지 제작 공정중의 트리밍 공정을 생략할 수 있고, 또한 복잡한 트리밍 금형의 제작이 필요 없게 되는 효과가 있다.As described above, the lead frame with a synthetic resin dambar according to the present invention and a method of manufacturing the semiconductor package is produced by enabling the production of a lead frame having a dambar made of an insulating synthetic resin having the same function as a conventional dambar The trimming step in the process can be omitted, and there is an effect that the production of a complicated trimming mold is unnecessary.

Claims (14)

반도체 칩이 탑재되는 패드와, 상기 패드의 주변에 위치하며 상기 반도체 칩의 기능을 외부 회로에 전달하는 다수의 리드를 구비하는 리드 프레임에 있어서,A lead frame comprising a pad on which a semiconductor chip is mounted and a plurality of leads positioned around the pad and transferring a function of the semiconductor chip to an external circuit, 상기 리드들의 상면에 상기 리드의 길이방향과 교차하는 절연성 합성수지로 된 댐바가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임.And a dam bar made of an insulating synthetic resin intersecting the longitudinal direction of the lead on the upper surfaces of the leads. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 리드들의 몸체 일부가 상기 댐바에 몰입되어 있는 것을 특징으로 하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임.A lead frame having a synthetic dam bar, characterized in that the body portion of the leads are immersed in the dam bar. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 댐바가 형성되는 상기 리드들의 몸체 상면부분에, 상기 댐바의 몸체 일부가 진입되는 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임.Lead frame provided with a synthetic resin dam bar, characterized in that the groove is formed in the upper surface portion of the body of the lead is formed the dam bar, the body portion of the dam bar is entered. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 댐바가 형성되는 상기 리드들의 몸체 측면부분에, 상기 댐바가 옆으로 퍼지는 것을 방지하기 위한 돌출부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임.Lead frame provided with a synthetic resin dam bar, characterized in that the protrusion formed to prevent the dam bar from spreading to the side portion of the body of the leads in which the dam bar is formed. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 댐바가 형성되는 상기 리드들의 몸체 상면부분에는 상기 댐바의 몸체 일부가 진입되는 홈이 형성되어 있고, 상기 댐바가 형성되는 상기 리드들의 몸체 측면부분에는 상기 댐바가 옆으로 퍼지는 것을 방지하기 위한 돌출부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임.A groove is formed in the upper surface portion of the body of the leads in which the dam bar is formed, and a protrusion for preventing the dam bar from spreading sideways in the body side portion of the leads in which the dam bar is formed. Lead frame provided with a synthetic resin dambar, characterized in that formed. 제1항 내지 제5항중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 절연성 합성수지는, 폴리이미드인 것을 특징으로 하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임.The insulating synthetic resin is a lead frame provided with a synthetic resin dam bar, characterized in that the polyimide. (a) 반도체 칩이 탑재되는 패드와, 상기 패드의 주변에 위치하며 상기 반도체 칩의 기능을 외부 회로에 전달하는 다수의 리드를 구비하고, 상기 리드들을 상호 연결하는 금속 댐바가 없는 리드 프레임을 제작하는 단계; 및(a) fabricating a lead frame having a pad on which a semiconductor chip is mounted and a plurality of leads positioned around the pad and transferring the functions of the semiconductor chip to an external circuit, and without a metal dam bar interconnecting the leads; Doing; And (b) 상기 리드 프레임의 리드들의 상면에, 상기 리드의 길이방향과 교차하여 절연성 합성수지로 된 댐바를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임 제조방법.(b) forming a dam bar made of an insulating synthetic resin on the upper surfaces of the leads of the lead frame by crossing the length direction of the lead. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 (a) 단계는, 상기 댐바가 형성되는 상기 리드들의 몸체 상면부분에, 상기 댐바의 몸체 일부가 진입되는 홈을 형성시키는 것을 특징으로하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임 제조방법.In the step (a), a method for manufacturing a lead frame with a synthetic resin dam bar, characterized in that to form a groove in which a portion of the body of the dam bar enters, the upper surface portion of the body of the leads in which the dam bar is formed. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 홈은, 코이닝 또는 하프에칭에 의해 형성되는 것을 특징으로하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임 제조방법.The groove is a lead frame manufacturing method provided with a synthetic resin dam bar, characterized in that formed by coining or half etching. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 (a) 단계는, 상기 댐바가 형성되는 상기 리드들의 몸체 측면부분에, 상기 댐바가 옆으로 퍼지는 것을 방지하기 위한 돌출부를 형성시키는 것을 특징으로 하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임 제조방법.In the step (a), a method for manufacturing a lead frame with a synthetic resin dam bar, characterized in that forming a protrusion for preventing the dam bar from spreading to the side of the body portion of the leads in which the dam bar is formed. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 돌출부는, 상기 리드들의 몸체 양측면에 각각 2개씩 형성되고, 그 사이에 상기 댐바가 형성되는 것을 특징으로 하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임 제조방법.The protrusions are formed on each of the two sides of the body of the lead, each of which is a lead frame manufacturing method with a synthetic resin dam bar, characterized in that the dam bar is formed therebetween. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 댐바가 형성되는 상기 리드들의 몸체 상면부분에는 상기 댐바의 몸체 일부가 진입되는 홈을 형성시키고, 상기 댐바가 형성되는 상기 리드들의 몸체 측면부분에는 상기 댐바가 옆으로 퍼지는 것을 방지하기 위한 돌출부를 형성시키는 것을 특징으로 하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임 제조방법.A groove is formed in the upper surface portion of the body of the leads in which the dam bar is formed, and a protrusion is formed in the side surface of the body in which the dam bar is formed to prevent the dam bar from spreading sideways. Lead frame manufacturing method provided with a synthetic resin dam bar, characterized in that. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 (b) 단계는, 상기 리드 프레임의 리드들의 상면에 상기 리드의 길이방향과 교차하여 절연성 합성수지 테이프를 부착한 후, 상기 절연성 합성수지 테이프를 히터 블록의 열로 녹여 상기 각 리드들의 사이에 절연성 합성수지로 된 댐바를 형성하는 것을 특징으로 하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임 제조방법.In the step (b), the insulating synthetic resin tape is attached to the upper surfaces of the leads of the lead frame by crossing the lengthwise direction of the leads, and then the insulating synthetic resin tape is melted with the heat of the heater block to form insulating synthetic resin between the leads. Lead frame manufacturing method provided with a synthetic dambar, characterized in that to form a dambar. 제7항 내지 제13항중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 7 to 13, 상기 절연성 합성수지는, 폴리이미드인 것을 특징으로 하는 합성수지 댐바가 구비된 리드 프레임 제조방법.The insulating synthetic resin is a lead frame manufacturing method provided with a synthetic resin dam bar, characterized in that the polyimide.
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KR100674502B1 (en) * 1999-12-28 2007-01-25 삼성전자주식회사 Bottom Lead Plastic Type Semiconductor Chip Package
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CN111668107A (en) * 2012-12-06 2020-09-15 美格纳半导体有限公司 Multi-chip package and method of manufacturing the same

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