KR19980073454A

KR19980073454A - Gate Valve for Vacuum Pump

Info

Publication number: KR19980073454A
Application number: KR1019970008725A
Authority: KR
Inventors: 전진배
Original assignee: 김광호; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1997-03-14
Filing date: 1997-03-14
Publication date: 1998-11-05

Abstract

본 발명의 진공펌프용 게이트 밸브는 T자형의 몸체와, 상기 몸체의 일단에 연결되어 상기 몸체의 내부를 개폐할 수 있는 벨로우즈부와, 상기 몸체의 타단에 연결되어 상기 몸체의 공기를 외부로 유출할 수 있는 배관과, 상기 몸체내에 부착되어 상기 벨로우즈가 수축되었을 때 지지되는 격리판을 포함한다. 본 발명의 진공펌프용 게이트 밸브는 공정진행시 반응개스와 벨로우즈부를 격리시켜 줌으로써 분말 발생 및 아웃개싱을 줄일 수 있다.The gate valve for a vacuum pump of the present invention has a T-shaped body, a bellows portion connected to one end of the body to open and close the body, and connected to the other end of the body to leak air from the body to the outside. And a separator, which is attached to the body and is supported when the bellows is retracted. The gate valve for the vacuum pump of the present invention can reduce powder generation and outgassing by isolating the reaction gas and the bellows during the process.

Description

Gate Valve for Vacuum Pump

본 발명은 진공펌프에 관한 것으로, 특히 진공펌프용 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum pump, and more particularly to a gate valve for a vacuum pump.

일반적으로, 반도체 소자 등에 제조에 있어서 챔버의 압력을 낮추기 위하여 진공펌프가 이용된다. 상기 진공 펌프에는 챔버의 압력을 조절하기 위하여 게이트 밸브가 사용된다. 여기서, 종래의 진공펌프용 게이트 밸브를 설명한다.In general, a vacuum pump is used to reduce the pressure of the chamber in manufacturing a semiconductor device or the like. The vacuum pump uses a gate valve to regulate the pressure in the chamber. Here, the gate valve for a conventional vacuum pump is demonstrated.

도 1은 종래기술에 의한 진공펌프용 게이트 밸브를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a gate valve for a vacuum pump according to the prior art.

구체적으로, 종래의 진공펌프용 게이트 밸브는 T자형의 몸체(1)와, 상기 몸체(1)의 일단에 상기 몸체(1)의 내부를 개폐할 수 있는 벨로우즈부(3)를 포함하고 있다. 상기 밸로우즈부(3)가 상기 몸체(1)의 일단에 붙어있을때는(참조번호 5) 게이트 밸브가 닫히며 몸체(1)의 일단에서 떨어져 있을 때에는 게이트 밸브가 열리게 된다(참조번호 7). 그리고, 상기 몸체(1)의 타단은 공기가 빠져나가는 배관(9)이 연결되어 있다. 도 1에서, 참조번호 11 및 13은 각각 공정을 위한 챔버와 연결되는 제1 연결부 및 제2 연결부를 나타낸다.Specifically, the gate valve for a conventional vacuum pump includes a T-shaped body 1 and a bellows portion 3 capable of opening and closing the inside of the body 1 at one end of the body 1. When the bellows portion 3 is attached to one end of the body 1 (reference numeral 5), the gate valve is closed and when it is separated from one end of the body 1, the gate valve is opened (reference number 7). The other end of the body 1 is connected to a pipe 9 through which air escapes. In Fig. 1, reference numerals 11 and 13 denote first and second connections, respectively, which are connected to the chamber for the process.

그런데, 상술한 바와 같은 종래의 진공펌프용 게이트 밸브는 게이트 밸브가 열였을 때 벨로우즈부가 진공라인내에 포함이 되어 있어 특정의 공정진행시 다량의 분말 및 이로 인한 아웃개싱이 발생한다. 이렇게 되면, 공정진행시 파티클이 증가하여 아웃개싱에 의한 공정이상이 발생한다.However, in the conventional vacuum pump gate valve as described above, when the gate valve is heated, the bellows part is included in the vacuum line, so that a large amount of powder and outgassing thereof occur during a specific process. In this case, the particles increase during the process proceeds to cause the process abnormality by the outgassing.

따라서, 본 발명의 기술적 과제는 상기 분말 발생 및 아웃개싱을 줄일 수 있는 진공펌프용 게이트 밸브를 제공하는 데 있다.Accordingly, the technical problem of the present invention is to provide a gate valve for a vacuum pump that can reduce the powder generation and outgassing.

도 1은 종래기술에 의한 진공펌프용 게이트 밸브를 도시한 단면도이고,1 is a cross-sectional view showing a gate valve for a vacuum pump according to the prior art,

도 2은 본 발명에 의한 진공펌프용 게이트 밸브를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a gate valve for a vacuum pump according to the present invention.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 T자형의 몸체와, 상기 몸체의 일단에 연결되어 상기 몸체의 내부를 개폐할 수 있는 벨로우즈부와, 상기 몸체의 타단에 연결되어 상기 몸체의 공기를 외부로 유출할 수 있는 배관과, 상기 몸체내에 부착되어 상기 벨로우즈가 수축되었을 때 지지되는 격리판을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공펌프용 게이트 밸브을 제공하는 데 있다.In order to achieve the above technical problem, the present invention is a T-shaped body, a bellows portion connected to one end of the body to open and close the inside of the body, and connected to the other end of the body to the outside of the air of the body It provides a gate valve for a vacuum pump, characterized in that it comprises a pipe which can flow out to the separator and is attached to the body and is supported when the bellows is contracted.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 의한 진공펌프용 게이트 밸브를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a gate valve for a vacuum pump according to the present invention.

구체적으로, 본 발명의 진공펌프용 게이트 밸브는 T자형의 몸체(21)와, 상기 몸체(21)의 일단에 상기 몸체(21)의 내부를 개폐할 수 있는 벨로우즈부(23)를 포함하고 있다. 상기 밸로우즈부(23)가 상기 몸체(21)의 일단에 붙어있을때는(참조번호 25) 게이트 밸브가 닫히며 몸체(21)의 일단에서 떨어져(수축되어) 있을 때에는 게이트 밸브가 열리게 된다(참조번호 27). 그리고, 상기 몸체(21)의 타단은 공기가 빠져나가는 배관(29)이 연결되어 있다. 도 2에서, 참조번호 31 및 33은 공정을 위한 챔버와 연결되는 제1 연결부 및 제2 연결부를 나타낸다.Specifically, the vacuum valve gate valve of the present invention includes a T-shaped body 21 and a bellows portion 23 that can open and close the inside of the body 21 at one end of the body 21. . When the bellows portion 23 is attached to one end of the body 21 (reference numeral 25), the gate valve is closed and the gate valve is opened when it is separated (contracted) from one end of the body 21 (reference). Number 27). The other end of the body 21 is connected to a pipe 29 through which air escapes. In Fig. 2, reference numerals 31 and 33 denote first and second connections that are connected to the chamber for the process.

특히, 본 발명의 진공범프용 게이트 밸브는 상기 몸체내에 격리판(35)이 부착되어 있어 상기 게이트 밸브가 열릴 때 지지하도록 되어 있으며, 챔버와 연결되는 제2 연결부(33)가 상기 격리판(35)의 좌측에 형성되어 있다. 따라서, 게이트 밸브를 열였을 때, 벨로우즈부(23)가 진공라인과 완전히 격리되어 분말발생을 최대한 억제할 수 있고, 벨로우즈브(23)에 리크가 발생해도 공정상 손실을 최대한 줄일 수 있다.In particular, the vacuum bump gate valve of the present invention has a separator 35 attached to the body to support the gate valve when the gate valve is opened, and the second connection part 33 connected to the chamber has the separator 35. Is formed on the left side. Therefore, when the gate valve is opened, the bellows portion 23 is completely isolated from the vacuum line to suppress powder generation as much as possible, and the loss in process can be minimized even if leakage occurs in the bellows 23.

이상, 실시예를 통하여 본 발명을 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식으로 그 변형이나 개량이 가능하다.As mentioned above, although this invention was demonstrated concretely through the Example, this invention is not limited to this, A deformation | transformation and improvement are possible with the conventional knowledge in the art within the technical idea of this invention.

상술한 바와 같이 본 발명의 진공펌프용 게이트 밸브는 공정진행시 반응개스와 벨로우즈부를 격리시켜 줌으로써 분말 발생 및 아웃개싱을 줄일 수 있다.As described above, the vacuum valve gate valve of the present invention can reduce powder generation and outgassing by isolating the reaction gas and the bellows during the process.

Claims

T-shaped body;

A bellows portion connected to one end of the body to open and close the inside of the body;

A pipe connected to the other end of the body to allow the air of the body to flow out; And

And a separator attached to the body and supported when the bellows is contracted.