JPH08114271A - Mounting mechanism of seal ring in high vacuum pressure valve - Google Patents
Mounting mechanism of seal ring in high vacuum pressure valveInfo
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- JPH08114271A JPH08114271A JP6277047A JP27704794A JPH08114271A JP H08114271 A JPH08114271 A JP H08114271A JP 6277047 A JP6277047 A JP 6277047A JP 27704794 A JP27704794 A JP 27704794A JP H08114271 A JPH08114271 A JP H08114271A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、高真空圧バルブにおけ
る弁体に、弁座をシールするシールリングを取付けるシ
ールリングの取付け機構に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a seal ring mounting mechanism for mounting a seal ring for sealing a valve seat on a valve body of a high vacuum pressure valve.
【０００２】[0002]
【従来の技術】複数のポートと、これらのポートを連通
させる流路中の弁座と、該弁座を開閉する弁体とを備
え、該弁体の弁座との対向面に形成した環状の取付溝
に、上記弁座をシールするＯリングを取付けた高真空圧
バルブは、既に知られている。上記公知の高真空圧バル
ブは、図４に示すように、弁体１における弁座２との対
向面に、両側壁を先細りのテーパ面３，３とした環状の
取付溝４を設けて、この取付溝４に、弁座２をシールす
るＯリング５を、その一部を取付溝４から突出させて取
付けている。2. Description of the Related Art A plurality of ports, a valve seat in a flow path for communicating these ports, and a valve body for opening and closing the valve seat, which is formed on a surface of the valve body facing the valve seat. A high vacuum pressure valve in which an O-ring for sealing the valve seat is mounted in the mounting groove of is already known. As shown in FIG. 4, the above-mentioned known high vacuum pressure valve is provided with an annular mounting groove 4 having tapered surfaces 3 and 3 on both side walls on the surface of the valve body 1 facing the valve seat 2. An O-ring 5 for sealing the valve seat 2 is attached to the mounting groove 4 with a part of the O-ring 5 protruding from the mounting groove 4.
【０００３】この場合、取付溝４の開口幅をＷ、Ｏリン
グ５の線径をｄとすると、Ｗ／ｄ＝０．８５〜０．９と
して、即ち取付溝４の開口幅をＯリング５の線径より１
０〜１５％小さくすることによって、取付溝４からのＯ
リング５の抜け出しを防止している。また、取付溝４に
Ｏリング５を気密に取付けるためには、Ｏリング５に上
記範囲とほぼ同程度の潰し代を設けて取付溝４に取付け
る必要があるが、高真空圧バルブにおいては、高真空と
いう使用条件のために、Ｏリング５に、取付溝４への挿
入を容易にするための潤滑剤を塗布することができな
い。In this case, assuming that the opening width of the mounting groove 4 is W and the wire diameter of the O-ring 5 is d, W / d = 0.85-0.9, that is, the opening width of the mounting groove 4 is O-ring 5. 1 from the wire diameter
By reducing 0 to 15%, O from the mounting groove 4
The ring 5 is prevented from coming out. Further, in order to airtightly attach the O-ring 5 to the attachment groove 4, it is necessary to provide the O-ring 5 with a crushing allowance approximately equal to the above range and to attach the O-ring 5 to the attachment groove 4, but in the high vacuum pressure valve, Due to the high vacuum usage condition, the O-ring 5 cannot be coated with a lubricant for facilitating its insertion into the mounting groove 4.
【０００４】高真空圧バルブにおいて、取付溝４にＯリ
ング５を取付ける方法としては、Ｏリング５を取付溝４
に徐々に押し込む方法か、または図示を省略している治
具によりＯリング５の幅を狭くして、全体を一度に取付
溝４に押し込む方法が採用されている。しかしながら、
Ｏリング５を徐々に押し込む方法は、押し込みによって
Ｏリングに捩じれが生じ、取付溝４への取付け後は、Ｏ
リング５が取付溝４の底面３ａと両側のテーパ面３，３
との３面で押圧されるために捩じれが戻らないので、こ
の捩じれがリークの原因となる一方、治具によってＯリ
ング５を取付ける方法は、生産現場においては問題がな
いが、Ｏリング５が傷付いたり破損したりした場合に、
ユーザーが現場において交換することができない。In a high vacuum pressure valve, as a method of mounting the O-ring 5 in the mounting groove 4, the O-ring 5 is mounted in the mounting groove 4.
A method of gradually pushing into the mounting groove 4 or a method of narrowing the width of the O-ring 5 with a jig (not shown) and pushing the whole into the mounting groove 4 at a time is adopted. However,
When the O-ring 5 is gradually pushed in, the O-ring is twisted by pushing, and after the O-ring 5 is attached to the mounting groove 4,
The ring 5 has a bottom surface 3a of the mounting groove 4 and tapered surfaces 3 and 3 on both sides.
Since the twist does not return because it is pressed by the three surfaces, the twist causes a leak, while the method of mounting the O-ring 5 with a jig has no problem at the production site, but the O-ring 5 is In case of damage or damage,
User cannot replace in the field.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、取付溝へのシールリングの挿脱が容易で、
しかも捩じれることなく強固に取付けられる、高真空圧
バルブにおけるシールリングの取付け機構を提供するこ
とにある。The problem to be solved by the present invention is that the seal ring can be easily inserted into and removed from the mounting groove.
Moreover, it is an object of the present invention to provide a seal ring attachment mechanism for a high vacuum pressure valve that can be firmly attached without being twisted.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の高真空圧バルブにおけるシールリングの取
付け機構は、複数のポートと、これらのポートを連通さ
せる流路中の弁座と、該弁座を開閉する弁体とを備え、
該弁体の弁座との対向面に設けた環状の取付溝に上記弁
座をシールするシールリングを取付けた高真空圧バルブ
において、上記取付溝を、該取付溝内において上記シー
ルリングが僅かに移動可能な大きさとするとともに、開
口近くの側壁の少なくとも一方に、対向する側壁に向い
て開口するリング溝を設け、上記取付溝に挿入されたシ
ールリングを、上記リング溝に装着した固定リングによ
って取付溝の壁面に圧接させたことを特徴としている。In order to solve the above-mentioned problems, a seal ring mounting mechanism in a high vacuum pressure valve according to the present invention comprises a plurality of ports, a valve seat in a flow path for communicating these ports, A valve body for opening and closing the valve seat,
In a high vacuum pressure valve in which a seal ring for sealing the valve seat is attached to an annular mounting groove provided on the surface of the valve body facing the valve seat, the mounting groove is slightly And a ring groove that opens toward the opposite side wall on at least one of the side walls near the opening, and the seal ring inserted into the mounting groove is attached to the ring groove. It is characterized in that it is pressed against the wall surface of the mounting groove.
【０００７】また、同様の課題を解決するため、上記取
付溝の側壁を、円筒面と開口側が縮径するテーパ面とす
るとともに、上記円筒面にリング溝を設け、上記取付溝
に挿入されたシールリングを、上記リング溝に装着した
固定リングによって取付溝のテーパ面と底面とに圧接さ
せたこと；または、取付溝の両側壁を円筒面とするとと
もに、これらの円筒面に、対向する側壁に向いて開口す
るリング溝をそれぞれ設け、上記取付溝に挿入されたシ
ールリングを、上記リング溝にそれぞれ装着した固定リ
ングによって取付溝の底面に圧接させたことを特徴とし
ている。Further, in order to solve the same problem, the side wall of the mounting groove is formed into a tapered surface having a cylindrical surface and a tapered surface on the opening side, a ring groove is provided on the cylindrical surface, and the mounting groove is inserted into the mounting groove. The seal ring is pressed against the taper surface and the bottom surface of the mounting groove by the fixing ring mounted in the ring groove; or, both side walls of the mounting groove are cylindrical surfaces, and side walls facing the cylindrical surfaces. Each of the ring grooves is formed so as to open toward, and the seal ring inserted into the mounting groove is pressed against the bottom surface of the mounting groove by the fixing ring mounted in each of the ring grooves.
【０００８】[0008]
【作用及び発明の効果】弁体に設けた取付溝にシールリ
ングを徐々に押し込んで挿入し、次いでリング溝に欠円
状の固定リングを取付けると、該固定シリングによって
シールリングが取付溝の壁面に圧接されるので、シール
リングを取付溝に気密に取付けることができる。[Operation and effect of the invention] When the seal ring is gradually pushed into the mounting groove provided in the valve body to be inserted, and then the fixing ring having an oval shape is mounted in the ring groove, the sealing ring causes the sealing ring to be attached to the wall surface of the mounting groove. The seal ring can be airtightly mounted in the mounting groove because it is pressed against.
【０００９】この場合、取付溝へのシールリングの押し
込みによってシールリングに多少の捩じれが生じても、
取付溝に挿入されたシールリングは取付溝内において僅
かに移動できるので、押し込みにより生じた捩じれを戻
すことができる。また、固定リングの取付けによって、
シールリングの外周面が取付溝の壁面に圧接されるの
で、シールリングが取付溝に気密に取付けられる。した
がって、治具を使用することなく、シールリングを現場
において容易に挿脱することができ、しかも固定リング
によって取付溝に圧接されるので、シールリングを強固
に取付けることができる。具体的には、シールリング
は、固定リングによる押圧部、及び取付溝のテーパ面と
底面、または固定リングによる２箇所の押圧部、及び取
付溝の底面との３点において圧接されるので、取付溝に
強固に取付けられる。In this case, even if the seal ring is twisted to some extent by pushing the seal ring into the mounting groove,
Since the seal ring inserted in the mounting groove can be slightly moved in the mounting groove, the twist generated by the pressing can be returned. Also, by attaching the fixing ring,
Since the outer peripheral surface of the seal ring is pressed against the wall surface of the mounting groove, the seal ring is airtightly mounted in the mounting groove. Therefore, the seal ring can be easily inserted and removed on site without using a jig, and moreover, the seal ring can be firmly attached because it is pressed against the attachment groove by the fixing ring. Specifically, the seal ring is pressed against the pressing portion by the fixing ring and the tapered surface and the bottom surface of the mounting groove, or two pressing portions by the fixing ring and the bottom surface of the mounting groove. Can be firmly attached to the groove.
【００１０】[0010]
【実施例】図１及び図２は本発明の第１実施例を示し、
この高真空圧バルブにおけるバルブボディ１１は、直交
する方向に形成したポート１２，１３と、これらのポー
ト１２と１３を連通させる流路中の弁座１４と、弁座１
４に対向する開口１５とを備え、開口１５にベローズプ
レート１６を介して気密に取付けられたボンネット１７
に、後記する弁体を駆動するための空気圧シリンダ１９
のシリンダ２０が形成されている。また、開口１５とベ
ローズプレート１６との間は、図示を省略しているシー
ル材によって気密にシールされている。1 and 2 show a first embodiment of the present invention.
The valve body 11 of this high vacuum pressure valve has ports 12 and 13 formed in directions orthogonal to each other, a valve seat 14 in a flow path for communicating these ports 12 and 13, and a valve seat 1
4 and an opening 15 facing each other, and a bonnet 17 airtightly attached to the opening 15 via a bellows plate 16.
In addition, a pneumatic cylinder 19 for driving a valve body described later is provided.
The cylinder 20 is formed. The opening 15 and the bellows plate 16 are hermetically sealed by a sealing material (not shown).
【００１１】上記弁座１４を開閉する弁体２３の弁棒２
４は、ボンネット１７を気密に貫通して空気圧シリンダ
１９のピストン２１に連結されており、弁体２３とボン
ネット１７との間に復帰ばね２５が縮設されている。ま
た、ボンネット１７には、ピストン２１で区画されたベ
ローズプレート１６側の圧力室２６に圧縮空気を給排す
るポート２７が開設されている。上記ベローズプレート
１６の内周面と弁体２３には、弁棒２４を囲むベローズ
２８の両端が気密に固着されており、ベローズプレート
１６とベローズ２８は、いずれも適宜の金属によって形
成されている。The valve rod 2 of the valve body 23 that opens and closes the valve seat 14.
4 is connected to the piston 21 of the pneumatic cylinder 19 through the bonnet 17 airtightly, and the return spring 25 is compressed between the valve body 23 and the bonnet 17. Further, the bonnet 17 is provided with a port 27 for supplying / discharging compressed air to / from the pressure chamber 26 on the side of the bellows plate 16 defined by the piston 21. Both ends of a bellows 28 surrounding the valve rod 24 are airtightly fixed to the inner peripheral surface of the bellows plate 16 and the valve body 23, and both the bellows plate 16 and the bellows 28 are made of an appropriate metal. .
【００１２】弁体２３における弁座１４との対向面に
は、シールリング３１を取付けるための環状の取付溝３
０が形成されている。図２に詳細を示す取付溝３０は、
内周が円筒面３０ａとされ、外周は開口側が縮径するテ
ーパ面３０ｂとされており、開口の幅Ｗ1 は、Ｏリング
で形成した上記シールリング３１の線径ｄの９２．５〜
９５％とされている。また、取付溝３０の幅及び深さ
は、取付溝３０に挿入されたシールリング３１が、取付
溝３０内において径方向及び軸方向に僅かに移動可能な
大きさとされている。上記円筒面３０ａの外径は、弁座
１４とシールリング３１の内径より若干小径で、かつ弁
座１４側に向けて延長されており、その突出長さは、取
付溝３０に取付けられたシールリング３１の取付溝から
の突出量より若干短くされている。また、円筒面３０ａ
のテーパ面３０ｂの先端とほぼ対向する箇所に、テーパ
面側に向けて開口するリング溝３２が形成されており、
該リング溝３２に、切欠部によって欠円状とされた金属
製の固定リング３３が取付けられる。An annular mounting groove 3 for mounting a seal ring 31 is formed on the surface of the valve body 23 facing the valve seat 14.
0 is formed. The mounting groove 30 shown in detail in FIG.
The inner periphery is a cylindrical surface 30a, the outer peripheral is a tapered surface 30b which open side is reduced in diameter, the width W 1 of the opening, 92.5～ the wire diameter d of the seal ring 31 formed by the O-ring
It is said to be 95%. The width and depth of the mounting groove 30 are set such that the seal ring 31 inserted into the mounting groove 30 can be slightly moved in the mounting groove 30 in the radial direction and the axial direction. The outer diameter of the cylindrical surface 30a is slightly smaller than the inner diameters of the valve seat 14 and the seal ring 31 and extends toward the valve seat 14 side, and the protruding length thereof is the seal attached to the mounting groove 30. It is slightly shorter than the amount of protrusion of the ring 31 from the mounting groove. Also, the cylindrical surface 30a
A ring groove 32 opening toward the tapered surface side is formed at a position substantially opposite to the tip of the tapered surface 30b.
Into the ring groove 32, a metal fixing ring 33, which has a cutout shape by a notch, is attached.
【００１３】上記第１実施例は、取付溝３０にシールリ
ング３１を徐々に押し込むことによって、治具を使用す
ることなく取付溝３０にシールリング３１が挿入され
る。この場合、取付溝３０の開口幅Ｗ1 が公知の取付溝
３０の開口幅Ｗに比べて広いので、押し込みによるシー
ルリング３１の捩じれは殆ど生じない。また、捩じれが
生じても、取付溝３０に単に挿入された状態では、シー
ルリング３１が取付溝３０内において僅かに移動できる
ので、捩じれを戻すことができる。次いで、リング溝３
２に固定リング３３を取付けると、該固定リング３３に
よりシールリング３１が放射方向及び軸方向に押圧され
て、取付溝３０のテーパ面３０ｂと底面３０ｃとに圧接
される。したがって、シールリング３１は、固定リング
３３による押圧部及び取付溝３０のテーパ面３０ｂと底
面３０ｃへの圧接部との３点において、取付溝３０に強
固にかつ気密に取付けられ、外周面の一部が取付溝３０
から弁座１４に向いて突出する。In the first embodiment, the seal ring 31 is gradually pushed into the mounting groove 30 so that the seal ring 31 is inserted into the mounting groove 30 without using a jig. In this case, since the opening width W 1 of the mounting groove 30 is wider than the opening width W of the known mounting groove 30, the seal ring 31 is hardly twisted by being pushed. Further, even if twisting occurs, the seal ring 31 can be slightly moved in the mounting groove 30 when it is simply inserted into the mounting groove 30, so that the twisting can be returned. Then, ring groove 3
When the fixing ring 33 is attached to 2, the sealing ring 31 is pressed by the fixing ring 33 in the radial direction and the axial direction, and is brought into pressure contact with the tapered surface 30b and the bottom surface 30c of the mounting groove 30. Therefore, the seal ring 31 is firmly and airtightly attached to the attachment groove 30 at three points, that is, the pressing portion by the fixing ring 33 and the taper surface 30b of the attachment groove 30 and the pressure contact portion to the bottom surface 30c, and one of the outer peripheral surface. Part is mounting groove 30
To project toward the valve seat 14.
【００１４】この場合、固定リング３３のリング溝３２
への取付けによって、シールリング３１に取付溝３０の
シールに必要な潰し代が与えられることは、勿論であ
る。また、円筒面３０ａの弁座１４側への突出長さが、
取付溝３０に取付けられたシールリング３１の取付溝３
０からの突出高さより短いので、円筒面３０ａの突出長
さが、バルブのコンダクタンス（流量特性）に影響を及
ぼすことはない。In this case, the ring groove 32 of the fixed ring 33
It goes without saying that the seal ring 31 is provided with a squeeze margin necessary for sealing the mounting groove 30 by mounting the seal ring 31 on the seal ring 31. In addition, the protruding length of the cylindrical surface 30a toward the valve seat 14 is
Mounting groove 3 of the seal ring 31 mounted in the mounting groove 30
Since it is shorter than the protrusion height from 0, the protrusion length of the cylindrical surface 30a does not affect the conductance (flow rate characteristic) of the valve.
【００１５】シールリング３１が破損しまたは傷付いた
場合には、固定リング３３をリング溝３２から取り外す
と、シールリング３１を取付溝３０から取り出すことが
できるので、ユーザーが現場において交換することがで
きる。したがって、シールリング３１の取付溝３０への
挿脱が容易で、しかもシールリング３１を捩じれること
なく強固に取付溝３０に保持することができる。If the seal ring 31 is damaged or scratched, the fixing ring 33 can be removed from the ring groove 32 so that the seal ring 31 can be taken out from the mounting groove 30, so that the user can replace it on site. it can. Therefore, the seal ring 31 can be easily inserted into and removed from the mounting groove 30, and the seal ring 31 can be firmly held in the mounting groove 30 without being twisted.
【００１６】上記第１実施例は、ポート１２を真空チャ
ンバにポート１３を真空ポンプ等の真空源（真空チャン
バ及び真空ポンプは、いずれも図示省略）に接続されて
使用される。ポート２７から圧力室２６に圧縮空気を供
給すると、ピストン２１及び弁体２３が図において上動
するので、シールリング３１が弁座１４を開放してポー
ト１２と１３間の流路が連通し、圧力室２６の圧縮空気
を外部に排出すると、復帰ばね２５の付勢力により弁体
２３とピストン２１が復帰して、シールリング３１が弁
座１４を閉鎖する。この場合、弁座１４の内径が円筒面
３０ａの内径より僅かに大きいので、シールリング３１
を押し潰すことができる。The first embodiment is used by connecting the port 12 to a vacuum chamber and the port 13 to a vacuum source such as a vacuum pump (both the vacuum chamber and the vacuum pump are not shown). When compressed air is supplied from the port 27 to the pressure chamber 26, the piston 21 and the valve body 23 move upward in the figure, so that the seal ring 31 opens the valve seat 14 and the flow path between the ports 12 and 13 communicates with each other. When the compressed air in the pressure chamber 26 is discharged to the outside, the valve element 23 and the piston 21 are returned by the urging force of the return spring 25, and the seal ring 31 closes the valve seat 14. In this case, since the inner diameter of the valve seat 14 is slightly larger than the inner diameter of the cylindrical surface 30a, the seal ring 31
Can be crushed.
【００１７】図３は本発明の第２実施例を示し、第２実
施例の弁体３６に設けた環状の取付溝３７は、内外両面
が円筒面３７ａ，３７ａとして形成され、取付溝３７の
開口幅Ｗ2 は、シールリング３１の線径ｄより僅かに大
きくされている。また各円筒面３７ａの開口近くには、
対向して開口するリング溝３８，３８が形成されてい
る。第２実施例は、取付溝３７にリールリング３１を徐
々に押し込んだ後、リング溝３８，３８に固定リング３
３，３３を取付けると、これらの固定リングによりシー
ルリング３１が該リングの中心方向及び軸方向に押圧さ
れて、取付溝３７の底面３７ｂに圧接されるので、固定
リング３３，３３による押圧面及び取付溝３７の底面３
７ｂとの３点によって、シールリング３１を取付溝３７
に強固にかつ気密に取付けることができる。第２実施例
の他の構成及び作用は第１実施例と同じであるから、説
明は省略する。FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention. The annular mounting groove 37 provided in the valve body 36 of the second embodiment has inner and outer surfaces formed as cylindrical surfaces 37a and 37a, respectively. The opening width W 2 is slightly larger than the wire diameter d of the seal ring 31. Also, near the opening of each cylindrical surface 37a,
Ring grooves 38, 38 are formed so as to face each other and open. In the second embodiment, after the reel ring 31 is gradually pushed into the mounting groove 37, the fixing ring 3 is inserted into the ring grooves 38 and 38.
When the fixing rings 33 and 33 are attached, the seal ring 31 is pressed by the fixing rings in the center direction and the axial direction of the ring and is pressed against the bottom surface 37b of the mounting groove 37. Bottom 3 of mounting groove 37
7b, the seal ring 31 is attached to the mounting groove 37 by three points.
Can be firmly and airtightly attached to. Since the other structure and operation of the second embodiment are the same as those of the first embodiment, the description thereof will be omitted.
【図１】第１実施例の縦断面図である。FIG. 1 is a vertical sectional view of a first embodiment.
【図２】同じく要部の拡大断面図である。FIG. 2 is likewise an enlarged cross-sectional view of a main part.
【図３】第２実施例の要部の拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged sectional view of a main part of a second embodiment.
【図４】公知のシールリングの取付け機構を示す拡大断
面図である。FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view showing a known seal ring mounting mechanism.
１２，１３ ポート １４ 弁座 ２３，３６ 弁体 ３０，３７ 取付
溝 ３０ａ，３７ａ 円筒面 ３０ｂ テーパ面 ３０ｃ，３７ｂ 底面 ３１ シールリ
ング ３２，３８ リング溝 ３３ 固定リン
グ12, 13 Port 14 Valve seat 23, 36 Valve body 30, 37 Mounting groove 30a, 37a Cylindrical surface 30b Tapered surface 30c, 37b Bottom surface 31 Seal ring 32, 38 Ring groove 33 Fixed ring
Claims (3)
せる流路中の弁座と、該弁座を開閉する弁体とを備え、
該弁体の弁座との対向面に設けた環状の取付溝に上記弁
座をシールするシールリングを取付けた高真空圧バルブ
において、 上記取付溝を、該取付溝内において上記シールリングが
僅かに移動可能な大きさとするとともに、開口近くの側
壁の少なくとも一方に、対向する側壁に向いて開口する
リング溝を設け、 上記取付溝に挿入されたシールリングを、上記リング溝
に装着した固定リングによって取付溝の壁面に圧接させ
た、ことを特徴とする高真空圧バルブにおけるシールリ
ングの取付け機構。1. A plurality of ports, a valve seat in a flow path for communicating these ports, and a valve body for opening and closing the valve seat,
In a high vacuum pressure valve in which a seal ring for sealing the valve seat is mounted in an annular mounting groove provided on a surface of the valve body facing the valve seat, the mounting groove is formed in the mounting groove and the seal ring is slightly And a ring groove that opens toward the opposing side wall on at least one of the side walls near the opening, and the seal ring inserted into the mounting groove is attached to the ring groove. A seal ring mounting mechanism in a high vacuum pressure valve, wherein the seal ring is pressed against the wall surface of the mounting groove.
るテーパ面とするとともに、上記円筒面にリング溝を設
け、 上記取付溝に挿入されたシールリングを、上記リング溝
に装着した固定リングによって取付溝のテーパ面と底面
とに圧接させた、ことを特徴とする請求項１に記載した
高真空圧バルブにおけるシールリングの取付け機構。2. A side wall of the mounting groove is formed into a tapered surface having a cylindrical surface and an opening side having a reduced diameter, and a ring groove is provided on the cylindrical surface, and a seal ring inserted into the mounting groove is mounted on the ring groove. 2. The seal ring mounting mechanism in a high vacuum pressure valve according to claim 1, wherein the fixing ring presses the tapered surface and the bottom surface of the mounting groove.
これらの円筒面に、対向する側壁に向いて開口するリン
グ溝をそれぞれ設け、 上記取付溝に挿入されたシールリングを、上記リング溝
にそれぞれ装着した固定リングによって取付溝の底面に
圧接させた、ことを特徴とする請求項１に記載した高真
空圧バルブにおけるシールリングの取付け機構。3. The both side walls of the mounting groove are cylindrical surfaces, and
These cylindrical surfaces are provided with ring grooves that open toward the opposite side walls, and the seal rings inserted into the mounting grooves are pressed against the bottom surface of the mounting grooves by the fixing rings that are mounted in the ring grooves, respectively. The seal ring mounting mechanism in a high vacuum pressure valve according to claim 1, wherein:
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP27704794A JP3574688B2 (en) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | Mounting mechanism of seal ring in high vacuum pressure valve |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP27704794A JP3574688B2 (en) | 1994-10-17 | 1994-10-17 | Mounting mechanism of seal ring in high vacuum pressure valve |
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| JPH08114271A true JPH08114271A (en) | 1996-05-07 |
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1994
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