KR19980069637A - 반도체 가스공급설비의 전자식 스프링쿨러 구동시스템 - Google Patents

Abstract

스프링쿨러를 전자제어하여 화재시에 정확하고 정밀하게 작동하도록 하는 반도체 가스공급설비의 전자식 스프링쿨러 구동시스템에 관한 것이다.

본 발명은 화재시 이를 감지하여 소화수단을 동작시키기 위한 스프링쿨러 구동시스템에 있어서, 화재시 열, 연기, 불꽃을 감지하기 위한 화재센서와 상기 센서로부터 출력된 신호를 받아 화재진압을 위한 전자식 스프링쿨러를 동작시키는 제어부로 구성됨을 하는 특징으로 한다.

따라서 장치의 노후화에 따른 오동작을 방지하고 정확한 화재경보와 소화를 가능하게 하며 열, 연기, 불꽃을 식별하는 화재센서를 구비하여 보다 정밀한 화재경보와 신속한 조기진화를 할 수 있는 효과를 갖는다.

Description

반도체 가스공급설비의 전자식 스프링쿨러 구동시스템

본 발명은 반도체 가스공급설비의 전자식 스프링쿨러 구동시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자식 스프링쿨러를 전자제어하여 화재시에 정확하고 정밀하게 작동하도록 하는 반도체 가스공급설비의 전자식 스프링쿨러 구동시스템에 관한 것이다.

일반적으로 반도체공정은 실리콘 웨이퍼 상에 여러가지 화학반응을 유발하여 전기적 물성치가 다른 박막들을 형성하고 회로를 구성하는 일련의 과정들로 이루어진다.

이러한 반도체 공정에는 화학적 친화력이 높은 극히 민감한 반응가스들을 취급하게 되므로 반도체 공정이 이루어지는 반응챔버 내로 반응가스를 공급하는 가스공급설비는 정확한 공급기능과 더불어 가스의 유출을 막는 밀폐의 기능이 매우 중요하다.

또한, 대부분의 반도체 반응가스는 유출시에 인체에 치명적임은 물론이고 높은 가연성을 가지므로 가스공급설비에는 가스유출 경보기 외에 가스유출로 인한 화재를 진압하기 위하여 소화장치를 구비한다.

이러한 가스공급설비의 소화장치는 화재시에 물을 분사하여 살수하는 스프링쿨러가 구비된다. 스프링쿨러는 스프링쿨러와 화재를 감지하는 스프링쿨러 헤드와, 배관으로 구성되어 있다.

통상적인 반도체 가스공급설비의 스프링쿨러 구동시스템을 도1에 도시하였다.

도1에서와 같이 종래의 반도체 가스공급설비의 스프링쿨러 구동시스템은 화재발생시 화재를 진화하기 위해 스프링쿨러(10)를 구비하며 스프링쿨러(10)의 구동장치로써 열을 감지하도록 설계된 스프링쿨러 헤드(12)를 구비하며 스프링쿨러(10)에는 물을 공급하는 배관이 연결되어 있었다.

종래의 스프링쿨러(10)의 구동시스템를 설명하면 스프링쿨러 헤드(12)의 열감지밸브는 가연부를 가지며 가연부는 화재시 열이 발생하면 이를 감지하여 용해 또는 파열되고 이때 배관 속에 항시 가압되어 있는 물이 열감지밸브를 통해 방수되어 화재를 소화하게 되어 있었다.

도시하지 않았지만 화재경보기는 스프링쿨러(10)와는 별도로 실린더 캐비넷(14)의 내부에 설치되며 가스저장용기(16)나 가스공급라인에서 가연성가스의 누출로 인해 화재가 발생하면 연기를 감지하여 경보음이나 경광신호를 발생한다.

일반적으로 종래의 반도체 가스공급설비의 스프링쿨러 구동시스템은 스프링쿨러의 헤드가 기계장치이므로 장치의 노후화가 필연적으로 일어나며 이러한 문제 등으로 실제 화재가 발생했을 경우에 동작을 안하거나 화재가 발생하지 않았을 경우인데도 물을 분사하는 등의 오동작이 빈번했다.

때문에 오동작인 경우 부품을 교체하고 수리하는 비용은 물론이고 교체시간의 손실과 가스공급의 중단으로 작업정지 및 불량발생 등의 손실이 많았다.

더욱이 평상시에 스프링쿨러는 작동을 하지 않게 설계되어 있으므로 정상적인 작동을 일일이 점검할 수 없고 따라서 장치의 노후가 누적되어 정작 화재가 발생한 경우에 동작하지 않아 화재가 대형화되는 경우가 많다.

또한, 종래의 반도체 가스공급설비의 스프링쿨러 구동시스템은 화재가 서서히 진행할 경우에 열만을 감지하는 기계장치인 스프링쿨러 헤드로는 정밀한 화재식별이 불가능하여 화재의 조기진화가 어렵다는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 제어부가 화재센서의 신호를 받아 전자식 스프링쿨러를 전기적 신호로 제어하여 장치의 노후에 따른 오동작을 방지하고 정확한 화재경보와 소화가 가능한 반도체 가스공급설비의 전자식 스프링쿨러 구동시스템을 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 열, 연기, 불꽃을 식별하는 화재센서를 구비하여 보다 정밀한 다양한 화재경보와 신속한 조기진화가 가능한 반도체 가스공급설비의 전자식 스프링쿨러 구동시스템을 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 전자식 스프링쿨러에 전자밸브를 내장하여 기계적인 노후를 막고 스프링쿨러의 이상여부를 제어부에서 확인할 수 있도록 하는 반도체 가스공급설비의 전자식 스프링쿨러 구동시스템을 제공함에 있다.

도1은 종래의 반도체 가스공급설비의 스프링쿨러 구동시스템을 나타낸 개략도이다.

도2는 본 발명에 따른 반도체 가스공급설비의 전자식 스프링쿨러 구동시스템를 나타낸 개략도이다.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10: 스프링쿨러 12: 스프링쿨러 헤드

14, 24: 실린더 캐비넷 16, 26: 가스저장용기

20: 전자식 스프링쿨러 28: 화재센서

30: 제어부

상기의 목적은 화재시 이를 감지하여 소화수단을 동작시키기 위한 스프링쿨러 구동시스템에 있어서, 화재시 열, 연기, 불꽃을 감지하기 위한 화재센서와 상기 센서로부터 출력된 신호를 받아 화재진압을 위한 스프링쿨러 또는 분말소화기를 동작시키는 제어부로 구성됨을 하는 특징으로 하는 반도체 가스공급설비의 전자식 스프링쿨러 구동시스템에 의해 달성될 수 있다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명 한다.

도2는 본 발명에 따른 반도체 가스공급설비의 전자식 스프링쿨러 구동시스템의 바람직한 실시예를 나타낸 개략도이다.

도2를 참조하여 설명하면 가스공급설비는 가스를 공정챔버로 공급하기 위하여 고압의 가스를 저장하는 가스저장용기(26)와 가스저장용기(26)에서 공정챔버로 연결된 공급라인을 구비하고 상기 가스저장용기(26)를 보호하기 위해서 실린더 캐비넷(24)을 설치하며 또한 유출가스의 방지를 위해 실린더 캐비넷(24)내부에 가스유출 경보장치 등을 구비한다.

이러한 통상의 반도체 가스공급설비에서 본 발명의 전자식 스프링쿨러 구동시스템은 실린더 캐비넷(24)의 내부에 위치하는 화재센서(28)와 화재센서(28)로부터 신호를 받아 전자식 스프링쿨러(20)를 작동시키는 제어부(30)와 전자식 스프링쿨러(20)를 구비한다.

본 발명의 전자식 스프링쿨러 구동시스템의 작동을 설명하면 화재센서(28)는 화재에서 발생하는 열, 연기, 불꽃을 모두 감지하여 현재의 상태를 제어부(30)로 송신한다.

제어부(30)에서는 화재센서(28)로부터 송신된 신호를 수신하여 화재의 상태를 판단하고 모니터링하며 경보부저나 경광등을 작동한다. 또한 화재정도에 따라 자동 또는 수동으로 전자식 스프링쿨러(20)를 작동시킨다.

제어부(30)의 표시부 형태는 아날로그 및 디지탈, 모니터 등이 모두 가능하며 수동제어시에 제어부의 입력부는 버튼이나 스위치 또는 터치스크린 등을 이용하여 작업자의 편의를 도모한다.

전자식 스프링쿨러(20)는 전자신호로 개폐되는 전자밸브를 내장하고 제어부(30)로부터의 신호를 받아 전자밸브가 개방되면 고압으로 충진되어 있는 물이나 기타 분말의 소화약제가 분사된다.

또한 화재를 진화하면 제어부(30)가 자동 또는 수동으로 전자밸브를 밀폐하여 작동을 멈추게 된다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 반도체 가스공급장치의 전자식 스프링쿨러 구동시스템에 의하면 장치의 노후화에 따른 오동작을 방지하고 정확한 화재경보와 소화를 가능하게 한다.

또한, 열, 연기, 불꽃을 식별하는 화재센서를 구비하여 보다 정밀한 화재경보와 신속한 조기진화가 가능한 효과를 갖는다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (1)

1. 화재시 이를 감지하여 소화수단을 동작시키기 위한 스프링쿨러 구동시스템에 있어서,

   화재시 열, 연기, 불꽃을 감지하기 위한 화재센서와 상기 센서로부터 출력된 신호를 받아 화재진압을 위한 전자식 스프링쿨러를 동작시키는 제어부로 구성됨을 하는 특징으로 하는 반도체 가스공급설비의 스프링쿨러 구동시스템.