KR19980058599A - PCB transfer device for BGA semiconductor package back-end auto-inspection system - Google Patents
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Abstract
본 발명은 BGA 반도체패키지용 백 앤드 오토 인스팩션 시스템의 PCB 이송장치에 관한 것으로서, BGA 반도체패키지의 제조공정중 솔더볼(91)이 융착된 PCB(90)를 디플럭스장치(20)에서 디플럭스제거후 솔더볼(91)의 안착유무와 포지션과 볼 크기 등을 검사할 수 있는 인스팩션장치(40)가 구비된 인스팩션 시스템에 있어서,The present invention relates to a PCB transfer apparatus for a back-and-forth auto inspection system for a BGA semiconductor package, in which a PCB 90 to which a solder ball 91 is fused during a manufacturing process of a BGA semiconductor package is removed from a deflux apparatus 20 And an inspection device (40) for inspecting the presence or absence of the solder ball (91), the position and the ball size, and the like,
상기 인스팩션장치(40)의 테이블(T) 상부 좌우측에 모터(43)의 구동에 의해 회동하는 리드스크류(44)와 ;A lead screw 44 which is rotated by driving the motor 43 to the right and left above the table T of the inspection device 40;
상기 리드스크류(44)의 회전으로 좌우 이송하여 PCB(90)를 이송시키는 이송구(42)와 ;A feed opening (42) for feeding the PCB (90) in the left and right directions by the rotation of the lead screw (44);
상기 이송구(42)의 전후단 상부에 실린더(42B)의 작동으로 좌우 확장 및 축소되어 PCB(90)의 길이방향 양단을 고정시키는 고정구(42A)와 ;A fixture 42A which is extended and contracted left and right by the operation of the cylinder 42B to fix both longitudinal ends of the PCB 90 to the upper and rear ends of the transporting port 42;
을 포함하는 공급부에 공급된 PCB를 검사영역에 공급시키고 검사완료된 PCB를 배출부로 이송시킴에 따라 PCB의 솔더볼 검사의 작업을 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.The PCB is supplied to the inspection area and the inspected PCB is transferred to the discharge part, so that it is possible to facilitate the solder ball inspection of the PCB.
Description
본 발명은 BGA 반도체패키지용 백 앤드 오토 인스팩션 시스템의 PCB 이송장치에 관한 것으로서, 특히 솔더볼이 융착된 BGA 반도체패키지의 PCB의 솔더볼 이상 유무를 검사할 수 있는 인스팩션장치의 테이블에 공급되어진 PCB를 이송시킬 수 있게 한 BGA 반도체패키지용 백 앤드 오토 인스팩션 시스템의 PCB 이송장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a PCB transfer apparatus for a back-and-auto inspection system for a BGA semiconductor package, and more particularly, to a PCB transfer apparatus for a BGA semiconductor package in which a solder ball is fused, And more particularly, to a PCB transfer apparatus for a back-and-forth auto inspection system for a BGA semiconductor package.
일반적으로 최근의 전자기기는 소형화, 박형화, 다기능화에 따라 많은 양의 정보를 빠른 시간에 처리할 수 있는 고집적화된 반도체칩이 요구되고 그에 따라 많은 수의 입출력을 갖는 소형의 반도체패키지를 제조하는데 많은 노력을 쏟고 있다.In recent years, in recent electronic devices, a highly integrated semiconductor chip capable of processing a large amount of information in a short period of time in accordance with miniaturization, thinning, and multifunction is required, and accordingly, a large number of input / We are working hard.
따라서, 리드피치(Lead Pitch)가 0.3mm 이하의 가공기술을 극복하지 못한 채 연구만을 거듭하던 중 리드 대신 볼(Ball)을 이용하는 BGA(Bal Grid Array) 기술이 출현하여 하나의 패키지를 통해 무수히 많은 출력단자를 실장토록 하는데 성공을 거두었다.Therefore, while studying only the lead pitch less than 0.3mm, we have been studying only BGA (Ball Grid Array) technology using ball instead of lead, It has succeeded in mounting the output terminal.
이러한 BGA 반도체패키지는 파인피치 표면실장 기술(FPT)과 핀그리드어레이(Pin Grid Array)의 고집적화 한계에 대한 기능과 품질을 보완하기 위해 개발되었고, 이 BGA 반도체 기술을 고집적화된 리드(Lead)의 손상을 방지하고, 부피의 크기를 최소화하며, 전기적 기능특성과 열적특성을 보유하며, 패키지의 수율과 기판조립 수율과 그의 멀티칩 모듈의 확장과 신속한 디자인에서 생산까지의 사이클을 최소화 할 수 있는 장점을 가지고 있다.These BGA semiconductor packages have been developed to complement the functionality and quality of the high integration limitations of fine pitch surface mount technology (FPT) and pin grid arrays, and this BGA semiconductor technology has been used in high- Minimizes volume, has electrical and thermal characteristics, and has the advantage of minimizing the cycle time from design to production by expanding the package yield and substrate assembly yield and its multichip module. Have.
또한, 고집적화된 BGA 반도패키지의 품질신뢰도 향상에 따른 이용의 다양성과 초소형으로 요구되는 각종 전자주변기계에 적용이 용이하고, 가격 경쟁력이 높아 고 부가가치의 제품을 얻을 수 있는 것이다.In addition, it is possible to obtain a high value-added product because it is easy to apply to a variety of electronic peripheral machines required in a very small size and high in cost competitiveness because of the diversity of utilization due to the improvement of the quality reliability of the highly integrated BGA semiconductor package.
이러한 BGA 반도체패키지는 보다 많은 수의 고집적화된 회로를 갖기 위해 PCB상에 패턴과 반도체칩이 부착되는 탑재판이 구비되고, 반도체칩의 회로와 PCB의 패턴에는 와이어를 연결시켜 본딩하며, 기판의 금속층에는 볼을 융착고정시켜 반도체칩의 회로가 볼과 연결될 수 있게 하였다.Such a BGA semiconductor package is provided with a mounting board on which a pattern and a semiconductor chip are mounted on a PCB in order to have a larger number of highly integrated circuits, a wire is connected to a pattern of a circuit of the semiconductor chip and a PCB, So that the circuit of the semiconductor chip can be connected to the ball.
상기한 PCB는 내부에 플레인층(Plane Layer)이 구비되고, 플레인층의 외부에는 애폭시층이 구비되며, 애폭시층의 외부에는 시그널(Signal)층이 구비되고, 시그널층 외부에는 솔더마스크(Solder Mask)층이 구비되어 PCB가 얇은 박판으로 다층으로 구비될 수 있게 하였다.The PCB has a plane layer inside, a planar layer on the outside, a signal layer on the outside of the epoxy layer, and a solder mask on the outside of the signal layer. Solder Mask layer is provided so that the PCB can be provided as a thin layer with multiple layers.
이러한 PCB는 BGA 반도체패키지 제조공정중 크게 분리시켜 인라인 공정을 통해 다이 어태치(Die Attach)공정에서 반도체칩을 부착시킨후 와이어본딩(Wire Bonding) 공정에서 반도체칩과 패턴 사이에 와이어 본딩을 거친 다음 백 앤드 공정을 통해 반도체칩과 와이어의 외부 노출을 방지하고 내부의 회로적 구성부품과 기능적 특성을 보호하기 위해 성형공정에서 소정형태의 패키지를 성형시킨다.These PCBs are largely separated during the manufacturing process of BGA semiconductor packages. After attaching semiconductor chips in die attach process through in-line process, they are wire-bonded between semiconductor chip and pattern in wire bonding process. The back-end process is used to form a certain type of package in the molding process to prevent external exposure of semiconductor chips and wires and to protect internal circuit components and functional characteristics.
패키지성형이 완료된 PCB는 범핑공정에서 기판상에 형성된 랜드에 솔더볼을 안치시킨 후 온도가열에 의해 융착시킨후 디플럭스(Deflux)공정에서 플럭스를 제거한 다음 인스팩션(Inspection) 공정에서 솔더볼의 안착유무와 솔더볼 포지션과 솔더볼 크기와 플럭스 제거 상태를 검사하고, 인스팩션 공정에서 검사완료된 PCB는 싱귤레이션 공정을 거쳐 완성된 BGA 반도체패키지를 구할 수 있게 한 것이다.In the bump process, the solder ball is placed on a land formed on the PCB and the solder ball is fused by the temperature heating. Then, the flux is removed in the deflux process, and the presence or absence of the solder ball in the inspection process The solder ball position, solder ball size, and flux removal status are checked, and the inspected PCB in the inspection process can obtain the completed BGA semiconductor package through the singulation process.
이와 같은 과정을 거쳐 완성되는 BGA 반도체패키지의 인스팩션 장치에 대한 종래의 구조를 설명하면 도 8에서 보는 바와 같이 원자재인 PCB(90)가 다이어태치 공정(DAP)에서 반도체칩을 부착하고 성형공정(PMP)에서 패키지 성형이 완료시킨 다음 범핑공정(BPP)에서 솔더볼을 안착시킨 후 PCB(90)에 구비된 솔더볼의 안착상태와 포지션과 크기를 검사할 수 있도록 인스팩션장치(40)가 구비된다.As shown in FIG. 8, the conventional structure of the inspecting device of the BGA semiconductor package completed through the above process is as follows. The PCB 90, which is a raw material, attaches the semiconductor chip to the die attach process (DAP) PMP), and then the solder ball is mounted on the PCB 90 in the bumping process (BPP), and then the solder ball mounted on the PCB 90, the position and the size of the solder ball can be inspected.
상기 인스팩션장치(40)에는 디플럭스장치(20)측으로 다수의 PCB(90)가 카세트에 적재된 공급부(40A)를 구비하고, 공급부(40A)의 타측인 싱귤레이션장치(60)측에는 검사완료된 낱개의 PCB(90)가 카세트에 적재되는 배출부(40B)를 구비한다.The inspecting apparatus 40 is provided with a supply unit 40A in which a plurality of PCBs 90 are mounted on the cassette in the side of the deflux apparatus 20 and the side of the singulation apparatus 60 on the other side of the supply unit 40A is inspected And a discharge portion 40B on which a single PCB 90 is mounted on the cassette.
이러한 인스팩션장치(40)는 BGA 반도체패키지의 제조공정중 디게이팅장치(20)와 싱귤레이션장치(60) 사이에 검사공정이 시행될 수 있도록 별도의 독립된 장치로 구비된 것이다.The inspecting device 40 is provided as a separate device so that the inspecting process can be performed between the degating device 20 and the singulating device 60 during the manufacturing process of the BGA semiconductor package.
이와 같이 된 인스팩션장치(40)를 디플럭스장치(20)에서 PCB(90)의 랜드에 솔더볼(91)을 융착고정시킨 상태에서 플럭스를 제거시킨 후 카세트에 PCB(90)를 순차적으로 적재시킨 다음 공급부(40A)에 카세트를 작업자가 수작업으로 공급셋팅시킨다.After the solder ball 91 is fused and fixed to the land of the PCB 90 in the defusing device 20, the flux is removed and the PCB 90 is sequentially stacked on the cassette An operator manually supplies the cassette to the next feeding section 40A.
공급부(40A)에 공급셋팅된 카세트의 PCB(90)는 플로어부(40C)의 그립장치 PCB를 잡아서 플로어부에 안치시키는 장치의 작동으로 플로어부(40C)의 상부면에 낱개의 PCB(90)를 안치시킨다.The PCB 90 of the cassette supplied to the supply section 40A is moved by the operation of the apparatus for holding the grip device PCB of the floor section 40C and placing the grip device PCB on the floor section, .
이때 플로어부(40C)에 안치되는 PCB(90)는 솔더볼(91)이 융착된 면이 상부에 위치하도록 한 상태에서 그립장치의 동작으로 비젼(45) 하부에 검사하고자 하는 PCB(90)를 공급셋팅시킨다.The PCB 90 to be inspected is supplied to the lower portion of the vision 45 by the operation of the grip device in a state where the surface of the PCB 90 placed on the floor portion 40C is positioned above the solder ball 91, Set it.
이렇게 비젼(45) 하부에 PCB(90)가 셋팅되면 비젼(45)의 작동으로 솔더볼(91)의 안착유무 확인과 융착된 솔더볼(91)의 포지션 확인과 솔더볼(91)의 크기등의 검사를 시행한 후 양품과 불량을 확인한 다음 검사완료 한다.When the PCB 90 is set below the vision 45, the operation of the vision 45 confirms whether or not the solder ball 91 is seated, checks the position of the solder ball 91 and checks the size of the solder ball 91 After the test, check for good products and defects, and then complete the inspection.
비젼(45)에서 검사가 완료된 PCB(90)는 플로어부(40C)를 따라 배출부(40B)로 이동되어 이에 구비된 카세트에 순차적으로 적재시킨 다음 작업자가 수작업으로 싱귤레이션장치(60)로 공급시켜 소정형태의 완성된 BGA 반도체패키지를 얻도록 한 것이다.The PCB 90 having been inspected in the vision 45 is moved to the discharge unit 40B along the floor unit 40C and sequentially loaded on the cassette provided therein and then manually supplied to the singulation apparatus 60 To obtain a finished BGA semiconductor package of a predetermined type.
그러나, 상기한 인스팩션장치(40)는 BGA 반도체패키지의 제조공정중 범펑장치에서 솔더볼(91)의 융착고정후 디플럭스장치(20)에서 디플럭스 작업을 거쳐 검사를 시행할 때 작업자가 수작업으로 인스팩션장치(40)의 공급부(40A)에 공급된 PCB(90)를 검사위치로 그립퍼가 공급시키고, 검사가 완료된 PCB(90)는 그립퍼가 배출부(40B)에 구비된 카세트에 적재시킨 더욱 싱귤레이션장치(60)로 수작업을 이용하여 배출될 수 있게 하므로서 BGA 반도체패키지의 작업성을 저하시키는 요인이 되었다.However, when inspecting the defect inspection apparatus 40 through the defluxing process in the deflux apparatus 20 after the solder ball 91 is fused and fixed in the Bump device during the manufacturing process of the BGA semiconductor package, the inspector 40 may manually The gripper feeds the PCB 90 supplied to the supply unit 40A of the inspiration apparatus 40 to the inspection position and the PCB 90 having been inspected is loaded on the cassette provided in the discharge unit 40B And can be discharged manually by the singulation apparatus 60, which is a cause of deteriorating the workability of the BGA semiconductor package.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 솔더볼이 융착된 BGA 반도체패키지의 PCB의 솔더볼 이상유무를 검사할 수 있는 인스팩션장치의 테이블의 공급부에 공급되어진 PCB를 순차적으로 검사영역으로 공급시키고, 검사완료된 PCB는 싱귤레이션장치로 공급될 수 있도록 배출부로 이송시킬 수 있게 하여 검사작업성을 용이하게 한 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a BGA semiconductor package in which solder balls are soldered, And the inspected PCB can be transferred to the discharge unit so as to be supplied to the singulation apparatus, thereby facilitating inspection workability.
도 1은 본 발명의 인스팩션 시스템의 전체 정면구성도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an overall frontal view of an inventive inspection system. FIG.
도 2는 본 발명의 인스팩션 시스템의 전체 평면구성도.2 is an overall plan structural view of an inspection system of the present invention;
도 3은 본 발명의 인스팩션 시스템을 이용한 BGA 반도체패키지의 제조공정도.3 is a view showing a manufacturing process of a BGA semiconductor package using the inspection system of the present invention.
도 4는 본 발명의 BGA 반도체패키지의 PCB 구조도.4 is a PCB structural view of the BGA semiconductor package of the present invention.
도 5는 본 발명의 설치상태 정면도.5 is a front view of the installation state of the present invention.
도 6은 본 발명의 설치상태 평면도.6 is a plan view of the installation state of the present invention.
도 7은 본 발명의 작동상태 평면도.7 is an operating state plan view of the present invention;
도 8은 종래의 구성도.8 is a block diagram showing a conventional configuration.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS
10 : 인스팩션시스템, 20 : 디플럭스장치, 30 : PCB공급장치, 40 : 인스팩션장치, 42 : 이송구, 43 : 모터, 44 : 리드스크류, 42A : 고정구, 90 : PCBThe present invention relates to an inspecting apparatus for inspecting PCBs and a printed circuit board (PCB)
이하 본 발명의 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail.
BGA 반도체패키지의 제조공정중 소더볼(91)이 융착된 PCB(90)를 디플럭스장치(20)에서 디플럭스제거후 솔더볼(91)의 안착유무와 포지션과 볼 크기 등을 검사할 수 있는 인스팩션장치(40)가 구비된 인스팩션 시스템에 있어서,The solder ball 91 is mounted on the printed circuit board 90 after the deflections are removed from the PCB 90 to which the solder balls 91 are fused in the BGA semiconductor package manufacturing process, In an inspection system equipped with a faction apparatus 40,
상기 인스팩션장치(40)이 테이블(T) 상부 좌우측에 모터(43)의 구동에 의해 회동하는 리드스크류(44)와 ;A lead screw 44 which is pivoted by driving the motor 43 to the left and right sides of the table T above the inspecting apparatus 40;
상기 리드스크류(44)의 회전으로 좌우 이송하여 PCB(90)를 이송시키는 이송구(42)와 ;A feed opening (42) for feeding the PCB (90) in the left and right directions by the rotation of the lead screw (44);
상기 이송구(42)의 전후단 상부에 실린더(42B)의 작동으로 좌우 확장 및 축소되어 PCB(90)의 길이방향 양단을 고정시키는 고정구(42A)와 ;A fixture 42A which is extended and contracted left and right by the operation of the cylinder 42B to fix both longitudinal ends of the PCB 90 to the upper and rear ends of the transporting port 42;
을 포함하는 것이다..
이와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예를 첨부도에 의하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 인스팩션 시스템의 전체 구성도이고, 도 2는 본 발명의 평면도로서, 일측에 범핑장치에서 솔더볼(91)이 융착된 PCB(90)의 플럭스를 제거하기 위한 디플럭스장치(20)를 구비하고, 디플럭스장치(20)와 타측의 싱귤레이션장치(60) 사이에는 PCB(90)에 융착된 솔더볼(91)을 검사하는 인스팩션 시스템(10)이 구비된다.2 is a plan view of the present invention. FIG. 2 is a plan view of a deflux device for removing flux of a PCB 90 to which a solder ball 91 is fused in a bumping device And an inspection system 10 for inspecting a solder ball 91 fused to the PCB 90 is provided between the deflux apparatus 20 and the other side singulation apparatus 60. The solder ball 91 is mounted on the PCB 90,
상기 인스팩션 시스템(10)은 디플럭스장치(20)의 타측으로 PCB(90)의 이송시키는 PCB 공급장치(30)와 PCB(90)의 검사를 시행하는 인스팩션장치(40)와 검사완료된 PCB(90)를 싱귤레이션장치(60)로 이송시키는 PCB 배출장치(50)구비하여 인스팩션 시스템(10)이 백 앤드 공정에서 일체화 된 상태로 구비된 것이다.The inspection system 10 includes an inspection device 40 for inspecting a PCB supply device 30 and a PCB 90 for transferring the PCB 90 to the other side of the deflux device 20, And a PCB discharging device 50 for transporting the inspection system 90 to the singulation apparatus 60 so that the inspection system 10 is integrated in the back-end process.
상기한 인스팩션 시스템(10)에는 디플럭스장치(20)의 선단에 PCB(90)를 제 1 이송장치(30)로 공급시키는 배출구(21)를 구비하고 배출구(21)의 타측에는 PCB 공급장치(30)의 베이스(30A)에 PCB(90)가 정렬될 수 있도록 안내하는 가이드(31)를 구비하며, 베이스(30A)의 후방 소정위치에는 회동축(33)에서 상하 및 좌우측의 자유방향으로 단단 굴절하는 로보트A(32)를 구비한다.The inspecting system 10 is provided with a discharge port 21 for supplying the PCB 90 to the first transfer device 30 at the tip of the deflux device 20, And a guide 31 for guiding the PCB 90 so that the PCB 90 is aligned with the base 30A of the base 30. The base 30A is provided at a predetermined position rearward with respect to the rotational axis 33 in the free, And a robot A (32) for short-end refraction.
상기 로보트A(32)에 선단에는 가이드(31)에 공급된 PCB(90)을 잡을 수 있는 그립퍼A(34)를 구비한다.The robot A (32) is provided with a gripper A (34) capable of holding the PCB (90) supplied to the guide (31) at its tip end.
상기 그립퍼A(34)는 가이드(31)에 공급되는 PCB(90)의 크기 종류에 대하여 2가지의 크기를 가진 PCB(90)를 그립할 수 있도록 상하측에 각기 크기가 다른 고정홈(35)을 구비한다.The gripper A 34 has fixing grooves 35 having different sizes on the upper and lower sides so as to grip the PCB 90 having two sizes with respect to the size of the PCB 90 supplied to the guide 31. [ Respectively.
이러한 PCB 공급장치(30)의 타측에 구비된 인스팩션장치(40)에는 테이블(T)의 좌우 길이방향으로 플로어부(40C)를 구비하고, 플로어부(40C)에는 레일(41)을 구비하며, 레일(41)에는 PCB 공급장치(30) 측에서 공급된 PCB(90)가 공급부(40A)에 공급된 상태에서 검사할 수 있는 위치로 이동시키는 동시에 검사완료된 PCB(90)를 배출부(40B)측으로 이송시킬 수 있는 이송구(42)를 구비한다.The inspection unit 40 provided on the other side of the PCB feeder 30 is provided with the floor portion 40C in the left and right longitudinal direction of the table T and the rail portion 41 is provided on the floor portion 40C The PCB 40 supplied from the PCB feeder 30 side is moved to a position where it can be inspected in a state where the PCB 90 supplied from the PCB 40 is supplied to the rail 41, (Not shown).
상기한 이송구(42)는 도 5 및 도 6에서 보는 바와 같이 모터(43)의 구동에 의해 회전하는 리드스크류(44)를 길이방향으로 설치하고, 리드스크류(44)에는 이송구(42)이 구비하며, 이송구(42)의 전후단 상부에는 실린더(42B)의 작동으로 좌우확장 및 축소되는 고정구(42A)를 구비하고, 테이블(T)의 상부에는 PCB(90)를 검사하는 비젼(45)를 구비한다.5 and 6, the feed screw 42 is provided with a lead screw 44 rotated in the longitudinal direction by the driving of the motor 43 and the feed screw 42 is connected to the lead screw 44, And a fixture 42A which is extended and contracted left and right by the operation of the cylinder 42B is provided on the upper and lower ends of the transfer opening 42. A vision 45).
인스팩션장치(40)의 타측에 구비된 PCB 배출장치(50)는 베이스(50A)의 상부에 상하 및 좌우측으로 다단굴절 작동을 하는 로보트B(51)를 구비하고, 로보트B(51)의 선단에는 회전실린더(54)와 검사완료된 PCB(90)를 그립하여 턴가이드(70)로 공급시키는 그립퍼B(63)를 구비하며, 턴가이드(70)는 PCB 배출장치(50)의 베이스(50A)에 구비하여 그립퍼B(53)에 의해 공급된 PCB(90)를 수직상태로 세운상태에서 고정시키는 고정구(71)가 실린더(72)에 작동할 수 있도록 구비된 것이다.The PCB discharging device 50 provided on the other side of the inspiration apparatus 40 is provided with a robot B 51 which performs a multi-stage refraction operation in the upper and lower and right and left directions on the upper part of the base 50A, And a gripper B 63 for gripping the rotating cylinder 54 and the inspected PCB 90 and supplying the rotated cylinder 54 to the turn guide 70. The turn guide 70 includes a base 50A of the PCB discharging device 50, And a fixture 71 for fixing the PCB 90 supplied by the gripper B 53 in a vertically standing state can be operated on the cylinder 72.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation of the present invention will be described.
도 3은 본 발명의 BGA 반도체패키지의 제조과정을 나타낸 공정도로서, 원자재인 PCB(90)가 제조공정중 크게 분류되는 인라인공정의 다이어태치공정(DAP)에서 반도체칩을 부착하고, 와이어본딩공정(WBP)에서 반도체칩과 PCB(90)의 회로사이에 와이어를 연결시킨다.FIG. 3 is a process diagram showing a manufacturing process of a BGA semiconductor package of the present invention. In FIG. 3, a semiconductor chip is attached in a DAP process of an in-line process in which a PCB 90, which is a raw material, WBP connects the wires between the semiconductor chip and the circuit of the PCB 90.
이렇게 와이어본딩이 완료된 PCB(90)는 백 앤드 공정으로 분류되는 성형공정(PMP)에서 반도체칩을 실장시키고 반도체칩 내부의 회로와 와이어 패턴을 보호하기 위해 패키지를 성형시키고, 범핑공정(BPP)에서 PCB(90)의 랜드에 소더볼(91)을 안착시킨 후 가열시켜 융착고정시키며, 디플럭스공정(DFP)에서 PCB(90)의 플럭스를 제거한 후 솔더볼(91)의 안착유무 상태를 검사하는 인스팩션공정(IP)을 시행하고, 인스팩션공정(IP)에서 검사완료된 굿자재(양품자재)는 싱귤레이션공(SP)에서는 PCB(90)의 싱귤레이션 영역을 컷팅시켜 단일의 BGA 반도체패키지를 구한 다음 각종 검사와 마킹 작업을 완료한 후 제조과정을 마친다.The PCB 90, which has been wire-bonded in this manner, is used for mounting a semiconductor chip in a molding process (PMP) classified as a back-end process, molding a package to protect circuits and wire patterns inside the semiconductor chip, The solder ball 91 is mounted on the land of the PCB 90 and heated and fused to fix the solder ball 91 on the land of the PCB 90. After the flux of the PCB 90 is removed in the DFP process, A single BGA semiconductor package is obtained by cutting the singulation area of the PCB 90 in the singulation hole SP by performing the faction process (IP) and inspecting the good material (good material) inspected in the inspection process (IP) After completing the following inspection and marking work, finish the manufacturing process.
이러한 공정을 거쳐 완성되는 BGA 반도체의 PCB(90)는 도 4와 같이 패키지 성형완료후 솔더볼(91)이 융착된 상태를 도시하였다.As shown in FIG. 4, the PCB 90 of the BGA semiconductor completed through such processes shows a state where the solder ball 91 is fused after completion of package molding.
이렇게 솔더볼(91)이 융착된 PCB(90)를 디플럭스공정(DFP)에서 디플럭스장치(20)를 이용하여 플럭스가 제거된 PCB(90)가 디플럭스장치(20)의 배출부에 구비된 배출구(21)을 따라 통과하면 PCB 공급장치(30)의 가이드(31)에 솔더볼(91)이 상측으로 위치한 상태로 정렬 공급된다.The PCB 90 on which the solder ball 91 is fused and the PCB 90 on which the flux is removed by using the deflux device 20 in the deflux process DFP is provided in the discharge portion of the deflux device 20 The solder ball 91 is aligned and supplied to the guide 31 of the PCB feeder 30 in a state where the solder ball 91 is positioned on the upper side.
가이드(31)에 PCB(90)가 정렬공급되면 로보트A(32)의 그립퍼A(34)가 하강하여 PCB(90)의 폭을 고정한 상태에서 상승한 다음 회동축(33)을 중심으로 인스팩션장치(40) 측으로 180°회전시킨다.When the PCB 90 is aligned and supplied to the guide 31, the gripper A 34 of the robot A 32 descends to ascend while fixing the width of the PCB 90, and then, And then rotated 180 degrees toward the rotating shaft 40 side.
이때 PCB(90)는 인스팩션장치(40)의 플로어부(40C)이 레일(41)에 구비된 공급부(40A)이 상부에 위치한 다음 그립퍼A(34)의 하강과 동시에 PCB(90)의 고정을 해제시키면 PCB(90)를 공급부(40A)에 안치되고, 로보트A(32)를 초기상태로 복귀하여 차후의 작업을 준비한다.The PCB 90 is positioned such that the floor portion 40C of the inspection device 40 is positioned at the upper portion of the supply portion 40A provided on the rail 41 and then the gripper A 34 is lowered The PCB 90 is placed on the supply unit 40A and the robot A 32 is returned to the initial state to prepare for the next operation.
인스팩션장치(40)의 공급부(40A)에 PCB(90)가 공급되면 플로어부(40C)의 구비된 모터(43)의 구동으로 리드스크류(44)가 회동하고, 리드스크류(44)의 회동에 의해 공급부(40A)측에 있는 PCB(90)의 길이방향 양단을 고정구(42A)가 고정시키며, 고정구(42A)가 PCB(90)를 고정시킨 상태에서 이송구(42)가 비젼(45)의 하부 중앙으로 이동하여 PCB(90)를 비젼(45)의 하부에 셋팅시킨다.When the PCB 90 is supplied to the supply unit 40A of the inspiration apparatus 40, the lead screw 44 is rotated by driving the motor 43 provided in the floor unit 40C and the lead screw 44 is rotated The fixture 42A fixes both longitudinal ends of the PCB 90 on the side of the supply portion 40A with the fixture 42A fixed to the PCB 45 while the fixture 42A fixes the PCB 90, So as to set the PCB 90 on the lower portion of the vision 45.
PCB(90)가 비젼(45)의 하부에 위치하여 셋팅되면 라이트(46)가 발광빛을 PCB(90)의 상부면에 조사시킨 후 비젼(45)이 프로그램 시스템에 의하여 솔더볼(91)의 안착유무와 포지션 위치와 크기등의 검사를 시행하여 양품과 불량을 선별한다.When the PCB 90 is set at the lower portion of the vision 45, the light 46 irradiates the light emitted from the upper surface of the PCB 90, and then the vision 45 is reflected by the seating of the solder ball 91 And the position and the size of the position.
이렇게 비젼(45)에서 선별이 완료된 PCB(90)는 이송구(42)에 의해 레일(41)의 배출부(40B)측으로 이송된다.In this way, the PCB 90 having been subjected to the selection in the vision 45 is transferred to the discharge portion 40B side of the rail 41 by the transfer opening 42.
배출부(40B)에 위치된 PCB(90)는 도 9 및 도 10에서 보는 바와 같이 PCB 배출장치(50)의 로보트B(51)에 구비된 그립퍼B(53)에 의해 고정되면 회전축(52)을 중심으로 턴가이드(70)에 공급시키고, 턴가이드(70)에 공급된 PCB(90)는 로보트B(51)에 의해 180°회전된 상태에서 PCB(90)의 솔더볼(91)이 하측에 위치한 상태로 싱귤레이션장치(60)으로 싱귤레이션 영역의 컷팅에 따른 BGA 반도체패키지를 구하도록 한 것이다.The PCB 90 positioned at the discharge portion 40B is fixed by the gripper B 53 provided on the robot B 51 of the PCB discharging device 50 as shown in FIGS. The PCB 90 supplied to the turn guide 70 is rotated 180 degrees by the robot B 51 and the solder ball 91 of the PCB 90 is moved downward The BGA semiconductor package according to the cutting of the singulation region is obtained by the singulation apparatus 60 in a state where the BGA semiconductor package is located.
이상에서와 같이 본 발명은 솔더볼이 융착된 BGA 반도체패키지의 PCB의 솔더볼 이상유무를 검사할 수 있는 인스팩션장치의 테이블의 공급부에 공급되어진 PCB를 순차적으로 검사영역으로 공급시키고, 검사완료된 PCB는 싱귤레이션장치로 공급될 수 있도록 배출부로 이송시킴에 따라 PCB의 솔더볼 검사의 작업을 용이하게 할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the PCBs supplied to the supply part of the table of the inspection device capable of checking the presence or absence of the solder balls on the PCB of the solder ball-bonded BGA semiconductor package are sequentially supplied to the inspection area, It is possible to facilitate the solder ball inspection operation of the PCB by transferring the PCB to the discharge unit so as to be supplied to the PCB.
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960077927A KR19980058599A (en) | 1996-12-30 | 1996-12-30 | PCB transfer device for BGA semiconductor package back-end auto-inspection system |
Applications Claiming Priority (1)
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KR1019960077927A KR19980058599A (en) | 1996-12-30 | 1996-12-30 | PCB transfer device for BGA semiconductor package back-end auto-inspection system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR19980058599A true KR19980058599A (en) | 1998-10-07 |
Family
ID=66396875
Family Applications (1)
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KR1019960077927A KR19980058599A (en) | 1996-12-30 | 1996-12-30 | PCB transfer device for BGA semiconductor package back-end auto-inspection system |
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KR (1) | KR19980058599A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100569911B1 (en) * | 1998-11-25 | 2006-04-10 | 시부야 코교 가부시키가이샤 | A mount inspecting apparatus |
-
1996
- 1996-12-30 KR KR1019960077927A patent/KR19980058599A/en not_active Application Discontinuation
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