KR19980056958U

KR19980056958U - 유량제어장치

Info

Publication number: KR19980056958U
Application number: KR2019970001051U
Authority: KR
Inventors: 김윤경
Original assignee: 문정환; 엘지반도체 주식회사
Priority date: 1997-01-27
Filing date: 1997-01-27
Publication date: 1998-10-15

Abstract

본 고안은 유입되는 가스의 총유량을 선택적으로 조절하는 유량조절장치에 관한 것으로, 종래의 유량조절장치는 유입되는 가스의 총유량을 변경하기 위해서는 그 유량조절장치 전체를 교환하거나, 다른 라인을 사용하여 그 사용효율이 감소함과 아울러 비용이 증가하는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 고안은 사용자가 유입되는 가스의 유량을 설정하는 설정부와; 전원을 인가하는 전원부와; 가스를 통과 시키는 가스관과; 사용자의 선택에 따라 유입되는 가스의 총유량을 결정하는 선택신호를 출력하는 선택부와; 상기 가스관의 내부에 위치하여 상기 선택부의 선택신호에 따라 개패되어 유입되는 가스의 최대값을 결정하는 다수의 밸브와; 상기 밸브의 후단에 위치하여 유입되는 가스를 통과시키는 우회부와; 상기 우회부를 통과하는 유량에 따른 온도의 변화를 측정하는 감지부와; 상기 감지부에서 감지된 온도에 따라 다른 출력값을 출력하고, 상기 감지부의 출력신호와 설정부의 출력신호를 비교하여 그 비교 결과에 따라 제어신호를 출력하는 비교 및 제어부와; 상기 비교 및 제어부의 제어신호에 따라 개패되어 유입되는 가스의 유량을 조절하는 조절밸브로 구성되어 용이하게 유입되는 가스의 총유량을 변경함으로써, 그 사용효율이 증가함과 아울러 비용을 절감하는 효과가 있다.

Description

유량제어장치

본 고안은 유량제어장치에 관한 것으로, 특히 우회부의 전단에 다수의 밸브를 구비하여 그 밸브의 개패를 통해 유입되는 가스의 최대 용량의 범위를 제어하는 유량제어장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 고정 또는 가스를 사용하는 일반제조업에서 유입되는 가스의 양을 용이하게 조절하는 것은 최상의 제품을 생산하는 데에 필수요소이며, 이와 같이 유입되는 가스의 양을 조절하는 종래의 유량제어장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 유량제어장치의 블록도로서, 이에 도시한 바와 같이 사용자가 유입되는 가스의 유량을 설정하는 설정부(6)와; 전원을 인가하는 전원부(7)와; 가스(GAS)를 통과 시키는 가스관(1)과; 상기 가스관(1)의 내부에 위치하여 유입되는 가스(GAS)의 최대치를 결정하는 우회부(2)와; 상기 우회부(2)를 통과하는 유량에 따른 온도의 변화를 측정하는 감지부(3)와; 상기 감지부(3)에서 감지된 온도에 따라 다른 출력값을 출력하는 브리지부(4)와; 상기 브리지부(4)의 출력신호를 증폭하는 증폭부(5)와; 상기 증폭부(5)의 출력신호를 인가받아 현재 유입되는 유량을 표시하는 표시부(8)와; 상기 증폭부(5)의 출력신호인 현재 유입되는 유량과 상기 설정부(6)의 출력신호인 설정유량을 비교하여 그 결과에 따른 제어신호를 출력하는 비교 및 제어부(9)와; 상기 비교 및 제어부(9)의 제어신호에 따라 개패되어 유입되는 가스의 유량을 조절하는 조절밸브(10)로 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 종래 유량제어장치의 동작을 설명한다.

먼저, 전원부(7)에서 전원이 인가되고, 사용자가 설정부(6)에 공정에 사용되는 최적의 유입가스의 유량을 설정한다.

그 다음, 특정한 가스(GAS)가 가스관에 유입되면 그 가스(GAS)는 우회부(2)를 통과하게 된다. 이때, 우회부(2)에 흐르는 유량에 따라 변화하는 온도의 값을 감지부(3)에서 감지하여 그에 따른 출력신호를 출력한다.

그 다음, 상기 감지부(3)의 출력신호를 인가받은 브리지부(4)는 상기 감지부(3)의 출력신호에 따라 다른 전압값을 출력한다.

그 다음, 상기 브리지부(4)의 출력신호를 인가받은 증폭부(5)는 그 브리지부(4)의 출력신호를 증폭하여 출력한다.

그 다음, 상기 증폭부(5)의 출력신호는 표시부(8)에 현재 측정된 유입되는 유량의 값으로 표시되며, 상기 증폭부(5)의 출력신호인 현재 유입되는 유량의 값과 상기 설정부(6)에 기 설정한 최적의 공정조건을 위한 가스의 유량을 입력받은 비교 및 제어부(9)는 입력되는 두 신호를 비교하여 그에 따른 제어신호를 출력한다.

그 다음, 상기 비교 및 제어부(9)의 제어신호를 인가받은 조절밸브(10)는 그 제어 신호에 따라 개패 동작을 하여 유입되는 가스(GAS)의 유량을 조절하게 된다. 즉, 유입되는 유량이 설정 유량보다 적은 경우 조절밸브(10)는 더 열리게 되고, 현재 유입되는 유량이 설정 유량보다 많은 경우 조절밸브(10)는 닫히게 되어 유입되는 가스(GAS)의 유량과 최적의 공정조건을 만족시키는 설정유량의 값이 같아지게 된다.

그러나, 상기와 같은 종래의 유량제어장치는 유입되는 가스의 최대값을 가스관 내에 구비된 우회부에 따라 결정되어 유입되는 가스의 최대값 이상의 가스가 요구되는 공정시에는 유량제어장치 전체를 교체해야 함으로써, 유량제어장치의 사용효율이 감소하고 시간과 비용이 증가하는 문제점이 있었다.

이와 같은 문제점을 감안한 본 고안은 공정에 사용되는 가스의 유량에 따라 가변적인 유압가스의 최대치를 설정하는 유량제어장치의 제공에 그 목적이 있다.

도 1은 종래 유량제어장치의 블록도.

도 2는 본 고안에 의한 유량제어장치의 블록도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 가스관2, 11, 12, 13 : 우회부

3 : 감지부6 : 설정부

7 : 전원부8 : 측정부

9 ; 비교 및 제어부10 : 조절밸브

VAL1∼VAL3 : 밸브GAS : 가스

상기와 같은 목적은 다수 우회부의 전단에 공정에서 사용되는 가스의 유량에 따라 개패가 가능한 다수의 밸브를 사용함으로써 달성되는 것으로 이와 같은 본 고안에 의한 유량제어장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 고안에 의한 유량제어장치의 블록도로서, 이에 도시한 바와 같이 사용자가 유입되는 가스의 유량을 설정하는 설정부(6)와; 전원을 인가하는 전원부(7)와; 가스(GAS)를 통과 시키는 가스관(1)과; 사용자의 선택에 따라 유입되는 가스의 총유량을 결정하는 선택신호를 출력하는 선택부(14)와; 상기 가스관(1)의 내부에 위치하여 상기 선택부(14)의 선택신호에 따라 개패되어 유입되는 가스(GAS)의 최대값을 결정하는 밸브(VAL1), (VAL2), (VAL3)와; 상기 밸브(VAL1), (VAL2), (VAL3)의 후단에 위치하여 유입되는 가스를 통과시키는 우회부(11), (12), (13)와; 상기 우회부(11), (12), (13)를 통과하는 유량에 따른 온도의 변화를 측정하는 감지부(3)와; 상기 감지부(3)에서 감지된 온도에 따라 다른 출력값을 출력하고, 상기 감지부(3)의 출력신호와 설정부(6)의 출력신호를 비교하여 그 비교 결과에 따라 제어신호를 출력하는 비교 및 제어부(9)와; 상기 비교 및 제어부(9)의 제어신호에 따라 개패되어 유입되는 가스의 유량을 조절하는 조절밸브(10)로 구성된다.

이하, 상기와 같이 구성된 본 고안에 의한 유량제어장치의 동작을 설명한다.

먼저, 전원부(7)에서 전원이 인가되고, 사용자가 최적의 공정조건에 부합하는 유입가스의 유량을 설정부(6)에 설정하고, 그 설정유량의 값에 적합한 유입 가스(GAS)의 총유량을 선택부(14)에 설정한다.

그 다음, 가스관(1)에 가스(GAS)가 유입되고, 그 가스(GAS)는 상기 선택부(14)의 출력신호를 인가받아 열리거나 닫힌 밸브(VAL1), (VAL2), (VAL3)를 통해 우회부(11), (12), (13)으로 유입된다. 이때, 상기 우회부(11), (12), (13)에 유입되는 가스(GAS)의 유량에 따른 온도의 변화를 감지하는 감지부(3)는 현재 유입되는 가스(GAS)의 양에 따라 다른 출력신호를 출력한다.

그 다음, 상기 감지부(3)의 출력신호를 인가받은 비교 및 제어부(9)는 그 인가받은 감지부(3)의 출력값인 현재 유입되는 가스(GAS)의 유량을 표시부(8)에 표시하고, 그 감지부(3)의 출력신호인 현재 유입되는 가스(GAS)의 유량과 설정부(6)에 설정된 최적의 공정조건을 충족하는 가스(GAS)의 유량을 비교하고, 그 비교결과에 따른 제어신호를 출력한다.

그 다음, 상기 비교 및 제어부(9)의 제어신호를 인가받은 조절밸브(10)는 그 인가받은 제어신호에 따라 열리거나 닫히는 동작을 하게 되며 그 조절밸브(10)의 개패동작에 따라 유입되는 유량은 최적의 공정조건에 부합하는 유량인 설정유량값으로 조절되게 된다.

또한, 공정상의 필요에 따라 더 많은 가스(GAS)가 유입되게 하려면, 선택부(14)에 설정을 변경하여 각 밸브(VAL1), (VAL2), (VAL3)의 개패를 조절하여 유입되는 가스(GAS)의 충유량을 변경하게 된다.

상기한 바와 같이 본 고안에 의한 유량제어장치는 공정상의 필요에 따라 유입되는 가스의 총유량을 변을을 용이하게 함으로써 사용효율이 증가함과 아울러 서로다른 유량제어범위를 제어하기 위해 별도의 라인을 사용할 필요가 없어 비용절감의 효과가 있다.

Claims

사용자가 유입되는 가스의 유량을 설정하는 설정부(6)와; 전원을 인가하는 전원부(7)와; 유입되는 가스를 공정이 진행중인 쳄버 등의 장비로 인가시키는 가스관(1)과; 사용자의 선택에 따라 유입되는 가스의 총유량을 결정하는 선택신호를 출력하는 선택부(14)와; 상기 가스관(1)의 내부에 위치하여 상기 선택부(14)의 선택신호에 따라 개패되어 유입되는 가스(GAS)의 최대값을 결정하는 밸브(VAL1), (VAL2), (VAL3)와; 상기 밸브(VAL1), (VAL2), (VAL3)의 후단에 위치하여 유입되는 가스를 통과시키는 우회부(11), (12), (13)와; 상기 우회부(11), (12), (13)를 통과하는 유량에 따른 온도의 변화를 측정하여 감지부(3)와; 상기 감지부(3)에서 감지된 온도에 따라 다른 출력값을 출력하고, 상기 감지부(3)의 출력신호와 설정부(6)의 출력신호를 비교하여 그 비교 결과에 따라 제어신호를 출력하는 비교 및 제어부(9)와; 상기 비교 및 제어부(9)의 제어신호에 따라 개폐되어 유입되는 가스의 유량을 조절하는 조절밸브(10)로 구성하여 된 것을 특징으로 하는 유량제어장치.