KR19980048597A - Antistatic Circuit of Semiconductor Device - Google Patents

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KR19980048597A
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안상민
김영태
윤경일
손진석
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김영환
현대전자산업 주식회사
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Abstract

반도체 소자의 셀 영역에 저장된 데이타가 파괴되는 것을 방지할 수 있는 반도체 소자의 정전기 방지 회로를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an antistatic circuit of a semiconductor device capable of preventing the data stored in the cell region of the semiconductor device from being destroyed.

본 발명의 구성은, 입력 패드로부터 소정의 전압을 인가받아, 입력된 전압치가 정전기에 해당하는 전압치일때 동작하여, 정전기를 방전시키는 정전기 방지부를 포함하는 반도체 소자의 정전기 방지 회로로서, 상기 입력 패드와 정전기 방지 회로부 사이에, 입력 패드로부터 비정상적인 전압이 인가시, 그 전압치를 강하시키는 전압 강하 수단이 구비되는 것을 특징으로 한다.The configuration of the present invention is an antistatic circuit of a semiconductor device including an antistatic unit configured to receive a predetermined voltage from an input pad and operate when an input voltage value is a voltage value corresponding to static electricity to discharge static electricity. And a voltage drop means for dropping the voltage value when an abnormal voltage is applied from the input pad, between the and the antistatic circuit portion.

Description

반도체 소자의 정전기 방지회로Antistatic Circuit of Semiconductor Device

본 발명은 반도체 소자의 정전기 방지 회로에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 정전기 방지 회로의 입력 패드에 비정상 전압시 인가시, 발생되는 전자에 의하여 셀 영역에 저장된 데이타가 파괴되는 것을 방지하는 반도체 소자의 정전기 방지 회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an antistatic circuit of a semiconductor device, and more particularly, to a semiconductor device which prevents data stored in a cell region from being destroyed by electrons generated when an abnormal voltage is applied to an input pad of an antistatic circuit. It relates to an antistatic circuit.

일반적으로, 정전기 방전(Electro Static Discharge)은 반도체 칩의 신뢰성을 좌우하는 요소 중의 하나로서, 반도체 칩의 취급 시 또는 시스템에 장착하는 경우 발생되어, 칩을 손상시킨다. 따라서, 반도체 소자의 주변 영역에는 정전기로부터 반도체 소자를 보호하기 위하여, 정전기 방지 회로가 구비된다.In general, electrostatic discharge (Electro Static Discharge) is one of the factors that determine the reliability of the semiconductor chip, and occurs when handling the semiconductor chip or when mounted in the system, damage the chip. Therefore, in order to protect the semiconductor device from static electricity in the peripheral region of the semiconductor device, an antistatic circuit is provided.

반도체 칩 내에 내장된 종래의 정전기 방지 회로가 도 1에 도시되어 있다.A conventional antistatic circuit embedded in a semiconductor chip is shown in FIG.

도 1을 참조하여, 입력 패드(10)에는 정전기 방지 회로부(11)가 연결되고, 정전기 방지 회로부(11)의 출력단에는 입력 버퍼부(12)가 연결된다.Referring to FIG. 1, an antistatic circuit unit 11 is connected to an input pad 10, and an input buffer unit 12 is connected to an output terminal of the antistatic circuit unit 11.

여기서, 정전기 회로부(11)는 각각의 전원 라인(Vcc, Vss)에 직렬 연결되고, 1차적으로 정전기를 제거하는 2개의 제 1 및 제 2 N모스 트랜지스터(Q1,Q2)를 포함한다. 여기서, 제 1 및 제 2 N모스 트랜지스터(Q1,Q2)의 게이트 전극은 서로 연결되어 있고, 제 1 N모스 트랜지스터(Q1)의 드레인에는 Vcc가 인가되고, 제 2 N모스 트랜지스터(Q2)의 소오스에는 Vss가 인가된다. 이때, 제 1 N모스 트랜지스터(Q1)의 소오스와 제 2 N모스 트랜지스터(Q2)의 드레인은 공통 접합 영역(이하 노드 1)이고, 이 노드 1에는 저항(R)과 입력 패드(10)가 연결된다. 이 저항(R)에는 2차적으로 정전기를 제거하는 필드 트랜지스터(12)가 연결된다. 이 필드 트랜지스터(12)는 게이트와 소오스가 접지되고, 드레인은 입력 버퍼부(13)와 연결된다.Here, the electrostatic circuit unit 11 includes two first and second N-MOS transistors Q1 and Q2 connected in series to the respective power lines Vcc and Vss and primarily remove static electricity. Here, the gate electrodes of the first and second N-MOS transistors Q1 and Q2 are connected to each other, Vcc is applied to the drain of the first N-MOS transistor Q1, and the source of the second N-MOS transistor Q2 is applied. Vss is applied. At this time, the source of the first N-MOS transistor Q1 and the drain of the second N-MOS transistor Q2 are a common junction region (hereinafter referred to as node 1), and a resistor R and an input pad 10 are connected to this node 1. do. A field transistor 12 that secondaryly removes static electricity is connected to the resistor R. The field transistor 12 has a gate and a source grounded, and a drain thereof is connected to the input buffer unit 13.

상기와 같은 정전기 방지 회로부(20)는 Vcc 이상의 정전기가 입력 패드(20)를 통해 인가되는 경우, 제 1 N모스 트랜지스터(Q1)가 턴 온 되어, Vcc 라인을 통하여 정전기를 제거시키어, 입력된 정전기가 입력 버퍼(30)로 흐르는 것을 방지한다.In the antistatic circuit unit 20 as described above, when static electricity of Vcc or more is applied through the input pad 20, the first N-MOS transistor Q1 is turned on to remove static electricity through the Vcc line, thereby inputting static electricity. Is prevented from flowing into the input buffer 30.

또한, 정전기 방지 회로부(20)에 -Vss 이하의 정전기가 입력 패드(20)를 통해 인가되는 경우, 제 2 N모스 트랜지스터(Q2)가 턴 온 되어, 정전기를 제거한다.In addition, when static electricity of −Vss or less is applied to the antistatic circuit unit 20 through the input pad 20, the second NMOS transistor Q2 is turned on to remove the static electricity.

이와같은 정전기 방지 회로의 공정 단면도가 도 2에 도시되어 있다.A process cross section of such an antistatic circuit is shown in FIG. 2.

도 2를 참조하여, 도면 부호 1은 반도체 기판을 나타내고, 2는 필드 산화막을 나타내며, 3은 N웰 영역을 나타내고, 4는 노드 1에 해당하는 접합 영역 즉, 제 1 N모스 트랜지스터(Q1)의 소오스 영역을 나타내면, 5는 제 1 N모스 트랜지스터(Q1)의 드레인 영역을 나타내고, 6은 셀 영역에서, 데이타가 저장 영역을 나타낸다.Referring to FIG. 2, reference numeral 1 denotes a semiconductor substrate, 2 denotes a field oxide film, 3 denotes an N well region, and 4 denotes a junction region corresponding to node 1, that is, the first NMOS transistor Q1. In the case of the source region, 5 denotes a drain region of the first N-MOS transistor Q1, and 6 denotes a cell region where data is stored.

P웰(도시되지 않음)이 향성되어 있는 반도체 기판(1)의 소정 영역에는 공지된 로코스 방식에 의하여 필드 산화막(2)이 형성되고, 제 1 N모스 트랜지스터(Q1)의 드레인 예정 영역에는 N타입의 불순물이 이온 주입되어, N웰(3)이 형성된다. 이때, N웰(3)은 Vcc 전압 이상의 정전기가 유입되었을때, 효과적으로 정전기를 방전시키기 위하여, 형성된다. 그후, 셀영역에 소정의 소정의 불순물이 이온 주입되어 데이타 저장영역(6)이 형성된다. 그리고나서, 고농도의 N타입 불순물이 반도체 기판(1)내에 이온 주입되어, 제 1 N모스 트랜지스터(Q1)의 소오스(4) 및 드레인(5) 영역이 형성된다. 여기서, 제 1 N모스 트랜지스터(Q1)의 소오스(4) 영역은 제 2 모스 트랜지스터(Q2)의 드레인 영역이기도 하며, 이 부분(4)에는 입력 패드가 연결되고, 제 1 N모스 트랜지스터(Q1)의 드레인 영역(5)에는 Vcc 전압이 인가된다.The field oxide film 2 is formed in a predetermined region of the semiconductor substrate 1 where the P wells (not shown) are directed by a well-known LOCOS method, and in the drain predetermined region of the first N-MOS transistor Q1. The impurities of the type are ion implanted to form the N well 3. At this time, the N well 3 is formed to effectively discharge the static electricity when static electricity of Vcc voltage or more is introduced therein. Thereafter, predetermined predetermined impurities are ion implanted into the cell area to form the data storage area 6. Thereafter, a high concentration of N-type impurities are ion implanted into the semiconductor substrate 1 to form the source 4 and drain 5 regions of the first N-MOS transistor Q1. Here, the source 4 region of the first N-MOS transistor Q1 is also a drain region of the second MOS transistor Q2, and an input pad is connected to this portion 4, and the first N-MOS transistor Q1 is provided. The Vcc voltage is applied to the drain region 5 of the.

그러나, 종래의 반도체 소자는 시스템이 고속화된 메모리 셀을 동시에 구동시켜야 하므로, 입력 패드에는 도 3에 도시된 바와 같은 비정상적인 입력 전압인 언더 슛(undreshoot) 전압이 인가될 수 있다. 여기서, 언더슛 전압은, 접합 순방향 전압(VF:약 -0.7V)과 기판의 P웰 영역에 인가되는 기판 전압(VBB:약 -1.5V)에 의하여 결정된다. 즉, 패드를 통하여 인가되는 전압의 최소 전압치에 접합 순방향 전압치와 기판 전압치만큼의 더 강화된 전압치가 패드를 통하여 인가되는 것을 말하며, 이 언저 슛 전압은 약 -2~-3.5V 정도이다. (도 3에서, A는 언더 슛 전압의 최대치를 나타내고, B는 언더슛 전압을 나타낸다.)However, in the conventional semiconductor device, since the system needs to simultaneously drive a memory cell that is accelerated, an undershoot voltage, which is an abnormal input voltage as shown in FIG. 3, may be applied to the input pad. Here, the undershoot voltage is determined by the junction forward voltage (V F : about −0.7 V) and the substrate voltage (V BB : about −1.5 V) applied to the P well region of the substrate. That is, the enhanced voltage value of the junction forward voltage value and the substrate voltage value is applied to the minimum voltage value of the voltage applied through the pad, and the undershoot voltage is about -2 to -3.5V. . (In FIG. 3, A represents the maximum value of the undershoot voltage, and B represents the undershoot voltage.)

이와 같이 입력 패드를 통하여 |VF+VBB|값 이상이 입력되면, 입력 패드가 접속되는 제 1 모스 트랜지스터(Q1)의 소오스 영역 또는 제 2 모스 트랜지스터(Q2)의 드레인 영역이 순방향 상태가 되어, 반도체 기판내의 P웰로 다량의 전자가 주입된다. 이때, 주입된 전자중 일부는 반도체 기판내의 P웰의 홀과 결합하고, 남은 일부는 셀 영역내로 유입되어, 셀 영역에 데이타 저장 영역을 파괴하게 되는 문제점이 발생하게 된다.(도 2 참조)As described above, when the value of | V F + V BB | is input through the input pad, the source region of the first MOS transistor Q1 or the drain region of the second MOS transistor Q2 to which the input pad is connected is in a forward state. A large amount of electrons are injected into the P well in the semiconductor substrate. At this time, some of the injected electrons are coupled to the holes of the P well in the semiconductor substrate, and the remaining part flows into the cell region, thereby destroying the data storage region in the cell region (see FIG. 2).

따라서, 본 발명은, 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 입력 패드를 통하여, 비정상적인 전압의 인가시, 셀 영역의 저장된 데이타가 파괴되는 것을 방지할 수 있는 반도체 소자의 정전기 방지 회로를 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, and to provide an antistatic circuit of a semiconductor device capable of preventing destruction of stored data in a cell region when an abnormal voltage is applied through an input pad. For the purpose of

도 1은 반도체 칩 내에 내장된 일반적인 반도체 소자의 정전기 방지 회로를 나타내는 도면.1 is a diagram showing an antistatic circuit of a general semiconductor element embedded in a semiconductor chip.

도 2는 일반적인 반도체 소자의 정전기 방지 회로의 공정 단면도.2 is a process sectional view of an antistatic circuit of a general semiconductor device.

도 3은 도 1의 입력 패드를 통하여 인가되는 전압 타이밍도.3 is a voltage timing diagram applied through the input pad of FIG.

도 4는 본 발명에 따른 반도체 소자의 정전기 방지 회로를 나타낸 도면.4 is a diagram showing an antistatic circuit of a semiconductor device according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

21:입력 패드22:전압 강하부21: Input pad 22: Voltage drop section

23:정전기 방지 회로부24:입력 버퍼부23: static electricity prevention circuit section 24: input buffer section

상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 입력 패드로부터 소정의 전압을 인가받아, 입력된 전압치가 정전기에 해당하는 전압치일때 동작하여, 정전기를 방전시키는 정전기 방지부를 포함하는 반도체 소자의 정전기 방지 회로로서, 상기 입력 패드와 정전기 방지 회로부 사이에, 입력 패드로부터 비정상적인 전압이 인가시, 그 전압치를 강하시키는 전압 강하 수단이 구비되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object of the present invention, the present invention, the semiconductor device including a static electricity prevention unit for receiving a predetermined voltage from the input pad, the operation when the input voltage value is a voltage value corresponding to the static electricity, to discharge the static electricity An antistatic circuit of, characterized in that a voltage drop means for lowering the voltage value when an abnormal voltage is applied from the input pad is provided between the input pad and the antistatic circuit portion.

본 발명에 의하면, 비정상적인 전압의 인가시에도, 전압 강하 수단에 의하여 셀 영역으로의 전자의 유입을 방지한다.According to the present invention, even when an abnormal voltage is applied, the introduction of electrons into the cell region is prevented by the voltage drop means.

[실시예]EXAMPLE

이하 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

첨부한 도면 도 4는 본 발명에 따른 반도체 소자의 정전기 방지 회로를 개략적으로 나타낸 도면으로, 도면 부호 21은 입력 패드를 나타내고, 22는 전압 강하 수단을 나타내며, 23은 정전기 방지 회로부를 나타내고, 24는 입력 버퍼부를 나타낸다.4 is a schematic diagram illustrating an antistatic circuit of a semiconductor device according to the present invention, in which reference numeral 21 denotes an input pad, 22 denotes a voltage drop means, 23 denotes an antistatic circuit portion, and 24 denotes an antistatic circuit. Indicates an input buffer section.

도 4를 참조하여, 본 발명의 반도체 소자의 정전기 방지 회로는, 입력 전압이 인가되는 입력 패트(21)와, 입력 패드(21)에서 입력되는 전압을 소정치만큼 강하하는 전압 강하부(22)가 구비된다. 전압 강하부(22)에는 정전기를 방전시키기 위한 정전기 방지 회로부(23)가 연결된다. 정전기 방지 회로부(23)에는 입력 버퍼(24)가 연결된다.Referring to FIG. 4, the antistatic circuit of the semiconductor device of the present invention includes an input pad 21 to which an input voltage is applied, and a voltage drop unit 22 to drop a voltage input from the input pad 21 by a predetermined value. Is provided. The voltage drop part 22 is connected to an antistatic circuit part 23 for discharging static electricity. The input buffer 24 is connected to the antistatic circuit portion 23.

이때, 전압 강하부(22)는 소정의 값을 지닌 저항이다.At this time, the voltage drop unit 22 is a resistor having a predetermined value.

상기 정전기 방지 회로부(23)는, 각각의 전원 라인(Vcc, Vcc)에 직렬 연결되고, 1차적으로 정전기를 제거하는 2개의 제 1 및 제 2 N모스 트랜지스터(Q1,Q2)를 포함한다. 여기서, 제 1 및 제 2 N모스 트랜지스터(Q1,Q2)의 게이트 전극은 연결되어 있고, 제 1 N모스 트랜지스터(Q1)의 드레인에는 전원 전압 Vcc가 인가되고, 제 2 N모스 트랜지스터(Q2)의 소오스에는 전원 전압 Vss가 인가된다. 제 1 N모스 트랜지스터(Q1)의 소오스와 제 2 N모스 트랜지스터(Q2)의 드레인 영역에는 입력 패드(10) 및 저항(R2)가 연결되고, 이 저항(R2)에는 2차적으로 정전기를 제거하는 필드 트랜지스터(Q3)가 연결된다. 이 필드 트랜지스터(Q3)는 게이트와 소오스가 접지되고, 드레인은 입력 버퍼부(13)와 연결된다.The antistatic circuit unit 23 includes two first and second NMOS transistors Q1 and Q2 connected in series to respective power lines Vcc and Vcc and primarily to remove static electricity. Here, the gate electrodes of the first and second N-MOS transistors Q1 and Q2 are connected, the power supply voltage Vcc is applied to the drain of the first N-MOS transistor Q1, and the second N-MOS transistor Q2 The source voltage Vss is applied to the source. The input pad 10 and the resistor R2 are connected to the source of the first N-MOS transistor Q1 and the drain region of the second N-MOS transistor Q2, and the resistor R2 secondaryly removes static electricity. The field transistor Q3 is connected. The field transistor Q3 has a gate and a source grounded, and a drain thereof is connected to the input buffer unit 13.

이러한 구성을 갖는 본 발명의 반도체 소자의 정전기 방지 회로는, 입력 패드를 통하여, 비정상적인 전압의 인가시, 전압 강하부(22)에 의하여 소정 전압치만큼 강하되어, 입력 패드(21)에 입력되는 값은|VF+VBB|이하가 된다. 따라서, 입력 패드(22)와 콘택되는 접합 영역은 역방향 상태가 되어, 다량의 전자가 발생되지 않는다.The antistatic circuit of the semiconductor device of the present invention having such a configuration is a value that is lowered by a predetermined voltage value by the voltage drop unit 22 when an abnormal voltage is applied through the input pad, and is input to the input pad 21. Becomes | V F + V BB | Therefore, the junction region contacted with the input pad 22 is in the reverse state, and a large amount of electrons are not generated.

본 실시예에서는 정전기 방지 회로부를 2개의 N모스 트랜지스터와 저항 및 필드 트랜지스터로 된 구조를 이용하였지만, 그 밖의 다른 형태의 정전기 방지 회로부를 이용하여도 본 발명과 동일한 효과를 거둘 수 있다.In this embodiment, although the structure of the antistatic circuit part is composed of two NMOS transistors, a resistor and a field transistor, other types of antistatic circuit parts can be used to achieve the same effect as the present invention.

또한, 본 발명에서는 전압 강하 수단으로서, 저항을 이용하였지만, 그 밖의 일정치의 전압을 강하시킬 수 있는 소자이면, 모두 가능하다.In the present invention, a resistor is used as the voltage drop means, but any element can drop any other voltage.

이상에서 자세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 비정상적인 전압의 인가시, 입력 패드로부터 인가되는 전압을 전압 강하 수단에 의하여 소정치 만큼 감소시키므로서, 셀 영역에 저장된 데이타가 파괴되는 것을 방지한다.As described in detail above, according to the present invention, when an abnormal voltage is applied, the voltage applied from the input pad is reduced by a predetermined value by the voltage drop means, thereby preventing the data stored in the cell region from being destroyed.

기타, 본 발명은 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경하여 실시 할 수 있다.In addition, this invention can be implemented in various changes in the range which does not deviate from the summary.

Claims (2)

입력 패드로부터 소정의 전압을 인가받아, 입력된 전압치가 정전기에 해당하는 전압치일때 동작하여, 정전기를 방전시키는 정전기 방지부를 포함하는 반도체 소자의 정전기 방지 회로로서,An antistatic circuit of a semiconductor device comprising an antistatic portion configured to receive a predetermined voltage from an input pad and operate when an input voltage value is a voltage value corresponding to static electricity to discharge static electricity. 상기 입력 패드와 정전기 방지 회로부 사이에, 입력 패드로부터 비정상적인 전압이 인가시, 그 전압치를 강하시키는 전압 강하 수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 정전기 방지 회로.And a voltage drop means for lowering the voltage value when an abnormal voltage is applied from the input pad, between the input pad and the antistatic circuit portion. 제 1 항에 있어서, 상기 전압 강하 수단은 저항인 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 정전기 방지 회로.2. The antistatic circuit of claim 1, wherein the voltage drop means is a resistor.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100632566B1 (en) * 1999-12-30 2006-10-09 주식회사 하이닉스반도체 Electrostatic Discharge Protection Circuit

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