KR19980040771A - 연결수단이 구비된 반도체 생산라인용 이중관 - Google Patents

Abstract

본 발명은 외관과 내관으로 된 이중관의 양단부에 연결수단을 더 구비한 반도체 생산라인용 이중관에 관한 것이다.

본 발명에 따른 연결수단이 구비된 반도체 생산라인용 이중관은, 이중관(1)에 연결수단(2)을 삽입시키고, 상기 연결수단(2)이 삽입된 이중관(1) 중 외관의 양단부의 직경을 확장시킨 확장부(3)를 형성시켜 연결수단(2)이 이중관(1)으로부터 이탈되지 않도록 하여 이루어진다.

따라서, 이중관(1)에 구비된 연결수단(2)을 사용하여 이중관(1)들을 배관토록 함으로써 배관작업을 용이하게 하여 작업시간을 단축시키고, 용접을 필요로 하지 않기 때문에 반도체 생산라인에 곧바로 적용할 수 있도록 하는 효과가 있다.

Description

연결수단이 구비된 반도체 생산라인용 이중관

본 발명은 연결수단이 구비된 반도체 생산라인용 이중관에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외관과 내관으로 된 이중관의 양단부에 연결수단을 더 구비한 반도체 생산라인용 이중관에 관한 것이다.

반도체 장치를 생산하기 위한 반도체 생산라인에서의 배관은 그 내부를 유체들, 즉 순수나 고순도의 액상의 화학물질들이 일정하게 흐를 수 있어야 하기 때문에 용접이 불가능한 경우가 많으며, 특히, 순수의 재오염이나 고순도의 액상의 화학물질에 의한 부식 등을 방지하기 위하여도 용접이 불가능한 경우가 많으며, 주로 도1에 도시한 바와 같이 외관과 그 내부에 취부되는 내관으로 된 이중관(1)이 많이 사용되었다.

그러나, 이러한 종래의 이중관(1)에 의한 배관시, 용접에 의한 배관이 곤란하기 때문에 주로 스웨이지록(swagelock)과 같은 연결수단(도시하지 않음)이 별도로 공급되어 배관작업을 용이하게 한다.

그러나, 상기한 바와 같이 이중관(1)과 연결수단이 분리되어 공급되는 경우, 배관작업시 매번 연결수단을 이중관(1)에 먼저 삽입한 후, 배관작업을 수행하여야 하기 때문에 작업이 번거롭고, 연결수단이 망실될 우려가 상존(常存)하는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은, 스웨이지록과 같은 연결수단이 일체로 구비된 반도체 생산라인용 이중관을 제공하는 데 있다.

도1은 종래의 이중관을 개략적으로 도시한 측면도이다.

도2는 본 발명에 따라 연결수단이 구비된 반도체 생산라인용 이중관을 개략적으로 도시한 측면도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 이중관 2 : 연결수단

3 : 확장부

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 연결수단이 구비된 반도체 생산라인용 이중관은, 이중관에 연결수단을 삽입시키고, 상기 연결수단이 삽입된 이중관 중 외관의 양단부의 직경을 확장시킨 확장부를 형성시켜 연결수단이 이중관으로부터 이탈되지 않도록 하여 이루어진다.

상기에서 연결수단으로 스웨이지록이 삽입될 수 있다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 연결수단이 구비된 반도체 생산라인용 이중관은 스웨이지록과 같은 연결수단(2)을 이중관(1)에 우선 삽입시키고, 그 다음에 연결수단(2)이 삽입된 상태에서 이중관(1) 중 외관의 양단부의 직경을 확장시킨 확장부(3)를 형성시켜 연결수단(2)이 이중관(1)으로부터 이탈되지 않도록 구성함을 특징으로 한다.

상기에서 이중관(1)이라 함은 외관의 내부에 내관이 일체로 취부되어 고정된 형상을 갖는 것으로서, 국내,외 유수의 제조업자들에 의하여 대량생산되어 공급되는 것으로 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에게는 이를 용이하게 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것이다.

또한, 상기에서 연결수단(2)이라 함은 통상 스웨이지록과 같이 배관하고자 하는 관을 압박하여 관들 사이를 서로 밀착시킴으로써 그 내부를 흐르는 유체의 누수를 방지하면서 관들을 서로 연결시키는 수단으로서, 역시 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에게는 상용적으로 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것이다.

본 발명에서는 이러한 공지의 이중관(1)에 역시 공지의 연결수단(2)을 삽입시키고, 연결수단(2)이 삽입된 이중관(1)의 양단부에 확장부(3)를 형성시켜 이 확장부(3)에 의하여 기 삽입된 연결수단(2)이 이중관(1)으로부터 이탈되는 것을 방지하도록 한 것이다.

따라서, 사용자는 이미 연결수단(2)이 구비된 이중관(1)을 사용하여 단지 이들 연결수단(2)을 체결하는 것으로 소정의 배관을 완료할 수 있게 된다.

따라서, 본 발명에 의하면 이중관(1)에 구비된 연결수단(2)을 사용하여 이중관(1)들을 배관토록 함으로써 배관작업을 용이하게 하여 작업시간을 단축시키고, 용접을 필요로 하지 않기 때문에 반도체 생산라인에 곧바로 적용할 수 있도록 하는 효과가 있다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (2)

1. 이중관에 연결수단을 삽입시키고, 상기 연결수단이 삽입된 이중관 중 외관의 양단부의 직경을 확장시킨 확장부를 형성시켜 연결수단이 이중관으로부터 이탈되지 않도록 하여 이루어짐을 특징으로 하는 연결수단이 구비된 반도체 생산라인용 이중관.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 연결수단이 스웨이지록임을 특징으로 하는 상기 연결수단이 구비된 반도체 생산라인용 이중관.