KR19980040507U - Indexer of wafer processing apparatus equipped with sensor for detecting storage state of wafer in cassette - Google Patents

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Abstract

본 고안은 웨이퍼가공장치의 인덱서에 관한 것으로서, 발광센서(P1)와 수광센서(P1')가 설치된 웨이퍼검출암(11)과 실린더(13)를 갖춘 인덱서(1)에 있어서, 상하로 이동하는 ㄷ자형 웨이퍼검출암(11) 안쪽 인덱서(1)의 상부면상 웨이퍼검출암(11) 근처에 인덱서(1)의 상부면상에 세트되는 카셋트(12)에 수납되는 웨이퍼(A)의 수납상태를 검출하는 웨이퍼의 수납상태검출센서(S1~S4)를 설치하여 웨이퍼의 수납상태검출센서로 웨이퍼의 수납불량을 검출하여 경보하고 웨이퍼검출암의 동작을 정지시켜주므로 웨이퍼의 수납불량시 웨이퍼검출암의 동작에 의한 웨이퍼 및 카세트의 파손을 사전에 방지할 수 있는 카셋트내 웨이퍼의 수납상태검출센서를 구비한 웨이퍼가공장치의 인덱서이다.The present invention relates to an indexer of a wafer processing apparatus, wherein the indexer ( 1 ) having a wafer detection arm (11) and a cylinder (13) provided with a light emitting sensor (P 1 ) and a light receiving sensor (P 1 ′) is positioned up and down. The receiving state of the wafer A accommodated in the cassette 12 set on the upper surface of the indexer 1 near the wafer detection arm 11 on the upper surface of the indexer 1 inside the moving U-shaped wafer detection arm 11. Wafer storage state detection sensors (S 1 to S 4 ) are installed to detect the defects of wafer storage with the wafer state detection sensor and to alert and stop the operation of the wafer detection arm. An indexer of a wafer processing apparatus having a storage state detection sensor of a wafer in a cassette capable of preventing damage to the wafer and the cassette due to the operation of the detection arm in advance.

Description

카셋트내 웨이퍼의 수납상태검출센서를 구비한 웨이퍼가공장치의 인덱서Indexer of wafer processing apparatus equipped with sensor for detecting storage state of wafer in cassette

본 고안은 웨이퍼가공장치의 인덱서에 관한 것으로서, 특히 카셋트내 웨이퍼의 수납상태를 검출하는 구비한 인덱서에 관한 것이다.The present invention relates to an indexer of a wafer processing apparatus, and more particularly, to an indexer having a state of receiving a wafer in a cassette.

일반적으로 웨이퍼가공장치는 도 1에 도시한 바와 같이 크게 인덱서(1)와 반송유니트(2), 스크루버유니트(3) 및 베이크유니트(4)로 구성되어 있다. 그중 인덱서(1)는 웨이퍼에 대한 유저(user)와 프로세스모듈인 스크루버유니트(3) 및 베이크유니트(4)의 인터페이스를 목적으로 하는 유니트로서, 오퍼레이터에 의해 카셋트가 인덱서(1)의 상부면에 세트되면 카셋트 각단의 웨이퍼 유무를 검출하고 웨이퍼를 추출하여 프로세스모듈내의 반송유니트(2)와의 수수(受授)위치로 반송하고, 위치결정 후 수수높이로 유지하며, 프로세스 종료후의 웨이퍼는 반송유니트(2)에 의해 수수되어 위치결정한 후 카셋트내에 넣어지게 된다.In general, as shown in Fig. 1, the wafer preliminary value is largely composed of an indexer 1, a transfer unit 2, a screwer unit 3, and a bake unit 4. The indexer 1 is a unit for the purpose of interfacing the user with the wafer and the process module, the screwer unit 3 and the bake unit 4, and the cassette is operated by the operator so that the cassette has the upper surface of the indexer 1. When set to the wafer, the presence or absence of wafers at each end of the cassette is detected, the wafer is extracted and conveyed to the transfer position with the transfer unit 2 in the process module, and maintained at the transfer height after positioning, and the wafer after the process is finished. It is received by (2) and positioned, and then placed in the cassette.

이와같은 웨이퍼가공장치의 인덱서(1)에 있어서, 카셋트내의 웨이퍼를 검출하는데 사용되는 종래의 웨이퍼검출암(11)은 도1, 도2에 도시한 바와같이 ㄷ자 형상을 갖는 것으로서, 양단부측에 발광부(P1)와 수광부(P1')를 갖는 웨이퍼센서가 설치되어 웨이퍼검출암(11)이 실린더(13)에 의해 상하로 이동하면서 카셋트(12)내 각단에 수납된 웨이퍼를 검출하게 된다.In the indexer 1 of such a wafer processing apparatus, the conventional wafer detection arm 11 used to detect a wafer in a cassette has a U-shape as shown in Figs. 1 and 2, and emits light at both ends. unit (P 1) and a light receiver is a wafer sensor is installed with a (P 1 ') the wafer detection arm 11 is a detecting cassette 12, the wafer accommodated in the inside each stage and moved up and down by the cylinder 13 .

이와같이 종래의 웨이퍼검출암(11)은 인덱서(1)의 상부면 위에서 상하로 이동하면서 웨이퍼를 검출하기 때문에 도 3에 도시한 바와 같이 웨이퍼(A)가 카셋트(12)내에 정상적으로 수납된 경우에는 아무런 문제점이 없으나, 도 3에 실선으로 도시한 바와 같이 웨이퍼(A')가 카셋트(12) 밖으로 나오게 되는 경우에는 웨이퍼(A')가 상하이동하는 웨이퍼검출암(11)에 걸리게 되어 파손되는 문제점이 있었다. 이와 같이 종래의 인덱서(1)는 웨이퍼(A)가 카셋트(12) 밖으로 나온 경우에도 이를 검출하는 기능을 갖지 못하여 카셋트(12)내에 웨이퍼(A)가 정상적으로 수납되지 않은 경우 웨이퍼파손 뿐만 아니라 카셋트파손을 일으키게 된다고 하는 문제점이 있었다.Thus, since the conventional wafer detection arm 11 detects the wafer while moving up and down on the upper surface of the indexer 1, when the wafer A is normally stored in the cassette 12, as shown in FIG. Although there is no problem, as shown by the solid line in FIG. 3, when the wafer A 'comes out of the cassette 12, the wafer A' is caught by the wafer detection arm 11 which is moved up and down, and thus the damage is caused. there was. As described above, the conventional indexer 1 does not have a function of detecting the wafer A even when the wafer A comes out of the cassette 12, and not only the wafer breakage but also the cassette breakage when the wafer A is not normally stored in the cassette 12. There was a problem that would cause.

본 고안은 상기한 실정을 감안하여 종래 웨이퍼가공장치 인덱서가 갖는 문제점을 해결하고자 안출한 것으로서, ㄷ자형 웨이퍼검출암 안쪽 인덱서 상부면상에 웨이퍼의 수납상태검출센서를 설치하여 인덱서의 상부면상에 세트되는 카셋트에 수납되는 웨이퍼의 수납상태를 검출하는 웨이퍼의 수납상태검출센서를 구비한 웨이퍼가공장치의 인덱서를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the problems of the conventional wafer processing apparatus indexer in view of the above situation, and installed on the upper surface of the indexer by installing the state detection sensor of the wafer on the upper surface of the indexer inside the U-shaped wafer detection arm. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an indexer of a wafer processing apparatus including a wafer state detection sensor for detecting a wafer state stored in a cassette.

도 1은 웨이퍼가공장치의 사시도,1 is a perspective view of a wafer processing apparatus,

도 2는 웨이퍼가공장치 인덱서의 웨이퍼검출암 동작상태도,2 is a wafer detection arm operating state of the wafer processing apparatus indexer;

도 3은 카셋트에 웨이퍼의 수납상태를 보여주는 도면,3 is a view illustrating a storage state of a wafer in a cassette;

도 4는 본 고안 인덱서에 설치된 웨이퍼에 수납상태검출센서의 웨이퍼 수납상태 검출을 설명하기 위한 도면,Figure 4 is a view for explaining the detection state of the wafer storage state of the storage state detection sensor on the wafer installed in the present invention indexer,

도 4는 웨이퍼의 수납상태검출센서가 설치된 본 고안 인덱서를 갖춘 웨이퍼가공장치의 사시도이다.Figure 4 is a perspective view of a wafer processing apparatus having an indexer of the present invention provided with a wafer state detection sensor.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1 : 인덱서2 : 반송유니트1: Indexer 2: Return Unit

3 : 스크루버유니트4 : 베이크유니트3: Scrubber Unit 4: Bake Unit

11 : 웨이퍼검출암12 : 카셋트11 wafer detection arm 12 cassette

13 : 실린더A,A' : 웨이퍼13: cylinder A, A ': wafer

P1: 발광부P1' : 수광부P 1 : light emitting unit P 1 ': light receiving unit

S1~S4: 웨이퍼의 수납상태검출센서S 1 ~ S 4 : Wafer receiving state detection sensor

상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안 인덱서는 발광센서(P1)와 수광센서(P1')가 설치된 웨이퍼검출암(11)과 실린더(13)를 갖춘 인덱서(1)에 있어서, 상하로 이동하는 ㄷ자형 웨이퍼검출암(11) 안쪽 인덱서(1)의 상부면상 웨이퍼검출암(11) 근처에 인덱서(1)의 상부면상에 세트되는 카셋트(12)에 수납되는 웨이퍼(A)의 수납상태를 검출하는 웨이퍼의 수납상태검출센서(S1~S4)를 설치한 것을 특징으로 한다.The indexer of the present invention for achieving the above object is moved up and down in the indexer (1) having a wafer detection arm (11) and a cylinder (13) provided with a light emitting sensor (P 1 ) and a light receiving sensor (P 1 '). The receiving state of the wafer A stored in the cassette 12 set on the upper surface of the indexer 1 near the wafer detection arm 11 on the upper surface of the indexer 1 inside the U-shaped wafer detection arm 11 It is characterized in that the storage state detection sensor (S 1 ~ S 4 ) of the wafer to be detected is provided.

이하 첨부도면을 참조하여 본 고안 인덱서의 작용을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the operation of the subject indexer will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 고안 인덱서에 설치된 웨이퍼의 수납상태검출센서의 웨이퍼 수납상태 검출을 설명하기 위한 도면, 도 5는 웨이퍼의 수납상태검출센서가 설치된 본 고안 인덱서를 갖춘 웨이퍼가공장치의 사시도로서, 도 4(나)에 도시한 바와 같이 웨이퍼(A)가 카셋트(12)에 정상적으로 수납되어 있는 경우에 발광부와 수광부가 일체로 된 광센서인 웨이퍼의 수납상태검출센서(S1)는 웨이퍼(A)에서 반사되는 빛이 없어서 정상적으로 웨이퍼가 수납되었음을 감지하게 되므로 정상적으로 웨이퍼검출암(11)을 동작시키게 된다.4 is a view for explaining a wafer storage state detection of the wafer state detection sensor of the wafer installed in the indexer of the present invention, Figure 5 is a perspective view of a wafer processing apparatus having an indexer of the present invention provided with the wafer state detection sensor, Figure 4 As shown in (b), when the wafer A is normally stored in the cassette 12, the storage state detection sensor S 1 of the wafer, which is an optical sensor in which the light emitting part and the light receiving part are integrated, is the wafer A. Since there is no light reflected from the wafer to detect that the wafer is normally received, the wafer detection arm 11 operates normally.

반면에 도 4(가)는 도시한 바와 같이 웨이퍼(A)가 카셋트(12)에 정상적으로 수납되지 않고 실선으로 나타낸 웨이퍼(A')와 같이 카셋트(12)에서 웨이퍼(A')가 돌출되게 되면 상기 웨이퍼의 수납상태검출센서(S1)는 웨이퍼(A')에 의해 반사되는 빛을 수광하게 되므로 도시하지 않은 경보장치를 통해 웨이퍼의 수납불량을 경보하고 웨이퍼검출암(11)의 동작을 자동으로 정지시키게 된다.On the other hand, as shown in FIG. 4A, when the wafer A is not normally stored in the cassette 12, the wafer A ′ protrudes from the cassette 12 like the wafer A ′ indicated by the solid line. The storage state detection sensor S 1 of the wafer receives the light reflected by the wafer A ', thereby alarming the storage failure of the wafer through an alarm device (not shown) and automatically operating the wafer detection arm 11. Will be stopped.

상기한 바와 같이 작용하는 본 고안 인덱서는 웨이퍼의 수납상태검출센서로 웨이퍼의 수납불량을 검출하여 경보하고 웨이퍼검출암의 동작을 정지시켜 주므로 웨이퍼의 수납불량시 웨이퍼검출암의 동작에 의한 웨이퍼 및 카셋트의 파손을 사전에 방지할 수 있는 장점이 있다.The indexer of the present invention, which operates as described above, detects and alerts the wafer storage failure by the wafer state detection sensor and stops the operation of the wafer detection arm. There is an advantage that can be prevented in advance.

Claims (1)

발광센서(P1)와 수광센서(P1')가 설치된 웨이퍼검출암(11)과 실린더(13)를 갖춘 인덱서(1)에 있어서, 상하로 이동하는 ㄷ자형 웨이퍼검출암(11) 안쪽 인덱서(1)의 상부면상 웨이퍼검출암(11) 근처에 인덱서(1)의 상부면상에 세트되는 카셋트(12)에 수납되는 웨이퍼(A)의 수납상태를 검출하는 웨이퍼의 수납상태검출센서(S1~S4)를 설치한 것을 특징으로 하는 카셋트내 웨이퍼의 수납상태검출센서를 구비한 웨이퍼가공장치의 인덱서.In the indexer 1 having a wafer detection arm 11 and a cylinder 13 provided with a light emitting sensor P 1 and a light receiving sensor P 1 ′, an indexer inside the U-shaped wafer detection arm 11 moving up and down. Storage state detection sensor S 1 of the wafer for detecting the storage state of the wafer A accommodated in the cassette 12 set on the upper surface of the indexer 1 near the wafer detection arm 11 on the upper surface of (1). An indexer of a wafer processing apparatus provided with a state detection sensor of a wafer in a cassette, characterized in that S- 4 ) is provided.
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