KR19980034119A - Semiconductor Chip Stack Package - Google Patents

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KR19980034119A
KR19980034119A KR1019960052078A KR19960052078A KR19980034119A KR 19980034119 A KR19980034119 A KR 19980034119A KR 1019960052078 A KR1019960052078 A KR 1019960052078A KR 19960052078 A KR19960052078 A KR 19960052078A KR 19980034119 A KR19980034119 A KR 19980034119A
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package
semiconductor chip
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electrically connected
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KR1019960052078A
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최일흥
김병만
방정호
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김광호
삼성전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 칩 적층형 패키지에 관한 것으로서, 종래의 복수개의 반도체 패키지를 적층하는 방식에서의 문제점인 하층 패키지 리드 상부에 발생되는 봉지 수지의 번짐, 또는 봉지 수지의 휨에 따른 리드 불량으로 말미암은 접속 및 적층 불량 문제점을 해결하기 위한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor chip stack type package, wherein a connection caused by a defect of a lead resin caused by bleeding of an encapsulation resin or a deflection of an encapsulation resin, which is a problem in a method of stacking a plurality of semiconductor packages in the related art, or a deflection of the encapsulation resin, This is to solve the stacking failure problem.

즉, 리드 온 칩(LOC) 패키지에 이용되는 통상적인 리드 프레임을 변형하여 적용한 것으로서, 각각 반도체 칩이 접착되고 전기적으로 연결된 두 개의 리드 프레임을 서로 마주보는 형태로 단차를 이루어 접착하고 전기적으로 연결하여 봉지함으로써 하나의 패키지에 적층형 패키지를 구현한 것이다. 이 때 하나의 리드 프레임은 댐 바 부분에서 절단되어 리드 프레임 전부가 봉지되며, 나머지 리드 프레임은 외부 리드가 봉지 영역 밖으로 돌출되어 통상적인 TSOP나 TSOJ와 같은 형태의 패키지를 이룬다.In other words, the conventional lead frame used in the lead-on-chip (LOC) package is modified and applied, and the two lead frames, each of which the semiconductor chip is bonded and electrically connected to each other, are formed in a step to face each other, and are then bonded and electrically connected. By encapsulating, a stacked package is implemented in one package. At this time, one lead frame is cut at the dam bar, and the entire lead frame is encapsulated, and the other lead frame has an external lead projecting out of the encapsulation region to form a package of a conventional TSOP or TSOJ type.

이와 같은 적층형 패키지는 기존의 플라스틱 패키지의 제조 설비 및 통상적인 리드 프레임을 이용하여 하나의 패키지 안에 두 개의 반도체 칩이 적층된 구조이기 때문에, 봉지 수지의 번짐이나 휨 현상으로 말미암은 적층 불량을 방지할 수 있고, 별도의 투자 비용의 부담없이 양산할 수 있다는 이점이 있다.Since the stacked package is a structure in which two semiconductor chips are stacked in one package by using a conventional plastic package manufacturing facility and a conventional lead frame, the stacking failure caused by the bleeding or warping of the encapsulating resin can be prevented. And, there is an advantage that can be mass-produced without burden of additional investment cost.

Description

반도체 칩 적층형 패키지Semiconductor Chip Stack Package

본 발명은 반도체 칩 적층형 패키지에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 기존의 적층형 패키지의 경우 봉지 수지의 번짐이나 휨 현상으로 말미암은 적층 불량을 방지하기 위하여 통상적인 리드 프레임을 이용하여 복수개의 반도체 칩을 하나의 패키지 안에 적층한 반도체 칩 적층형 패키지에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor chip stacked package, and more particularly, to a plurality of semiconductor chips using a conventional lead frame in order to prevent stacking defects caused by bleeding or warpage of encapsulating resin in a conventional stacked package. The present invention relates to a semiconductor chip stacked package stacked in a package.

반도체 패키지의 조립 기술에서 적층 기술은 전자 장치의 크기를 줄이고 전자 소자의 실장 밀도를 높이며 성능을 향상시키기 위한 노력의 일환으로 진보하여 왔다. 예를 들면, 개별 메모리 칩 2개를 적층함으로써 메모리 용량을 2배 증가시킬 수 있다. 이와 같은 적층 기술은 크게, 패키지되지 않은 복수개의 베어 칩(Bare Chip)을 적층하고 패키징하는 방법, 반도체 칩을 패키징한 다음 복수개의 패키지를 적층하는 방법, 복수개의 반도체 칩을 멀티 칩 모듈(MCM; Multi Chip Module)로 조립한 다음 적층하는 방법 등으로 나눌 수 있다.In the assembly technology of semiconductor packages, lamination technology has been advanced in an effort to reduce the size of electronic devices, increase the mounting density of electronic devices, and improve performance. For example, by stacking two separate memory chips, the memory capacity can be doubled. Such a stacking technology includes a method of stacking and packaging a plurality of bare chips, a method of packaging a semiconductor chip and then stacking a plurality of packages, a multi-chip module (MCM); Multi Chip Module), and then it can be divided into a stacking method.

이 중에서 패키지를 적층하는 방법은, TSOP(Thin Smal Outline Package) 또는 TSOJ(Thin Small Outline J-bend package) 복수개를 적층하는 것으로서, 각각의 패키지를 개별적으로 조립하고 전기적인 테스트를 완료한 후 상층 패키지의 외부 리드와 하층 패키지의 외부 리드를 서로 접속하는 방법으로 적층을 구현한다.Among them, a method of stacking packages is stacking a plurality of thin small outline packages (TSOPs) or thin small outline J-bend packages (TSOJs), and each package is individually assembled and the upper layer package is completed after electrical testing is completed. The lamination is implemented by connecting the external leads of the lower layer package and the external leads of the lower layer package to each other.

이하, 첨부 도면을 참조하여 종래의 적층형 패키지의 두가지 실시예를 설명하겠다.Hereinafter, two embodiments of a conventional stacked package will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래 기술에 의한 적층형 패키지의 제1 실시예를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of a stacked package according to the prior art.

도 2는 종래 기술에 의한 적층형 패키지의 제2 실시예를 나타내는 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a second embodiment of a stacked package according to the prior art.

먼저 도 1을 참조하면, 통상적인 2개의 TSOJ(100a, 100b)가 적층을 이룬 적층형 패키지(100)로서, 반도체 칩(10)과 리드 프레임(11, 12)이 접착 테이프(14)에 의하여 기계적으로 접착되고 금속 세선(13)에 의하여 전기적으로 접속되는 통상적인 LOC(Lead On Chip) 구조를 가지고 있다.Referring first to FIG. 1, a conventional stacked package 100 in which two TSOJs 100a and 100b are stacked, and the semiconductor chip 10 and the lead frames 11 and 12 are mechanically bonded by an adhesive tape 14. And a conventional lead on chip (LOC) structure bonded to each other and electrically connected by the fine metal wires 13.

또한 리드 프레임(11, 12)의 외부 리드는 J형으로 굴곡되고, 외부 리드 간의 접속은 주석/납(Sn/Pb)이 도금된 외부 리드 부위에 플럭스(Flux)를 도포한 후 열 압착하는 솔더링(Soldering) 방식으로 이루어진다. 즉, 상층 패키지(100a)의 외부 리드가 하층 패키지(100b)의 외부 리드 어깨 부위에 접속된다. 따라서 봉지 수지(16)로 이루어진 하층 패키지(100b)의 몸체 형태는 상층 패키지(100a)의 몸체 형태와 상이하다. 즉, 하층 패키지(100b)의 몸체 형태는 상층 패키지(100a)의 외부 리드가 접속되기 위하여 상부쪽 몸체 일부가 제거된 형태이다.In addition, the external leads of the lead frames 11 and 12 are bent in a J shape, and the connection between the external leads is soldered by thermally compressing the flux after applying flux to the external lead portions in which tin / lead (Sn / Pb) is plated. (Soldering) is done. That is, the outer lead of the upper layer package 100a is connected to the outer lead shoulder portion of the lower layer package 100b. Therefore, the body shape of the lower layer package 100b made of the encapsulation resin 16 is different from that of the upper layer package 100a. That is, the body form of the lower layer package 100b is a form in which a portion of the upper body is removed in order to connect the external leads of the upper layer package 100a.

도 2에 도시된 적층형 패키지(200)도 하층 패키지가 TSOP일 뿐 앞서 설명한 적층형 패키지와 그 기본 구조가 동일하다.In the stacked package 200 illustrated in FIG. 2, the lower layer package is a TSOP, and the basic structure is the same as the stacked package described above.

그런데 이와 같은 종래의 적층형 패키지의 공통적인 문제점은, 하층 패키지(100b, 200b)의 외부 리드(12, 22) 어깨 부위에 봉지 수지(16, 26)의 번짐(Flash) 현상이 발생한다는 점이다. 전술했다시피 외부 리드(11, 12, 21, 22) 간에 접속을 구현하려면 먼저 리드(12, 22) 부위에 도금을 실시하고 나서 솔더링을 해야 하는데, 봉지 수지(16, 26)가 번져 있기 때문에 도금이 이루어지지 않으며 그로 인하여 솔더링도 할 수 없는 것이다.However, a common problem of the conventional stacked package is that flashing of the encapsulating resins 16 and 26 occurs on the shoulder portions of the outer leads 12 and 22 of the lower layer packages 100b and 200b. As described above, in order to establish a connection between the external leads 11, 12, 21, and 22, the plating of the leads 12 and 22 must be performed first, followed by soldering. Since the encapsulation resins 16 and 26 are smeared, the plating is performed. This is not done and therefore no soldering is possible.

그리고 봉지 수지(16, 26)의 휨(Warpage) 현상이 발생할 경우, 리드(12, 22)의 편평도 불량으로 인하여 리드(11, 12, 21, 22) 간의 접속 불량을 유발할 수 있다는 문제점도 있다. 또한 적층을 위한 별도의 설비도 필요하기 때문에, 설비의 추가 개발이 요구된다.In addition, when warpage of the encapsulation resins 16 and 26 occurs, a poor connection between the leads 11, 12, 21, and 22 may occur due to poor flatness of the leads 12 and 22. In addition, since a separate facility for lamination is required, further development of the facility is required.

따라서 본 발명의 목적은, 기존의 적층형 패키지의 경우 봉지 수지의 번짐이나 휨 현상으로 말미암은 적층 불량을 방지하고, 기존의 플라스틱 패키지의 제조 설비를 그대로 이용함으로써 추가적인 설비 투자가 필요하지 않은 반도체 칩 적층형 패키지를 제공하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to prevent the stacking failure caused by the bleeding or warpage of the encapsulation resin in the case of the conventional laminated package, and by using the manufacturing equipment of the conventional plastic package as it is, no additional equipment investment is required. To provide.

도 1은 종래 기술에 의한 적층형 패키지의 제1 실시예를 나타내는 단면도.1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of a stacked package according to the prior art.

도 2는 종래 기술에 의한 적층형 패키지의 제2 실시예를 나타내는 단면도.2 is a cross-sectional view showing a second embodiment of the stacked package according to the prior art.

도 3은 본 발명에 의한 적층형 패키지의 실시예를 나타내는 부분 단면도.3 is a partial cross-sectional view showing an embodiment of a stacked package according to the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 적층형 패키지의 하부 리드 프레임을 나타내는 부분 평면도.4 is a partial plan view showing a lower lead frame of the stacked package shown in FIG.

도 5와 도 6은 도 3에 도시된 적층형 패키지의 상부 리드 프레임을 나타내는 부분 평면도.5 and 6 are partial plan views showing an upper lead frame of the stacked package shown in FIG.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

300 : 반도체 칩 적층형 패키지(Semiconductor Chip Stacked Package)300: Semiconductor Chip Stacked Package

30a, 30b : 반도체 칩(Chip)30a, 30b: semiconductor chip

31a, 31b, 32, 33 : 접착수단(Adhesive)31a, 31b, 32, 33: adhesive means

34a, 34b, 34c : 금속 세선(Metal Wire)34a, 34b, 34c: Metal Wire

35 : 봉지 수지(Encapsulation Resin)35 Encapsulation Resin

36a, 36b, 36c : 도금 영역(Plating Area)36a, 36b, 36c: Plating Area

40 : 하부 리드 프레임(Lower Lead Frame)40: Lower Lead Frame

50 : 상부 리드 프레임(Upper Lead Frame)50: Upper Lead Frame

41, 51 : 내부 리드(Inner Lead)41, 51: inner lead

42, 52 : 외부 리드(Outer Lead)42, 52: outer lead

43, 53 : 타이 바(Tie Bar)43, 53: tie bar

44, 54 : 댐 바(Dam Bar)44, 54: Dam Bar

45, 55 : 사이드 레일(Side Rail)45, 55: side rail

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 각각 복수개의 칩 전극 패드가 형성되어 있으며 칩 전극 패드가 형성된 면의 반대면끼리 서로 접착을 이루는 제1 반도체 칩 및 제2 반도체 칩과, 제1 반도체 칩과 기계적·전기적으로 연결을 이루는 제1 리드 프레임과, 제2 반도체 칩과 기계적·전기적으로 연결을 이루는 동시에 제1 리드 프레임과 기계적·전기적으로 연결을 이루는 제2 리드 프레임과, 제1 반도체 칩과 제2 반도체 칩과 제1 리드 프레임의 일부 및 제2 리드 프레임의 전부를 봉지하는 봉지 수지를 포함하는 반도체 칩 적층형 패키지를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a plurality of chip electrode pads are each formed, the first semiconductor chip and the second semiconductor chip and the first semiconductor chip and the opposite surface of the surface on which the chip electrode pad is formed are bonded to each other; A first lead frame that is mechanically and electrically connected, a second lead frame that is mechanically and electrically connected to the second semiconductor chip and is mechanically and electrically connected to the first lead frame, and the first semiconductor chip and the first Provided are a semiconductor chip stacked package including a sealing resin for encapsulating a second semiconductor chip, a part of a first lead frame, and an entirety of a second lead frame.

봉지 수지로 봉지되지 않는 제1 리드 프레임의 일부는 외부 접속 단자이며, TSOP 또는 TSOJ의 외부 리드와 그 형태가 동일하다.The part of the 1st lead frame which is not sealed with sealing resin is an external connection terminal, and the form is the same as the external lead of TSOP or TSOJ.

그리고, 제1 반도체 칩과 제1 리드 프레임, 제2 반도체 칩과 제2 리드 프레임은 각각 접착 테이프에 의하여 기계적으로 연결되며, 금속 세선에 의하여 전기적으로 연결된다.The first semiconductor chip and the first lead frame, and the second semiconductor chip and the second lead frame are each mechanically connected by an adhesive tape and electrically connected by thin metal wires.

또한, 제1 리드 프레임과 제2 리드 프레임은 서로 마주보는 형태로 단차를 이루며, 접착 테이프에 의하여 기계적으로 연결되고, 금속 세선에 의하여 전기적으로 연결된다.In addition, the first lead frame and the second lead frame face each other to form a step, mechanically connected by an adhesive tape, it is electrically connected by a fine metal wire.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명에 의한 적층형 패키지의 실시예를 나타내는 부분 단면도이다.3 is a partial cross-sectional view showing an embodiment of a stacked package according to the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 적층형 패키지의 하부 리드 프레임을 나타내는 부분 평면도이다.4 is a partial plan view illustrating a lower lead frame of the stacked package illustrated in FIG. 3.

도 5와 도 6은 도 3에 도시된 적층형 패키지의 상부 리드 프레임을 나타내는 부분 평면도이다.5 and 6 are partial plan views illustrating an upper lead frame of the stacked package shown in FIG. 3.

우선 도 3을 참조하면, 본 실시예의 적층형 패키지(300)는 패키지되지 않은 복수개의 베어 칩을 적층하고 패키징한 구조의 일종으로서, 제1 반도체 칩(30b)과 제2 반도체 칩(30a)이 칩 전극 패드(도시되지 않음; Chip Electrode Pad)가 형성된 면의 반대면끼리 서로 접착을 이루어(33) 적층되고 패키징되는 구조이다. 이 때의 두 반도체 칩 간의 접착수단(33; Adhesive)은 통상적으로 사용되는 절연성 접착수단을 사용한다.First, referring to FIG. 3, the stacked package 300 according to the present exemplary embodiment is a kind of a structure in which a plurality of unpacked bare chips are stacked and packaged, and the first semiconductor chip 30b and the second semiconductor chip 30a are chips. Opposite sides of the surface on which the electrode pads (not shown; Chip Electrode Pads) are formed are bonded to each other (33) and stacked and packaged. At this time, the adhesive means 33 between the two semiconductor chips uses an insulating adhesive means that is commonly used.

2개의 반도체 칩(30a, 30b)은 각각 별도의 리드 프레임에 LOC(Lead On Chip)의 형태로 기계적·전기적 연결을 이룬다. 즉, 하부 쪽의 제1 반도체 칩(30b)과 하부 리드 프레임(도 4의 40; Lower Lead Frame) 및 상부 쪽의 제2 반도체 칩(30a)과 상부 리드 프레임(도 6의 50; Upper Lead Frame)은, 각각 접착 테이프(31b, 31a)에 의하여 기계적으로 연결되며, 금속 세선(34b, 34a; Metal Wire)에 의하여 전기적으로 연결된다. 또한, 하부 리드 프레임의 내부 리드(41; Inner Lead)과 상부 리드 프레임의 내부 리드(51)는 서로 마주보는 형태로 단차를 이루며, 접착 테이프(32)에 의하여 기계적으로 연결되고, 금속 세선(34c)에 의하여 전기적으로 연결된다.The two semiconductor chips 30a and 30b each form a mechanical and electrical connection in a form of a lead on chip (LOC) on a separate lead frame. That is, the first semiconductor chip 30b on the lower side and the lower lead frame (40 in FIG. 4; lower lead frame) and the second semiconductor chip 30a on the upper side and the upper lead frame (50 in FIG. 6) ) Are mechanically connected by adhesive tapes 31b and 31a, respectively, and are electrically connected by metal wires 34b and 34a (Metal Wire). In addition, the inner lead 41 (inner lead) of the lower lead frame and the inner lead 51 of the upper lead frame form a step facing each other, are mechanically connected by the adhesive tape 32, and the fine metal wire 34c. ) Is electrically connected.

이 2개의 리드 프레임 중에서 하부 쪽의 제1 리드 프레임은 내부 리드(41) 및 외부 리드(42)까지 갖춘 전형적인 리드 프레임의 형상을 하고 있으나, 나머지 상부 쪽의 제2 리드 프레임은 댐 바(도 5의 54; Dam Bar) 부분에서 절단되어 내부 리드(51)만이 봉지 수지(35; Encapsulation Resin) 영역 내에 포함된 구조이다.Of these two lead frames, the lower first lead frame has a shape of a typical lead frame including the inner lead 41 and the outer lead 42, but the second upper lead frame of the other upper side has a dam bar (FIG. 5). The inner lead 51 is cut away at a portion of 54 Dam Bar, so that only the inner lead 51 is included in the encapsulation resin region 35.

봉지 수지로 봉지되지 않는 제1 리드 프레임의 외부 리드(42; Outer Lead)는 외부 접속 단자이며, TSOP 또는 TSOJ의 외부 리드와 그 형태가 동일하다.The outer lead 42 of the first lead frame, which is not sealed with the encapsulating resin, is an external connection terminal and has the same form as the external lead of TSOP or TSOJ.

다음으로 도 4를 참조하면, 도 3에 도시된 적층형 패키지의 하부 리드 프레임(40)의 평면도로서, 내부 리드(41) 및 외부 리드(42)가 일체형으로 연배열되어 있으며 댐 바(44)에 의하여 구분된다. 댐 바(44) 및 타이 바(43; Tie Bar)가 사이드 레일(45: Side Rail)과 연결되어 리드 프레임(40)의 골격을 이루고 있다. 댐 바(44), 타이 바(43) 및 사이드 레일(45)은 통상적인 리드 프레임의 그것과 동일하다.Next, referring to FIG. 4, a plan view of the lower lead frame 40 of the stacked package shown in FIG. 3, in which the inner lead 41 and the outer lead 42 are integrally arranged in series and arranged on the dam bar 44. Are divided. The dam bar 44 and the tie bar 43 are connected to the side rails 45 to form a skeleton of the lead frame 40. Dam bar 44, tie bar 43 and side rails 45 are identical to those of a conventional lead frame.

내부 리드(41)의 안쪽 끝부분에는 하부 반도체 칩(30b)과 기계적인 접착을 이루기 위한 양면 접착 테이프(31b)가 접착되어 있으며, 접착 테이프(31b)가 접착된 반대쪽 면에는 반도체 칩(30b)과 금속 세선(34b)에 의해 전기적 접속을 이루기 위한 도금 영역(도시되지 않음)이 형성되어 있고, 내부 리드(41)의 댐 바(44) 안쪽 부분에는 제2 리드 프레임(도 6의 50)과 금속 세선(34c)에 의해 전기적 연결되기 위한 도금 영역(36c)이 형성되어 있다. 도 4에서 도면 부호 32번은 제2 리드 프레임과 기계적으로 접착을 이루는 부분이다. 내부 리드(41)는 두 개의 접착 부위(31b, 32) 사이에서 단차를 이루며(즉, 굴곡되며), 단차 높이는 반도체 칩(30b)의 두께에 대응된다.The inner end of the inner lead 41 is bonded with a double-sided adhesive tape 31b for mechanical adhesion with the lower semiconductor chip 30b, and on the opposite side to which the adhesive tape 31b is bonded, the semiconductor chip 30b. And a plating region (not shown) for electrical connection is formed by the fine metal wire 34b, and the second lead frame (50 in FIG. 6) is formed inside the dam bar 44 of the inner lead 41. As shown in FIG. The plating region 36c is formed to be electrically connected by the fine metal wire 34c. In FIG. 4, reference numeral 32 denotes a part which is mechanically bonded to the second lead frame. The inner lead 41 forms a step (ie, is bent) between the two bonding portions 31b and 32, and the step height corresponds to the thickness of the semiconductor chip 30b.

다음으로 도 5와 도 6을 참조하면, 도 6은 도 3에 도시된 적층형 패키지의 상부 리드 프레임(50)을 나타내는 부분 평면도이고, 도 5는 도 6에 도시된 형태로 봉지되기 전의 원래 리드 프레임 형태이다.Next, referring to FIGS. 5 and 6, FIG. 6 is a partial plan view showing the upper lead frame 50 of the stacked package shown in FIG. 3, and FIG. 5 is the original lead frame before being encapsulated in the form shown in FIG. 6. Form.

먼저, 도 5에 도시된 상부 리드 프레임(50)은 전술한 하부 리드 프레임(도 4의 40)과 같이 내부 리드(51) 및 외부 리드(52)가 일체형으로 연배열되어 있으며 댐 바(54)에 의하여 구분된다. 댐 바(54) 및 타이 바(53)가 사이드 레일(55)과 연결되어 리드 프레임(50)의 골격을 이루고 있다. 댐 바(54), 타이 바(53) 및 사이드 레일(55)은 하부 리드 프레임의 그것과 동일하다.First, in the upper lead frame 50 shown in FIG. 5, the inner lead 51 and the outer lead 52 are integrally arranged and integrally arranged like the lower lead frame 40 (FIG. 4), and the dam bar 54. Separated by. The dam bar 54 and the tie bar 53 are connected to the side rails 55 to form a frame of the lead frame 50. The dam bar 54, tie bar 53 and side rail 55 are identical to that of the lower lead frame.

내부 리드(51)의 안쪽 끝부분에는 상부 반도체 칩(30a)과 기계적인 접착을 이루기 위한 양면 접착 테이프(31a)가 접착되어 있으며, 타이 바(53) 부위까지 연장되어 접착을 이루고 있다. 내부 리드(51)의 댐 바(54) 안쪽 부분에는 제1 리드 프레임(도 4의 40)과 접착을 이루기 위한 양면 접착 테이프(32)가 접착되어 있다. 이 접착 테이프(32) 역시 사이드 레일(55) 쪽까지 연장되어 접착을 이루고 있다. 이와 같이 두 접착 테이프(31a, 32)가 각각 타이 바(53) 및 사이드 레일(55)과 접착을 이루는 이유는 도 6에 도시된 것과 같이, 패키지 몸체(35; 봉지 수지 영역) 내부로 봉지되기 위하여 절단되었을 때 내부 리드(51)를 지지해 주기 위해서이다.A double-sided adhesive tape 31a for mechanically bonding to the upper semiconductor chip 30a is attached to the inner end of the inner lead 51 and extends to the tie bar 53 to form an adhesive. A double-sided adhesive tape 32 for adhering to the first lead frame (40 in FIG. 4) is attached to the inner portion of the dam bar 54 of the inner lead 51. The adhesive tape 32 also extends to the side rails 55 to form an adhesive. The reason why the two adhesive tapes 31a and 32 adhere to the tie bars 53 and the side rails 55, respectively, is to be sealed into the package body 35 (encapsulation resin region) as shown in FIG. This is to support the inner lead 51 when it is cut.

반도체 칩(30a)과 접착을 이루는 내부 리드(51)의 안쪽 끝부분에는 반도체 칩(30a)과 금속 세선(34a)에 의해 전기적 접속을 이루기 위한 도금 영역(36a)이 형성되어 있고, 내부 리드(51)의 댐 바(54) 안쪽 부분에는 제1 리드 프레임(도 4의 40)과 금속 세선(34c)에 의해 전기적 연결되기 위한 도금 영역(36b)이 형성되어 있다. 도금 영역(36a, 36b)은 금속 세선(34b, 34c)과 내부 리드(51) 간에 연결성이 좋아지도록 형성되는 것으로서, 은(Ag)과 같은 물질을 이용하여 통상적인 도금 방법으로서 실시할 수 있다.At the inner end of the inner lead 51 which is in contact with the semiconductor chip 30a, a plating region 36a for electrical connection is formed by the semiconductor chip 30a and the fine metal wire 34a. In the inner portion of the dam bar 54 of 51, a plating region 36b is formed to be electrically connected to the first lead frame 40 (FIG. 4) by the metal thin wire 34c. The plating regions 36a and 36b are formed so as to have good connectivity between the fine metal wires 34b and 34c and the internal lead 51. The plating regions 36a and 36b may be implemented as a conventional plating method using a material such as silver (Ag).

마지막으로, 도 3 내지 도 6을 참조하여 지금까지 설명한 두 개의 리드 프레임(40, 50)을 이용하여 본 발명의 적층형 패키지(300)를 제조하는 과정을 설명하자면, 먼저 두 개의 리드 프레임(40, 50)에 각각 반도체 칩(30a, 30b)의 접착 및 금속 세선(34a, 34b)에 의한 전기적 연결을 실시하고 나서, 하부 리드 프레임(40)을 뒤집은 상태에서 하부 반도체 칩(30b)면에 접착수단(33)을 도포하고 상부 리드 프레임(50)에 접착된 반도체 칩(30a)과 접착하며, 리드 프레임(40, 50) 간에도 접착 테이프(32)와 같은 접착 수단을 이용하여 열 압착 등과 같은 방법으로 접착을 실시한다. 그리고, 두 리드 프레임(40, 50) 간에 금속 세선(34c)으로 전기적 연결을 실시한 후, 봉지 수지(35)로 봉지하고, 통상적인 패키지와 마찬가지로 절단, 절곡 등의 마무리 공정을 거침으로써 본 발명의 적층형 패키지를 완성한다.Lastly, referring to FIGS. 3 to 6, a process of manufacturing the stacked package 300 of the present invention using the two lead frames 40 and 50 described so far will be described. First, the two lead frames 40, After the semiconductor chips 30a and 30b are bonded to each other and the electrical connection by the fine metal wires 34a and 34b, respectively, is carried out, the bonding means is attached to the surface of the lower semiconductor chip 30b while the lower lead frame 40 is turned over. (33) is applied and adhered to the semiconductor chip 30a adhered to the upper lead frame 50, and the lead frames 40 and 50 are also bonded between the lead frames 40 and 50 by using an adhesive means such as adhesive tape 32. Adhesion is carried out. After the electrical connection is performed between the two lead frames 40 and 50 with the fine metal wire 34c, the sealing is carried out with the encapsulating resin 35 and the finishing process such as cutting and bending is performed as in a conventional package. Complete the stacked package.

따라서 본 발명의 구조에 따르면, 기존의 플라스틱 패키지의 제조 설비 및 통상적인 리드 프레임을 이용하여 하나의 패키지 안에 두 개의 반도체 칩이 적층된 적층형 패키지를 구현함으로써, 봉지 수지의 번짐이나 휨 현상으로 말미암은 적층 불량을 방지할 수 있고, 별도의 투자 비용의 부담없이 양산할 수 있다는 이점이 있다.Therefore, according to the structure of the present invention, by implementing a laminated package in which two semiconductor chips are stacked in one package by using a conventional plastic package manufacturing equipment and a conventional lead frame, lamination due to bleeding or warpage of the encapsulating resin Defects can be prevented, and there is an advantage that it can be mass-produced without any extra investment cost.

Claims (5)

각각 복수개의 칩 전극 패드가 형성되어 있으며, 상기 칩 전극 패드가 형성된 면의 반대면끼리 서로 접착을 이루는 제1 반도체 칩 및 제2 반도체 칩과;A first semiconductor chip and a second semiconductor chip each having a plurality of chip electrode pads formed thereon, and opposite surfaces of the surface on which the chip electrode pads are formed adhere to each other; 상기 제1 반도체 칩과 기계적·전기적으로 연결을 이루는 제1 리드 프레임과;A first lead frame mechanically and electrically connected to the first semiconductor chip; 상기 제2 반도체 칩과 기계적·전기적으로 연결을 이루는 동시에 상기 제1 리드 프레임과 기계적·전기적으로 연결을 이루는 제2 리드 프레임과;A second lead frame which is mechanically and electrically connected to the second semiconductor chip and is mechanically and electrically connected to the first lead frame; 상기 2개의 반도체 칩과 제1 리드 프레임의 일부 및 제2 리드 프레임의 전부를 봉지하는 봉지 수지;An encapsulation resin encapsulating the two semiconductor chips, a part of the first lead frame, and all of the second lead frame; 를 포함하는 반도체 칩 적층형 패키지.Semiconductor chip stacked package comprising a. 제 1 항에 있어서, 상기 봉지 수지로 봉지되지 않는 상기 제1 리드 프레임의 일부는 외부 접속 단자이며, TSOP 또는 TSOJ의 외부 리드와 그 형태가 동일한 것을 특징으로 하는 반도체 칩 적층형 패키지.The semiconductor chip stack package according to claim 1, wherein a part of the first lead frame not encapsulated with the encapsulating resin is an external connection terminal and has the same form as an external lead of TSOP or TSOJ. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 반도체 칩과 제1 리드 프레임은 접착 테이프에 의하여 기계적으로 연결되며, 금속 세선에 의하여 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 적층형 패키지.The semiconductor chip stack package of claim 1, wherein the first semiconductor chip and the first lead frame are mechanically connected by an adhesive tape and electrically connected by a fine metal wire. 제 1 항에 있어서, 상기 제2 반도체 칩과 제2 리드 프레임은 접착 테이프에 의하여 기계적으로 연결되며, 금속 세선에 의하여 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 적층형 패키지.The semiconductor chip stack package of claim 1, wherein the second semiconductor chip and the second lead frame are mechanically connected by an adhesive tape and electrically connected by a fine metal wire. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 리드 프레임과 제2 리드 프레임은 서로 마주보는 형태로 단차를 이루며, 접착 테이프에 의하여 기계적으로 연결되고, 금속 세선에 의하여 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 칩 적층형 패키지.The semiconductor chip stack type of claim 1, wherein the first lead frame and the second lead frame face each other in a stepped manner, are mechanically connected by an adhesive tape, and electrically connected by a fine metal wire. package.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100445073B1 (en) * 2001-08-21 2004-08-21 삼성전자주식회사 Dual die package
KR100619208B1 (en) * 1997-09-29 2006-10-24 가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼 Semiconductor device and method of producing the same
KR100734425B1 (en) * 2001-03-05 2007-07-03 삼성전자주식회사 Dual die package having lead frame for preventing transformation

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