KR19980027671A

KR19980027671A - Wafer Misplacement Detection Device

Info

Publication number: KR19980027671A
Application number: KR1019960046516A
Authority: KR
Inventors: 이규호
Original assignee: 김광호; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1996-10-17
Filing date: 1996-10-17
Publication date: 1998-07-15

Abstract

본 발명은 웨이퍼 오장착 감지장치에 관한 것으로서,The present invention relates to a wafer misalignment detection device,

웨이퍼카세트(20)의 웨이퍼수장실(21)의 정중앙을 가로지르는 방향으로 마주보도록, 광신호를 출사하는 발신부(60a)와 이를 감지하는 수신부(60b)가 설치된 하나의 센서(60)로 구성되어, 1개의 센서를 이용하여 웨이퍼의 장착상태를 판별하도록 함으로써 제조공정의 단순화 및 생산원가를 절감시키는 웨이퍼 오장착 감지장치에 관한 것이다.Consists of one sensor 60 provided with a transmitter 60a for emitting an optical signal and a receiver 60b for detecting the same so as to face in the direction crossing the center of the wafer compartment 21 of the wafer cassette 20. The present invention relates to a wafer misalignment detection apparatus which simplifies the manufacturing process and reduces the production cost by allowing a single sensor to determine the mounting state of the wafer.

Description

Wafer Misplacement Detection Device

본 발명은 웨이퍼 오장착 감지장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼카세트내 웨이퍼의 장착상태를 하나의 검출센서만으로도 손쉽게 확인할 수 있도록 한 웨이퍼 오장착 감지장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wafer misalignment detection apparatus, and more particularly, to a wafer misalignment detection apparatus for easily checking a mounting state of a wafer in a wafer cassette with only one detection sensor.

일반적인 웨이퍼 오장착 감지장치에서는, 웨이퍼 로딩작업 전에 우선 웨이퍼카세트내 웨이퍼의 장착상태를 확인하는 작업을 실행한다.In a typical wafer misalignment detecting apparatus, a work of checking the mounting state of the wafer in the wafer cassette is first performed before the wafer loading operation.

종래의 웨이퍼 오장착 감지장치는 도 1에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼(10)가 장착되는 복수개의 걸림턱(21)에 의해 형성되는 복수개의 웨이퍼수장실(22)을 갖는 웨이퍼카세트(20)와, 상기 웨이퍼카세트(20)를 상면에 안착하여 이를 승강 동작시키는 승강기(31)와, 상기 승강기(31)의 일측에 형성된 지지대(30)의 상단에 취부된 센서고정구(32)의 연장부(33)에 일정간격을 두고 설치된 두 개의 센서(40, 41)로 구성되어 있다.A conventional wafer misalignment detecting apparatus includes a wafer cassette 20 having a plurality of wafer storage chambers 22 formed by a plurality of latching jaws 21 on which a wafer 10 is mounted, as shown in FIG. An elevator 31 for mounting the wafer cassette 20 on an upper surface thereof, and elevating the wafer cassette 20, and an extension part 33 of the sensor fixture 32 mounted on an upper end of the support 30 formed on one side of the elevator 31. It consists of two sensors 40 and 41 installed at regular intervals.

이때, 상기 각 센서(40)(41)는 광신호를 출사하는 발신부(40a)(41a)와 그 광신호를 감지하는 수신부(40b)(41b)로 구성되어, 상기 수신부(40b)(41b)는 웨이퍼(10)의 장착상태에 따라 각기 해당 감지신호를 발생하게 되며 이를 전달받은 마이컴(도시하지않음)이 웨이퍼의 장착상태를 판별하게 된다.At this time, each of the sensors 40 and 41 is composed of a transmitter 40a and 41a for emitting an optical signal and a receiver 40b and 41b for detecting the optical signal. ) Generates a corresponding detection signal according to the mounting state of the wafer 10, and the microcomputer (not shown) that receives the detection signal determines the mounting state of the wafer.

그러나, 상기와 같은 종래의 웨이퍼 오장착 감지장치는, 웨이퍼의 장착상태의 확인을 위해 두 개의 검출센서를 설치함으로 인하여 제조공정이 대체로 복잡하며 생산원가가 높은 문제점이 있었다.However, the conventional wafer misalignment detection apparatus as described above has a problem in that the manufacturing process is generally complicated and the production cost is high due to the installation of two detection sensors to confirm the mounting state of the wafer.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 발신부 및 수신부로 이루어진 1개의 센서만으로 웨이퍼의 장착상태를 판별할 수 있도록 한, 웨이퍼 오장착 감지장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a wafer misalignment detection apparatus, which is designed to solve the above-described problems and to determine the mounting state of a wafer using only one sensor including a transmitter and a receiver.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 웨이퍼카세트의 웨이퍼수장실의 정중앙을 가로지르는 방향으로 마주보도록 설치된 발신부와 수신부로 이루어진 하나의 센서로 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention is characterized by consisting of a sensor consisting of a transmitter and a receiver installed to face in the direction across the center of the wafer compartment of the wafer cassette.

도 1은 종래의 웨이퍼 오장착 감지장치를 나타낸 사시도,1 is a perspective view showing a conventional wafer misalignment detection device,

도 2A 및 B는 상기 도 1의 웨이퍼 오장착 감지장치의 작동상태도,2A and B is an operating state diagram of the wafer misalignment detection apparatus of FIG.

도 3은 본 발명 실시예의 웨이퍼 오장착 감지장치를 나타낸 사시도,3 is a perspective view showing a wafer misalignment detection apparatus of an embodiment of the present invention;

도 4는 동 웨이퍼 오장착 감지장치의 작동상태도이다.4 is an operational state diagram of the wafer misalignment detecting apparatus.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10 : 웨이퍼 20 : 웨이퍼카세트10: wafer 20: wafer cassette

22 : 웨이퍼수장실 31 : 승강기22: wafer cabinet 31: elevator

60 : 센서 60a : 발신부60: sensor 60a: transmitter

60b : 수신부60b: receiving unit

이하, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명 웨이퍼 검출장치는 도 3에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼(10)가 장착되는 복수개의 걸림턱(21)에 의해 형성되는 복수개의 웨이퍼수장실(22)을 갖는 웨이퍼카세트(20)와, 상기 웨이퍼카세트(20)를 지지하며 승강 동작하는 승강기(31)와, 상기 승강기(31)의 일측에 형성된 지지대(30)의 상단에 취부된 센서고정구(32)와, 상기 센서고정구의 연장부(33)에 설치된 하나의 센서(60)로 구성되어 있다.As shown in FIG. 3, the wafer detection apparatus of the present invention includes a wafer cassette 20 having a plurality of wafer storage chambers 22 formed by a plurality of latching jaws 21 on which a wafer 10 is mounted, and the wafer. An elevator 31 supporting the cassette 20 and moving up and down, a sensor fixture 32 mounted on an upper end of the support 30 formed on one side of the elevator 31, and an extension 33 of the sensor fixture. It consists of one sensor 60 installed in.

여기서, 상기 센서(60)는 연속적으로 광신호를 출사하는 발신부(60a)와 발신부로부터의 광신호를 감지하는 수신부(60b)로 구성되며, 웨이퍼카세트의 웨이퍼수장실(21)의 정중앙을 가로지르는 방향으로 마주보도록 센서고정구의 연장부(33)에 상기 발신부(60a)와 수신부(60b)가 각각 설치되는 것이다.Here, the sensor 60 is composed of a transmitter 60a for continuously emitting an optical signal and a receiver 60b for sensing the optical signal from the transmitter, and the center of the wafer storage chamber 21 of the wafer cassette. The transmitter 60a and the receiver 60b are respectively installed in the extension part 33 of the sensor fixture so as to face in the cross direction.

상기와 같이 구성된 본 발명 웨이퍼 오장착 감지장치의 작용을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation of the wafer misalignment detection device of the present invention configured as described above are as follows.

웨이퍼카세트(20) 및 웨이퍼카세트에 장착된 웨이퍼(10)는 승강기(31)에 의해 일정한 속도로 상승되어 센서(60)가 설치된 지점을 통과한다.The wafer cassette 20 and the wafer 10 mounted on the wafer cassette are lifted at a constant speed by the elevator 31 and pass through the point where the sensor 60 is installed.

이때, 센서의 발신부(60a)는 광신호를 연속적으로 출사하며, 수신부(60b)에서는 웨이퍼가 장착된 곳과 장착되지 않은 곳에 따라 상기 광신호의 감지여부가 결정되어 이에따른 반복적인 검출신호를 발생한다.At this time, the transmitter 60a of the sensor continuously emits an optical signal, and the receiver 60b determines whether the optical signal is detected according to where the wafer is mounted and where it is not. Occurs.

이처럼, 수신부에 의해 반복적으로 발생된 검출신호는 마이컴(도시되지않음)에 전달된 후 마이컴에 의해 웨이퍼의 오장착 판별데이타로 사용된다.As described above, the detection signal repeatedly generated by the receiving unit is transmitted to the microcomputer (not shown) and used by the microcomputer as misidentification determination data of the wafer.

예를 들어, 웨이퍼가 장착된 지점에서는 수신부가 발신부의 광신호를 감지하지 못하므로 최초의 검출신호 발생지점 즉, 첫 번째 장착된 웨이퍼가 지나는 순간을 시작점으로 하고, 두 번째 장착된 웨이퍼가 지나는 순간을 끝지점으로 하여 그 시간을 마이컴에서 계산하여 기억한다.For example, at the point where the wafer is mounted, the receiver does not detect the optical signal of the transmitter, so the starting point of the first detection signal, that is, the moment when the first loaded wafer passes, the moment when the second loaded wafer passes With the end point, the time is calculated and memorized by the microcomputer.

이런 방법으로, 웨이퍼 사이 마다의 시간을 계산하게 된다.In this way, the time between wafers is calculated.

보다 구체적으로 설명하면, 첫 번째 웨이퍼와 두 번째 웨이퍼가 감지되는 시간차를 a, 두 번째와 세 번째 웨이퍼의 시간차를 b, 세 번째와 네 번째 웨이퍼의 시간차를 c라하면, 마이컴은 이를, 정장착 웨이퍼의 시간차를 기억하는, 카세트데이타와 비교하게 된다.More specifically, if the time difference between the detection of the first and second wafers is a, the time difference between the second and third wafers is b, and the time difference between the third and fourth wafers is c, then the microcomputer receives the suit. This is compared with cassette data, which stores the time difference of the wafer.

이때, 상기 카세트데이타는 웨이퍼카세트내 정장착된 각 웨이퍼의 시간차를 순차적으로 기억하며 마이컴에 미리 저장된 것이다.At this time, the cassette data is stored in advance in the microcomputer while sequentially storing the time difference of each wafer mounted in the wafer cassette.

그리하여, 상기 각 웨이퍼의 시간차와 카세트데이타의 정장착 웨이퍼 시간차를 순차적으로 비교하여 같으면 정장착으로 그렇지않으면 오장착으로 판별한다.Thus, the time difference between the respective wafers and the unsuitable wafer time difference of the cassette data are sequentially compared to determine if it is the same, and if it is not, it is incorrectly installed.

이때, 상기 웨이퍼의 시간차가 카세트데이타의 웨이퍼 시간차에 비해 두배의 값을 갖는다면 미장착으로 판별된다.At this time, if the time difference of the wafer has twice the value of the wafer time difference of the cassette data, it is determined that it is not installed.

이로써, 종래 웨이퍼카세트내 두 개의 센서를 통해 검출했던 웨이퍼의 장착상태를 하나의 검출센서로 실시함으로써 제조과정의 단순화 및 원가절감을 꾀할 수 있는 효과가 있다.Thus, by carrying out the mounting state of the wafer, which has been detected through the two sensors in the conventional wafer cassette with one detection sensor, there is an effect that can simplify the manufacturing process and reduce the cost.

이상 설명한 바와 같이 본 발명 웨이퍼 오장착 감지장치는, 발신부 및 수신부로 이루어진 1개의 웨이퍼 검출센서를 웨이퍼카세트의 웨이퍼수장실의 정중앙을 가로지르는 방향으로 마주보도록 설치함으로써, 단일 검출센서를 이용하여 웨이퍼의 장착상태를 판별할 수 있도록 하며 제조공정의 단순화 및 생산원가를 절감하고 동작의 신뢰성을 확보할 수 있는 효과가 있다.As described above, the wafer misalignment detecting device of the present invention is provided by using a single detection sensor by installing one wafer detection sensor including a transmitter and a receiver so as to face in the direction crossing the center of the wafer compartment of the wafer cassette. It is possible to determine the installation state of the product, and it has the effect of simplifying the manufacturing process, reducing the production cost, and ensuring the reliability of the operation.

Claims

The transmitter and receiver are installed on both sides of the sensor fixtures located on both sides of the wafer compartment, whether the wafer is misfitted in the wafer cassette having a plurality of wafer compartments by the elevator, and the sensing means connected to the microcomputer. Wherein the sensing means is one sensor 60 provided with a transmitter 60a and a receiver 60b facing each other in the direction transverse to the center of the wafer compartment 21. Misalignment detection device.