KR102700083B1 - Gripper device, return vehicle, and return method - Google Patents

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Abstract

그리퍼(gripper) 장치는, 이재부(移載部)의 상방에 있어서 승강 가능한 승강부에 부착되어, 물품을 홀딩하는 홀딩부와, 물품의 상부에 있어서의 2개소(個所)의 제1 접촉 위치에서 물품에 접촉함으로써, 물품에 대해 수평 방향에 있어서의 홀딩부의 위치결정을 행하는 제1 위치결정부와, 물품의 상부에 있어서의 일직선상에는 위치하지 않는 3개소의 제2 접촉 위치에서 물품에 접촉함으로써, 물품에 대해 높이 방향에 있어서의 홀딩부의 위치결정을 행하는 제2 위치결정부를 구비한다.A gripper device comprises a holding portion that is attached to a lifting portion that can be raised above a transfer portion and holds an article, a first positioning portion that contacts the article at two first contact positions above the article to determine the position of the holding portion in a horizontal direction with respect to the article, and a second positioning portion that contacts the article at three second contact positions above the article that are not located in a straight line to determine the position of the holding portion in a height direction with respect to the article.

Description

그리퍼 장치, 반송차, 및 반송 방법Gripper device, return vehicle, and return method

[0001] 본 개시는, 물품을 홀딩(保持)하는 그리퍼(gripper) 장치, 그리퍼 장치를 구비하는 반송차, 및 물품을 홀딩하여 반송하는 반송 방법에 관한 것이다.[0001] The present disclosure relates to a gripper device for holding an article, a transport vehicle equipped with the gripper device, and a transport method for holding and transporting an article.

[0002] 특허문헌 1에 기재된 바와 같이, 수납 용기를 지지하는 그리퍼 장치가 알려져 있다. 이 그리퍼 장치는, 승강대의 거의 중앙 부분에서 하방으로 돌출되는 센터 콘(center cone)과, 수납 용기를 하방으로부터 지지하는 한 쌍의 핑거부를 구비한다. 그리퍼 장치가 수납 용기의 상방으로부터 하강하면, 한 쌍의 핑거부가 수납 용기의 플랜지부로 안내되어, 센터 콘이 플랜지부의 삽입 구멍에 삽입된다. 이에 의해, 수납 용기에 대해 그리퍼 장치가 위치결정된다.[0002] As described in Patent Document 1, a gripper device for supporting a storage container is known. This gripper device has a center cone protruding downward from almost the center of a lifting platform, and a pair of fingers for supporting the storage container from below. When the gripper device is lowered from above the storage container, the pair of fingers are guided to a flange portion of the storage container, and the center cone is inserted into an insertion hole of the flange portion. Thereby, the gripper device is positioned with respect to the storage container.

일본 특허공개공보 제2016-163001호Japanese Patent Publication No. 2016-163001

[0004] 상기한 종래의 그리퍼 장치에서는, 1개의 센터 콘만으로 위치결정을 행하고 있기 때문에, 높이 방향의 위치결정이 불충분해질 우려가 있다. 반구면(半球面) 형상의 외주면을 갖는 센터 콘에 의해 위치결정을 행하였을 경우, 센터 콘을 중심으로 하는 회전 방향의 어긋남이 잔존할 우려가 있다.[0004] In the above-mentioned conventional gripper device, since positioning is performed by only one center cone, there is a concern that positioning in the height direction may be insufficient. If positioning is performed by a center cone having a hemispherical outer surface, there is a concern that misalignment in the rotational direction centered on the center cone may remain.

[0005] 본 개시는, 물품에 대한 수평 방향 및 높이 방향에 있어서의 위치결정을 정확하게 행할 수 있는 그리퍼 장치, 반송차, 및 반송 방법을 설명한다.[0005] The present disclosure describes a gripper device, a transport vehicle, and a transport method capable of accurately determining a position of an article in the horizontal and height directions.

[0006] 본 개시의 하나의 양태는, 이재(移載; 옮겨 싣기)부에 놓여진 물품을 홀딩(保持)하는 그리퍼 장치로서, 이재부의 상방에 있어서 승강 가능한 승강부에 부착되어, 물품을 홀딩하는 홀딩부와, 승강부에 부착되어, 물품의 상부에 있어서의 2개소(個所)의 제1 접촉 위치에서 물품에 접촉함으로써, 물품에 대해 수평 방향에 있어서의 홀딩부의 위치결정을 행하는 제1 위치결정부와, 승강부에 부착되어, 물품의 상부에 있어서의 일직선상에는 위치하지 않는 3개소의 제2 접촉 위치에서 물품에 접촉함으로써, 물품에 대해 높이 방향에 있어서의 홀딩부의 위치결정을 행하는 제2 위치결정부를 구비한다.[0006] One aspect of the present disclosure is a gripper device for holding an article placed on a transfer section, comprising: a holding section that is attached to a lifting section that can be raised or lowered above the transfer section and holds the article; a first positioning section that is attached to the lifting section and contacts the article at two first contact positions above the article, thereby positioning the holding section in a horizontal direction with respect to the article; and a second positioning section that is attached to the lifting section and contacts the article at three second contact positions above the article that are not located in a straight line, thereby positioning the holding section in a height direction with respect to the article.

[0007] 이 그리퍼 장치에 의하면, 제1 위치결정부가, 물품의 상부에 있어서의 2개소의 제1 접촉 위치에서 물품에 접촉한다. 제1 위치결정부의 접촉에 의해, 물품에 대해 수평 방향에 있어서의 홀딩부의 위치결정이 행해진다. 또한 제2 위치결정부가, 물품의 상부에 있어서의 3개소의 제2 접촉 위치에서 물품에 접촉한다. 이들 3개소의 제2 접촉 위치는 일직선상에 위치하지 않기 때문에, 제2 위치결정부의 접촉에 의해, 물품에 대해 높이 방향에 있어서의 홀딩부의 위치결정이 행해진다. 이와 같이, 수평 방향에 대해 2개소, 및 높이 방향에 대해 3개소의 접촉 위치가 이용되므로, 물품에 대한 수평 방향 및 높이 방향에 있어서의 위치결정을 정확하게 행할 수 있다.[0007] According to this gripper device, the first positioning section contacts the article at two first contact positions on the upper side of the article. By the contact of the first positioning section, the positioning of the holding section in the horizontal direction with respect to the article is performed. In addition, the second positioning section contacts the article at three second contact positions on the upper side of the article. Since these three second contact positions are not located in a straight line, by the contact of the second positioning section, the positioning of the holding section in the height direction with respect to the article is performed. In this way, since two contact positions in the horizontal direction and three contact positions in the height direction are used, positioning in the horizontal direction and the height direction with respect to the article can be accurately performed.

[0008] 제1 위치결정부는, 2개소뿐인 제1 접촉 위치에서 물품에 접촉해도 된다. 제1 위치결정부가, 3개소 이상의 제1 접촉 위치에서 물품에 접촉하는 경우, 3개소 중의 2개소와 다른 1개소에서, 수평 방향에 있어서의 홀딩부의 위치가 일의적으로 정해지지 않아, 부정합이 발생할 가능성이 있다. 즉, 3개소 이상의 제1 접촉 위치 간에 삐걱거림이 발생할 가능성이 있다. 제1 접촉 위치가 2개소로만 한정되어 있으면, 그러한 부정합 즉 삐걱거림이 억제된다.[0008] The first position-determining portion may contact the article at only two first contact positions. When the first position-determining portion contacts the article at three or more first contact positions, the positions of the holding portion in the horizontal direction are not uniquely determined at two of the three positions and one other position, so that misalignment may occur. That is, there is a possibility that squeaking may occur between the three or more first contact positions. If the first contact positions are limited to only two positions, such misalignment, i.e. squeaking, is suppressed.

[0009] 물품의 상면에 설치된 피(被)위치검출부에는, 상방을 향해 개방된 개구(開口)를 갖는 동시에 개구에 대한 높이가 낮을수록 내경(內徑)이 작아지는 2개의 테이퍼 형상의 가이드 구멍이 형성되어 있으며, 2개의 가이드 구멍이 형성된 위치는, 2개소의 제1 접촉 위치이며 또한 2개소의 제2 접촉 위치이고, 제1 위치결정부가, 2개의 상기 가이드 구멍에 각각 진입 가능한 2개의 볼록 부재(凸部材)를 가져도 된다. 이 경우, 2개소의 제1 접촉 위치와 2개소의 제2 접촉 위치가 공통화됨으로써, 위치결정을 위한 부재를 줄일 수 있다.[0009] A position detection section installed on the upper surface of the article has two tapered guide holes formed which have an opening that is open upward and whose inner diameter becomes smaller as the height with respect to the opening decreases, and the positions where the two guide holes are formed are two first contact positions and also two second contact positions, and the first position determination section may have two convex members which can enter the two guide holes, respectively. In this case, since the two first contact positions and the two second contact positions are common, the members for position determination can be reduced.

[0010] 제2 위치결정부가, 제2 접촉 위치 중 적어도 하나에서 물품의 상면에 설치된 피위치검출부에 접촉하는 수평면부를 포함하는 적어도 1개의 누름 부재를 가져도 된다. 수평면부를 포함하는 누름 부재에 의하면, 높이 방향에 있어서의 위치결정을 정확하고 용이하게 행할 수 있다.[0010] The second position-determining portion may have at least one pressing member including a horizontal surface portion that contacts a position-detecting portion installed on an upper surface of the article at at least one of the second contact positions. By using the pressing member including the horizontal surface portion, positioning in the height direction can be performed accurately and easily.

[0011] 제2 접촉 위치가 4개소에 마련되어 있어도 된다. 이 경우, 높이 방향에 있어서 보다 정확하게 위치결정을 행할 수 있다.[0011] The second contact positions may be provided at four locations. In this case, positioning can be determined more accurately in the height direction.

[0012] 본 개시의 다른 양태로서, 상기한 어느 하나의 그리퍼 장치를 구비하며, 천장에 설치된 궤도를 따라 주향하는, 반송차가 제공되어도 된다. 이 반송차에 의하면, 홀딩부는 물품에 대해 정확하게 위치결정된 상태로, 물품을 홀딩한다. 따라서, 물품의 반송 상태가 안정적이며, 이에 따라 물품을 고속으로 반송할 수도 있다.[0012] In another aspect of the present disclosure, a transport vehicle may be provided, which has one of the gripper devices described above and runs along a track installed on a ceiling. According to this transport vehicle, the holding section holds the article in a state where it is accurately positioned relative to the article. Accordingly, the state of transport of the article is stable, and thus the article can be transported at high speed.

[0013] 본 개시의 또 다른 양태는, 이재부에 놓여진 물품을 그리퍼 장치로 홀딩하여 반송하는 반송 방법으로서, 상기 그리퍼 장치는, 상기 이재부의 상방에 있어서 승강 가능한 승강부에 부착되어, 상기 물품을 홀딩하는 홀딩부와, 상기 물품에 대한 수평 방향의 위치결정을 위한 제1 위치결정부와, 상기 물품에 대한 높이 방향의 위치결정을 위한 제2 위치결정부를 구비하며, 상기 승강부를 하강시키는 하강 공정과, 상기 하강 공정 후에 실시되고, 상기 물품의 상부에 있어서의 2개소의 제1 접촉 위치에서 상기 제1 위치결정부를 상기 물품에 접촉시킴으로써, 상기 물품에 대해 수평 방향에 있어서의 상기 홀딩부의 위치결정을 행하는 제1 위치결정 공정과, 상기 하강 공정 후에 실시되고, 상기 물품의 상부에 있어서의 일직선상에는 위치하지 않는 3개소의 제2 접촉 위치에서 상기 제2 위치결정부를 상기 물품에 접촉시킴으로써, 상기 물품에 대해 높이 방향에 있어서의 상기 홀딩부의 위치결정을 행하는 제2 위치결정 공정과, 상기 제1 위치결정 공정 및 상기 제2 위치결정 공정 후에 실시되고, 상기 홀딩부에 의해 상기 물품을 홀딩하는 홀딩 공정을 포함한다.[0013] Another aspect of the present disclosure is a method for transporting an article placed on a transfer section by holding it with a gripper device, wherein the gripper device is attached to a lifting section capable of being raised above the transfer section and comprises a holding section for holding the article, a first positioning section for determining a horizontal position for the article, and a second positioning section for determining a height position for the article, the method comprising: a lowering step for lowering the lifting section; a first positioning step, which is performed after the lowering step, for positioning the holding section in the horizontal direction with respect to the article by contacting the first positioning section with the article at two first contact positions on the upper side of the article; and a second step, which is performed after the lowering step, for positioning the holding section in the height direction with respect to the article by contacting the second positioning section with the article at three second contact positions on the upper side of the article that are not located in a straight line. It includes a positioning process, and a holding process that is performed after the first positioning process and the second positioning process, and holds the article by the holding unit.

[0014] 이 반송 방법에 의하면, 상기한 것과 동일한 작용·효과가 나타난다. 즉, 수평 방향에 대해 2개소, 및 높이 방향에 대해 3개소의 접촉 위치가 이용되므로, 물품에 대한 수평 방향 및 높이 방향에 있어서의 위치결정을 정확하게 행할 수 있다.[0014] According to this return method, the same action and effect as described above are achieved. That is, since two contact positions in the horizontal direction and three contact positions in the height direction are used, positioning of the product in the horizontal direction and height direction can be accurately determined.

[0015] 본 개시에 따르면, 물품에 대한 수평 방향 및 높이 방향에 있어서의 위치결정을 정확하게 행할 수 있다.[0015] According to the present disclosure, positioning of an article in the horizontal direction and height direction can be accurately determined.

[0016] 도 1은, 본 개시의 하나의 실시형태에 따른 그리퍼 장치를 구비한 반송차의 개략적인 구성을 나타낸 도면이다.
도 2는, 도 1 중의 그리퍼 장치를 나타낸 평면도이다.
도 3은, 도 1의 반송차 시스템에 의해 반송되는 물품을 나타낸 사시도이다.
도 4는, 제1 위치결정부의 구조를 나타낸 단면도이다.
도 5는, 제2 위치결정부의 구조를 나타낸 단면도이다.
도 6은, 제1 위치결정 공정에 있어서의 제1 위치결정부와 물품의 피(被)홀딩부의 배치를 나타낸 도면이다.
도 7은, 도 6에 도시된 상태에 이어서 승강부가 하강한 상태를 나타낸 도면이다.
도 8은, 도 7에 도시된 상태에 이어서 승강부가 하강하여 정지한 상태를 나타낸 도면이다.
도 9는, 도 8에 도시된 상태에 이어서, 홀딩부가 피홀딩부의 걸림결합 위치로 이동한 상태를 나타낸 도면이다.
도 10은, 도 8에 도시된 상태에 이어서, 홀딩부가 피홀딩부에 걸림결합하여 물품을 홀딩한 상태를 나타낸 도면이다.
도 11의 (a)∼(d)는, 제1 접촉 위치와 제2 접촉 위치의 배치에 관한 각종 변형(variation)을 나타낸 도면이다.[0016] FIG. 1 is a drawing showing a schematic configuration of a transport vehicle equipped with a gripper device according to one embodiment of the present disclosure.
Fig. 2 is a plan view showing the gripper device in Fig. 1.
Figure 3 is a perspective view showing an article returned by the return vehicle system of Figure 1.
Fig. 4 is a cross-sectional view showing the structure of the first positioning unit.
Figure 5 is a cross-sectional view showing the structure of the second positioning unit.
Figure 6 is a drawing showing the arrangement of the first positioning section and the holding section of the article in the first positioning process.
Fig. 7 is a drawing showing a state in which the elevator unit has been lowered following the state shown in Fig. 6.
Figure 8 is a drawing showing a state in which the elevator has descended and stopped following the state shown in Figure 7.
FIG. 9 is a drawing showing a state in which the holding part has moved to the engaging position of the holding part, following the state shown in FIG. 8.
FIG. 10 is a drawing showing a state in which the holding part is hooked to the non-holding part and holds the article, following the state shown in FIG. 8.
Figures 11 (a) to (d) are drawings showing various variations regarding the arrangement of the first contact position and the second contact position.

[0017] 도 1에 나타낸 바와 같이, 하나의 실시형태의 천장 반송차(반송차)(1)는, 반도체 디바이스가 제조되는 클린룸(clean room)의 천장(110)에 부설(敷設)된 궤도(100)를 따라 주행한다. 하나의 실시형태의 천장 반송차(1)는, 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 FOUP(Front Opening Unified Pod)(물품)(200)의 반송, 및, 반도체 웨이퍼에 각종 처리를 실시하는 처리 장치에 설치된 이재(移載; 옮겨 싣기)부인 로드 포트(이재부)(300) 등에 대한 FOUP(200)의 이재를 행한다. 궤도(100)는, 서스펜딩 지지기둥(108)에 의해 천장(110)으로부터 매달려 있다. 궤도(100)는, 주행 레일(101)과, 주행 레일(101)의 하부에 설치된 급전(給電) 레일(102)을 갖고 있다.[0017] As shown in Fig. 1, a ceiling transport vehicle (transport vehicle) (1) of one embodiment runs along a track (100) installed on a ceiling (110) of a clean room where semiconductor devices are manufactured. The ceiling transport vehicle (1) of one embodiment transports a FOUP (Front Opening Unified Pod) (article) (200) that accommodates a plurality of semiconductor wafers, and transfers the FOUP (200) to a load port (transfer unit) (300), which is a transfer unit installed in a processing device that performs various processes on semiconductor wafers. The track (100) is suspended from the ceiling (110) by suspending support columns (108). The track (100) has a running rail (101) and a power supply rail (102) installed below the running rail (101).

[0018] 천장 반송차(1)는, 프레임 유닛(2)과, 주행 유닛(3a)과, 수전(受電) 유닛(3b)과, 횡방향 유닛(lateral unit)(4)과, 시터 유닛(sheeter unit)(5)과, 승강 구동 유닛(6)과, 그리퍼 장치(10)와, 컨트롤러(8)를 구비하고 있다. 프레임 유닛(2)은, 센터 프레임(21)과, 프런트 프레임(22)과, 리어 프레임(23)을 갖고 있다. 프런트 프레임(22)은, 센터 프레임(21)에 있어서의 전측(천장 반송차(1)의 주행 방향에 있어서의 전측)의 단부로부터 하측으로 연장되어 있다. 리어 프레임(23)은, 센터 프레임(21)에 있어서의 후측(천장 반송차(1)의 주행 방향에 있어서의 후측)의 단부로부터 하측으로 연장되어 있다.[0018] The ceiling transport vehicle (1) has a frame unit (2), a driving unit (3a), a receiving unit (3b), a lateral unit (4), a sheeter unit (5), an elevation drive unit (6), a gripper device (10), and a controller (8). The frame unit (2) has a center frame (21), a front frame (22), and a rear frame (23). The front frame (22) extends downward from an end of the front side (the front side in the driving direction of the ceiling transport vehicle (1)) of the center frame (21). The rear frame (23) extends downward from an end of the rear side (the rear side in the driving direction of the ceiling transport vehicle (1)) of the center frame (21).

[0019] 주행 유닛(3a) 및 수전 유닛(3b)은, 센터 프레임(21)의 상측에 배치되어 있다. 주행 유닛(3a)은, 주행 레일(101)에 부착되어 있다. 수전 유닛(3b)은, 예컨대, 급전 레일(102)을 따라 부설된 고주파 전류선으로부터 비접촉으로 전력을 공급받는다. 수전 유닛(3b)에 대한 전력 공급에 의해, 주행 유닛(3a)이 궤도(100)를 따라 주행한다. 횡방향 유닛(4)은, 센터 프레임(21)의 하측에 배치되어 있다. 횡방향 유닛(4)은, 시터 유닛(5), 승강 구동 유닛(6) 및 그리퍼 장치(10)를 횡방향(천장 반송차(1)의 주행 방향에 있어서의 측방)으로 이동시킨다. 시터 유닛(5)은, 횡방향 유닛(4)의 하측에 배치되어 있다. 시터 유닛(5)은, 승강 구동 유닛(6) 및 그리퍼 장치(10)를 수평면 내에 있어서 회동(回動)시킨다.[0019] The driving unit (3a) and the receiving unit (3b) are arranged on the upper side of the center frame (21). The driving unit (3a) is attached to the driving rail (101). The receiving unit (3b) receives power non-contactwise from, for example, a high-frequency current line laid along the power supply rail (102). By supplying power to the receiving unit (3b), the driving unit (3a) runs along the track (100). The lateral unit (4) is arranged on the lower side of the center frame (21). The lateral unit (4) moves the sitter unit (5), the lifting drive unit (6), and the gripper device (10) laterally (laterally in the driving direction of the ceiling carrier (1)). The sitter unit (5) is arranged on the lower side of the lateral unit (4). The seat unit (5) rotates the lifting drive unit (6) and the gripper device (10) within a horizontal plane.

[0020] 승강 구동 유닛(6)은, 시터 유닛(5)의 하측에 배치되어 있다. 승강 구동 유닛(6)은, 그리퍼 장치(10)를 승강시킨다. 그리퍼 장치(10)는, 승강 구동 유닛(6)의 하측에 배치되어 있다. 그리퍼 장치(10)는, FOUP(200)의 플랜지부(202)를 홀딩한다. 컨트롤러(8)는, 프런트 프레임(22) 및 리어 프레임(23)에 배치되어 있다. 컨트롤러(8)는, CPU, ROM 및 RAM 등에 의해 구성된 전자 제어 유닛이다. 컨트롤러(8)는, 천장 반송차(1)의 각부(各部)를 제어한다.[0020] The lifting drive unit (6) is arranged on the lower side of the seat unit (5). The lifting drive unit (6) raises and lowers the gripper device (10). The gripper device (10) is arranged on the lower side of the lifting drive unit (6). The gripper device (10) holds the flange portion (202) of the FOUP (200). The controller (8) is arranged on the front frame (22) and the rear frame (23). The controller (8) is an electronic control unit composed of a CPU, a ROM, a RAM, and the like. The controller (8) controls each part of the ceiling transport vehicle (1).

[0021] 프런트 프레임(22) 및 리어 프레임(23)에는, FOUP(200)가 프레임 유닛(2)으로부터 낙하하는 것을 방지하는 4개의 하측 낙하방지부(26) 및 2개의 덮개 낙하방지부(27)가 부착되어 있다. 하측 낙하방지부(26)는, 프레임 유닛(2)의 네 군데의 코너 위치에 있어서, 프런트 프레임(22)의 하단과 리어 프레임(23)의 하단에 각각 부착되어 있어, FOUP(200)의 바닥면(底面)의 전단 및 후단에 각각 대면한다. 덮개 낙하방지부(27)는, 프런트 프레임(22)의 하부와 리어 프레임(23)의 하부에 각각 부착되어 있어, 덮개(205)측(도 3 참조)으로부터 FOUP(200)에 대면한다. 이들 하측 낙하방지부(26) 및 덮개 낙하방지부(27)는, FOUP(200)의 이재에 수반하여, 적절한 타이밍에 개폐된다.[0021] Four lower drop prevention parts (26) and two cover drop prevention parts (27) are attached to the front frame (22) and the rear frame (23) to prevent the FOUP (200) from falling from the frame unit (2). The lower drop prevention parts (26) are attached to the lower end of the front frame (22) and the lower end of the rear frame (23) at four corner positions of the frame unit (2), respectively, so as to face the front and rear ends of the bottom surface of the FOUP (200), respectively. The cover drop prevention parts (27) are attached to the lower end of the front frame (22) and the lower end of the rear frame (23), respectively, so as to face the FOUP (200) from the cover (205) side (see FIG. 3). These lower drop prevention parts (26) and cover drop prevention parts (27) are opened and closed at appropriate timing in accordance with the transfer of the FOUP (200).

[0022] 이상과 같이 구성된 천장 반송차(1)는, 일례로서, 다음과 같이 동작한다. 로드 포트(300)로부터 천장 반송차(1)로 FOUP(200)를 이재하는 경우에는, FOUP(200)를 홀딩하고 있지 않은 천장 반송차(1)가 로드 포트(300)의 상방에 정지한다. 그리퍼 장치(10)의 수평 위치가 로드 포트(300)의 수직 상방의 위치로부터 어긋나 있는 경우에는, 횡방향 유닛(4) 및 시터 유닛(5)을 구동시킴으로써, 승강 구동 유닛(6)째로 홀딩 유닛의 수평 위치 및 각도를 미세 조정한다. 이어서, 승강 구동 유닛(6)이 그리퍼 장치(10)를 하강시키고, 그리퍼 장치(10)가, 로드 포트(300)에 놓여 있는 FOUP(200)의 플랜지부(202)를 홀딩한다. 이어서, 승강 구동 유닛(6)이 그리퍼 장치(10)를 상승단(上昇端)까지 상승시켜, 프런트 프레임(22)과 리어 프레임(23) 사이에 FOUP(200)를 배치한다. 하측 낙하방지부(26) 및 덮개 낙하방지부(27)가 닫힌다. 이어서, FOUP(200)를 홀딩한 천장 반송차(1)가 주행을 개시한다.[0022] The overhead transport vehicle (1) configured as described above operates as follows, as an example. When transferring a FOUP (200) from a load port (300) to the overhead transport vehicle (1), the overhead transport vehicle (1) not holding the FOUP (200) stops above the load port (300). When the horizontal position of the gripper device (10) is deviated from the vertically upper position of the load port (300), the horizontal position and angle of the holding unit are finely adjusted by driving the lateral unit (4) and the seat unit (5) using the lifting drive unit (6). Then, the lifting drive unit (6) lowers the gripper device (10), and the gripper device (10) holds the flange portion (202) of the FOUP (200) placed on the load port (300). Next, the lifting drive unit (6) raises the gripper device (10) to the lifting end, and places the FOUP (200) between the front frame (22) and the rear frame (23). The lower drop prevention part (26) and the cover drop prevention part (27) are closed. Next, the ceiling transport vehicle (1) holding the FOUP (200) starts to drive.

[0023] 한편, 천장 반송차(1)로부터 로드 포트(300)로 FOUP(200)를 이재하는 경우에는, FOUP(200)를 홀딩한 천장 반송차(1)가 로드 포트(300)의 상방에 정지한다. 하측 낙하방지부(26) 및 덮개 낙하방지부(27)가 열린다. 그리퍼 장치(10)(FOUP(200))의 수평 위치가 로드 포트(300)의 수직 상방의 위치로부터 어긋나 있는 경우에는, 횡방향 유닛(4) 및 시터 유닛(5)을 구동시킴으로써, 승강 구동 유닛(6)째로 홀딩 유닛의 수평 위치 및 각도를 미세 조정한다. 이어서, 승강 구동 유닛(6)이 그리퍼 장치(10)를 하강시켜, 로드 포트(300)에 FOUP(200)를 올려놓고, 그리퍼 장치(10)가 FOUP(200)의 플랜지부(202)의 홀딩을 해방시킨다. 이어서, 승강 구동 유닛(6)이 그리퍼 장치(10)를 상승단까지 상승시킨다. 이어서, FOUP(200)를 홀딩하고 있지 않은 천장 반송차(1)가 주행을 개시한다.[0023] Meanwhile, when transferring the FOUP (200) from the overhead transport vehicle (1) to the load port (300), the overhead transport vehicle (1) holding the FOUP (200) stops above the load port (300). The lower drop prevention unit (26) and the cover drop prevention unit (27) open. When the horizontal position of the gripper device (10) (FOUP (200)) is deviated from the vertical upper position of the load port (300), the horizontal position and angle of the holding unit are finely adjusted by the lifting drive unit (6) by driving the lateral unit (4) and the seater unit (5). Next, the lifting drive unit (6) lowers the gripper device (10) to place the FOUP (200) on the load port (300), and the gripper device (10) releases the holding of the flange portion (202) of the FOUP (200). Next, the lifting drive unit (6) raises the gripper device (10) to the rising stage. Next, the overhead transport vehicle (1) that is not holding the FOUP (200) starts to drive.

[0024] 도 2에 나타낸 바와 같이, 그리퍼 장치(10)는, 그리퍼 장치(10)의 본체를 이루는 승강부(11)와, FOUP(200)를 홀딩하는 홀딩부(9)를 구비한다. 홀딩부(9)는, 승강부(11)에 고정된 모터(16)와, 모터(16)의 출력축(16a)을 통해 모터(16)에 접속된 1개의 링크 기구(20)와, 링크 기구(20)의 선단에 부착된 한 쌍의 핑거부(걸림결합부)(12)를 갖는다. 모터(16), 링크 기구(20), 및 한 쌍의 핑거부(12)는, 승강부(11)에 부착되어 있다. 모터(16) 및 링크 기구(20)는, 한 쌍의 핑거부(12)를 이동시키는 구동부(7)를 구성하고 있다. 또한, 한 쌍의 핑거부(12)가, 링크 기구(20)가 아니라, 예컨대 볼 나사 또는 벨트 등에 의해 구동되어도 된다. 승강부(11)는, 상술한 승강 구동 유닛(6)을 구성하는 예컨대 4개의 벨트(6a)에 의해 매달려 있다. 승강부(11)는, 컨트롤러(8)에 의해 승강 구동 유닛(6)이 제어됨으로써, FOUP(200)의 상방(로드 포트(300)의 상방)에 있어서 승강 가능하다. 참고로, 승강 구동 유닛(6)이 3개의 벨트(6a)를 가지고 있고, 승강부(11)가 3개의 벨트(6a)에 의해 매달려 있어도 된다.[0024] As shown in Fig. 2, the gripper device (10) has a lifting portion (11) forming the main body of the gripper device (10) and a holding portion (9) for holding a FOUP (200). The holding portion (9) has a motor (16) fixed to the lifting portion (11), one link mechanism (20) connected to the motor (16) via an output shaft (16a) of the motor (16), and a pair of finger portions (engaging portions) (12) attached to the tip of the link mechanism (20). The motor (16), the link mechanism (20), and the pair of finger portions (12) are attached to the lifting portion (11). The motor (16) and the link mechanism (20) constitute a driving portion (7) for moving the pair of finger portions (12). In addition, a pair of fingers (12) may be driven by, for example, a ball screw or a belt, rather than a link mechanism (20). The lifting unit (11) is suspended by, for example, four belts (6a) that constitute the lifting drive unit (6) described above. The lifting unit (11) is capable of being lifted above the FOUP (200) (above the load port (300)) by controlling the lifting drive unit (6) by the controller (8). For reference, the lifting drive unit (6) may have three belts (6a), and the lifting unit (11) may be suspended by the three belts (6a).

[0025] 도 3을 참조하여, 본 실시형태의 그리퍼 장치(10)에 의해 홀딩되는 FOUP(200)에 대해 설명한다. FOUP(200)는, 예컨대 직육면체 형상의 본체(201)를 갖는다. 본체(201)의 측면(천장 반송차(1)의 주행 방향에 있어서의 측방의 면)에는, 덮개(205)가 개폐 가능하게 부착되어 있다. FOUP(200)는, 본체(201) 내에 복수의 반도체 웨이퍼를 수용한다. FOUP(200)는, 본체(201) 내에, 사각 형상의 기판인 복수의 반도체 패널을 수용해도 된다. 본체(201)의 직사각형의 상면(201a)에는, 그리퍼 장치(10)에 의해 홀딩되는 한 쌍의 플랜지부(202)가 설치되어 있다. 한 쌍의 플랜지부(202)는, 상면(201a)을 따른 방향이며 천장 반송차(1)의 주행 방향에 대응하는 방향(도면 중에 표시되는 X방향)으로 이격되어 있다. 이하의 설명에 있어서, 이 방향을 「제1 방향」이라고 한다. 한 쌍의 플랜지부(202)는, 상면(201a)의 X방향에 있어서의 단부(201b, 201b)에 배치되어 있고, 각각, 상면(201a)을 따른 방향이며 상기 제 1 방향에 직교하는 방향(도면 중에 표시되는 Y방향)으로 길게 연장되어 있다. 이하의 설명에 있어서, 상기 제1 방향에 직교하는 방향을 「제2 방향」이라고 한다. 이들 제1 방향 및 제2 방향이라는 말은, FOUP(200)의 설명에 이용될 수 있지만, FOUP(200)를 홀딩하는 그리퍼 장치(10)의 설명에도 이용될 수 있다. 상술한 바대로, 제1 방향은, 승강 구동 유닛(6) 및 그리퍼 장치(10)가 프레임 유닛(2)에 정렬된 상태에 있어서의, 천장 반송차(1)의 주행 방향에 대응한다.[0025] Referring to FIG. 3, a FOUP (200) held by a gripper device (10) of the present embodiment will be described. The FOUP (200) has, for example, a rectangular parallelepiped-shaped main body (201). A cover (205) is attached to a side surface (a lateral surface in the driving direction of the overhead transport vehicle (1)) of the main body (201) so as to be openable and closable. The FOUP (200) accommodates a plurality of semiconductor wafers in the main body (201). The FOUP (200) may accommodate a plurality of semiconductor panels, which are square substrates, in the main body (201). A pair of flange portions (202) held by the gripper device (10) are installed on a rectangular upper surface (201a) of the main body (201). A pair of flange portions (202) are spaced apart in a direction (X direction indicated in the drawing) corresponding to the driving direction of the overhead transport vehicle (1) along the upper surface (201a). In the following description, this direction is referred to as a “first direction.” A pair of flange portions (202) are arranged at ends (201b, 201b) in the X direction of the upper surface (201a), and each extends long in a direction (Y direction indicated in the drawing) along the upper surface (201a) and orthogonal to the first direction. In the following description, the direction orthogonal to the first direction is referred to as a “second direction.” These terms “first direction” and “second direction” can be used in the description of the FOUP (200), but can also be used in the description of the gripper device (10) that holds the FOUP (200). As described above, the first direction corresponds to the driving direction of the ceiling transport vehicle (1) when the lifting drive unit (6) and the gripper device (10) are aligned with the frame unit (2).

[0026] 보다 상세하게는, FOUP(200)의 상면(201a)에는, 단부(201b, 201b)의 각각에 있어서, 복수 쌍(본 실시형태에서는 3쌍)의 지지기둥(203)이 세움 설치되어 있다. 각 지지기둥(203)은, 상면(201a)에 수직으로 연장되어 있고, 그 하단이 상면(201a)에 고정되어 있다. 상면(201a)의 제1 방향에 있어서의 일측의 단부(201b)에, 예컨대 3개의 동일한 길이를 갖는 지지기둥(203)이 세움 설치되어 있고, 이들 지지기둥(203)의 상단에, 1장의 플랜지부(202)가 용접 또는 볼트 등에 의해 고정되어 있다. 상면(201a)의 제1 방향에 있어서의 타측의 단부(201b)에, 예컨대 3개의 동일한 길이를 갖는 지지기둥(203)이 세움 설치되어 있고, 이들 지지기둥(203)의 상단에, 1장의 플랜지부(202)가 용접 또는 볼트 등에 의해 고정되어 있다. 한 쌍의 플랜지부(202)는, FOUP(200)의 상면(201a)에 예컨대 평행하게 연장되어 있다. 이상 설명한 바와 같이, FOUP(200)는, 상면(201a)에 설치되고 상면(201a)을 따른 제1 방향으로 이격되는 한 쌍의 플랜지부(202)를 구비하고 있다.[0026] More specifically, on the upper surface (201a) of the FOUP (200), a plurality of pairs (three pairs in this embodiment) of support columns (203) are erected at each of the ends (201b, 201b). Each of the support columns (203) extends vertically to the upper surface (201a), and its lower end is fixed to the upper surface (201a). At one end (201b) of the upper surface (201a) in the first direction, for example, three support columns (203) having the same length are erected, and a single flange portion (202) is fixed to the upper end of each of the support columns (203) by welding or bolting. At the other end (201b) in the first direction of the upper surface (201a), for example, three support columns (203) having the same length are installed, and a single flange portion (202) is fixed to the upper end of these support columns (203) by welding or a bolt, etc. A pair of flange portions (202) extend, for example, parallel to the upper surface (201a) of the FOUP (200). As described above, the FOUP (200) has a pair of flange portions (202) installed on the upper surface (201a) and spaced apart in the first direction along the upper surface (201a).

[0027] 지지기둥(203)이 설치됨으로써, 상면(201a)과 플랜지부(202)의 사이에는 소정의 스페이스가 형성되어 있다. 또한 도 1에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 플랜지부(202)는, 본체(201)의 제1 방향에 있어서의 길이(FOUP(200)의 전체 길이)의 범위 내에 들어가 있다. 상면(201a)과 플랜지부(202) 사이의 스페이스에, 상면(201a)의 중앙부로부터 단부(201b)를 향해, 그리퍼 장치(10)의 핑거부(12)가 삽입된다. FOUP(200)는, 내측으로부터 외측을 향해 이동되어 상기 스페이스에 삽입된 핑거부(12)에 의해, 하방으로 홀딩(지지)된다.[0027] By installing the support pillar (203), a predetermined space is formed between the upper surface (201a) and the flange portion (202). In addition, as shown in Fig. 1, a pair of flange portions (202) are within the range of the length (the entire length of the FOUP (200)) in the first direction of the main body (201). The finger portion (12) of the gripper device (10) is inserted from the center of the upper surface (201a) toward the end portion (201b) into the space between the upper surface (201a) and the flange portion (202). The FOUP (200) is moved from the inside to the outside and is held (supported) downward by the finger portion (12) inserted into the space.

[0028] 그리퍼 장치(10)의 한 쌍의 핑거부(12)는, 제1 방향(도면 중에 표시되는 X방향)을 따라 이동한다. 그리퍼 장치(10)가 FOUP(200)를 홀딩할 때, 핑거부(12)는 플랜지부(202)에 가까워지도록 진출(進出)한다. 그리퍼 장치(10)가 FOUP(200)의 홀딩을 해방시킬 때, 핑거부(12)는 플랜지부(202)로부터 멀어지도록 퇴피(退避)한다.[0028] A pair of fingers (12) of the gripper device (10) moves along a first direction (the X direction shown in the drawing). When the gripper device (10) holds a FOUP (200), the fingers (12) advance so as to approach a flange portion (202). When the gripper device (10) releases the holding of the FOUP (200), the fingers (12) retract so as to move away from the flange portion (202).

[0029] 도 2에 나타낸 바와 같이, 링크 기구(20)는, 핑거부(12)를 이동시키기 위한 기구이다. 링크 기구(20)는, 모터(16)의 출력축(16a)에 연결되어, 출력축(16a)을 중심으로 회전하는 1개의 중앙 링크(17)와, 중앙 링크(17)의 양단에 설치된 한 쌍의 축(17a)에 제1 끝단(端)이 회전 가능하게 연결된 한 쌍의 제1 링크(18)와, 제1 링크(18)의 제2 끝단에 설치된 한 쌍의 축(18a)에 기단(基端)이 회전 가능하게 연결된 한 쌍의 제2 링크(19)를 포함한다. 출력축(16a)의 회전에 수반하여, 중앙 링크(17)가 회전하고, 일측의 제1 링크(18) 및 제2 링크(19)와, 타측의 제1 링크(18) 및 제2 링크(19)가, 동기하여 이동한다. 한 쌍의 제2 링크(19)의 선단에는, 각각 핑거부(12)가 부착되어 있다. 핑거부(12)에는, 중앙의 지지기둥(203)을 수용하는 노치부(12a)가 형성되어 있다.[0029] As shown in Fig. 2, the link mechanism (20) is a mechanism for moving the finger portion (12). The link mechanism (20) includes one central link (17) connected to the output shaft (16a) of the motor (16) and rotating around the output shaft (16a), a pair of first links (18) having first ends rotatably connected to a pair of shafts (17a) installed at both ends of the central link (17), and a pair of second links (19) having base ends rotatably connected to a pair of shafts (18a) installed at the second ends of the first links (18). As the output shaft (16a) rotates, the central link (17) rotates, and the first link (18) and the second link (19) on one side and the first link (18) and the second link (19) on the other side move synchronously. Finger portions (12) are attached to the tips of each of the pair of second links (19). A notch portion (12a) for receiving a central support pillar (203) is formed in the finger portion (12).

[0030] 본 실시형태의 그리퍼 장치(10)에는, FOUP(200)에 대해 홀딩부(9)의 위치결정을 행하기 위한 기구가 구비되어 있다. 물품에 대한 적절한 위치결정의 필요성은, 상기한 특허문헌 1에 기재된 대로이다. 위치결정을 적절히 행함으로써, 그리퍼 장치(10)의 핑거부(12)(홀딩부(9))가, 올바른 위치 및 자세를 가져, FOUP(200)에 대한 걸림결합 및 홀딩이 양호해진다. 그리퍼 장치(10)가 구비하는 위치결정 기구는, FOUP(200)가 갖는 피위치검출부 및 접촉 위치와의 협동에 의해, 보다 정확한 위치결정을 가능하게 한다.[0030] The gripper device (10) of the present embodiment is provided with a mechanism for positioning the holding portion (9) with respect to the FOUP (200). The necessity of appropriate positioning of the article is as described in the above-mentioned patent document 1. By appropriately performing positioning, the finger portion (12) (holding portion (9)) of the gripper device (10) has a correct position and posture, so that the hooking and holding of the FOUP (200) are improved. The positioning mechanism provided in the gripper device (10) enables more accurate positioning through cooperation with the position detection portion and contact position of the FOUP (200).

[0031] 도 2에 나타낸 바와 같이, 그리퍼 장치(10)는, 승강부(11)에 부착된 4개의 위치결정부를 구비한다. 보다 상세하게는, 그리퍼 장치(10)는, 평면 시점으로 볼 때(平面視) 직사각형을 이루는 승강부(11)의 네 군데의 코너 위치에, 위치결정부를 구비한다. 승강부(11)의 하나의 대각선상(도 2에 도시된 좌측 상부 코너와 우측 하부 코너)에는, 2개의 제1 위치결정부(40)가 부착되어 있다. 이들 제1 위치결정부(40)는, 기본적으로, FOUP(200)에 대해, 수평 방향(XY 평면을 따른 방향)에 있어서의 홀딩부(9)의 위치결정을 행한다. 또한 승강부(11)의 다른 하나의 대각선상(도 2에 도시된 우측 상부 코너와 좌측 하부 코너)에는, 2개의 제2 위치결정부(50)가 부착되어 있다. 이들 제2 위치결정부(50)는, FOUP(200)에 대해, 높이 방향(도 1에 표시된 Z방향)에 있어서의 홀딩부(9)의 위치결정을 행한다.[0031] As shown in Fig. 2, the gripper device (10) has four positioning parts attached to the lifting part (11). More specifically, the gripper device (10) has positioning parts at four corner positions of the lifting part (11) which forms a rectangle when viewed from a plan view. Two first positioning parts (40) are attached to one diagonal line (the upper left corner and the lower right corner shown in Fig. 2) of the lifting part (11). These first positioning parts (40) basically position the holding part (9) in the horizontal direction (the direction along the XY plane) with respect to the FOUP (200). In addition, two second positioning parts (50) are attached to the other diagonal line (the upper right corner and the lower left corner shown in Fig. 2) of the lifting part (11). These second positioning units (50) determine the position of the holding unit (9) in the height direction (Z direction shown in Fig. 1) with respect to the FOUP (200).

[0032] 제1 위치결정부(40) 및 제2 위치결정부(50)의 구조를 설명하기 전에, 도 3을 참조하여, 위치결정 기구에 관련된 FOUP(200)의 구조에 대해 설명한다. 도 3에 나타낸 바와 같이, FOUP(200)의 플랜지부(202)는, 각각, 제2 방향으로 길게 연장되는 길다란 평판 부재이며, FOUP(200)의 상면(201a)에 평행하게 연장되어 있다. 각 플랜지부(202)의 플랜지 상면(202a)은, 평탄하며, 상면(201a)에 평행하다. 플랜지 상면(202a)은, FOUP(200)의 상면(201a)에 마련된 피위치검출면(피위치검출부)이며, 제1 위치결정부(40) 및 제2 위치결정부(50)가 접촉함으로써, 홀딩부(9)의 높이 방향의 위치결정을 가능하게 한다.[0032] Before explaining the structure of the first positioning unit (40) and the second positioning unit (50), the structure of the FOUP (200) related to the positioning mechanism will be explained with reference to FIG. 3. As shown in FIG. 3, the flange portions (202) of the FOUP (200) are each a long flat plate member that extends in the second direction and extends parallel to the upper surface (201a) of the FOUP (200). The flange upper surface (202a) of each flange portion (202) is flat and parallel to the upper surface (201a). The flange upper surface (202a) is a position detection surface (position detection unit) provided on the upper surface (201a) of the FOUP (200), and enables positioning of the holding unit (9) in the height direction by contacting the first position determination unit (40) and the second position determination unit (50).

[0033] 각 플랜지부(202)의 제2 방향의 양단부에는, 2개의 가이드 구멍(206)이 형성되어 있다. 이들 가이드 구멍(206)은, 동일한 크기 및 형상을 갖는다. 각 가이드 구멍(206)은, 역원뿔대(逆圓錐臺) 형상을 갖고 있으며, 플랜지부(202)를 두께 방향으로 관통한다. 각 가이드 구멍(206)은, 상방을 향해 개방된 원형(圓形)의 개구를 가지며, 하방으로 갈수록 내경이 작아지는 원뿔형(圓錐狀)의 테이퍼 형상을 갖고 있다. 즉, 각 가이드 구멍(206)에서는, 상단의 개구에 대한 높이가 낮을수록 내경이 작아진다. 한 쌍의 플랜지부(202)에 있어서, 제1 방향에 직교하는 가상(假想)의 중앙면(출력축(16a)의 축선을 포함하는 면)에 대해, 가이드 구멍(206)은 대칭으로 형성되어 있다. 이들 4개의 가이드 구멍(206)의 위치는, 평면 시점으로 볼 때, 제1 위치결정부(40) 및 제2 위치결정부(50)의 위치에 대응하고 있다. 보다 상세하게는, FOUP(200)에 대해 홀딩부(9)가 정확한 위치에 있을 때, 4개의 가이드 구멍(206)의 중심축선의 위치는, 후술하는 제1 위치결정부(40)의 축(42) 및 제2 위치결정부(50)의 축(52)의 위치에 일치한다. 4개의 가이드 구멍(206) 중, 제1의 대각선상에 배치된 2개의 가이드 구멍(206)은, 제1 위치결정부(40)가 접촉함으로써, 홀딩부(9)의 수평 방향의 위치결정을 가능하게 한다. 이와 동시에, 제1의 대각선상에 배치된 2개의 가이드 구멍(206)은, 2개의 제1 위치결정부(40)가 접촉함으로써, 홀딩부(9)의 높이 방향의 위치결정도 가능하게 한다.[0033] Two guide holes (206) are formed at both ends in the second direction of each flange portion (202). These guide holes (206) have the same size and shape. Each guide hole (206) has an inverted truncated cone shape and penetrates the flange portion (202) in the thickness direction. Each guide hole (206) has a circular opening that is open upward and has a conical tapered shape whose inner diameter becomes smaller as it goes downward. That is, in each guide hole (206), the inner diameter becomes smaller as the height with respect to the upper opening is lower. In a pair of flange portions (202), guide holes (206) are formed symmetrically with respect to a virtual central plane (a plane including the axis line of the output shaft (16a)) orthogonal to the first direction. The positions of these four guide holes (206) correspond to the positions of the first positioning portion (40) and the second positioning portion (50) when viewed from a planar viewpoint. More specifically, when the holding portion (9) is at the correct position with respect to the FOUP (200), the positions of the central axes of the four guide holes (206) coincide with the positions of the axis (42) of the first positioning portion (40) and the axis (52) of the second positioning portion (50), which will be described later. Among the four guide holes (206), the two guide holes (206) arranged on the first diagonal enable the horizontal positioning of the holding portion (9) by contacting the first positioning portion (40). At the same time, the two guide holes (206) arranged on the first diagonal enable the height positioning of the holding portion (9) by contacting the two first positioning portions (40).

[0034] 4개의 가이드 구멍(206) 중, 제2의 대각선상에 배치된 2개의 가이드 구멍(206)에는, 2개의 제2 위치결정부(50)는 접촉하지 않는다. 본 실시형태에서는, 2개의 제2 위치결정부(50)는, 제2의 대각선상에 배치된 2개의 가이드 구멍(206)이 형성된 위치에 있어서, 플랜지 상면(202a)에 접촉할 뿐이다. FOUP(200)가 4개의 가이드 구멍(206)을 가짐으로써, FOUP(200)의 범용성이 향상되어 있다. 4개의 가이드 구멍(206)은, 예컨대, 본 실시형태의 천장 반송차(1)와는 상이한 다른 반송 시스템인 AGV(Automated Guided Vehicle)에 의해 FOUP(200)가 취급되는 경우에, 이용될 수 있다.[0034] Among the four guide holes (206), the two second positioning parts (50) do not come into contact with the two guide holes (206) arranged on the second diagonal. In the present embodiment, the two second positioning parts (50) only come into contact with the flange upper surface (202a) at the positions where the two guide holes (206) arranged on the second diagonal are formed. Since the FOUP (200) has four guide holes (206), the versatility of the FOUP (200) is improved. The four guide holes (206) can be used, for example, when the FOUP (200) is handled by an AGV (Automated Guided Vehicle), which is a different transport system from the ceiling transport vehicle (1) of the present embodiment.

[0035] 도 2, 도 4 및 도 5를 참조하여, 제1 위치결정부(40) 및 제2 위치결정부(50)의 구조에 대해 각각 설명한다. 도 2 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 위치결정부(40)는, 승강부(11)의 코너부에 고정된 센서 박스(45)와, 센서 박스(45)에 대해 상하이동 가능한 축(42)과, 축(42)의 하단부에 고정된 볼록 부재(41)를 갖는다. 센서 박스(45)는, 예컨대, 상하를 향해 개방되어 있으며, 그 측면이 승강부(11)의 외측면에 고정되어 있다. 볼록 부재(41)는 원뿔면부(41a)를 포함해도 된다. 원뿔면부(41a)는, 예컨대, 플랜지부(202)의 가이드 구멍(206)에 걸림결합하도록, 가이드 구멍(206)에 대응하는 형상을 갖는다. 바꾸어 말하자면, 볼록 부재(41)의 원뿔면부(41a)의 일부가, 가이드 구멍(206)의 둘레벽면(周壁面)에 대략 일치하는 형상을 갖고 있다. 센서 박스(45)의 바닥면과 볼록 부재(41) 사이에는, 축(42) 둘레에 스프링(43)이 장착되어 있다. 스프링(43)은, 볼록 부재(41)와 센서 박스(45)에 대해, 이들을 이격시키는 방향으로 가세력(biasing force)을 부여한다.[0035] Referring to FIGS. 2, 4, and 5, the structures of the first position-determining unit (40) and the second position-determining unit (50) will be described, respectively. As shown in FIGS. 2 and 4, the first position-determining unit (40) has a sensor box (45) fixed to a corner of the lifting unit (11), a shaft (42) that can move up and down with respect to the sensor box (45), and a convex member (41) fixed to a lower end of the shaft (42). The sensor box (45) is, for example, open toward the top and bottom, and its side surface is fixed to an outer surface of the lifting unit (11). The convex member (41) may include a conical surface portion (41a). The conical surface portion (41a) has, for example, a shape corresponding to a guide hole (206) so as to be hooked onto the guide hole (206) of the flange portion (202). In other words, a part of the conical surface (41a) of the convex member (41) has a shape that roughly matches the peripheral wall surface of the guide hole (206). A spring (43) is mounted around the axis (42) between the bottom surface of the sensor box (45) and the convex member (41). The spring (43) applies a biasing force to the convex member (41) and the sensor box (45) in a direction that separates them.

[0036] 축(42)의 상단에는, 위치검출판(44)이 고정되어 있다. 센서 박스(45) 내의 상부에는, 대향(對向)하는 위치에 착좌(着座) 센서(46) 및 재석(在席) 센서(47)가 설치되어 있다. 착좌 센서(46) 및 재석 센서(47)는, 센서 박스(45)에 고정되어 있으며, 센서 박스(45) 내에 있어서의 위치검출판(44)의 상대 이동에 수반되는, 제1 피검출편(44a) 및 제2 피검출편(44b)의 존재 유무를 검출한다. 착좌 센서(46)는, 홀딩부(9)의 착좌(즉 볼록 부재(41)가 플랜지부(202)의 가이드 구멍(206)에 삽입되어 있는지)를 검출하는 센서이다. 재석 센서(47)는, FOUP(200)가 들어올려진 상태에서 FOUP(200)의 존재를 검출하는 센서이다. 예컨대, FOUP(200)가 부재(不在) 상태이면, 재석 센서(47)가 OFF가 되어, 이상(異常)경보가 행해진다. FOUP(200)의 부재(不在)로서는, 예컨대, 플랜지부(202)의 탈락 등에 기인하는, 핑거부(12)에 대한 FOUP(200)의 걸림결합 상태의 상실을 고려할 수 있다. 착좌 센서(46) 및 재석 센서(47)에는, 컨트롤러(8)에 신호를 출력하기 위한 케이블이 접속되어 있다. 승강부(11)의 승강 및 그리퍼 장치(10)에 의한 FOUP(200)의 홀딩에 수반되는, 이들 센서에 있어서의 검출 동작에 대해서는 후술한다.[0036] A position detection plate (44) is fixed to the upper end of the shaft (42). A seating sensor (46) and a presence sensor (47) are installed at opposing positions at the upper end inside the sensor box (45). The seating sensor (46) and the presence sensor (47) are fixed to the sensor box (45) and detect the presence or absence of the first detection piece (44a) and the second detection piece (44b) accompanying the relative movement of the position detection plate (44) inside the sensor box (45). The seating sensor (46) is a sensor that detects seating of the holding portion (9) (i.e., whether the convex member (41) is inserted into the guide hole (206) of the flange portion (202). The presence sensor (47) is a sensor that detects the presence of the FOUP (200) when the FOUP (200) is lifted. For example, if the FOUP (200) is absent, the presence sensor (47) turns OFF and an abnormality alarm is issued. As the absence of the FOUP (200), for example, the loss of the engagement state of the FOUP (200) with respect to the finger portion (12) due to the detachment of the flange portion (202) or the like can be considered. A cable for outputting a signal to the controller (8) is connected to the seating sensor (46) and the presence sensor (47). The detection operation of these sensors accompanying the lifting and lowering of the lifting portion (11) and the holding of the FOUP (200) by the gripper device (10) will be described later.

[0037] 도 2 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제2 위치결정부(50)는, 승강부(11)의 코너부에 고정된 박스(55)와, 박스(55)에 대해 상하이동 가능한 축(52)과, 축(52)의 하단부에 고정된 평판 형상의 누름 부재(51)를 갖는다. 박스(55)는, 예컨대, 상하를 향해 개방되어 있으며, 그 측면이 승강부(11)의 외측면에 고정되어 있다. 누름 부재(51)는, FOUP(200)의 플랜지 상면(202a)에 접촉하는 수평면부(51a)를 포함해도 된다. 축(52)의 하단은 누름 부재(51)의 하면으로부터 약간 돌출되어 있어도 된다. 수평면부(51a)가 플랜지 상면(202a)에 접촉한 상태에서, 축(52)의 돌출된 부분은, 가이드 구멍(206) 내에 배치된다. 박스(55)의 바닥면과 누름 부재(51)의 사이에는, 축(52) 둘레에 스프링(53)이 장착되어 있다. 스프링(53)은, 누름 부재(51)와 박스(55)에 대해, 이들을 이격시키는 방향으로 가세력을 부여한다.[0037] As shown in FIG. 2 and FIG. 5, the second positioning unit (50) has a box (55) fixed to a corner of the lifting unit (11), a shaft (52) that can move up and down with respect to the box (55), and a flat-plate-shaped pressing member (51) fixed to the lower end of the shaft (52). The box (55) is, for example, open toward the upper and lower sides, and its side is fixed to the outer surface of the lifting unit (11). The pressing member (51) may include a horizontal surface portion (51a) that contacts the flange upper surface (202a) of the FOUP (200). The lower end of the shaft (52) may slightly protrude from the lower surface of the pressing member (51). In a state where the horizontal surface portion (51a) contacts the flange upper surface (202a), the protruding portion of the shaft (52) is placed within the guide hole (206). A spring (53) is mounted around an axis (52) between the bottom surface of the box (55) and the pressing member (51). The spring (53) applies a force to the pressing member (51) and the box (55) in a direction that separates them.

[0038] 제1 위치결정부(40) 및 제2 위치결정부(50)에 있어서, 가이드 구멍(206)에 대한 볼록 부재(41)의 높이와, 플랜지 상면(202a)에 대한 누름 부재(51)의 높이는 동일하게 되어 있다. 바꾸어 말하자면, 가이드 구멍(206)의 둘레벽면에 볼록 부재(41)의 원뿔면부(41a)가 접촉하는 동시에 플랜지 상면(202a)에 누름 부재(51)의 수평면부(51a)가 접촉하여, 스프링(43) 및 스프링(53)으로부터 받는 가세력(반발력)이 동일한 상태에 있어서, 승강부(11) 및 홀딩부(9)의 자세는, FOUP(200)의 상면(201a)에 대해 평행하게 되어 있다. 즉, 홀딩부(9)가 FOUP(200)에 대해 높이 방향으로 위치결정되어 있다. 더 바꾸어 말하자면, 가이드 구멍(206)의 둘레벽면에 볼록 부재(41)가 접촉하고(가이드 구멍(206)에 볼록 부재(41)가 끼움결합하고), 플랜지 상면(202a)에 누름 부재(51)가 접촉하고(올라타고), 4개의 벨트(6a)에 의해 매달린 승강부(11) 및 홀딩부(9)가, 이들의 자중(自重)에 의해 플랜지부(202) 상에 올라탄 상태에서, 홀딩부(9)가 FOUP(200)에 대해 높이 방향으로 위치결정되어 있다. 또한, 이 상태에서, 가이드 구멍(206)에 대한 볼록 부재(41)의 끼움결합(테이퍼 형상의 끼움결합)에 의해, 홀딩부(9)가 FOUP(200)에 대해 수평 방향으로도 위치결정되어 있다.[0038] In the first position-determining section (40) and the second position-determining section (50), the height of the convex member (41) with respect to the guide hole (206) and the height of the pressing member (51) with respect to the upper surface (202a) of the flange are the same. In other words, the conical surface (41a) of the convex member (41) contacts the peripheral wall surface of the guide hole (206) at the same time as the horizontal surface (51a) of the pressing member (51) contacts the upper surface (202a) of the flange, so that the springs (43) and the springs (53) are in the same state of receiving the same urging force (repulsive force), and the postures of the lifting section (11) and the holding section (9) are parallel to the upper surface (201a) of the FOUP (200). That is, the holding section (9) is positioned in the height direction with respect to the FOUP (200). In other words, the convex member (41) comes into contact with the peripheral wall surface of the guide hole (206) (the convex member (41) is fitted into the guide hole (206), the pressing member (51) comes into contact with (mounts on) the upper surface of the flange (202a), and the lifting member (11) and the holding member (9) suspended by four belts (6a) are mounted on the flange portion (202) by their own weight, and the holding member (9) is positioned in the height direction with respect to the FOUP (200). In addition, in this state, the holding member (9) is also positioned in the horizontal direction with respect to the FOUP (200) by the fitting (tapered fitting) of the convex member (41) into the guide hole (206).

[0039] 이상의 구성을 갖는 그리퍼 장치(10) 및 FOUP(200)에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 플랜지부(202)에 있어서, 제1의 대각선상에 배치된 2개의 가이드 구멍(206)이 형성된 위치는, 제1 위치결정부(40)가 접촉하는 2개소의 제1 접촉 위치(Pa)이다. FOUP(200)의 상부에 있어서의 2개소의 제1 접촉 위치(Pa)에서 제1 위치결정부(40)가 FOUP(200)에 접촉함으로써, FOUP(200)에 대해, 수평 방향에 있어서의 홀딩부(9)의 위치결정이 행해진다.[0039] In the gripper device (10) and FOUP (200) having the above configuration, as shown in Fig. 3, the positions where two guide holes (206) arranged on the first diagonal line are formed in the flange portion (202) are the two first contact positions (Pa) at which the first positioning portion (40) comes into contact. By the first positioning portion (40) coming into contact with the FOUP (200) at the two first contact positions (Pa) at the upper portion of the FOUP (200), the positioning of the holding portion (9) in the horizontal direction with respect to the FOUP (200) is performed.

[0040] 또한, 플랜지부(202)에 있어서, 제1의 대각선상에 배치된 2개의 가이드 구멍(206)이 형성된 위치는, 제1 위치결정부(40)가 접촉하는 2개소의 제2 접촉 위치(Pb)이기도 하다. 또한, 제2의 대각선상에 배치된 2개의 가이드 구멍(206)이 형성된 위치는, 제2 위치결정부(50)가 접촉하는 2개소의 제2 접촉 위치(Pb)이다. FOUP(200)의 상부에 있어서의 4개소의 제2 접촉 위치(Pb)에서 제1 위치결정부(40) 및 제2 위치결정부(50)가 FOUP(200)에 접촉함으로써, FOUP(200)에 대해, 높이 방향에 있어서의 홀딩부(9)의 위치결정이 행해진다.[0040] In addition, in the flange portion (202), the positions where the two guide holes (206) arranged on the first diagonal are formed are also the two second contact positions (Pb) where the first positioning portion (40) comes into contact. In addition, the positions where the two guide holes (206) arranged on the second diagonal are formed are the two second contact positions (Pb) where the second positioning portion (50) comes into contact. By the first positioning portion (40) and the second positioning portion (50) coming into contact with the FOUP (200) at the four second contact positions (Pb) on the upper portion of the FOUP (200), the positioning of the holding portion (9) in the height direction with respect to the FOUP (200) is performed.

[0041] 제1 접촉 위치(Pa)란, FOUP(200)의 상부에 있어서의, 홀딩부(9)의 수평 방향의 위치결정을 위한 접촉 위치이다. 제2 접촉 위치(Pb)란, FOUP(200)의 상부에 있어서의 홀딩부(9)의 높이 방향의 위치결정을 위한 접촉 위치이다. 본 실시형태에서는, 제1의 대각선상에 배치된 2개의 가이드 구멍(206)이 형성된 위치는, 2개소의 제1 접촉 위치(Pa)이며, 또한 2개소의 제2 접촉 위치(Pb)이다. 그리고, 제1 위치결정부(40)가, 2개의 가이드 구멍(206)에 각각 진입 가능한 2개의 볼록 부재(41)를 갖고 있다. 이 구성에 의해, 제1 위치결정부(40)가, 높이 방향에 있어서의 홀딩부(9)의 위치결정도 가능하게 하고 있으며, 제2 위치결정부(50)와 동일한 기능을 발휘한다(역할을 한다).[0041] The first contact position (Pa) is a contact position for horizontal positioning of the holding portion (9) on the upper side of the FOUP (200). The second contact position (Pb) is a contact position for height positioning of the holding portion (9) on the upper side of the FOUP (200). In the present embodiment, the positions where two guide holes (206) arranged on the first diagonal are formed are the two first contact positions (Pa) and the two second contact positions (Pb). In addition, the first positioning portion (40) has two convex members (41) that can enter the two guide holes (206), respectively. With this configuration, the first positioning portion (40) enables positioning of the holding portion (9) in the height direction, and has the same function (role) as the second positioning portion (50).

[0042] 즉, 본 실시형태에서는, 제1 위치결정부(40)는, 수평 방향의 위치결정을 위해, 2개소뿐인 제1 접촉 위치(Pa)에서 FOUP(200)에 접촉한다. 한편, 높이 방향의 위치결정을 위한 제2 접촉 위치(Pb)는, 4개소에 마련되어 있다. 바꾸어 말하자면, 그리퍼 장치(10)는, 제1 접촉 위치(Pa)이며 또한 제2 접촉 위치(Pb)로서의 2개소의 가이드 구멍(206)에 제1 위치결정부(40)의 볼록 부재(41)를 접촉시킴으로써 홀딩부(9)의 수평 방향 및 높이 방향에 있어서의 위치결정을 행한다. 그리퍼 장치(10)는, 제2 접촉 위치(Pb)로서의 2개소의 가이드 구멍(206)에 제2 위치결정부(50)의 누름 부재(51)를 접촉시킴으로써 홀딩부(9)의 높이 방향에 있어서의 위치결정을 행한다. 제1 위치결정부(40)가, 3개소 이상에 있어서 필요해지는 높이 방향의 위치결정 중, 일부 개소(본 실시형태에서는 2개소)에서, 제2 위치결정부(50)와 동일한 기능을 발휘한다(역할을 한다). 이들 제2 접촉 위치(Pb)는, 일직선상에는 위치하고 있지 않다. 즉, 4개소의 제2 접촉 위치(Pb) 중 어느 3개를 선택하더라도, 그것들이 일직선상에는 위치하지 않는다. 「3개소의 제2 접촉 위치가 일직선상에 위치하지 않는다」란, 예컨대, 각 접촉 위치에 있어서의 접촉부(접촉면)가 면적을 갖는 경우에는, 이들 3개의 중심점을 연결한 직선이 일직선 형상이 되지 않는 것을 의미한다. 「3개소의 제2 접촉 위치가 일직선상에 위치하지 않는다」란, 3개의 중심점을 포함하는 평면이 일의적으로 정해지는 것을 의미한다.[0042] That is, in the present embodiment, the first positioning part (40) contacts the FOUP (200) at only two first contact positions (Pa) for horizontal positioning. On the other hand, the second contact positions (Pb) for height positioning are provided at four positions. In other words, the gripper device (10) performs positioning of the holding part (9) in the horizontal direction and height direction by contacting the convex member (41) of the first positioning part (40) with two guide holes (206) which are the first contact positions (Pa) and also the second contact positions (Pb). The gripper device (10) performs positioning of the holding part (9) in the height direction by contacting the pressing member (51) of the second positioning part (50) with two guide holes (206) which are the second contact positions (Pb). The first position-determining section (40) performs (plays) the same function as the second position-determining section (50) in some of the positions (two positions in the present embodiment) out of three or more positions in the height direction that are required. These second contact positions (Pb) are not located in a straight line. That is, no matter which three of the four second contact positions (Pb) are selected, they are not located in a straight line. "The three second contact positions are not located in a straight line" means, for example, that when the contact portion (contact surface) at each contact position has an area, the straight line connecting these three center points does not form a straight line. "The three second contact positions are not located in a straight line" means that a plane including the three center points is uniquely determined.

[0043] 이하에서는, 본 실시형태의 그리퍼 장치(10) 및 천장 반송차(1)에 의한 FOUP(200)의 반송 방법에 대해 설명한다. 우선, 승강부(11)가 로드 포트(300)의 상방에 도래하면, 컨트롤러(8)가 승강부(11)를 하강시킨다(하강 공정). 이 하강 공정에서는, 착좌 센서(46)가 ON이 될 때까지, 승강부(11)가 하강된다. 하강 공정 후, FOUP(200)의 상부에 있어서의 2개소의 제1 접촉 위치(Pa)에서 제1 위치결정부(40)를 FOUP(200)에 접촉시킴으로써, FOUP(200)에 대해 수평 방향에 있어서의 홀딩부(9)의 위치결정이 행해진다(제1 위치결정 공정). 또한, 하강 공정 후, FOUP(200)의 상부에 있어서의 일직선상에는 위치하지 않는 4개소의 제2 접촉 위치(Pb)에서 제1 위치결정부(40) 및 제2 위치결정부(50)를 FOUP(200)에 접촉시킴으로써, FOUP(200)에 대해 높이 방향에 있어서의 홀딩부(9)의 위치결정이 행해진다(제2 위치결정 공정). 이들 제1 위치결정 공정 및 제2 위치결정 공정은, 거의 동시에 실시된다. 그리고, 이들 제1 위치결정 공정 및 제2 위치결정 공정 후, 홀딩부(9)에 의해 FOUP(200)가 홀딩된다(홀딩 공정).[0043] Hereinafter, a method for transporting a FOUP (200) by a gripper device (10) and a ceiling transport vehicle (1) of the present embodiment will be described. First, when the lifting unit (11) arrives above the load port (300), the controller (8) lowers the lifting unit (11) (lowering process). In this lowering process, the lifting unit (11) is lowered until the seating sensor (46) turns ON. After the lowering process, the first positioning unit (40) is brought into contact with the FOUP (200) at two first contact positions (Pa) on the upper side of the FOUP (200), thereby positioning the holding unit (9) in the horizontal direction with respect to the FOUP (200) (first positioning process). In addition, after the lowering process, the first positioning part (40) and the second positioning part (50) are brought into contact with the FOUP (200) at four second contact positions (Pb) that are not located in a straight line on the upper part of the FOUP (200), thereby positioning the holding part (9) in the height direction with respect to the FOUP (200) (second positioning process). These first positioning process and the second positioning process are performed almost simultaneously. Then, after these first positioning process and the second positioning process, the FOUP (200) is held by the holding part (9) (holding process).

[0044] 도 6∼도 10을 참조하여, 제1 위치결정 공정 및 홀딩 공정에 대해 설명한다. 승강부(11)의 하강에 수반되어, 우선, 도 6에 나타낸 바와 같이, 볼록 부재(41)가 가이드 구멍(206) 내로 진입한다(삽입된다). 이 시점에서, 볼록 부재(41)의 원뿔면부(41a)가 가이드 구멍(206)의 둘레벽면에 처음으로 접촉한다. 다음으로, 도 7에 나타낸 바와 같이, 추가로 승강부(11) 및 홀딩부(9)가 하강하여, 착좌 센서(46)가 ON이 된다. 그동안에, 재석 센서(47)는 OFF에서 ON으로, 그리고 OFF로 전환되지만, 착좌 센서(46)가 OFF인 채이므로, 이 재석 센서(47)의 전환은 무시된다. 다음으로, 도 8에 나타낸 바와 같이, 추가로 승강부(11) 및 홀딩부(9)가 소정 거리만큼 하강한 시점에서, 이들의 하강이 정지된다. 이상과 같은 일련의 공정에 의해, 제1 위치결정 공정이 종료된다. 이와 동시에, 제2 위치결정 공정도 종료된다.[0044] Referring to FIGS. 6 to 10, the first positioning process and the holding process will be described. As the elevating member (11) is lowered, first, as shown in FIG. 6, the convex member (41) enters (is inserted) into the guide hole (206). At this point, the conical surface (41a) of the convex member (41) comes into contact with the peripheral wall surface of the guide hole (206) for the first time. Next, as shown in FIG. 7, the elevating member (11) and the holding member (9) are further lowered, and the seating sensor (46) is turned ON. In the meantime, the presence sensor (47) is switched from OFF to ON and then OFF, but since the seating sensor (46) remains OFF, this switching of the presence sensor (47) is ignored. Next, as shown in Fig. 8, when the lifting member (11) and the holding member (9) have descended a predetermined distance, their descent is stopped. Through the above-described series of processes, the first positioning process is completed. At the same time, the second positioning process is also completed.

[0045] 다음으로, 도 9에 나타낸 바와 같이, 착좌 센서(46)가 ON인 상태에서, 구동부(7)에 의해 핑거부(12)가 이동되어, 핑거부(12)가 플랜지부(202)의 하방의 스페이스에 삽입된다. 이어서, 도 10에 나타낸 바와 같이, 승강부(11) 및 홀딩부(9)가 상승되어, 핑거부(12)에 의해 플랜지부(202)(FOUP(200))가 홀딩된다. 이상의 공정에 의해, 홀딩 공정이 종료된다. 이후, 승강부(11) 및 홀딩부(9)가 프레임 유닛(2) 내에 도달할 때까지 상승한다.[0045] Next, as shown in Fig. 9, with the seating sensor (46) turned ON, the finger part (12) is moved by the driving part (7), and the finger part (12) is inserted into the space below the flange part (202). Then, as shown in Fig. 10, the lifting part (11) and the holding part (9) are raised, and the flange part (202) (FOUP (200)) is held by the finger part (12). The holding process is completed by the above process. Thereafter, the lifting part (11) and the holding part (9) are raised until they reach the inside of the frame unit (2).

[0046] 본 실시형태의 그리퍼 장치(10) 및 상기 반송 방법에 의하면, 제1 위치결정부(40)가, FOUP(200)의 상부에 있어서의 2개소의 제1 접촉 위치(Pa)에서 FOUP(200)에 접촉한다. 제1 위치결정부(40)의 접촉에 의해, FOUP(200)에 대해 수평 방향에 있어서의 홀딩부(9)의 위치결정이 행해진다. 또한 제1 위치결정부(40) 및 제2 위치결정부(50)가, FOUP(200)의 상부에 있어서의 적어도 3개소의 제2 접촉 위치(Pb)(실시형태에서는 4개소)에서 FOUP(200)에 접촉한다. 이들 제2 접촉 위치(Pb)는 일직선상에 위치하지 않기 때문에, 제1 위치결정부(40) 및 제2 위치결정부(50)의 접촉에 의해, FOUP(200)에 대해 높이 방향에 있어서의 홀딩부(9)의 위치결정이 행해진다. 이와 같이, 수평 방향에 대해 2개소, 및 높이 방향에 대해 적어도 3개소의 접촉 위치가 이용되므로, FOUP(200)에 대한 수평 방향 및 높이 방향에 있어서의 위치결정을 정확하게 행할 수 있다.[0046] According to the gripper device (10) of the present embodiment and the return method, the first positioning part (40) contacts the FOUP (200) at two first contact positions (Pa) on the upper side of the FOUP (200). By the contact of the first positioning part (40), the positioning of the holding part (9) in the horizontal direction with respect to the FOUP (200) is performed. In addition, the first positioning part (40) and the second positioning part (50) contact the FOUP (200) at at least three second contact positions (Pb) on the upper side of the FOUP (200) (four positions in the embodiment). Since these second contact positions (Pb) are not located in a straight line, the positioning of the holding portion (9) in the height direction with respect to the FOUP (200) is performed by the contact of the first positioning portion (40) and the second positioning portion (50). In this way, since two contact positions in the horizontal direction and at least three contact positions in the height direction are used, the positioning in the horizontal direction and the height direction with respect to the FOUP (200) can be accurately performed.

[0047] 제1 위치결정부(40)가, 3개소 이상의 제1 접촉 위치에서 FOUP(200)에 접촉할 경우, 3개소 중의 2개소와 다른 1개소에서, 수평 방향에 있어서의 홀딩부(9)의 위치가 일의적으로 정해지지 않고, 부정합이 발생할 가능성이 있다. 즉, 3개소 이상의 제1 접촉 위치 간에 삐걱거림이 발생할 가능성이 있다. 제1 접촉 위치(Pa)가 2개소로만 한정되어 있으면, 그러한 부정합 즉 삐걱거림이 억제된다.[0047] When the first position-determining member (40) contacts the FOUP (200) at three or more first contact positions, the positions of the holding member (9) in the horizontal direction are not uniformly determined at two of the three positions and one other position, and there is a possibility that misalignment may occur. In other words, there is a possibility that squeaking may occur between the three or more first contact positions. If the first contact positions (Pa) are limited to only two positions, such misalignment, i.e. squeaking, is suppressed.

[0048] 제1 위치결정부(40)가, 2개의 상기 가이드 구멍(206)에 각각 진입 가능한 2개의 볼록 부재(41)를 가짐으로써, 제2 위치결정부와 동일한 기능을 발휘한다. 2개소의 제1 접촉 위치와 2개소의 제2 접촉 위치가 공통화됨으로써, 위치결정을 위한 부재를 줄일 수 있다.[0048] The first positioning part (40) has two convex members (41) that can enter the two guide holes (206) respectively, thereby exhibiting the same function as the second positioning part. Since the two first contact positions and the two second contact positions are common, the members for positioning can be reduced.

[0049] 수평면부(51a)를 포함하는 누름 부재(51)에 의하면, 높이 방향에 있어서의 위치결정을 정확하고 용이하게 행할 수 있다.[0049] By using a pressing member (51) including a horizontal surface portion (51a), positioning in the height direction can be accurately and easily performed.

[0050] 제2 접촉 위치가 4개소에 마련되어 있으므로, 높이 방향에 있어서 보다 정확하게 위치결정을 행할 수 있다.[0050] Since the second contact positions are provided in four locations, positioning can be determined more accurately in the height direction.

[0051] 천장 반송차(1)에 의하면, 홀딩부는 FOUP(200)에 대해 정확하게 위치결정된 상태에서, FOUP(200)를 홀딩한다. 따라서, FOUP(200)의 반송 상태가 안정적이며, 이에 따라 FOUP(200)를 고속으로 반송할 수도 있다.[0051] According to the overhead transport vehicle (1), the holding unit holds the FOUP (200) while being accurately positioned with respect to the FOUP (200). Therefore, the transport state of the FOUP (200) is stable, and accordingly, the FOUP (200) can be transported at high speed.

[0052] 이상, 본 개시의 실시형태에 대해 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않는다. 예컨대, 제1 접촉 위치(Pa) 및 제2 접촉 위치(Pb)의 배치는, 다양한 양태로 변경되어도 된다. 도 11의 (a)에 나타낸 바와 같이, 일측의 플랜지부(202)에 2개소의 제1 접촉 위치(Pa)(단, 테이퍼 형상에 의해 제2 접촉 위치를 겸함)가 설정되고, 타측의 플랜지부(202)에 2개소의 제2 접촉 위치(Pb)가 설정되어도 된다. 상기 실시형태와 같이 대각선상에 동종의 접촉 위치가 배치되는 경우에 한정되지 않으며, 도 11의 (b)에 나타낸 바와 같이, 제2 방향에 있어서의 같은 측에 동종의 접촉 위치가 배치되어도 된다. 이 경우도, 제1 접촉 위치(Pa)는, 테이퍼 형상에 의해 제2 접촉 위치를 겸한다. 도 11의 (c)에 나타낸 바와 같이, 일측의 플랜지부(202)에 2개소의 제1 접촉 위치(Pa)(단, 테이퍼 형상에 의해 제2 접촉 위치를 겸함)가 설정되고, 타측의 플랜지부(202)에 1개소의 제2 접촉 위치(Pb)가 설정되어도 된다. 또한, 도 11의 (d)에 나타낸 바와 같이, 일측의 플랜지부(202)에 2개소의 제1 접촉 위치(Pa)(단, 테이퍼 형상에 의해 제2 접촉 위치를 겸함)가 설정되고, 타측의 플랜지부(202)에 1개소의 대형의(광범위한) 제2 접촉 위치(Pb)가 설정되어도 된다. 광범위한 제2 접촉 위치(Pb)는, 복수의 제2 접촉 위치(Pb)를 구비하는 것과 동일한 안정성을 가져온다.[0052] The above has been described with respect to the embodiment of the present disclosure, but the present invention is not limited to the above embodiment. For example, the arrangement of the first contact position (Pa) and the second contact position (Pb) may be changed in various aspects. As shown in Fig. 11 (a), two first contact positions (Pa) (however, due to the tapered shape, also serve as the second contact positions) may be set on the flange portion (202) on one side, and two second contact positions (Pb) may be set on the flange portion (202) on the other side. It is not limited to the case where the same contact positions are arranged on a diagonal line as in the above embodiment, and as shown in Fig. 11 (b), the same contact positions may be arranged on the same side in the second direction. In this case as well, the first contact position (Pa) also serves as the second contact position due to the tapered shape. As shown in (c) of Fig. 11, two first contact positions (Pa) (which also serve as second contact positions due to the tapered shape) may be set on the flange portion (202) on one side, and one second contact position (Pb) may be set on the flange portion (202) on the other side. In addition, as shown in (d) of Fig. 11, two first contact positions (Pa) (which also serve as second contact positions due to the tapered shape) may be set on the flange portion (202) on one side, and one large (wide) second contact position (Pb) may be set on the flange portion (202) on the other side. The wide second contact positions (Pb) bring about the same stability as having a plurality of second contact positions (Pb).

[0053] 제1 위치결정부 및 제2 위치결정부가 접촉하는 피위치검출부는, 물품의 상부의 적당한 위치에 설치되면 된다. 물품의 상면에 플랜지부가 설치되지 않고, 플랜지부 이외의 부분에 피위치검출부가 설치되어도 된다. 피위치검출부는, 수평면(본체(201)의 상면(201a)에 평행한 면)으로서 설정될 수 있다. 홀딩부가 플랜지부에 걸림결합하는 경우에 한정되지 않고, 물품의 상부(측면을 포함함)의 어느 개소에 홀딩부가 걸림결합해도 된다. 홀딩부의 구성은 상기 실시형태로 한정되지 않는다. 홀딩부의 걸림결합부가, 내측으로부터 외측을 향해 이동되는 양태에 한정되지 않는다. 홀딩부의 걸림결합부가, 외측으로부터 내측을 향해 이동되어도 된다.[0053] The position detection unit with which the first position determination unit and the second position determination unit come into contact may be installed at an appropriate position on the upper part of the article. The flange portion may not be installed on the upper surface of the article, and the position detection unit may be installed on a part other than the flange portion. The position detection unit may be set as a horizontal plane (a plane parallel to the upper surface (201a) of the main body (201)). The holding unit is not limited to being engaged with the flange portion, and the holding unit may be engaged at any location on the upper part (including the side) of the article. The configuration of the holding unit is not limited to the above embodiment. The engaging portion of the holding unit is not limited to a mode in which it moves from the inside to the outside. The engaging portion of the holding unit may move from the outside to the inside.

[0054] 제1 위치결정부 및 제2 위치결정부는, 스프링 기구를 구비한 위치결정인 양태에 한정되지 않는다. 제1 위치결정부 및 제2 위치결정부는, 스프링 이외의 탄성 부재를 구비해도 되고, 탄성 부재를 구비하지 않아도 된다. 제1 위치결정부 및 제2 위치결정부가, 댐퍼 기구를 구비해도 된다. 제2 위치결정부는, 승강부(11)에 대한 위치가 고정된 평판 부재여도 된다.[0054] The first position-determining unit and the second position-determining unit are not limited to the position-determining unit having a spring mechanism. The first position-determining unit and the second position-determining unit may have an elastic member other than a spring, or may not have an elastic member. The first position-determining unit and the second position-determining unit may have a damper mechanism. The second position-determining unit may be a flat plate member whose position relative to the lifting unit (11) is fixed.

[0055] 상기 실시형태에서는, 제1 위치결정부(40)에, 센서(착좌 센서(46) 및 재석 센서(47))가 설치되었다. 이 양태와는 달리, 제1 위치결정부(40)에 센서가 설치되지 않고, 제2 위치결정부(50)에 센서(예컨대 상기 실시형태에 개시된 것과 동일한 착좌 센서 및 재석 센서 등)가 설치되어도 된다. 또한, 제1 위치결정부(40) 및 제2 위치결정부(50)의 쌍방에 이들 센서가 설치되어도 된다. 즉, 승강부(11)의 네 군데의 코너 위치에 있어서, 이들 센서가 설치되어도 된다.[0055] In the above embodiment, sensors (seating sensor (46) and presence sensor (47)) are installed in the first position determination unit (40). Unlike this aspect, instead of installing sensors in the first position determination unit (40), sensors (for example, the same seating sensor and presence sensor as those disclosed in the above embodiment) may be installed in the second position determination unit (50). In addition, these sensors may be installed in both the first position determination unit (40) and the second position determination unit (50). That is, these sensors may be installed in four corner positions of the lifting unit (11).

[0056] 상기 실시형태에서는, 플랜지부(202)를 관통하는 가이드 구멍(206)이 형성되었다. 이 양태에 한정되지 않고, 바닥부(底部)를 갖는(플랜지부(202)를 관통하지 않는), 테이퍼 형상의 가이드 구멍이 형성되어도 된다. 또한, 물품에 원뿔형의 가이드 구멍(206)이 형성되는 양태에 한정되지 않는다. 예컨대, 제1 위치결정부가, 원통형의 볼록 부재를 갖고, 물품의 상부의 어느 개소에 원기둥 형상의 구멍부(관통하는 구멍부여도 됨)가 형성되어도 된다. 이 경우, 제1 위치결정부에서는 높이 방향의 위치결정이 불가능하기 때문에, 2개소의 제1 접촉 위치와는 다른 위치에, 적어도 3개소의 제2 접촉 위치를 물품에 마련할 필요가 있다.[0056] In the above embodiment, a guide hole (206) penetrating the flange portion (202) is formed. The present invention is not limited to this aspect, and a tapered guide hole having a bottom portion (not penetrating the flange portion (202)) may be formed. In addition, the present invention is not limited to an aspect in which a conical guide hole (206) is formed in the article. For example, the first positioning portion may have a cylindrical convex member, and a cylindrical hole portion (which may be a penetrating hole portion) may be formed at any location on the upper portion of the article. In this case, since positioning in the height direction is impossible in the first positioning portion, it is necessary to provide at least three second contact positions on the article at locations different from the two first contact positions.

[0057] 바꾸어 말하자면, 제1 접촉 위치가 제2 접촉 위치를 겸하는 양태에 한정되지 않는다. 2개소의 제1 접촉 위치와, 3개소 이상의 제2 접촉 위치가, 별개로 마련되어도 된다. 혹은, 2개소의 제1 접촉 위치 중 하나가, 제2 접촉 위치를 겸해도 된다. 어느 양태에 있어서도, 그리퍼 장치는, 제1 접촉 위치에 대응하여 제1 위치결정부를 구비하고, 제2 접촉 위치에 대응하여 제2 위치결정부를 구비한다. 물품에 있어서, 어느 특정한 제1 접촉 위치가 제2 접촉 위치를 겸하는 경우에는, 그리퍼 장치에 있어서, 그 특정한 제1 접촉 위치에 대응하는 제1 위치결정부는, 제2 위치결정부와 동일한 기능을 발휘한다.[0057] In other words, the first contact position is not limited to the aspect in which it also serves as the second contact position. The two first contact positions and three or more second contact positions may be provided separately. Alternatively, one of the two first contact positions may also serve as the second contact position. In either aspect, the gripper device has a first position-determining section corresponding to the first contact position, and a second position-determining section corresponding to the second contact position. In the case where a specific first contact position in the article also serves as the second contact position, in the gripper device, the first position-determining section corresponding to the specific first contact position exhibits the same function as the second position-determining section.

[0058] 물품은, FOUP(200)에 한정되지 않는다. 물품은, SMIF(Standard Mechanical Interface) Pod 또는 FOSB(Front Opening Shipping Box) 등이어도 된다.[0058] The article is not limited to FOUP (200). The article may be a SMIF (Standard Mechanical Interface) Pod or a FOSB (Front Opening Shipping Box).

[0059] 1: 천장 반송차(반송차), 7: 구동부, 9: 홀딩부, 10: 그리퍼 장치, 11: 승강부, 12: 핑거부, 16: 모터, 20: 링크 기구, 40: 제1 위치결정부, 41: 볼록 부재, 41a: 원뿔면부, 50: 제2 위치결정부, 51: 누름 부재, 51a: 수평면부, 200: FOUP(물품), 201: 본체, 201a: 상면, 202: 플랜지부, 202a: 플랜지 상면(피위치검출부), 206: 가이드 구멍, 300: 로드 포트(이재부), Pa: 제1 접촉 위치, Pb: 제2 접촉 위치.[0059] 1: ceiling carrier (carrier), 7: driving unit, 9: holding unit, 10: gripper device, 11: lifting unit, 12: finger unit, 16: motor, 20: link mechanism, 40: first positioning unit, 41: convex member, 41a: conical surface unit, 50: second positioning unit, 51: pressing member, 51a: horizontal surface unit, 200: FOUP (article), 201: main body, 201a: upper surface, 202: flange unit, 202a: flange upper surface (position detection unit), 206: guide hole, 300: load port (transfer unit), Pa: first contact position, Pb: second contact position.

Claims (7)

이재부(移載部)에 놓여진 물품을 홀딩(保持)하는 그리퍼 장치로서,
상기 이재부의 상방에 있어서 승강 가능한 승강부에 부착되어, 상기 물품을 홀딩하는 홀딩부와,
상기 승강부에 부착되어, 상기 물품의 상부에 있어서의 2개소(個所)의 제1 접촉 위치에서 상기 물품에 접촉함으로써, 상기 물품에 대해 수평 방향에 있어서의 상기 홀딩부의 위치결정을 행하는 제1 위치결정부와,
상기 승강부에 부착되어, 상기 물품의 상부에 있어서의 일직선상에는 위치하지 않는 3개소의 제2 접촉 위치에서 상기 물품에 접촉함으로써, 상기 물품에 대해 높이 방향에 있어서의 상기 홀딩부의 위치결정을 행하는 제2 위치결정부를 구비하는, 그리퍼 장치.As a gripper device for holding items placed on a transfer section,
A holding section attached to a lifting section that can be raised above the above-mentioned transfer section and holds the above-mentioned article,
A first positioning unit attached to the above-mentioned lifting member, which contacts the above-mentioned article at two first contact locations on the upper part of the above-mentioned article, thereby determining the position of the holding unit in the horizontal direction with respect to the above-mentioned article;
A gripper device having a second positioning unit that is attached to the lifting unit and contacts the article at three second contact locations that are not located in a straight line on the upper part of the article, thereby determining the position of the holding unit in the height direction with respect to the article. 제1항에 있어서,
상기 제1 위치결정부는, 2개소뿐인 상기 제1 접촉 위치에서 물품에 접촉하는, 그리퍼 장치.In the first paragraph,
A gripper device in which the first position-determining portion contacts the article at only two first contact positions. 제1항에 있어서,
상기 물품의 상면에 설치된 피(被)위치검출부에는, 상방을 향해 개방된 개구(開口)를 갖는 동시에 상기 개구에 대한 높이가 낮을수록 내경(內徑)이 작아지는 2개의 테이퍼 형상의 가이드 구멍이 형성되어 있으며, 2개의 상기 가이드 구멍이 형성된 위치는, 2개소의 상기 제1 접촉 위치이며 또한 2개소의 상기 제2 접촉 위치이고,
제1 위치결정부가, 2개의 상기 가이드 구멍에 각각 진입 가능한 2개의 볼록 부재(凸部材)를 갖는, 그리퍼 장치.In the first paragraph,
The position detection unit installed on the upper surface of the above article has two tapered guide holes formed which have an opening that is open upward and whose inner diameter becomes smaller as the height with respect to the opening decreases, and the positions where the two guide holes are formed are two first contact positions and two second contact positions.
A gripper device, wherein the first positioning unit has two convex members each capable of entering the two guide holes. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 위치결정부가, 상기 제2 접촉 위치 중 적어도 하나에서 상기 물품의 상면에 설치된 피위치검출부에 접촉하는 수평면부를 포함하는 적어도 1개의 누름 부재를 갖는, 그리퍼 장치.In any one of claims 1 to 3,
A gripper device, wherein the second position-determining portion has at least one pressing member including a horizontal surface portion that contacts a position-detecting portion installed on an upper surface of the article at at least one of the second contact positions. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제2 접촉 위치가 4개소에 마련되어 있는, 그리퍼 장치.In any one of claims 1 to 3,
A gripper device having the second contact positions provided at four locations. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 그리퍼 장치를 구비하며, 천장에 설치된 궤도를 따라 주향하는, 반송차.A transport vehicle having a gripper device as described in any one of claims 1 to 3, and traveling along a track installed on the ceiling. 이재부에 놓여진 물품을 그리퍼 장치로 홀딩하여 반송하는 반송 방법으로서,
상기 그리퍼 장치는, 상기 이재부의 상방에 있어서 승강 가능한 승강부에 부착되어, 상기 물품을 홀딩하는 홀딩부와, 상기 물품에 대한 수평 방향의 위치결정을 위한 제1 위치결정부와, 상기 물품에 대한 높이 방향의 위치결정을 위한 제2 위치결정부를 구비하며,
상기 승강부를 하강시키는 하강 공정과,
상기 하강 공정 후에 실시되고, 상기 물품의 상부에 있어서의 2개소의 제1 접촉 위치에서 상기 제1 위치결정부를 상기 물품에 접촉시킴으로써, 상기 물품에 대해 수평 방향에 있어서의 상기 홀딩부의 위치결정을 행하는 제1 위치결정 공정과,
상기 하강 공정 후에 실시되고, 상기 물품의 상부에 있어서의 일직선상에는 위치하지 않는 3개소의 제2 접촉 위치에서 상기 제2 위치결정부를 상기 물품에 접촉시킴으로써, 상기 물품에 대해 높이 방향에 있어서의 상기 홀딩부의 위치결정을 행하는 제2 위치결정 공정과,
상기 제1 위치결정 공정 및 상기 제2 위치결정 공정 후에 실시되고, 상기 홀딩부에 의해 상기 물품을 홀딩하는 홀딩 공정을 포함하는, 반송 방법.A return method in which an item placed on a transfer unit is held and returned by a gripper device,
The above gripper device is attached to a lifting portion that can be lifted above the transfer portion and has a holding portion for holding the article, a first positioning portion for determining a horizontal position for the article, and a second positioning portion for determining a height position for the article.
A lowering process for lowering the above-mentioned elevator,
A first positioning step, which is performed after the above lowering process, for positioning the holding portion in a horizontal direction with respect to the article by bringing the first positioning portion into contact with the article at two first contact locations on the upper portion of the article;
A second positioning process, which is performed after the lowering process, for positioning the holding portion in the height direction with respect to the article by bringing the second positioning portion into contact with the article at three second contact locations that are not located in a straight line on the upper part of the article;
A return method, which is performed after the first positioning process and the second positioning process, and includes a holding process for holding the article by the holding unit.
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