KR102682885B1 - 로드락 챔버의 도어 - Google Patents

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 도어는, 상호 분리되어 제공되는 제1 도어 플레이트 및 제2 도어 플레이트와; 양 가장자리를 제외하고 횡방향으로 길게 개방된 제1 채널이 상하로 2개소에 제공되고, 상기 제1 채널에 의하여 상부 섹션, 중앙 섹션 및 하부 섹션으로 구획되는 상기 제1 도어 플레이트의 챔버를 향한 면 중 상부와 하부 섹션에 장착되고, 도어의 폐쇄 시 챔버의 대응 면에 밀착되는 오링과; 상기 제1 채널을 폐쇄하도록 상기 제1 도어 플레이트에 장착되는 가요성 다이어프램과; 상기 제1 및 제2 도어 플레이트의 결합 상태에서 이들 사이에 형성되는 제2 채널에 제공되는 테프론 패드와; 상기 제1 및 제2 도어 플레이트 사이에 그리고 상기 제2 채널 상하부에 장착되는 테프론 블록과; 로드락 챔버의 도어를 로드락 챔버에 개폐 가능하게 장착하기 위한 힌지를 포함한다.

Description

로드락 챔버의 도어{DOOR FOR LOAD-LOCK CHAMBER}

본 발명은 로드락 챔버의 도어에 관한 것이다.

로드락 챔버는 기판이 프로세스 모듈에 로딩 및 언로딩 되기 이전에 구비되어 프로세스 모듈과 유사한 분위기를 형성함으로써 기판의 로딩/언로딩 시 프로세스 모듈의 급격한 환경 변화를 방지하는 완충 챔버의 역할을 한다. 상세하게는, 로드락 챔버는 대기압 및 프로세스 모듈과 각각 연결되어서, 대기압 상태에서 기판이 투입되면 프로세스 모듈과 유사한 정도로 진공을 형성한 후에 프로세스 모듈과 연통되어 기판을 프로세스 모듈에 로딩할 수 있다. 그리고 로드락 챔버에서 기판의 언로딩 시는 상술한 과정과 반대 절차를 따라 기판이 언로딩 된다. 상술한 바와 같은 로드락 챔버의 기능 발휘에 힘입어 기판의 로딩/언로딩 시 프로세스 모듈 내부의 급격한 변화가 방지될 수 있다.

위에 설명한 로드락 챔버의 기능 발휘 과정에서, 로드락 챔버에 기판이 도입되고 도어가 닫히고 진공이 유도될 때 로드락 챔버의 용적은 줄어들 수 있다. 또한, 진공 유도 시에 줄어든 챔버의 용적은 챔버의 배기 시에 원래 상태로 돌아올 수 있다. 로드락 챔버의 기능 발휘 과정에서 상술한 바와 같이 로드락 챔버의 용적이 변화함에 따라 로드락 챔버를 둘러싸며 로드락 도어가 맞닿는 벽의 이동이 발생하고, 도어는 정지 상태를 유지한다. 밀봉 메커니즘, 통상적으로 오링(O-ring)은 도어와 챔버 벽 사이에서 압착된다. 따라서, 챔버 내부의 진공 유도 시 또는 배기 시, 챔버는 도어 및 오링에 대해 이동하고 오링에 대해 마찰을 일으킨다. 챔버가 오링에 대해 마찰을 일으키기 때문에, 오링은 파손될 수 있고, 오링의 파손은 밀봉의 파손으로 이어져 챔버 내부 공간에 대한 진공 형성 및 유지가 불가능해질 수 있다. 추가적으로, 마찰에 의해서 파티클이 생성될 수 있다. 이에, 진공 형성 및 유지 성능을 유지하면서도 파티클의 생성을 방지하는 챔버 및 도어 장치가 본 기술 분야에 요구되고 있다.

상기와 같은 기술적 요구에 부응하는 기술이 등장하였고, 그 중 한 예를 본 명세서에 종래기술로 소개하기로 한다. 한국 등록특허 제10-1650320호(발명의 명칭: 오링을 이동하는 대응 부분에 커플링시키기 위한 슬롯이 형성된 TSSL 도어)의 대표적인 도면이 본 명세서에 도 1로서 첨부된다. 도 1에 도시된 바와 같은 종래기술에서, 슬릿 밸브 도어(500)는 제1 바디(502) 및 제2 바디(504)를 포함할 수 있다. 오링(506)은 슬릿 밸브 도어(500)가 챔버를 밀봉하도록 제2 바디(504)에 제공될 수 있다. 제2 바디(504)는 제1 바디(502)에 대해 이동할 수 있는 제1 바디(502)와 분리된 단편을 포함할 수 있다. 상술한 바와 같은 로드락 챔버의 기능 발휘 시에, 제2 바디(504)는 챔버와 함께 그리고 제1 바디(502)에 대해 이동할 수 있다. 따라서, 오링(506)은 챔버에 대해 정지 상태(그러나, 제1 바디에 대해서는 이동하는 상태)를 유지할 수 있으며, 슬릿 밸브 도어(500)의 임의의 부분들과 챔버는 서로에 대해 마찰하지 않는다. 챔버와 함께 제2 바디(504)가 이동하기 때문에, 기판을 오염시킬 수 있는 파티클의 양이 감소된다. 제2 바디(504)는 제2 바디(504)와 제1 바디(502) 사이에 위치되는 베어링(514)을 따라서 미끄러질 수 있다. 상기 베어링(514)은 도 1에 도시된 바와 같이, 베어링 판의 형태를 가질 수 있다. 제2 바디(504)가 제1 바디(502)에 대해 이동하기 때문에, 이동하는 제2 바디(504)는 기판을 오염시킬 수 있는 파티클을 생성할 수 있다. 예컨대, 제2 바디(504)와 베어링(514)의 접촉면에서 파티클이 생성될 수 있다. 생성되는 파티클은 제2 바디(504)와 제1 바디 (502) 사이의 공동(518)으로 떨어질 수 있다. 생성된 파티클이 도어 외부로 배출되지 않도록 하기 위하여 측면 벨로우즈(510)는 제1 바디(502) 및 제2 바디(504)에 체결되고 도어 내외부의 공간을 밀폐한다. 밀폐를 위한 상기 측면 벨로우즈(510)는 공극이 형성되지 않아 유체의 연통을 허용하지 않는 타입이다. 한편, 상기 측면 벨로우즈(510)와 별개로 제공되는 상부 벨로우즈(508)가 슬릿 밸브 도어(500)의 상부에서 제1 바디(502)와 제2 바디(504) 사이에 체결될 수 있다. 제1 바디(502)와 제2 바디(504)에 사이의 도어 내부 공간과 도어 외부는 동일 압력을 유지되는 것이 바람직하다. 슬릿 밸브 도어(500)가 밀봉하는 챔버가 진공화 되거나 배기 될 때에, 도어 내외부의 압력차에 의해 유도되는 힘이 제1 바디(502)와 제2 바디(504)의 서로에 대한 상대적인 이동을 발생시키지 않는 것이 바람직하다. 도어 내외부의 균등한 압력 상태를 달성하기 위하여, 상부 벨로우즈(508)는 미세 다공성 물질을 포함할 수 있다. 이와 같은 다공성 상부 벨로우즈(508)는 공동(518)이 이동 부분들에 의하여 생성되는 파티클을 수용하는 동안 공기를 연통할 수 있도록 한다. 이상 기술한 도 1의 종래기술과 관련하여 본 발명의 발명자(들)는 다음과 같은 개선점을 도출하였다. 첫째, 상부 벨로우즈(508)의 미세 공극들은 공기를 연통시키면서 도어 내부의 파티클이 도어 외부로 배출되는 것을 상당부분 차단하여야 한다. 동시에 제1 바디(502)와 제2 바디(504)의 가요성(flexible) 연결을 신뢰성 있게 보장하여야 한다. 이러한 조건들을 모두 만족시키는 다공성 벨로우즈의 제작은 어렵다. 또한, 이러한 다공성 벨로우즈 제작을 위한 몰드의 비용은 비싸다. 둘째, 가요성 연결을 위하여 선택되는 소재의 특성 상 다공성 벨로우즈의 경화를 막기가 어렵다. 도 1의 종래기술 명세서는 다공성 벨로우즈(508)의 재질의 예시로 고체 엘라스토머를 들고 있다. 이러한 재질은 열이 가해지는 상황에서 반복적인 움직임에 노출되면 일정 주기 후에 반드시 경화되어 설계 당시에 원하는 가요성과 유체 연통성능 및 파티클 배출 차단 성능이 떨어진다. 경화된 채 사용이 지속되면 원치 않는 파티클을 발생시킬 가능성이 높아진다. 이러한 이유로, 다공성 벨로우즈는 일정 주기 후에 반드시 교체되어야 하고, 이는 유지 보수의 비용과 어려움을 가중시킬 수 있다. 셋째, 다공성 벨로우즈는 도어로의 장착을 위하여 반드시 별도의 부품을 필요로 한다는 것이다. 벨로우즈는 가요성 재질로 제작되기 때문에 도어에 직접 볼팅 될 수 없고, 별도의 플레이트를 벨로우즈에 덧댄 후에 볼팅이 이루어져야 한다. 이는 부품 수의 증가와 제작 공정이 추가되는 단점을 야기한다. 넷째, 도 1의 종래기술에서는 로드락 챔버의 도어 제작을 위하여 알루미늄 등의 재질로 제공되는 특정 두께의 하나의 플레이트 내부 공간을 가공하여 도어 내부에 베어링 등 삽입 위한 공간과 내부 공동 공간 등의 구조를 형성하고 있다. 이는 높은 난이도의 작업이어서 제작 용이성 측면에서 분명한 단점이다. 또한, 도어 내부 공간에 대한 유지 보수 필요가 있을 때 도어의 내부 공간을 드러내는 방식으로 도어가 분리될 수 없어서 유지 보수에 대한 난이도가 올라간다는 단점도 아울러 가진다. 본 발명의 발명자(들)는 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 연구에 매진한 끝에 본 발명에 이르게 되었다.

본 발명은 로드락 챔버의 진공화 및 배기 시에 챔버와 밀착하는 도어의 일부분이 챔버를 따라 움직임으로써 실링부에서 파티클이 발생하는 것과 실링이 파괴되는 것을 방지하면서도, 다공성 벨로우즈의 사용 없이 도어 내외부 공기 연통을 달성하는 로드락 챔버의 도어 구조를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 상술한 종래기술의 다공성 벨로우즈와 동일한 기능을 구현하면서도 설치 및 유지 보수가 간단하여 작업 편의성을 증대시키고 비용을 감소시키는 다공성 벨로우즈의 효과적 대체 수단을 갖는 로드락 챔버의 도어 구조를 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 도어 자체를 조립하거나 로드락 챔버로 설치할 때 및 유지 보수를 위하여 도어를 분해하거나 로드락 챔버로부터 분리할 때에도 작업 편리성이 종래기술 대비 월등히 향상된 로드락 챔버의 도어 구조를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 도어는, 상호 분리되어 제공되는 제1 도어 플레이트 및 제2 도어 플레이트와; 양 가장자리를 제외하고 횡방향으로 길게 개방된 제1 채널이 상하로 2개소에 제공되고, 상기 제1 채널에 의하여 상부 섹션, 중앙 섹션 및 하부 섹션으로 구획되는 상기 제1 도어 플레이트의 챔버를 향한 면 중 상부와 하부 섹션에 장착되고, 도어의 폐쇄 시 챔버의 대응 면에 밀착되는 오링과; 상기 제1 채널을 폐쇄하도록 상기 제1 도어 플레이트에 장착되는 가요성 다이어프램과; 상기 제1 및 제2 도어 플레이트의 결합 상태에서 이들 사이에 형성되는 제2 채널에 제공되는 패드와; 상기 제1 및 제2 도어 플레이트 사이에 그리고 상기 제2 채널 상하부에 장착되는 블록과; 로드락 챔버의 도어를 로드락 챔버에 개폐 가능하게 장착하기 위한 힌지를 포함한다.

상기 블록은 상기 제1 도어 플레이트의 상기 상하부 섹션에 체결되고, 제2 도어 플레이트에는 체결되지 않는다. 상기 제2 도어 플레이트의 좌우 반전된 "ㄷ"자 형상의 단면을 갖는 공간에 상기 블록이 수용된다. 상기 제1 도어 플레이트의 상기 상부 및 하부 섹션이 상기 중앙 섹션에 대하여 상대적으로 이동할 때, 상기 블록은 상기 좌우 반전된 "ㄷ"자 형상의 단면을 갖는 제2 도어 플레이트의 공간에 수용된 상태에서 상하 이동 가능하다.

상기 패드와 상기 블록은 테프론 재질로 제공되는 것이 바람직하다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 도어는 상기 제1 도어 플레이트의 로드락 챔버를 향한 면에 체결되는 복수의 커버들을 더 포함할 수 있다. 상기 복수의 커버 중 하나의 하부에는 상기 제1 및 제2 도어 플레이트의 상호 체결을 위한 볼트 및 이들을 둘러싸는 실링 구조가 배치되고, 상기 복수의 커버들 중 다른 하나에는 상기 힌지의 장착을 위한 빈 공간과 이를 둘러싸는 실링 구조가 배치될 수 있다.

상기 제1 도어 플레이트의 빈 공간을 통하여 힌지 장착을 위한 볼트 구멍이 드러나고, 이 볼트 구멍을 통하여 상기 힌지와 결합되는 볼트를 체결함으로써 상기 힌지와 상기 제2 도어 플레이트의 체결이 이루어질 수 있다.

상기 블록은 도어 내부를 향하는 면에 길이 방향으로 연장되는 홈을 포함하고, 상기 홈에는 도어 내부에서 발생되는 파티클이 수집될 수 있다.

상기 제2 도어 플레이트에는 공기 연통 홀이 제공되고, 상기 공기 연통 홀에 상응하는 위치에 필터가 배치되고, 상기 필터는 상기 제2 도어 플레이트에 체결된다. 상기 제1 및 제2 채널, 상기 필터와 상기 공기 연통 홀은 도어 내부에서 유체 연통 가능한 통로를 형성하고, 상기 블록과 상기 제2 도어 플레이트 사이의 틈을 통하여 도어 내부로 진입한 공기가 상기 통로를 통하여 도어 외부로 배출될 수 있다.

이외에도 추가적인 구성이 본 발명에 따른 로드락 챔버의 도어에 더 포함될 수 있다.

본 발명에 따르면, 로드락 챔버의 진공화 및 배기 시에 챔버와 밀착하는 도어의 일부분이 챔버를 따라 움직임으로써 실링부에서 파티클이 발생하는 것과 실링이 파괴되는 것을 방지하면서도, 다공성 벨로우즈의 사용 없이 도어 내외부 공기 연통을 달성하는 로드락 챔버의 도어 구조가 제공될 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 상술한 종래기술의 다공성 벨로우즈와 동일한 기능을 구현하면서도 설치 및 유지 보수가 간단하여 작업 편의성을 증대시키고 비용을 감소시키는 다공성 벨로우즈의 효과적 대체 수단을 갖는 로드락 챔버의 도어 구조가 제공될 수 있다.

또한, 본 발명에 따르면, 도어 자체를 조립하거나 로드락 챔버로 설치할 때 및 유지 보수를 위하여 도어를 분해하거나 로드락 챔버로부터 분리할 때에도 작업 편리성이 종래기술 대비 월등히 향상된 로드락 챔버의 도어 구조가 제공될 수 있다.

도 1은 종래기술의 로드락 챔버의 도어 구조를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 도어 구조 전반을 도시하는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 도어를 로드락 챔버의 개구면 쪽에서 바라본 정면도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버 도어의 각 위치 별 단면 구조를 도시하는 도면이다.
도 6과 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버 도어의 내부 구조를 보다 구체적으로 설명하기 위한 단면 일부에 대한 확대된 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 도어에서 선행기술과 차별화되는 핵심 구성요소 중 하나인 테프론 블록(40)을 확대하여 도시하는 도면이다.
도 9는 제1 도어 플레이트상에 장착되는 각 커버들을 제거한 구조를 도시하는 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버 도어의 내부 유체 흐름을 개념적으로 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버 도어의 힌지 체결 구조를 설명하기 위한 도면이다.

이하에서 기술되는 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 개시의 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이에 대한 구체적인 설명으로 제한되는 것은 아니다.

본 명세서에서 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은 달리 정의되지 않는 한 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 가지며, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것으로서 본 개시의 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.

본 명세서에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.　

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 개시의 바람직한 실시예에 대해 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명한다.　 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소는 동일한 참조부호를 통해 지시되어 있으며, 이하의 실시예들의 설명에 있어서 동일하거나 대응하는 구성요소는 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다.　 다만, 아래의 설명에서 특정 구성요소에 관한 기술이 생략되어 있더라도, 이는 그러한 구성요소가 해당 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 도어 구조 전반을 도시하는 사시도이다. 도 2의 실시예에서 로드락 챔버의 도어는 제1 도어 플레이트(10)와 제2 도어 플레이트(20)를 포함한다. 도 2의 사시도에서는 로드락 챔버의 개구면 쪽에서 바라본 모습이 도시되기에, 제2 도어 플레이트(20)는 관찰되지 않는다. 제1 도어 플레이트(10)의 챔버를 향하는 면 중 가장자리 부분을 제외한 상하 두 곳에 횡방향으로 길게 절개면이 형성되고, 이러한 절개면을 커버하도록 다이아프램(11)이 장착된다. 이러한 상하 절개면과 이를 커버하는 다이아프램(11)들 사이에는 복수(도 2의 실시예에서는 총 4개이고 직사각형 형상)의 제1 커버(12) 및 역시 복수(도 2의 실시예에서는 총 4개이고 정사각형 형상)의 제2 커버(13)가 제공될 수 있다. 상기 커버들은 제1 도어 플레이트(10)에 볼팅 방식으로 장착될 수 있다. 상하 절개부 외곽 측으로 제1 도어 플레이트(10)의 좌우 가장자리에도 각각 한 개씩의 제3 커버(14)가 제공될 수 있다. 또한, 도어 플레이트 상부면에는 테프론 블록(40)이 제공된다. 도 2의 사시도에서는 이러한 테프론 블록(40)이 도어 플레이트 상부면에 제공되는 모습만이 도시되고 있지만, 테프론 블록(40)은 도어 플레이트 하부면에도 동일한 구조로 제공되고 있다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 도어를 로드락 챔버의 개구면 쪽에서 바라본 정면도이다. 도 3에서 주목하여야 할 사항은 대문자 A와 B로 표시된 위치이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 도어는 각 위치별로 다른 단면 구조를 갖는다. 이하에서, 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버 도어의 각 위치 별 단면 구조에 대하여 설명하기로 한다.

먼저, 도 4는 도 3의 A-A 선을 따라 절단된 단면의 구조를 도시하는 도면이다. 앞서 언급한 바 있듯이, 본 발명에 따른 실시예에서 로드락 챔버의 도어는 챔버의 개구면을 향하는 제1 도어 플레이트(10)와 그 반대쪽의 제2 도어 플레이트(20)의 2개 플레이트로 구성된다. 도 4에서 제1 도어 플레이트(10)는 상부 섹션(10-1), 중앙 섹션(10-2), 하부 섹션(10-3)의 총 3개의 부분으로 구획되는 것으로 도시된다. 도 2 내지 도 4를 동시에 참조하면, 이러한 총 3개의 섹션이 사실 상호 구분되어 제공되는 각각 별개의 부품이 아니라는 점이 이해될 수 있을 것이다. 이 3개의 섹션은 도 2를 참조하여 언급한 상하 두개의 절개면의 존재로 인하여 단면도인 도 4에서 구분되어 보이는 것일 뿐, 이들 모두 한 개한 몸체인 제1 도어 플레이트(10)의 일부이다. 상부 섹션(10-1)과 중앙 섹션(10-2)은 나뉘어져 있고, 이들 사이에는 각 섹션을 이격시키는 제1 채널(15)이 형성된다. 제1 채널(15)이 도 2의 절개면에 상응한다. 제1 채널(15)을 덮으면서 일단은 상부 섹션(10-1)에 다른 단부는 중앙 섹션(10-2)에 결합되는 가요성 다이어프램(11)이 제공된다. 상부 섹션(10-1)에는 로드락 챔버의 측면과 접촉을 이루는 오링(17)이 배치된다. 중앙 섹션에는 제1 커버(12)가 볼팅 방식으로 고정되어 있다. 제1 커버(12)의 하부에는 제1 도어 플레이트(10)와 제2 도어 플레이트(20)를 체결하기 위한 볼트가 제공된다. 이러한 도어 플레이트 체결 볼트의 주변에는 후속하는 도면에서 보다 구체적으로 도시될 실링 구조가 배치되어 있다. 이러한 실링 구조는 도어 플레이트 체결 볼트의 체결이 제대로 이루어지지 않아 볼트 체결 구멍을 통하여 유체의 흐름의 생기는 것을 방지하기 위해서이다. 챔버 내부의 진공화 또는 배기 과정에서 챔버 내외의 큰 압력차에도 불구하고 유체의 누설을 막아야하는 로드락 챔버 도어의 본질적 기능의 달성을 위하여, 두 개의 서로 분리된 플레이트의 결합을 달성하는 볼팅 구조에 위와 같은 제1 커버(12), 제1 커버(12)를 제거해야 비로소 드러나는 제1 커버(12) 하부의 플레이트 체결 볼트, 이러한 체결 볼트들 주변에 배치되는 실링 구조가 제공되는 것이다. 도 4에서는 플레이트 체결 볼트가 도시되지 아니하나, 이는 플레이트 체결 볼트가 단면을 자른 위치가 아닌 다른 위치에 제공되기 때문이다. 후속하는 다른 도면을 참조하면 플레이트 체결 볼트가 제공되는 위치와 기능 등이 명확히 이해될 것이다.

하부 섹션(10-3)의 구조는 상부 섹션(10-1)의 구조와 대칭을 이룬다. 도 4에서 하부 섹션(10-3)과 중앙 섹션(10-2)은 나뉘어져 있고, 이들 사이에는 각 섹션을 이격시키는 제1 채널(15)이 형성된다. 제1 채널(15)을 덮으면서 일단은 하부 섹션(10-3)에 다른 단부는 중앙 섹션(10-2)에 결합되는 가요성 다이어프램(11)이 제공된다. 하부 섹션(10-3)에는 로드락 챔버의 측면과 접촉을 이루는 오링(17)이 배치된다. 제1 도어 플레이트(10)와 제2 도어 플레이트(20)의 볼트에 의한 결합 시 이 두 부재 사이에는 유체가 흐를 수 있는 채널이 존재하게 된다. 도 4에서 도면부호 16에 의해 지시되는 제2 채널이 그것이다. 제2 채널(16)에는 제1 도어 플레이트(10)의 상부(10-1) 및 하부 섹션(10-3)이 정지된 제2 도어 플레이트(20)에 대하여 상대적인 이동을 실시할 때 이들 사이의 마찰을 저감하기 위한 목적으로 제공되는 테프론 재질의 패드(18)가 제공된다. 이러한 테프론 패드(18)에 대해서는 후속하는 도 6을 참조하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.

제1 및 제2 도어 플레이트(10, 20) 사이에 형성되는 상기 제2 채널(16)의 상하부 단부에는 도면부호 40에 의해 지시되는 테프론 블록이 배치된다. 테프론 블록(40)은 제1 도어 플레이트(10)에만 볼트에 의해 체결되어 있고, 제2 도어 플레이트(20)에는 테프론 블록(40)의 체결을 위한 어떠한 구성요소도 적용되지 않는다. 대신에, 제2 도어 플레이트(20)의 테프론 블록(40)을 수용하는 면들은 "ㄷ"자를 좌우 반전시킨 형태로 테플론 블록(40)을 비접촉 상태로 감싸고 있다. 제2 채널 상하부에 각각 배치되는 테프론 블록(40)의 도어 내부를 향하는 면 상에는 도 4의 단면에 수직한 길이 방향으로 길게 형성된 홈이 제공된다. 이러한 홈은 도어 내부에서 발행한 파티클이 도어 외부로 배출되지 않도록 수집하는 기능을 수행할 수 있다.

제2 도어 플레이트(20)의 중앙에는 공기 연통 홀(21)이 존재한다. 제2 도어 플레이트(20)에 형성되는 공기 연통 홀(21)의 구조는 후속하는 다른 도면들을 동시에 참조하면 보다 명확히 이해될 것이다. 제2 도어 플레이트(20)의 중앙에 제공되는 공기 연통 홀(21)에는 필터(22)가 제공된다. 이러한 필터(22)는 볼트에 의하여 제2 도어 플레이트(20)에 체결되어 있고, 제1 도어 플레이트(10)의 상응하는 부분에는 상기 필터(22)의 제2 도어 플레이트(20)로의 체결을 위한 볼트의 머리부가 수용될 수 있는 공간이 형성된다. 상술한 바와 같이 필터(22)가 제2 도어 플레이트(20)의 중앙에 형성되는 공기 연통 홀(21)에 제공된 상태에서 상기 제1 및 제2 채널(15, 16), 필터(22) 및 공기 연통 홀(21)은 상호 유체 연통 관계에 있다. 상술한 구조로 제공되는 유체 연통 경로에 대해서는 후속하는 다른 도면을 참조하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.

이제, 도 3의 B-B 선을 따라 절단된 단면의 구조를 도시하는 도 5를 참조하여 본 단면의 위치에 특징적인 구조에 대해서 설명하기로 한다. 제1 도어 플레이트(10)의 중앙 섹션(10-2)에는 제2 커버(13)가 볼팅 방식으로 고정되어 있다. 제2 커버(13)는 실링 구조를 경유하여 제1 도어 플레이트(10)와 체결된다. 실링 구조를 제공하는 이유는 앞서 설명한 도 4의 단면도에서 단면도에서 제1 커버(12) 하부에 실링 구조가 제공되는 이유와 동일하다. 즉, 챔버 내부의 진공화 또는 배기 과정에서 챔버 내외의 큰 압력차에도 불구하고 도어를 통한 유체의 누설을 막기 위함이다. 제2 커버(13) 하부의 제1 도어 플레이트(10)에는 도어 힌지(30) 장착을 위한 빈 공간(13-1)이 형성된다. 제1 및 제2 도어 플레이트(10, 20)의 조립체를 도어 힌지(30)에 체결하는 작업을 실시할 때, 작업자는 제2 커버(13)가 제거된 상태에서 상기 제1 도어 플레이트의 빈 공간(13-1)을 통하여 드러난 볼트 구멍을 통하여 도어 힌지(30)와 제2 도어 플레이트(20)의 견고한 볼트 체결을 손쉽게 실시 가능하다. 이후에, 작업자는 제2 커버(13)를 덮고 제2 커버(13)를 제1 도어 플레이트(10)에 볼트로 체결하게 된다. 제2 도어 플레이트(20)와 도어 힌지(30) 사이에는 금속과 금속이 직접 접촉함에 따른 마찰 방지를 위하여 테프론 재질의 시트(31)가 게재될 수 있다. 테프론 시트(31)는 볼트에 의해 제2 도어 플레이트(20)의 외부 표면에 장착될 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버 도어의 내부 구조를 보다 구체적으로 설명하기 위한 단면 일부에 대한 확대된 도면이다. 도 6의 실시예에서는 제1 도어 플레이트(10)의 상부 섹션(10-1) 중 우상단 모서리가 "ㄴ"자형으로 절개되고 있다. 이러한 절개부위의 평평한 면 상에 본 발명의 특징적인 구성요소 중 하나인 테프론 블록(40)이 장착된다. 도 6에 도시된 바와 같이, 테프론 블록(40)은 볼트(42)에 의하여 제1 도어 플레이트(10)의 상부 섹션(10-1)에 체결될 수 있다. 한편, 테프론 블록(40)은 제2 도어 플레이트(20)에는 그 어떤 체결 수단에 의해서도 체결되지 않는다. 테프론 블록(40)은 앞서 언급한 바와 같이 제2 도어 플레이트(20)의 좌우 반전된 "ㄷ"자 형태의 공간에 일부가 수용된다. 로드락 챔버의 개구면을 향하여 밀착된 제1 도어 플레이트(10)의 상부 섹션(10-1)이 상하 방향으로 이동할 때 제2 도어 플레이트(20)는 정지된 상태이므로, 테프론 블록(40)은 일부가 상기 좌우 반전된 "ㄷ"자 공간에 수용된 상태에서 상하 이동을 실시한다. 이에 대해서는 도 7을 참조하여 보다 구체적으로 설명하기로 한다.

도 7에서 테프론 블록(40)의 상부면은 a, 이 면을 마주하는 제2 도어 플레이트(20)의 "ㄷ"자형 수용 공간의 면은 b, 테프론 블록의 측면은 c, 이 면을 마주하는 제2 도어 플레이트(20)의 면은 d, 테프론 블록의 하부면은 e, 이 면을 마주하는 제2 도어 플레이트(20)의 면은 f로 지시된다. 로드락 챔버에서 진공화가 진행되면 챔버 내부 압력 하강에 따라 로드락 도어의 오링(17)이 맞닿는 면이 하방 이동하고, 이 때 제1 도어 플레이트(10)의 상부 섹션(10-1)에 설치된 오링(17)도 로드락 챔버의 대응 면의 거동을 추종하여 함께 하방 이동할 수 있다. 그러면, 상부 섹션(10-1)에 설치된 테프론 블록(40)도 함께 이동한다. 이때, 테프론 블록(40)의 상부면(a)은 제2 도어 플레이트(20)의 대응 면(b)로부터 멀어지고, 하부면(e)은 대응 면(f)으로 접근한다. 반대의 경우일 때, 즉, 로드락 챔버에서 배기가 진행되어 챔버 내부 압력이 대기압으로 회복함에 따라 로드락 도어의 오링(17)이 맞닿은 면이 상승 이동할 때, 테프론 블록(40)의 상부면(a)은 제2 도어 플레이트(20)의 대응 면(b)에 접근하고, 하부면(e)은 대응 면(f)으로부터 멀어진다. 상술한 바와 같은 오링(17) 및 제1 도어 플레이트의 상부 섹션(10-1)의 거동에 따른 테프론 블록(40)의 상대적 이동이 시행될 때, 테프론 블록(40)의 측면(c)과 이에 마주하는 제2 도어 플레이트(20)의 면(d)의 간격은 일정하게 유지된다. 이와 관련하여, 금속 재질로 제공되는 제1 도어 플레이트(10)의 열에 의한 수치 변경 가능성이 고려될 수 있다. 로드락 챔버 내에 가열된 기판이 위치할 때 제1 도어 플레이트(10)는 열 변형 가능성이 있다. 제1 도어 플레이트(10)가 로드락 챔버 내부의 열원의 영향을 받아 팽창되면 테프론 블록(40)의 측면(c)과 이에 마주하는 제2 도어 플레이트(20)의 면(d) 사이의 간격이 다소 좁혀질 수 있다. 면(c)과 면(d) 사이의 간격은 제1 도어 플레이트(10)의 최대 열변형 시에도 면(c)과 (d)이 직접적인 접촉을 형성하지 않을 정도로 조절되는 것이 바람직하다. 만일 면(c)과 면(d)이 일부 접촉하는 경우가 발생하더라도, 테프론 블록(40)은 알루미늄 합금 재질 등 금속 재질의 면(d)과의 마찰력을 최소화하는 테프론 재질 특성 상 제1 도어 플레이트(10)의 상부 섹션(10-1)의 제2 도어 플레이트(20)에 대한 상대적인 이동을 방해하지 않을 수 있다. 면(c)과 면(d)의 간격과 관련하여, 본 발명의 발명자(들)는 이 간격을 0.1 내지 0.3mm, 보다 양호하게는 대략 0.2mm로 설정함으로써 도어 내외부의 공기 연통을 원활하게 하면서 도어 내부에서 발생 가능한 파티클이 도어 외부로 배출되는 것을 억제할 수 있고, 상술한 열변형에 의해 면(c)과 면(d)의 직접적인 접촉을 회피할 수 있음을 발견하였다.

다시 도 6을 참조하여 테프론 패드(18)에 대하여 설명하기로 한다. 테프론 패드(18)는 제1 도어 플레이트(10)와 제2 도어 플레이트(20)의 결합 시 이들 사이에 형성되는 제2 채널(16)에 제공된다. 테프론 패드(18)가 수행하는 본질적인 기능은 제1 도어 플레이트(10)의 상부(10-1) 및 하부 섹션(10-3)이 정지된 제2 도어 플레이트(20)에 대하여 상대적인 이동을 실시할 때 마찰저감을 달성하는 것이다. 한편, 테프론 패드(18)는 제1 도어 플레이트(10)와 제2 도어 플레이트(20) 사이에 형성되는 제2 채널(16)의 간격을 일정하게 유지하는 기능을 수행할 수 있다. 로드락 챔버 내부에 가열된 기판이 위치되는 이유 등으로 제1 도어 플레이트(10)의 열팽창이 발생할 때에도 테프론 패드(18)가 제1 도어 플레이트(10)와 제2 도어 플레이트(20) 사이 위치 설정됨으로 인하여 이 두 개의 플레이트 사이의 간격, 즉 제2 채널(16)의 폭은 크게 변하지 않고 대체로 일정하게 유지될 수 있다. 테프론 패드(18)는 도 6에 도시된 바와 같이 볼트 결합에 의하여 제1 도어 플레이트(10) 중 소정의 위치에 고정될 수 있다. 상술한 테프론 패드(18)의 기능의 달성 측면에서는 테프론 패드(18)의 장착 위치가 제2 도어 플레이트(20)로 변경되어도 무방하다.

도 6의 단면도에서 제1 도어 플레이트(10)의 상부 및 하부 섹션(10-1, 10-3)과 중앙 섹션(10-2)은 제1 채널(15)을 사이에 두고 나뉘어진 구조이다. 이러한 제1 채널(15)을 덮어 밀폐시키면서 일단은 상부(10-1) 또는 하부 섹션(10-3)에, 다른 단부는 중앙 섹션(10-2)에 결합되는 가요성 다이어프램(11)은 그 가요성 재질로 인하여 상부(10-1) 또는 하부 섹션(10-3)이 중앙 섹션(10-2)으로부터 멀어지거나 중앙 섹션(10-2)을 향해 이동하는 것을 허용한다. 이러한 가요성 연결은 오링(17)이 로드락 챔버의 대응 벽면에 가압 밀착된 상태에서 로드락 챔버 벽면의 미세한 상하 방향 움직임을 오링(17) 및 오링(17)이 결합된 각 상부 또는 하부 섹션(10-1, 10-3)이 추종하도록 하고, 이에 따라 오링(17)으로부터 마찰에 의한 파티클이 발생하는 것을 막는 핵심 구조이다. 앞서 언급한 선행기술에서도 채용하고 있는 이러한 구조가 본 발명의 선행기술과의 차별성을 형성하지는 않더라도 오링(17)으로부터 발생하는 파티클이 로드락 챔버 내부로 진입되는 것을 막는 것은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 도어에서도 여전히 중요한 고려사항이다. 가요성 다이어프램(11)은 도 6에서 도면부호 11-1에 의해 지시되는 장착 플레이트에 의해 그 측면 부분이 덮인 상태에서 제1 도어 플레이트(10)에 볼팅 방식으로 장착될 수 있다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 도어에서 선행기술과 차별화되는 핵심 구성요소 중 하나인 테프론 블록(40)을 확대하여 도시하는 도면이다. 도 8에 도시된 바와 같이, 테프론 블록(40)의 볼트(42) 장착면은 홈이 없는 매끈한 구조이고, 그 반대면에는 블록의 길이 방향에 걸쳐서 홈(41)이 형성된 구조이다. 상술한 바와 같이, 이러한 홈(41)은 도어 내부에서 발생할 수도 있는 파티클이 도어 외부로 배출되지 않도록 수집하는 기능을 수행할 수 있다. 파티클은 중력에 의해 도어 하부에 모이는 경향이 강하므로 상기 파티클 수집 기능은 제1 도어 플레이트(10)의 하부 섹션(10-3)과 제2 도어 플레이트 사이의 제2 채널(16)을 하부로부터 커버하는 테프론 블록(40)에 형성되는 홈(41)에서 주로 달성된다. 한편, 테프론 블록(40)은 하나의 분리되지 않은 몸체로 형성되는 것도 가능하지만, 여러 개의 분리되어 제공되는 몸체가 서로 연결되어 형성될 수도 있다.

도 9는 제1 도어 플레이트(10) 상에 장착되는 각 커버들을 제거한 구조를 도시하는 도면이다. 제1 도어 플레이트(10)에는 총 3가지 서로 다른 커버가 결합될 수 있다. 도면부호 12, 13, 14에 의해 지시되는 구성요소들이 이에 해당한다. 이 중 제1 커버(12) 및 제3 커버(14)의 하부에는 제1 및 제2 도어 플레이트를 상호 결합시키기 위한 볼트들이 위치할 수 있으며, 이러한 볼트를 둘러싸는 실링 구조가 위치할 수 있다. 도 9에서 제1 커버(12) 하부의 볼트가 도면부호 12-1, 실링 구조가 도면부호 12-2에 의해 지시되고, 제3 커버(14) 하부의 볼트가 도면부호 14-1, 실링 구조가 도면부호 14-1에 의해 지시된다. 즉, 제1 커버(12)와 제3 커버(14)는 제1 및 제2 도어 플레이트를 상호 결합시키기 위한 볼트 및 이의 실링 구조를 커버하는 것으로서 기능 상 공통점이 있다. 제2 커버(13)는 이들과 차별화되는 기능을 수행한다. 도 9에 도시된 실시예에서 도어 플레이트의 최외곽 가장자리 두개의 지점에 제3 커버(14)가 위치하고, 이들 사이에 제1 및 제2 커버(12, 13)가 교대로 배치된다. 제3 커버(13) 이하에도 도면부호 13-2에 의해 지시되는 실링 구조가 나머지 두 개의 커버의 경우와 동일하게 위치하고 있으나, 이 커버 아래의 중앙에는 빈 공간이 존재한다. 이러한 빈 공간은 도 9에서 도면부호 13-1에 의해 지시된다. 제3 커버(13) 이하의 이러한 빈 공간(13-1)은 도어 힌지(30)의 장착을 위한 공간이며, 도 5를 참조하여 상술한 바와 같이, 작업자는 이 공간을 통하여 도어 힌지(30)의 장착을 위한 볼트 체결을 손쉽게 실시할 수 있다. 유지 보수를 위하여 도어 플레이트를 힌지(30)로부터 분리할 필요가 있을 때에도 상술한 구조는 종래기술 대비 이점을 가져온다. 작업자는 제2 커버(13)의 분리에 의해 드러난 힌지(30)의 체결 볼트를 결합 해제함으로써 도어 플레이트를 힌지(30)로부터 손쉽게 분리할 수 있다. 이러한 도어 플레이트의 도어 힌지(30)로의 손쉬운 체결 또는 분리는 제작 편리성 및 유지 보수 편리성에 있어서 종래기술 대비 훨씬 향상된 편리성을 제공하는 본 발명 특유의 작용효과로 이해되어야 한다.

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버 도어의 내부 유체 흐름을 개념적으로 도시한 도면이다. 도 10에 도시된 실시예에서 총 3개의 필터(22)가 도어 내부에 장착되는 것으로 도시된다. 도 4를 참조하여 앞서 언급한 바와 같이, 이러한 필터(22)는 제2 도어 플레이트(20)의 공기 연통 홀(21)에 대응되는 위치에 제공된다. 본 발명의 특징 중 하나는 테프론 블록(40)이 도어 상하부에서 제2 채널(16)을 커버함에 있어서, 완전 밀폐 방식이 아닌 공기가 연통할 수 있는 소정 간격을 형성한다는 점이다. 테프론 블록(40)의 상기 틈을 통하여 도어 내부로 자유롭게 출입할 있는 공기는 제2 채널(16)을 통하여 도어 내부에서 횡방향으로 이동 가능하고, 필터(22)가 장착된 위치에서 종방향으로도 이동 가능하다. 도 10에서 적색 화살표로 지시된 공기의 흐름은 예시적인 것이며, 반드시 이 방향으로만 공기의 흐름이 형성되는 것은 아니다. 공기의 출입구인 테프론 블록(40)에 의해 형성되는 틈과 필터(22)가 설치된 위치의 압력은 대기압으로 동일하므로, 항상 일정하게 공기의 흐름이 형성되지는 않는다. 도 10에 도시된 방향으로 또는 그 역방향 또는 임의의 경로로 도어 내부에서 공기의 흐름이 형성되면서 도어 내외부는 동일 압력 조건에 놓이게 된다. 만일 도어 내외부의 압력차가 존재한다면 이는 도어의 특정 부위를 이동시킬 수 있는 힘을 작용하게 될 것이다. 도어 특정 부위의 원치 않는 이동은 원치 않는 파티클의 발생 또는 도어 내구성의 하락을 야기할 수 있을 것이다. 예컨데 멤브레인 필터로 제공될 수 있는 필터(22)는 이를 통하여 도어 외부로 나가는 공기 흐름으로부터 파티클을 제거함으로써 도어 내부에서 발생 가능한 파티클이 공기 흐름에 따라 도어 외부로 배출되는 것을 막는다. 도 10의 실시예에서는 이러한 필터(22)가 도어 중앙 부위의 특정 위치에 제공되는 것으로 도시되고 있지만, 본 발명에 따른 로드락 챔버 도어가 반드시 이러한 필터 구조를 갖는 것만으로 제한해석 되어서는 아니될 것이다. 파티클의 도어 외부로의 배출이 가능한 다른 장소에 필요하다면 얼마든지 설치 위치에 적용 가능한 형태의 필터가 배치될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명 특유의 공기 연통 구조, 즉 테프론 블록(40), 제1 채널(15)과 제2 채널(16) 및 필터(22)를 통한 공기 연통 구조를 제공함으로써 종래기술의 다공성 벨로우즈를 사용하지 않고 로드락 챔버 도어 내외부의 양호한 공기 연통을 달성할 수 있다. 그 중 핵심 구성요소인 테프론 블록(40)은 다공성 벨로우즈 대비 사용 수명이 훨씬 길어 유지 보수 측면에서의 이점을 가져온다. 또한, 다공성 벨로우즈는 그 제작비용이 비쌀 뿐만 아니라 그 자체로는 도어 플레이트에 장착될 수 없고, 반드시 도어 플레이트로의 장착을 위한 볼트 브래킷 또는 플레이트를 필요로 하는 것에 반하여, 테프론 블록(40)은 체결을 위한 별도의 구성요소가 필요 없는 이유로 설치 비용 및 유지보수 비용 측면에서 종래의 다공성 벨로우즈 대비 유리하다.

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버 도어의 힌지 체결 구조를 설명하기 위한 도면으로서, 제2 도어 플레이트(20) 쪽에서 도어를 바라본 모습을 도시하고 있다. 도 11에서는 복수의 힌지(30)와 이들 사이에 배치된 필터(22)의 모습을 확인 가능하다. 제2 도어 플레이트(20)의 표면에는 테프론 시트(31)가 장착되고 그 위에 힌지(30)가 체결되어 제2 도어 플레이트(20)이 표면과 힌지(30)가 직접 접촉하지 않을 수 있다. 도 11에서 도면부호 32에 의해 지시되는 구성요소는 힌지(30)의 견고한 장착을 보조하는 가로 방향으로 길게 형성된 바(bar)이다. 이러한 가로 바(32)는 제2 도어 플레이트(20)와 사전에 체결될 수 있고, 이 경우 제1 도어 플레이트(10)의 커버(13)를 제거함으로써 드러나는 제1 도어 플레이트(10)의 빈 공간(13-1)을 통하여 상기 가로 바(32)와 힌지(30)의 볼트 체결이 가능하다. 즉, 도 11의 실시예에서는 힌지(30)를 도어 플레이트에 체결함에 있어서, 가로 바(32)와 도어 플레이트가 체결되고, 가로 바(32)에 힌지(30)가 체결되는 구조를 채용하고 있다.

이상에서는 본 개시를 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면을 통해 설명하였으나, 이는 본 개시의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐이며, 본 개시가 상기 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 본 개시가 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있을 것이다.

따라서, 본 개시의 사상은 전술한 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 청구범위뿐만 아니라 이와 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 개시의 사상의 범주에 속하는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (6)

1. 로드락 챔버의 도어에 있어서,
   상호 분리되어 제공되는 제1 도어 플레이트 및 제2 도어 플레이트와,
   양 가장자리를 제외하고 횡방향으로 길게 개방된 제1 채널이 상하로 2개소에 제공되고, 상기 제1 채널에 의하여 상부 섹션, 중앙 섹션 및 하부 섹션으로 구획되는 상기 제1 도어 플레이트의 챔버를 향한 면 중 상부와 하부 섹션에 장착되고, 도어의 폐쇄 시 챔버의 대응 면에 밀착되는 오링과,
   상기 제1 채널을 폐쇄하도록 상기 제1 도어 플레이트에 장착되는 가요성 다이어프램과,
   상기 제1 및 제2 도어 플레이트의 결합 상태에서 이들 사이에 형성되는 제2 채널에 제공되는 패드와,
   상기 제1 및 제2 도어 플레이트 사이에 그리고 상기 제2 채널 상하부에 장착되는 블록과,
   로드락 챔버의 도어를 로드락 챔버에 개폐 가능하게 장착하기 위한 힌지를 포함하고,
   상기 블록은 상기 제1 도어 플레이트의 상기 상하부 섹션에 체결되고, 제2 도어 플레이트에는 체결되지 않고,
   상기 제2 도어 플레이트의 좌우 반전된 "ㄷ"자 형상의 단면을 갖는 공간에 상기 블록이 수용되고,
   상기 제1 도어 플레이트의 상기 상부 및 하부 섹션이 상기 중앙 섹션에 대하여 상대적으로 이동할 때, 상기 블록은 상기 좌우 반전된 "ㄷ"자 형상의 단면을 갖는 제2 도어 플레이트의 공간에 수용된 상태에서 상하 이동 가능한,
   로드락 챔버의 도어.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 패드와 상기 블록은 테프론 재질인,
   로드락 챔버의 도어.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 제1 도어 플레이트의 로드락 챔버를 향한 면에 체결되는 복수의 커버들을 포함하고,
   상기 복수의 커버 중 하나의 하부에는 상기 제1 및 제2 도어 플레이트의 상호 체결을 위한 볼트 및 이들을 둘러싸는 실링 구조가 배치되고,
   상기 복수의 커버들 중 다른 하나에는 상기 힌지의 장착을 위한 빈 공간과 이를 둘러싸는 실링 구조가 배치되는,
   로드락 챔버의 도어.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 제1 도어 플레이트의 빈 공간을 통하여 힌지 장착을 위한 볼트 구멍이 드러나고, 이 볼트 구멍을 통하여 상기 힌지와 결합되는 볼트를 체결함으로써 상기 힌지와 상기 제2 도어 플레이트의 체결이 이루어지는,
   로드락 챔버의 도어.
   
5. 제4항에 있어서,
   상기 블록은 도어 내부를 향하는 면에 길이 방향으로 연장되는 홈을 포함하고,
   상기 홈에는 도어 내부에서 발생되는 파티클이 수집되는,
   로드락 챔버의 도어.
   
6. 제5항에 있어서,
   상기 제2 도어 플레이트에는 공기 연통 홀이 제공되고,
   상기 공기 연통 홀에 상응하는 위치에 필터가 배치되고, 상기 필터는 상기 제2 도어 플레이트에 체결되고,
   상기 제1 및 제2 채널, 상기 필터와 상기 공기 연통 홀은 도어 내부에서 유체 연통 가능한 통로를 형성하고,
   상기 블록과 상기 제2 도어 플레이트 사이의 틈을 통하여 도어 내부로 진입한 공기가 상기 통로를 통하여 도어 외부로 배출되는,
   로드락 챔버의 도어.