KR100706159B1

KR100706159B1 - 체크밸브

Info

Publication number: KR100706159B1
Application number: KR1020050017602A
Authority: KR
Inventors: 차상방
Original assignee: 웰텍인더스 주식회사
Priority date: 2005-03-03
Filing date: 2005-03-03
Publication date: 2007-04-11
Also published as: KR20060098487A

Abstract

본 발명은 기존 제품에 비해 부품수를 상부 플레이트, 하부 플레이트, 중간부재와 개폐판의 4개로 줄임으로써 조립 및 분해를 아주 간편하게 실시할 수 있고, 제품 사이즈를 대폭 축소시켜 무게를 줄였으며, 진공펌프의 오작동시 챔버로부터 보다 많은 양의 공기(또는 유체)를 진공펌프측으로 원활하게 유동되도록 한 체크밸브를 제공하는 것을 목적으로 하며,

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유체가 배출되는 상부 배출공이 관통 형성된 상부 플랜지부를 중앙부에 구비한 판상의 상부 플레이트와; 유체가 배출되는 하부 배출공이 관통 형성된 하부 플랜지부를 중앙부에 구비한 판상의 하부 플레이트와; 상기 상,하부 플레이트 사이중 가장자리에 개재되어 체결수단에 의해 결합되고, 중앙부에 관통공이 형성됨과 아울러 그 외곽에 상기 상부 배출공을 통해 배출된 유체가 하부 배출공으로 유동하도록 통로가 형성된 중간부재와; 상기 중간부재의 관통공에 인접하여 형성된 받침수단에 가장자리부가 안착 지지되며, 하강시에는 상기 관통공을 폐쇄함과 아울러 상기 중간부재(300)의 통로와 상기 상부 배출공을 서로 연통시키고, 상승시에는 상기 관통공을 개방함과 아울러 상기 상부 플레이트의 하면에 밀착되어 상부 배출공을 폐쇄함으로써 상기 중간부재의 통로와 상기 상부 배출공의 상호 연통을 차단하는 개폐판을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

체크밸브, 반도체, 챔버, 진공펌프

Description

체크밸브{A check valve}

도 1은 챔버와 진공펌프 사이의 통로상에 체크밸브가 설치된 상태를 도시한 도면.

도 2 및 도 3은 종래 기술에 의한 체크밸브의 동작 상태를 보여주는 단면도.

도 4는 본 발명에 의한 체크밸브의 분해 사시도.

도 5는 본 발명에 의한 체크밸브의 결합 상태를 도시한 단면도로, 진공펌프가 작동되어 챔버로부터 유체가 진공 배출되는 상태를 도시한 단면도.

도 6은 본 발명에 의한 체크밸브의 결합 상태를 도시한 단면도로, 진공펌프가 다운되거나 오작동되는 경우에 진공펌프측에서 유체가 역류되는 것을 방지하는 상태를 도시한 단면도.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 상부 플레이트

110 : 상부 플랜지부

111 : 상부 배출공

200 : 하부 플레이트

210 : 하부 플랜지부

211 : 하부 배출공

300 : 중간부재

400 : 개폐판

본 발명은 체크밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기존 제품에 비해 부품수를 상부 플레이트, 하부 플레이트, 중간부재와 개폐판의 4개로 줄임으로써 조립 및 분해를 아주 간편하게 실시할 수 있고, 제품 사이즈를 대폭 축소시켜 무게를 줄였으며, 진공펌프의 오작동시 챔버로부터 보다 많은 양의 공기(또는 유체)를 진공펌프측으로 원활하게 유동되도록 한 체크밸브에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 제조 공정은 높은 청정도를 요구하므로, 도 1에 도시된 바와 같이, 공정이 진행되는 챔버(2)는 진공을 유지하여야 한다.

이를 위해 챔버(2)는 챔버내의 파티클을 포함한 공기등을 강제 흡입하는 진공펌프(3)와 연결되어 있다.

상기 챔버(2)와 진공펌프(3) 사이의 통로에는 체크밸브(4)가 설치되어 있다.

이 체크밸브(4)는 챔버(2)와 진공펌프(3) 사이의 통로를 개폐하기 위한 것으로, 공정진행중에는 챔버(2)내의 공기가 진공펌프(3)측으로 강제 흡입될 수 있도록 통로를 열어주고, 문제가 발생하여 진공펌프(3)가 오작동되는 경우에는 공기의 흐름이 역류되는 것을 방지하기 위해 통로를 닫아준다.

좀더 상세하게 설명하면, 반도체 제조 공정중에 진공펌프(3)가 다운(down)되 면 챔버(2)쪽으로 역류하는 파우더(powder)로 인해 웨이퍼(wafer)가 파우더에 노출되어 손실되는 웨이퍼의 수량이 상당하였다.

이를 방지하기 위해 진공펌프(3)의 전단에 체크밸브(4)를 설치하여 진공펌프(3)가 다운되더라도 챔버(2)쪽으로 파우더의 역류를 막을 수 있도록 한 것이다.

상기와 같은 종래 문제점을 해결하기 위해 개발된 종래 기술로 대한민국 공개특허공보 제2003-0097452호가 있다.

상기 기술을 도 2 및 도 3을 참조하여 설명하기로 한다.

여기서, 도 2는 상기 진공펌프(3)가 정상적으로 작동시 챔버(2)와 연결되는 하우징(10)의 챔버포트(12)가 개방되어 챔버(2)내의 유체가 상기 진공펌프(3)측으로 강제흡입되는 것을 보여주는 도면이고, 도 3은 진공펌프(3)가 오작동되어 스프링(40)의 탄성에 의해 챔버포트(12)가 밀폐되는 것을 보여주는 도면이다.

상기 진공펌프가 작동되면 벨로우즈(50)는 수축하게 된다. 이 벨로우즈(50)의 수축에 의해서 플레이트(30)는 챔버포트(12)로부터 떨어지게 되고, 스프링(40)은 압축된 상태를 유지한다. 도 2에서 보는 바와 같이 상기 챔버(2)내의 유체는 챔버포트(12), 벨로우즈(50)와 케이스(10) 사이의 공간(14), 그리고 고정판(60)에 형성된 관통홀(62)을 통해 진공펌프측으로 강제 흡입된다.

한편, 도 3에서 보는 바와 같이 공정이 진행되는 동안에 진공펌프(3)가 오작되면 스프링(40)의 탄성력에 의해 플레이트(30)는 챔버포트(12)를 밀폐시킨다.

즉, 종래 기술은 진공펌프가 오작되는 경우 물리적인 힘인 스프링(40)의 탄성력을 사용하므로 챔버포트를 밀폐시킬 수 있다.

그러나, 종래 기술은 공정 진행중에는 진공펌프의 작동으로 벨로우즈(50)가 스프링(40)의 압축력을 이기면서 수축되며, 이로인해 플레이트(30)가 하강하면서 챔버포트(12)를 개방하게 되며, 결국 챔버내의 유체(공기)는 챔버포트(12)을 통해 고정판(60)의 관통홀(62)을 지나 진공펌프측으로 강제 흡입되는데, 이때 공정이 장시간동안 진행되는 경우에는 항상 플레이트(30)가 챔버포트(12)를 개방할 정도로 스프링(40)이 소정치 압축되는 상태가 지속적으로 유지되어야 하기 때문에 스프링에 무리를 주어 압축력이 상실되는 문제점이 있었다.

아울러, 진공압력이 항상 일정하지 않은 경우에는 스프링(40)의 압축량도 달라지게 됨에 따라 플레이트(30)의 하강정도 역시 달라지게 되며, 결국에는 챔버포트(12)의 개방량이 달라지게 되어 챔버로부터 공기가 원활하게 진공펌프측으로 강제 흡입되지 못하는 문제점도 있었다.

그리고, 종래 기술은 도면상에서 도시하지는 않았지만 플레이트(30)에 의해 챔버포트(12)를 폐쇄한 상태에서 진공펌프를 작동시키면 도 2의 상태와 같이 플레이트(30)가 하강하면서 챔버포트(12)는 개방되면서 챔버포트(12)와 고정판(60)의 관통홀(62)이 연통되는 되는데, 이로 인해 진공펌프의 진공 흡입력에 의해 벨로우즈(50)를 수축시키는데 가해지는 영향이 챔버포트(12)와 관통홀(62)이 연통되는 수간에서보다 덜 미치게 되어 챔버로부터 공기가 원활하게 진공펌프측으로 강제 흡입되지 못하는 문제점도 있었다.

한편, 진공펌프가 다운되거나 오작되는 경우에는 진공 흡입력이 상실될때 스프링(40)이 장시간의 공정 진행시간 동안 압축된 상태이기 때문에 원상태로 원활하 게 복원되지 못하는 문제점도 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로, 기존 제품에 비해 부품수를 상부 플레이트, 하부 플레이트, 중간부재와 개폐판의 4개로 줄임으로써 조립 및 분해를 아주 간편하게 실시할 수 있고, 제품 사이즈를 대폭 축소시켜 무게를 줄였으며, 진공펌프의 오작동시 챔버로부터 보다 많은 양의 공기(또는 유체)를 진공펌프측으로 원활하게 유동되도록 한 체크밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유체가 배출되는 상부 배출공이 관통 형성된 상부 플랜지부를 중앙부에 구비한 판상의 상부 플레이트와; 유체가 배출되는 하부 배출공이 관통 형성된 하부 플랜지부를 중앙부에 구비한 판상의 하부 플레이트와; 상기 상,하부 플레이트 사이중 가장자리에 개재되어 체결수단에 의해 결합되고, 중앙부에 관통공이 형성됨과 아울러 그 외곽에 상기 상부 배출공을 통해 배출된 유체가 하부 배출공으로 유동하도록 통로가 형성된 중간부재와; 상기 중간부재의 관통공에 인접하여 형성된 받침수단에 가장자리부가 안착 지지되며, 하강시에는 상기 관통공을 폐쇄함과 아울러 상기 중간부재(300)의 통로와 상기 상부 배출공을 서로 연통시키고, 상승시에는 상기 관통공을 개방함과 아울러 상기 상부 플레이트의 하면에 밀착되어 상부 배출공을 폐쇄함으로써 상기 중간부재의 통로와 상기 상부 배출공의 상호 연통을 차단하는 개폐판을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

도 4는 본 발명에 의한 체크밸브의 분해 사시도이고, 도 5는 본 발명에 의한 체크밸브의 결합 상태를 도시한 단면도로, 진공펌프가 작동되어 챔버로부터 유체가 진공 배출되는 상태를 도시한 단면도이며, 도 6은 본 발명에 의한 체크밸브의 결합 상태를 도시한 단면도로, 진공펌프가 다운되거나 오작동되는 경우에 진공펌프측에서 유체가 역류되는 것을 방지하는 상태를 도시한 단면도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 체크밸브는 도 4에 도시된 바와 같이 상부 플레이트(100)와, 하부 플레이트(200)와, 중간부재(300)와, 개폐판(400)을 포함하여 이루어진다.

상기 상부 플레이트(100)는 유체가 배출되는 상부 배출공(111)이 관통 형성된 상부 플랜지부(110)를 중앙부에 구비한 판상으로 이루어진다.

그리고, 상기 하부 플레이트(200)는 유체가 배출되는 하부 배출공(211)이 관통 형성된 하부 플랜지부(210)를 중앙부에 구비한 판상으로 이루어진다.

상기 중간부재(300)는 상기 상,하부 플레이트(100)(200) 사이중 가장자리에 개재되어 체결수단에 의해 결합되고, 중앙부에 관통공(300a)이 형성됨과 아울러 그 외곽에 상기 상부 배출공(111)을 통해 배출된 유체가 하부 배출공(211)으로 유동하도록 통로(320)가 형성된다.

여기서, 체결수단은 도면상에서 미도시하였으나, 장볼트등을 사용할 수 있는데, 이 장볼트가 설치되는 지점은 상부 플레이트(100)에 가장자리부에 관통 형성된 나사공(100a)과, 하부 플레이트(200)의 가장자리부에 관통 형성된 나사공(200a) 및 중간부재(300)의 가장리부에 형성된 나사공(300b)를 관통하여 결합 설치되는 것이다.

상기 개폐판(400)은 상기 중간부재(300)의 관통공(300a)에 인접하여 형성된 받침수단(410)에 가장자리부가 안착 지지되며, 하강시에는 상기 통로(320)를 개방하고, 상승시에는 상기 상부 플레이트(100)의 상부 배출공(111)을 폐쇄하는 하는 역할을 한다.
좀더 상세하게 설명하면, 하강시에는 상기 관통공(300a)을 폐쇄함과 아울러 상기 중간부재(300)의 통로(320)와 상기 상부 배출공(111)을 서로 연통시키고, 상승시에는 상기 관통공(300a)을 개방함과 아울러 상기 상부 플레이트(100)의 하면에 밀착되어 상부 배출공(111)을 폐쇄함으로써 상기 중간부재(300)의 통로(320)와 상기 상부 배출공(111)의 상호 연통을 차단하게 된다.

여기서, 상부 플레이트(100)와, 하부 플레이트(200)와, 외부 몸체(301)와, 내부 몸체(302) 및 개폐판(400)은 본 발명의 도면상에서 원형으로 형성하는 것을 예로 들어 도시하였으나, 이에 한정되지 않고 다각형 형상으로도 구현할 수 있음을 밝혀둔다.

이제까지 설명한 구성중 상기 중간부재(300)는, 외부 몸체(301)와, 내부 몸체(302)와, 브릿지(303)를 포함하여 구성된다.

상기 외부 몸체(301)는 상하면이 상기 상부 플레이트(100)의 하면과 하부 플레이트(200)의 상면에 각각 접촉되는 링 형상을 하고 있다.
상기 내부 몸체(302)는 외면과 상기 외부 몸체(301)의 내면 사이에 소정의 간극부(t)를 형성하는 외경 크기를 갖음과 아울러 상기 상부 배출공(111)을 통해 배출된 유체가 상기 간극부(t)를 경유하여 상기 하부 배출공(211)으로 유동하도록 상기 외부 몸체(301)의 상하 높이보다 소정치 작은 높이를 갖으며, 상기 외부 몸체(301)의 중간 높이에 해당되는 지점의 상기 외부 몸체(301) 내부에 개재되며, 상기 관통공(300a)이 형성된 링 형상을 하고 있다.
좀더 상세하게는 상기 내부 몸체(302)의 외경과 상하 높이를 상기 외부 몸체(301)의 내경과 상하 높이에 비해 작게하여 상기 통로(320)를 형성하되, 상기 통로(320)는 상기 내부 몸체(302)의 상면과 상기 상부 플레이트(100)의 하면 사이에 서로 이격 형성되어 상기 상부 배출공(111)을 통해 배출된 유체가 유입되는 간극(t1)과, 상기 내부 몸체(302)의 외면과 상기 외부 몸체(301)의 내면 사이에 서로 이격 형성되어 상기 간극(t1)으로 유입된 유체가 통과하는 간극부(t)와, 상기 내부 몸체(302)의 하면과 상기 상부 플레이트(100)의 상면 사이에 서로 이격 형성되어 상기 간극부(t)로 유입된 유체가 상기 하부 배출공(211)으로 배출되도록 하는 간극(t2)으로 이루어지고, 상기 내부 몸체(302)는 상기 외부 몸체(301)의 중간 높이에 해당되는 지점에 위치된다.

삭제

상기 브릿지(30)는 상기 외부 몸체(301)의 내면과 내부 몸체(320)의 외면을 서로 일체로 연결하여 상기 간극부(t)를 적어도 2개 이상으로 구획하여 분할 형성하도록 복수개로 이루어진다.

상기와 같이 중간부재(300)를 구성함으로써, 통로(320)를 형성하게 된다.

이 통로(320)의 구성을 한번 더 설명하면, 외부 몸체(301)의 높이의 절반 정도가 되는 내부 몸체(302)를 외부 몸체(301)의 내부 중간 지점에 위치하게 되면, 상부 플레이트(100)의 상부 배출공(111)을 통해 유입된 챔버(미도시)의 유체는 내부 몸체(302)의 상면과 상부 플레이트(100)의 하면 사이의 간극(t1)을 통해 유동된 다음, 외부 몸체(301)와 내부 몸체(302) 사이의 간극부(t)로 유동된 후, 내부 몸체(302)의 하면과 하부 플레이트(200)의 상면 사이의 간극(t2)를 거친 후, 하부 플레이트(200)의 하부 배출공(211)을 통해 유동되는 구조로 형성된다.

한편, 상기 받침수단(410)은, 상기 내부 몸체(302)의 상면에 복수개 돌출 형성되어 상단부가 상기 상부 플레이트(100)의 하면에 접촉됨과 아울러 상기 개폐판(400)의 승하강을 안내하는 가이더(411)로 이루어지되, 이 가이더(411)의 하단은 개폐판(400)의 가장자리부가 상기 내부 몸체(302)의 상면에 얹혀져 상기 관통공(300a)을 폐쇄하기 위해 상기 내부 몸체(302)의 상면 외측 방향으로 근접한 지점에 상기 내부 몸체(302)의 측면과 단차진 걸림턱(412)이 형성되도록 돌출되어 이루어진다.

상기 브릿지(303)와 상기 가이더(411)는 반경 방향으로 동일한 위치에 형성된다.

한편, 본 발명에는 상기 브릿지(303)의 상면과 상기 가이더(411)의 외측면은 유체의 유동 저항을 받지 않도록 서로 곡면(303a)으로 형성된다. 상기와 같이 곡면 (303a)을 형성함에 따라 유체의 저항을 덜 받게 되어 보다 많은 양의 유체가 유동되도록 할 수 있게 된다.

아울러, 본 발명은 상기 상부 배출공(111)을 통해 배출되는 유체의 유량이 증가되도록 유량증가수단이 더 구비된다.

그 바람직한 실시예로 상기 유량증가수단은, 상기 상부 플레이트(100)의 상부 플랜지부(110)와 하부 플레이트(200)의 하부 플랜지부(210)중 적어도 어느 한 곳의 내면에 형성된 경사부(113)(213)인 것이다.

상기와 같이 경사부(113)(213)를 테이퍼지게 형성함으로써, 유체의 유동 저항을 최소한 줄여 보다 많은 양의 유체가 유동되도록 할 수 있는 것이다.

여기서, 본 발명은 상기 곡면(303a)과 경사부(113)(213)를 각각 개별로 구비하거나 동시에 구성할 수 있음은 물론이다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 작용을 도 5 및 도 6을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 5를 참조하여 설명하기로 한다.

도 5는 본 발명에 의한 체크밸브의 결합 상태를 도시한 단면도로, 진공펌프가 작동되어 챔버로부터 유체가 진공 배출되는 상태를 도시한 단면도이다.

도시된 바와 같이, 진공펌프가 작동되면, 진공 흡입 압력이 발생되기 때문에 개폐판(400)은 가이더(411)와 내부 몸체(302)의 상면 사이에 형성된 걸림턱(412)에 걸려져 관통공(300a)을 폐쇄하고 있는 상태가 된다.

이 상태가 되면, 챔버측의 유체는 라인을 따라 상부 플랜지부(110)의 상부 배출공(111)으로 배출된다. 이후, 유체는 내부 몸체(302)의 상면과 상부 플레이트(100)의 하면 사이의 간극(t1)을 통해 유동된 다음, 외부 몸체(301)와 내부 몸체(302) 사이의 간극부(t)로 유동된 후, 내부 몸체(302)의 하면과 하부 플레이트(200)의 상면 사이의 간극(t2)를 거친 후, 하부 플레이트(200)의 하부 배출공(211)을 통해 유동되어 진공펌프측으로 강제 흡입된다.

상기와 같은 도 5의 상태에서의 갑자기 진공펌프가 다운되거나 오작동되는 경우에는 더 이상 진공 흡입력이 작동하지 않기 때문에 진공펌프측에서 챔버로 파우더등의 반도체 제조 공정에 해로운 물질이 역류되는 것을 방지하기 위해 질소를 하부 플레이트(200)의 하부 배출공(211)으로 인위적으로 공급해준다.

이렇게 되면, 도 6에 도시된 바와 같이, 개폐판(400)을 기준으로 하여 챔버측와 진공펌프측에 차압이 생겨 개폐판(400)은 가이더(411)의 안내를 받아 상승되어 상부 플레이트(100)의 하면에 밀착되어 상부 배출공(111)을 폐쇄하게 된다.

이로 인해, 챔버측으로 해로운 물질이 역류되는 것을 방지할 수 있게 된다.

본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정하지 아니하며, 당업자라면 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지로 그 변형과 응용이 가능할 것이다.

이상 살펴본 바와 같이, 본 발명에 의한 체크밸브에 따르면 기존 제품에 비해 부품수를 상부 플레이트, 하부 플레이트, 중간부재와 개폐판의 4개로 줄임으로써 조립 및 분해를 아주 간편하게 실시할 수 있고, 제품 사이즈를 대폭 축소시켜 무게를 줄였으며, 진공펌프의 오작동시 챔버로부터 보다 많은 양의 공기(또는 유체)를 진공펌프측으로 원활하게 유동되도록 할 수 있다.

Claims

유체가 배출되는 상부 배출공(111)이 관통 형성된 상부 플랜지부(110)를 중앙부에 구비한 판상의 상부 플레이트(100)와;

유체가 배출되는 하부 배출공(211)이 관통 형성된 하부 플랜지부(210)를 중앙부에 구비한 판상의 하부 플레이트(200)와;

상기 상,하부 플레이트(100)(200) 사이중 가장자리에 개재되어 체결수단에 의해 결합되고, 중앙부에 관통공(300a)이 형성됨과 아울러 그 외곽에 상기 상부 배출공(111)을 통해 배출된 유체가 하부 배출공(211)으로 유동하도록 통로(320)가 형성된 중간부재(300)와;

상기 중간부재(300)의 관통공(300a)에 인접하여 형성된 받침수단(410)에 가장자리부가 안착 지지되며, 하강시에는 상기 관통공(300a)을 폐쇄함과 아울러 상기 중간부재(300)의 통로(320)와 상기 상부 배출공(111)을 서로 연통시키고, 상승시에는 상기 관통공(300a)을 개방함과 아울러 상기 상부 플레이트(100)의 하면에 밀착되어 상부 배출공(111)을 폐쇄함으로써 상기 중간부재(300)의 통로(320)와 상기 상부 배출공(111)의 상호 연통을 차단하는 개폐판(400)을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 체크밸브.
제 1 항에 있어서,

상기 중간부재(300)는,

상하면이 상기 상부 플레이트(100)의 하면과 하부 플레이트(200)의 상면에 각각 접촉되는 링형상의 외부 몸체(301)와;

상기 외부 몸체(301)의 내부에 위치되며, 상기 관통공(300a)이 형성되도록 링형상으로 된 내부 몸체(302)와;

상기 내부 몸체(302)의 외경과 상하 높이를 상기 외부 몸체(301)의 내경과 상하 높이에 비해 작게하여 상기 통로(320)를 형성하되, 상기 통로(320)는 상기 내부 몸체(302)의 상면과 상기 상부 플레이트(100)의 하면 사이에 서로 이격 형성되어 상기 상부 배출공(111)을 통해 배출된 유체가 유입되는 간극(t1)과, 상기 내부 몸체(302)의 외면과 상기 외부 몸체(301)의 내면 사이에 서로 이격 형성되어 상기 간극(t1)으로 유입된 유체가 통과하는 간극부(t)와, 상기 내부 몸체(302)의 하면과 상기 상부 플레이트(100)의 상면 사이에 서로 이격 형성되어 상기 중간통로(t)로 유입된 유체가 상기 하부 배출공(211)으로 배출되도록 하는 간극(t2)으로 이루어지고, 상기 내부 몸체(302)는 상기 외부 몸체(301)의 중간 높이에 해당되는 지점에 위치되며,

상기 간극부(t)를 구획하여 분할 형성하기 위해 상기 외부 몸체(301)의 내면과 내부 몸체(302)의 외면을 서로 일체로 연결하는 복수의 브릿지부(303)로 이루어진 것을 특징으로 하는 체크밸브.
제 2 항에 있어서,

상기 받침수단(410)은,

상기 내부 몸체(302)의 상면에 복수개가 돌출 형성되어 상단부가 상기 상부 플레이트(100)의 하면에 접촉됨과 아울러 상기 개폐판(400)의 승하강을 안내하는 가이더(411)로 이루어지되,

상기 가이더(411)의 하단은 개폐판(400)의 가장자리부가 상기 내부 몸체(302)의 상면에 얹혀져 상기 관통공(300a)을 폐쇄하기 위해 상기 내부 몸체(302)의 상면 외측 방향으로 근접한 지점에 상기 내부 몸체(302)의 측면과 단차진 걸림턱(412)이 형성되도록 돌출되어 이루어진 것을 특징으로 하는 체크밸브.
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제 3 항에 있어서,

상기 브릿지(303)의 상면과 상기 가이더(411)의 외측면은 유체의 유동 저항을 받지 않도록 서로 곡면으로 형성된 것을 특징으로 하는 체크밸브.
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